JP4088912B2 - 半導体素子のキャパシタ製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリ素子のキャパシタ製造方法に関し、より詳細には、TaON薄膜とAl2O3膜の二重膜構造からなる半導体素子のキャパシタ製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近来、半導体製造技術の進歩に伴って、メモリ素子の需要が急増している。データ蓄積手段に用いられるキャパシタは、電極の面積と電極間の距離と電極との間に差し込まれる誘電膜の誘電率によりそのキャパシタンスが変わる。
【0003】
しかし、半導体装置が高集積化することにより、半導体装置でキャパシタ形成領域が狭くなり、その結果、キャパシタの電極面積が小さくなってキャパシタのキャパシタンスが低減される。
【0004】
これによって、現在、金属膜−絶縁膜−シリコン構造(以下、“MIS”という)を有する高誘電率を有するTaON薄膜からなるキャパシタを使用しているが、前記TaON薄膜の上部の上部電極で界面特性を向上させるためにTiN膜を蒸着した後、その上部にポリシリコン膜を蒸着させるという積層構造を使用して上部電極を形成する。
【0005】
図1は、従来の半導体メモリ素子のTaON薄膜のキャパシタ製造方法に関する断面図である。
【0006】
従来の半導体素子のキャパシタ製造方法は、図1に示すように、下部電極1、例えば、ポリシリコン膜の上部に高誘電率を有する薄膜のTaON膜2を蒸着する。
【0007】
次に、前記TaON薄膜2の上部に積層構造を有するTiN/ポリシリコン膜3を蒸着する。その際、前記TiN/ポリシリコン膜の蒸着において、前駆体であるTiCl4と反応ガスNH3を用いて、CVDチャンバ内でTiN薄膜を形成してMIS構造のキャパシタを形成する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体メモリ素子のキャパシタ製造方法においては、次の問題がある。
【0009】
従来技術は、半導体素子の高集積化に伴って、安定した素子動作に必要なセル当りのキャパシタンスは変化がない一方、キャパシタセルサイズは次第に小さくなって、TaON薄膜の単一膜ではキャパシタの十分なキャパシタンスと低い漏洩電流とを同時に確保することができない。
【0010】
また、誘電膜である薄膜のTaON膜の蒸着後、上部電極であるポリシリコン膜を形成する前、TaON薄膜とポリシリコン膜との界面特性を向上させるため、前駆体であるTiCl4と反応ガスNH3とを用いてCVDチャンバ内でTiN薄膜を形成する工程が追加されるので工程コストが高くなる。
【0011】
本発明は、前述の諸点に鑑みてなされたもので、その目的は、高いキャパシタンスと低い漏洩電流とを確保し、かつ、優れた界面特性を有する半導体メモリ素子のキャパシタ製造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、単一の誘電膜構造でTaON薄膜とAl2O3膜とが積層された二重膜を誘電膜にて構成することにより、キャパシタンスと低い漏洩電流特性を確保し、前記Al2O3膜の優れた界面特性を用いてTaON薄膜と上部電極との界面特性の向上のためのTiN膜の蒸着を省略して工程が単純化できることを見いだし、本発明を完成した。
【0013】
即ち、前述の目的の達成のために構成される本発明は、半導体基板上に下部電極を形成するステップと、前記下部電極上に窒化膜を形成するステップと、前記窒化膜の上部にアモルファスTaON薄膜を形成するステップと、前記アモルファスTaON薄膜を、RTP工程を行ってアモルファスTaON薄膜内の窒化膜の含量を増加させるステップと、前記TaON薄膜の上部にAl2O3膜を蒸着して二重膜構造の誘電膜を形成するステップと、前記誘電膜のファーネス真空熱処理を行うステップと、前記Al2O3膜の上部に上部電極を形成するステップとを含んでなることを特徴とする。
【0014】
また、本発明は、半導体基板上にポリシリコンを蒸着して下部電極を形成するステップと、前記下部電極上にプラズマを用いて窒化膜を形成するステップと、前記窒化膜の上部にアモルファスTaON薄膜を形成するステップと、前記アモルファスTaON薄膜を,RTP工程を行って、アモルファスTaON薄膜内の窒化物の含量を増加させるステップと、前記アモルファスTaON薄膜の上部にAl2O3膜を形成し、前記アモルファスTaON薄膜及び前記 Al 2 O 3 膜が積層された構造の誘電膜を形成するステップと、前記Al 2 O 3 膜のファーネス真空熱処理を行って、前記誘電膜内の不純物を取り除き、前記誘電膜の結晶化及び前記アモルファスTaON薄膜内の窒化物の損失を防止するステップと、前記Al2O3膜の上部にポリシリコンを蒸着して上部電極を形成するステップとを含んでなることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら本発明の半導体素子のキャパシタ製造方法を詳細に説明する。
【0016】
本発明にかかる半導体素子のキャパシタ製造方法は、図2Aに示すように、下部電極用ポリシリコン膜10が蒸着された半導体基板(図示しない)を備える。
【0017】
次に、前記ポリシリコン膜10の表面をHFやBOE(Buffer Oxide Etchant)によりエッチングして自然酸化膜(図示しない)を取り除く。
【0018】
次に、下部電極用ポリシリコン膜10の上部にNH3ガスをプラズマ処理して窒化膜20を形成する。前記下部電極の上部に窒化膜の形成工程では、チャンバ内の圧力を0.1Torr〜1.2Torr(13.3〜159.6Pa)に保持し、基板の温度が低温の300〜500℃の温度で、10〜500ワットのR.Fパワーを印加して、10〜600秒間、NH3ガスを10〜500sccm程度の定量で供給しながらプラズマ処理を行って窒化膜20を形成する。
【0019】
次に、図2Bに示すように、前記窒化膜の上部に高誘電率を有するアモルファスTaON薄膜30を蒸着する。前記アモルファスのTaON薄膜30の形成工程では、望ましくは、PECVD(plasma enhanced CVD)工程を用いて、原料物質であるタンタルエチレート(Ta(OC2H5)5)を170〜190℃に保持される気化器で気相状態にして、0.1ないし1.2Torr(13.3〜159.6Pa)の低圧力及び300〜500℃の温度に保持され,10〜500sccmの流量でNH3ガスが供給されるチャンバ内に、Ta蒸気が0.001sccm〜2sccmの定量で供給されるようにして導入し、10〜500ワットのR.Fパワーを印加してTaON薄膜30を形成する。
【0020】
次に、後続熱工程により、前記TaON薄膜の窒化物の含量を増加させるために、NH3ガスが1〜10slmの流量で供給されるチャンバ内で、700〜850℃の温度を保持し、アニーリング時間を60〜180秒間とするRTP(rapid thermal processing)工程を行う。
【0021】
次に、図2Cに示すように、前記TaON薄膜30の上部にAl2O3膜40を蒸着して二重膜構造の誘電膜50を形成する。前記TaON薄膜30の上部へのAl2O3膜の蒸着は、原料物質である(CH3)3Alを前駆体にして、H2Oガスが流入されたチャンバ内で、200〜450℃の温度に保持し、0.1〜1Torr(13.3〜133Pa)の圧力を保持して蒸着することにより、TaON薄膜30とAl2O3膜とが積層された構造の誘電膜50を形成する。Al2O3膜40は、ALD(原子層蒸着(Atomic Layer Deposition))法により形成され、厚さ10〜50Åである。さらに、Al2O3膜の蒸着は0.01sccm〜9sccmの(CH3)3Alを前駆体として用いてチャンバー内で行われる。
【0022】
次に、後続熱工程により前記誘電膜50内の不純物除去、及び結晶化並びに前記TaON薄膜40内の窒化物の損失を防止するためにファーネス真空熱処理(furnace vaccum thermal treatment)を行う。
【0023】
前記ファーネス真空熱処理はN2ガスを用いて、600〜850℃で5〜60分のアニーリング時間を保持して行う。
【0024】
次に、図2Dに示すように、前記誘電膜50の上部に上部電極用ポリシリコン膜60を蒸着して上部電極を形成する。その際、前記上部電極用ポリシリコン膜60は、望ましくは、1000Å程度の厚さで蒸着する。
【0025】
併せて、前記下部電極の形態は、シリンダー型、または、スタック型等、各種変更が可能で、また、下部電極がメタルである構造でもよい。
【0026】
【発明の効果】
前述のように、本発明は、単一の誘電膜構造でTaON薄膜とAl2O3膜とが積層された二重膜を誘電膜にて構成することにより、キャパシタンスと低い漏洩電流特性を確保し、前記Al2O3膜の優れた界面特性を用いてTaON薄膜と上部電極との界面特性の向上のためのTiN膜の蒸着を省略して工程が単純化できる。
【0027】
これによって、電気的特性が向上した半導体メモリ素子を製造することにより、歩留まり向上の効果がある。
【0028】
また、本発明は、その要旨を外れない範囲内で各種変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の半導体素子のキャパシタ製造方法を説明するための断面図である。
【図2A】本発明の半導体素子のキャパシタ製造方法を説明するための断面図の一つであり、図2Bに続く。
【図2B】本発明の半導体素子のキャパシタ製造方法を説明するための断面図の一つであり、図2Cに続く。
【図2C】本発明の半導体素子のキャパシタ製造方法を説明するための断面図の一つであり、図2Dに続く。
【図2D】図2Cより続く図2Dは本発明の半導体素子のキャパシタ製造方法を説明するための断面図の一つである。
【符号の説明】
1 下部電極
2 TaON
3 TiN/ポリシリコン膜
10 (下部電極用)ポリシリコン膜
20 窒化膜
30 (アモルファス)TaON膜
40 Al2O3膜
50 誘電膜
60 ポリシリコン膜
Claims (17)
- 半導体基板上に下部電極を形成するステップと、
前記下部電極上に窒化膜を形成するステップと、
前記窒化膜の上部にアモルファスTaON薄膜を形成するステップと、
前記アモルファスTaON薄膜を熱処理するステップと、
前記TaON薄膜の上部にAl2O3膜を形成するステップと,
前記Al2O3膜のファーネス真空熱処理を行うステップと、
前記Al2O3膜の上部に上部電極を形成するステップ
とを含んでなることを特徴とする半導体素子のキャパシタ製造方法。 - 前記下部電極が、シリンダー型、または、スタック型構造であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記窒化膜の形成工程が、チャンバ内の圧力を0.1〜1.2Torr(13.3〜159.6Pa)に,基板の温度を低温の300〜500℃の温度に保持し、10〜500ワットのR.Fパワーを印加し、10〜600秒間、NH3ガスを10〜500sccmの定量で供給しながらプラズマ処理を行って窒化膜を形成する工程であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記アモルファスTaON薄膜の形成工程が、PECVD工程を用いて、原料物質であるタンタルエチレート(Ta(OC2H5)5)を170〜190℃に保持される気化器で気相状態にして、0.1ないし1.2Torr(13.3ないし159.6Pa)の低圧力及び300〜500℃の温度に保持され,10〜500sccmの流量でNH3ガスが供給されるチャンバ内に、Ta蒸気が0.001sccm〜2sccmの定量で供給されるようにして導入し、10〜500ワットのR.Fパワーを印加して行われことを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記アモルファスTaON薄膜を熱処理するステップが、該薄膜の窒化物の含量を増加させるためのRTP工程であり、NH3ガスが1〜10slmの流量で供給されるチャンバ内で、700〜850℃の温度を保持し、アニーリング時間を60秒〜180秒間とすることを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記TaON薄膜の上部にAl2O3膜を形成するステップが蒸着により行われ、原料物質である(CH3)3Alを前駆体にしてH2Oガスが流入されたチャンバ内で200〜450℃の温度に保持し、0.1〜1Torr(13.3〜133Pa)の圧力を保持して蒸着することを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記ファーネス真空熱処理が、N2ガスを用いて600〜850℃の温度で5〜60分のアニーリング時間を保持して行われることを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記上部電極としてポリシリコン膜を1000Åの厚さとなるように蒸着することを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記下部電極が、ポリシリコンからなることを特徴とする請求項1記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 半導体基板上に下部電極を形成するステップと、
前記下部電極上にプラズマを用いて窒化膜を形成するステップと、
前記窒化膜の上部にアモルファスTaON薄膜を形成するステップと、
前記アモルファスTaON薄膜を、RTP工程で処理してアモルファスTaON薄膜内の窒化物の含量を増加させるステップと、
前記アモルファスTaON薄膜の上部にAl2O3膜を形成し、前記アモルファスTaON薄膜及び前記 Al 2 O 3 膜が積層された構造の誘電膜を形成するステップと、
前記Al2O3膜のファーネス真空熱処理を行って、前記誘電膜内の不純物を取り除き、前記誘電膜の結晶化及び前記アモルファスTaON薄膜内の窒化物の損失を防止するステップと、
前記Al2O3膜の上部にポリシリコンを蒸着して上部電極を形成するステップ
とを含んでなることを特徴とする半導体素子のキャパシタ製造方法。 - 前記下部電極が、シリンダー型、または、スタック型構造であることを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記窒化膜の形成工程が、チャンバ内の圧力を0.1〜1.2Torr(13.3〜159.6Pa)に,基板の温度を低温の300〜500℃の温度に保持し、10〜500ワットのR.Fパワーを印加して、10〜600秒間、NH3ガスを10〜500sccmの定量で供給しながらプラズマ処理を行って形成することを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記アモルファスTaON薄膜の形成工程が、PECVD工程を用いて原料物質であるタンタルエチレート(Ta(OC2H5)5)を170〜190℃に保持される気化器で気相状態にして、0.1ないし1.2Torr(13.3ないし159.6Pa)の低圧力及び300〜500℃の温度に保持され,10〜500sccmの流量でNH3ガスが供給されるチャンバ内に、Ta蒸気が0.001sccm〜2sccmの定量で供給されるようにして導入し、10〜500ワットのR.Fパワーを印加して行われることを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記アモルファスTaON薄膜の窒化物の含量を増加させるためのRTP工程が、NH3ガスが1〜10slmの流量が供給されるチャンバ内で700〜850℃の温度を保持し、アニーリング時間を60秒〜180秒間として行われることを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記TaON薄膜の上部にAl2O3膜を形成するステップが蒸着により行われ、原料物質である(CH3)3Alを前駆体にし、H2Oガスが流入されたチャンバ内で、200〜450℃の温度に保持し、0.1〜1Torr(13.3〜133Pa)の圧力を保持して蒸着することを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記ファーネス真空熱処理が、N2ガスを用いて600〜850℃の温度で5〜60分のアニーリング時間を保持して行われることを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
- 前記上部電極として、ポリシリコン膜を1000Åの厚さとなるように蒸着することを特徴とする請求項10記載の半導体素子のキャパシタ製造方法。
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