JP2016537507A - 真空反応器装置内のSe蒸気を監視するための方法 - Google Patents
真空反応器装置内のSe蒸気を監視するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016537507A JP2016537507A JP2016528888A JP2016528888A JP2016537507A JP 2016537507 A JP2016537507 A JP 2016537507A JP 2016528888 A JP2016528888 A JP 2016528888A JP 2016528888 A JP2016528888 A JP 2016528888A JP 2016537507 A JP2016537507 A JP 2016537507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor
- steam
- sensor
- outlet
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/545—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material
- C23C14/546—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material using crystal oscillators
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0623—Sulfides, selenides or tellurides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/543—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on the vapor source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
本出願は、その全体が参照により本明細書に援用される、2013年11月16日に出願された米国仮出願第61/905,175号に対する優先権を主張する。
Claims (20)
- 真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に格納された蒸気源であって、蒸気を発生させるように構成される、蒸気源と、
前記真空チャンバ内に格納され、前記蒸気源に連結された反応容器であって、前記真空チャンバへの出口を有し、前記蒸気源からの前記蒸気を受容するように、及び前記受容された蒸気の一部を前記真空チャンバ内へ前記出口を通じて放出するように構成される、反応容器と、
前記真空チャンバ内に格納された1つ以上のセンサであって、前記出口を通じて放出された前記蒸気を検出するように構成される、1つ以上のセンサと、を備える、システム。 - 前記反応容器によって受容される前記蒸気源からの前記蒸気の量を制御するように構成された弁をさらに備える、請求項1に記載の前記システム。
- 前記弁は、1つ以上の制御信号に応答して前記蒸気の前記量を制御するように構成される、請求項2に記載の前記システム。
- 前記蒸気は、セレンを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の前記システム。
- 前記センサは、マイクロバランス、イオンゲージ、またはセレン速度モニタを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の前記システム。
- 前記蒸気源は、第1の圧力を有し、前記反応容器は、第2の圧力を有し、前記真空チャンバは、第3の圧力を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の前記システム。
- 前記第1の圧力は、前記第2の圧力よりも大きく、前記第2の圧力は、前記第3の圧力よりも大きい、請求項6に記載の前記システム。
- 前記第1の圧力は、約10+1〜約10−2の範囲であり、前記第2の圧力は、約10−2〜約10−4の範囲であり、前記第3の圧力は、約10−4〜約10−6の範囲である、請求項6または7に記載の前記システム。
- 前記1つ以上のセンサは、前記真空チャンバ内に各々格納された第1のセンサ及び第2のセンサを備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の前記システム。
- 前記第1のセンサは、前記出口の上に直接位置付けられ、前記第2のセンサは、前記出口からずらされる、請求項9に記載の前記システム。
- 第3のセンサをさらに備え、前記第3のセンサは、前記出口からずらされる、請求項9または10に記載の前記システム。
- 前記第1のセンサ及び前記第2のセンサは各々、前記出口からずらされる、請求項9に記載の前記システム。
- 弁を通じて、蒸気を高圧域から中圧域へ移動させることと、
出口を通じて、前記移動された蒸気の一部を前記中圧域から低圧域へ放出することと、
前記低圧域内のセンサによって、前記出口を通じて放出された前記蒸気を検出することと、を含む、方法。 - 前記センサによって検出された前記蒸気に基づいて制御信号を生じさせることと、
前記制御信号に基づいて前記弁を制御することと、をさらに含む、請求項13に記載の前記方法。 - 前記制御信号に基づいて前記弁を制御することは、前記高圧域から前記中圧域への前記蒸気の移動の速度を制御することを含む、請求項13に記載の前記方法。
- 前記蒸気は、セレンを含む、請求項13〜15のいずれか一項に記載の前記方法。
- 前記センサは、マイクロバランス、イオンゲージ、またはセレン速度モニタを含む、請求項13〜15のいずれか一項に記載の前記方法。
- 前記高圧域内で前記蒸気を発生させることと、
前記中圧域内で前記蒸気を反応させることと、をさらに含む、請求項13〜17のいずれか一項に記載の前記方法。 - 前記低圧域内の第2のセンサによって、前記出口を通じて放出された前記蒸気を検出することと、
前記低圧域内の第3のセンサによって、前記出口を通じて放出された前記蒸気を検出することと、をさらに含む、請求項13〜17のいずれか一項に記載の前記方法。 - 前記方法が、請求項1〜12のいずれか一項に記載の前記システムを使用して実施される、請求項13〜19のいずれか一項に記載の前記方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361905175P | 2013-11-16 | 2013-11-16 | |
US61/905,175 | 2013-11-16 | ||
PCT/US2014/060832 WO2015073156A1 (en) | 2013-11-16 | 2014-10-16 | Method for monitoring se vapor in vacuum reactor apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016537507A true JP2016537507A (ja) | 2016-12-01 |
Family
ID=51897434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016528888A Pending JP2016537507A (ja) | 2013-11-16 | 2014-10-16 | 真空反応器装置内のSe蒸気を監視するための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160273097A1 (ja) |
EP (1) | EP3068922A1 (ja) |
JP (1) | JP2016537507A (ja) |
CN (1) | CN105765101A (ja) |
TW (1) | TW201527569A (ja) |
WO (1) | WO2015073156A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018233825A1 (en) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Hp Indigo B.V. | VACUUM TABLES |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006274370A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
JP2012510713A (ja) * | 2008-11-28 | 2012-05-10 | プロブスト、フォルカー | 平坦基板にセレン、硫黄元素処理で半導体層と被覆基板を製造する方法 |
JP2013041873A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Kyocera Corp | 薄膜製造方法、および薄膜製造装置 |
JP2013189678A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4013859B2 (ja) * | 2003-07-17 | 2007-11-28 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 有機薄膜の製造装置 |
JP5180469B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2013-04-10 | パナソニック株式会社 | 真空蒸着装置 |
KR100994323B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2010-11-12 | 박우윤 | 대면적 기판용 증착장치 및 그를 이용한 증착방법 |
WO2012012376A1 (en) * | 2010-07-22 | 2012-01-26 | First Solar, Inc | Deposition system |
EP2508645B1 (en) * | 2011-04-06 | 2015-02-25 | Applied Materials, Inc. | Evaporation system with measurement unit |
JP6559423B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2019-08-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 蒸気を処理するためのシステム及び方法 |
JP5840055B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-01-06 | 日立造船株式会社 | 蒸着装置 |
-
2014
- 2014-10-16 CN CN201480061371.9A patent/CN105765101A/zh active Pending
- 2014-10-16 EP EP14796940.6A patent/EP3068922A1/en not_active Withdrawn
- 2014-10-16 US US15/035,227 patent/US20160273097A1/en not_active Abandoned
- 2014-10-16 WO PCT/US2014/060832 patent/WO2015073156A1/en active Application Filing
- 2014-10-16 JP JP2016528888A patent/JP2016537507A/ja active Pending
- 2014-10-20 TW TW103136116A patent/TW201527569A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006274370A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
JP2012510713A (ja) * | 2008-11-28 | 2012-05-10 | プロブスト、フォルカー | 平坦基板にセレン、硫黄元素処理で半導体層と被覆基板を製造する方法 |
JP2013041873A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Kyocera Corp | 薄膜製造方法、および薄膜製造装置 |
JP2013189678A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3068922A1 (en) | 2016-09-21 |
US20160273097A1 (en) | 2016-09-22 |
WO2015073156A1 (en) | 2015-05-21 |
TW201527569A (zh) | 2015-07-16 |
CN105765101A (zh) | 2016-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10267768B2 (en) | Device and method for determining the concentration of a vapor by means of an oscillating body sensor | |
CN107805783B (zh) | 蒸发源、蒸镀设备及蒸镀控制方法 | |
JP4966028B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
US20090000552A1 (en) | Substrate holder and vacuum film deposition apparatus | |
US20190362991A1 (en) | Virtual sensor for spatially resolved wafer temperature control | |
JP4974858B2 (ja) | 成膜装置、薄膜形成方法 | |
KR102137181B1 (ko) | 증착 배열체, 증착 장치 및 그의 동작 방법들 | |
US6779378B2 (en) | Method of monitoring evaporation rate of source material in a container | |
Sellers et al. | Adsorption calorimetry during metal vapor deposition on single crystal surfaces: Increased flux, reduced optical radiation, and real-time flux and reflectivity measurements | |
JP2016537507A (ja) | 真空反応器装置内のSe蒸気を監視するための方法 | |
JP5024075B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
US20060124448A1 (en) | Thin film semi-permeable membranes for gas sensor and catalytic applications | |
WO2009076611A1 (en) | Delivery of iodine gas | |
JP6207319B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
WO2013064737A2 (en) | Apparatus and method for processing substrate | |
JP5891030B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP5180469B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2013167007A (ja) | 多元蒸着装置 | |
JP2018526615A (ja) | 発振水晶のための拡散バリア、堆積速度を測定するための測定アセンブリ及びその方法 | |
KR101028044B1 (ko) | 소스가스 공급장치 | |
JP4830847B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP6150070B2 (ja) | 蒸着装置および蒸着方法 | |
JP6581191B2 (ja) | 気相成長法の層厚測定装置および方法 | |
JP2015209559A (ja) | 蒸着装置 | |
JP6464448B2 (ja) | 蒸着装置および蒸着方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20160630 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160630 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160517 |
|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20160509 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171002 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180515 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181211 |