JP5936394B2 - 蒸着装置 - Google Patents
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Description
また1台の圧力センサでは、2種類の蒸着材料による共蒸着により蒸着膜を形成するとき、各蒸着材料の蒸着レートを求めることができないという問題があった。
また本発明は、真空チャンバを大気圧に戻すことなく蒸着レートを連続的に計測でき、生産性の低下を回避できるとともに、2種類の蒸着材料により蒸着膜を形成するとき、各蒸着材料の蒸発粒子の流量を正確に求めることができ、正確な蒸着レートで蒸着膜を形成できる蒸着装置を提供することを目的としたものである。
またオリフィスを設けることにより、オリフィスの上流側の圧力が下流側の圧力よりも大きくなり、第2経路において、第2蒸発粒子の逆流、および第1経路からの第1蒸発粒子の逆流が防止される。
図1は本発明の実施の形態1における蒸着装置の構成図であり、図1に示すように、真空チャンバ(真空槽/蒸着用容器)11内に、真空雰囲気中でガラス基板(被蒸着部材の一例)12の表面(下面)に対して蒸発粒子{蒸発した蒸着材料(例えば、有機EL材料)}を蒸着する蒸着室13が設けられており、真空チャンバ11には、真空ユニットにより真空雰囲気にされる真空ポート(図示せず)が形成されている。また真空チャンバ11の上部にはガラス基板12を保持するワーク保持具15が設けられており、ワーク保持具15に保持されたガラス基板12の下面(被蒸着面)に下方から蒸発粒子を蒸着するアップブロータイプ(アップデポ)に構成されている。
なお、図示していないが、材料収納容器19(坩堝)の他、材料輸送管17、流量制御バルブ18、および圧力センサ21,22を、ヒータへの通電等により加熱している。圧力センサ21,22へ加熱して圧力センサ21,22の温度を周囲温度よりも高温にすることによりセンサ部に蒸発粒子が付着することを回避しており、連続計測を可能としている。
Q=C×(P1−P2) …(1)
R=F×Q
=G×(P1−P2) …(2)
なお、G=F×C
図3に、蒸着レートRと圧力差(P1−P2)の関係の一例を示す。
a.ガラス基板12横に水晶振動式膜厚センサを設け、この膜厚センサの指示値Xがほほ一定値となるように蒸着する。
このときの蒸着レートRは、水晶振動式膜厚センサにより測定される蒸着膜厚をDv、蒸着時間をTとすると、以の式(3)で求められる。
R=Dv/T …(3)
b.膜厚センサの指示値Xを上記式で求めた蒸着レートRと同じようになるように膜厚センサのゲインを調整し、膜厚センサ値の校正を行う。
c.蒸着レートRを変化させ、圧力センサ21,22により圧力P1,P2を測定し、膜厚センサ指示値Xとこれら圧力センサ21,22の圧力差(P1−P2)の関係、すなわち上記乗数Gを求める。
d.上記の関係から、圧力差(P1−P2)で蒸着レートRが計測可能となる。
図4は本発明の実施の形態2における蒸着装置の構成図であり、図1に示す蒸着装置の構成に新たに、流量制御バルブ18より下流側の材料輸送管17内にオリフィス41が設けられ、第1圧力センサ21をこのオリフィス41の上流側に取り付け、第2圧力センサ22をこのオリフィス41の下流側に取り付けている。
図5は本発明の実施の形態3における蒸着装置の構成図であり、例えば、有機ELのデバイスを作製する際、発光効率の向上のために2種類の有機材料を同時に成膜する共蒸着を実現する蒸着装置の構成図である。前記2種類の有機材料のうち、蒸発する際に濃度が濃い有機材料(以下、材料Bと呼す;第1蒸着材料の一例)と、蒸発する際に濃度が薄い有機材料(以下、材料Sと呼す;第1蒸着材料の蒸着量と比べて蒸着量が小さい第2蒸着材料の一例)との濃度の比率は、10〜100:1としている。
このとき、オリフィス41の径は、共蒸着を行う前に材料Bおよび材料Sをそれぞれ単独でバルブ18A,18Bの開度に対する圧力センサの指示値を把握しておき、実際に共蒸着を行うときに材料Sが通る他方の分岐部45Bに設けているオリフィス41の上流の圧力が下流側の圧力よりも大きくなるように、選択される。
また第2流量バルブ18Bより下流側で、オリフィス41より上流側の他方の分岐部45B内に、第3圧力センサ46が設けられ、オリフィス41より下流側の他方の分岐部45B内に、第4圧力センサ47が設けられている。これら第3圧力センサ46と第4圧力センサ47には、圧力センサ21,22と同様に熱伝導式圧力センサを使用している。
なお、図示していないが、実施の形態1と同様に、2台の材料収納容器19A,19B(坩堝)の他、分岐管45、2台の流量制御バルブ18A,18B、オリフィス41、および4台の圧力センサ21,22,46,47を、ヒータへの通電等により加熱している。圧力センサ21,22,46,47へ加熱して圧力センサ21,22,46,47の温度を周囲温度よりも高温にすることによりセンサ部に蒸発粒子が付着することを回避しており、連続計測を可能としている。
すなわち、コントローラ24’は、第1圧力センサ21により測定された圧力P1と第2圧力センサ22により測定された圧力P2の圧力差(P1−P2)により第1蒸発粒子の流量を求めることにより、第1蒸発粒子のガラス基板12への蒸着レートR1を計測し、この計測した蒸着レートR1が所定の蒸着レートRe1となるように、第1流量バルブ18Aへバルブ開度指令L1を出力して一方の分岐部45Aの開度を調節し、且つ第3圧力センサ46により測定された圧力P3と第4圧力センサ47により測定された圧力P4の圧力差(P3−P4)により第2蒸発粒子の流量を求めることにより、第2蒸発粒子のガラス基板12への蒸着レートR2を計測し、この計測した蒸着レートR2が所定の蒸着レートRe2となるように、第2流量バルブ18Bへバルブ開度指令L2を出力し、他方の分岐部45Bの開度を調節している。
また従来のように蒸着膜が厚くなると水晶振動子式膜厚センサの水晶振動子を交換する必要がなくなり、よって長時間の2種類の有機材料を同時に成膜する連続共蒸着が可能となり、生産性の低下を回避できる。また共蒸着する際、水晶振動子式センサを用いるとそれぞれの蒸着レートR1,R2を個別に計測することはできないが、圧力センサ21,22,46,47を用いることにより個別に計測できる。
このように、小経路51を設けることにより、この小経路51のC(コンダクタンス)によって小経路51の前後の圧力差が大きくなることによって、より正確に流量が求めることができる。
12 ガラス基板
13 蒸着室
17 材料輸送管
18,18A,18B 流量制御バルブ
19,19A,19B 材料収納容器
21 第1圧力センサ
22 第2圧力センサ
24,24’ コントローラ
41 オリフィス
45 分岐管
45A 一方の分岐部
45B 他方の分岐部
45C 合流部
46 第3圧力センサ
47 第4圧力センサ
51 小経路
52 空間
Claims (2)
- 真空槽内において、第1経路により導かれた、蒸発された第1蒸着材料と、第2経路により導かれた、蒸発された、前記第1蒸着材料の蒸着量と比べて蒸着量が小さい第2蒸着材料とを、第3経路において合流させて混合し、蒸発されたこれら2種類の蒸着材料を、被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
前記第1経路に、この第1経路の開度を調節する第1調節手段を設け、
前記第2経路に、この第2経路の開度を調節する第2調節手段を設け、
前記第2調節手段より下流側の前記第2経路内に、オリフィスを設け、
前記第1の調節手段より下流側の第1経路内に、第1圧力センサを設け、
前記第3経路内または前記真空槽内に、第2圧力センサを設け、
前記第2の調節手段より下流側で、前記オリフィスより上流側の第2経路内に、第3圧力センサを設け、さらに前記オリフィスより下流側の第2経路内に、第4圧力センサを設け、
前記第1圧力センサと前記第2圧力センサにより測定された圧力の圧力差により前記蒸発された第1蒸着材料の流量を求めることにより、前記蒸発された第1蒸着材料の前記被蒸着部材への蒸着レートを計測し、この計測した蒸着レートが所定の蒸着レートとなるように、前記第1調節手段により前記第1経路の開度を調節し、且つ
前記第3圧力センサと前記第4圧力センサにより測定された圧力の圧力差により前記蒸発された第2蒸着材料の流量を求めることにより、前記蒸発された第2蒸着材料の前記被蒸着部材への蒸着レートを計測し、この計測した蒸着レートが所定の蒸着レートとなるように、前記第2調節手段により前記第2経路の開度を調節するコントローラを設けたことを特徴とする蒸着装置。 - 前記第2調節手段より下流側の前記第2経路内に設けたオリフィスに代えて、前記第2の調節手段より下流側の第2経路の一部を、この第2経路の径より小さい径の小経路に形成し、
前記第3圧力センサを、前記小経路の上流側に取り付け、前記第4圧力センサを前記小経路の下流側に取り付けたこと
を特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。
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