JP4042730B2 - 強誘電体メモリおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記特許文献1に記載された方法と比較して、複数の誘電体キャパシタ間に寄生容量が生じ難い方法で、強誘電体メモリの強誘電体層に水素が入ることを確実に防止することを課題とする。
さらに、本発明の強誘電体メモリの製造方法では、下部電極用薄膜、誘電体薄膜、および上部電極用薄膜を積層した後にパターニングすることにより、強誘電体キャパシタを前記各コンタクトプラグ上に形成するため、上記特許文献1に記載された方法(同じプレート線に接続する複数の誘電体キャパシタの上部電極と強誘電体層を共通に形成する方法)と比較して、同じプレート線に接続された複数の誘電体キャパシタ間に寄生容量が生じ難い。
本発明の強誘電体メモリの製造方法においては、前記下部配線上に形成する前記上部配線層との接続用コンタクトホールの平面形状を、プレート線に平行な方向の寸法がプレート線に直交する方向の寸法より小さいものとすることが好ましい。
(1) ゲートおよびソースドレイン領域からなる電界効果トランジスタが形成された半導体基板上に、第1の絶縁膜を形成する工程。
(2) 前記第1の絶縁膜を貫通する第1のコンタクトホールを前記ソースドレイン領域の上に形成する工程。
(3) 前記第1のコンタクトホール内に導電性材料を充填して下部コンタクトプラグを形成する工程。
(4) 前記下部コンタクトプラグおよび前記第1の絶縁膜上に導電性薄膜を形成した後パターニングして、前記下部コンタクトプラグ上に、上部コンタクトプラグとの接続用電極であるプラグ接続部を、前記第1の絶縁膜上の所定位置に、同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタの全ての上部電極を接続する上部配線層と前記プレート線との接続用配線である下部配線を、それぞれ形成する工程。
(5) 前記プラグ接続部、前記下部配線、および前記第1の絶縁膜上に、第2の絶縁膜を形成した後、第2の絶縁膜の上面を平坦にする工程。
(6) 前記第2の絶縁膜の上に第1の水素バリア層を形成する工程。
(7) 前記第1の水素バリア層の上に第3の絶縁膜を形成する工程。
(8) 前記第2の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第3の絶縁膜を貫通する第2のコンタクトホールを、前記プラグ接続部上に形成する工程。
(9) 前記第2のコンタクトホール内に導電性材料を充填して上部コンタクトプラグを形成する工程。
(10)前記上部コンタクトプラグおよび第3の絶縁膜の上に、下部電極用薄膜、強誘電体薄膜、および上部電極用薄膜を順に形成する工程。
(11)前記下部電極用薄膜、誘電体薄膜、および上部電極用薄膜をパターニングして、下部電極、強誘電体層、および上部電極からなる強誘電体キャパシタを前記上部コンタクトプラグ上に形成する工程。
(12)前記強誘電体キャパシタの側面と前記上部電極の上面を、第2の水素バリア層で覆う工程。
(13)前記第2の水素バリア層および前記第3の絶縁膜の上に、第4の絶縁膜を形成する工程。
(14)前記第4の絶縁膜および前記第2の水素バリア層を貫通する第3のコンタクトホールを前記上部電極の上に形成し、前記第2の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第3の絶縁膜を貫通する第4のコンタクトホールを、前記下部配線上の、同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタ間となる部分に形成する工程。
(15)前記第3および第4のコンタクトホールの底面および側面と、前記第4の絶縁膜の上に導電性膜を形成してパターニングすることにより、前記上部配線層を、前記上部電極および前記下部配線の所定部分と接続するように形成する工程。
(16)前記上部配線層の上に第3の水素バリア層を、前記第2の水素バリア層を囲うように、且つ端部の全てが前記第1の水素バリア層と接触するように形成する工程。
(17)前記第3の水素バリア層の上に第5の絶縁膜を形成する工程。
(18)前記第5の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第2の絶縁膜を貫通する第5のコンタクトホールを、前記下部配線上の前記プレート線の下方となる位置に形成する工程。
(19)前記第5のコンタクトホール内に導電性材料を充填して、プレート線接続用コンタクトプラグを形成する工程。
(20)前記第5の絶縁膜の上に導電性薄膜を形成した後にパターニングすることにより、前記プレート線接続用コンタクトプラグ上にプレート線を形成する工程。
図1〜4は、この実施形態の「強誘電体メモリの製造方法」の各工程を説明する断面図である。図5は、この実施形態の「強誘電体メモリの製造方法」の各工程を説明する平面図である。図1〜3は、図5のA−A断面に対応する図であり、メモリのワード線に平行な断面図に相当する。図4は、図5のB−B断面に対応する図であり、メモリのビット線に平行な(ワード線およびプレート線に直交する)断面図に相当する。また、図5の「C」は、電界効果トランジスタのゲートとビット線とを接続するためのコンタクトホールを示す。
次に、下部コンタクトプラグ22および第1の絶縁膜2上に、導電性薄膜を形成した後、これをパターニングする。ここでは、導電性薄膜として、Ti膜を厚さ15nmでTiN膜を厚さ100nmで、この順に形成した。これにより、下部コンタクトプラグ22の上に、上部コンタクトプラグとの接続用電極であるプラグ接続部31を形成し、第1の絶縁膜2上の所定位置に、強誘電体キャパシタ7の上部電極とプレート線Pとの接続用電極である下部配線32を形成する(図4および図5も参照)。図1(a)は、ここまでの工程後の図である。
次に、第2の絶縁膜4、第1の水素バリア層5、および第3の絶縁膜6を貫通する第2のコンタクトホール61を、プラグ接続部31上に形成する。次に、第2のコンタクトホール61内に導電性材料を充填して、上部コンタクトプラグ62を形成する。ここでは、第2のコンタクトホール61内に、Ti膜を厚さ15nmでTiN膜を厚さ100nmでこの順に形成した後、タングステンを600nm堆積し、CMP法で第3の絶縁膜6が露出するまで研磨することにより、ウエハ上面を平坦化した。図1(b)は、ここまでの工程後の図である。
次に、図2(a)に示すように、強誘電体キャパシタ7の側面と上部電極7cの上面を第2の水素バリア層8で覆う。第2の水素バリア層8の形成は、図1(d)の状態のウエハに、水素バリア性能を有する絶縁性膜であるAl2 O3 膜を、厚さ60nmで反応性スパッタリング法により形成した後、フォトリソ・エッチング法によりパターニングすることで行った。
第4の絶縁膜81としては、テトラエトキシシラン(TEOS)を主原料としたプラズマCVD法により、SiO2 膜を200nmの厚さで形成した。
次に、図4に示すように、下部配線32のプレート線Pの下側となる位置に、第5の絶縁膜93、第1の水素バリア層5、および第2の絶縁膜4を貫通して下部配線32に至る第5のコンタクトホール94を形成する。
このようにして得られた強誘電体メモリは、複数の強誘電体キャパシタ7の下部電極7aの下に第1の水素バリア層5が形成され、複数の強誘電体キャパシタ7の上面と側面が第2の水素バリア層8で覆われている。また、同じプレート線Pに接続される複数の強誘電体キャパシタ7の全ての上部電極7cが、第2の水素バリア層8の上に形成された上部配線層91で接続されている。また、上部配線層91の上に第3の水素バリア層92が第2の水素バリア層8を囲うように形成され、第3の水素バリア層92の縁部92aが全て第1の水素バリア層5と接触している。また、上部配線層91とプレート線Pが、第1の水素バリア層5の下側の絶縁層4に設けた下部配線32を介して接続されている。
Claims (5)
- 複数の強誘電体キャパシタとこれに接続されたトランジスタを備え、強誘電体キャパシタの下部電極と対応するトランジスタのソースドレイン領域とが、それぞれコンタクトプラグで直結されているスタック型の強誘電体メモリにおいて、
前記複数の強誘電体キャパシタの下部電極の下に第1の水素バリア層が形成され、前記複数の強誘電体キャパシタの上面と側面が第2の水素バリア層で覆われ、
同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタの全ての上部電極が、前記第2の水素バリア層の上に形成された上部配線層で接続され、
前記上部配線層の上に、第3の水素バリア層が前記第2の水素バリア層を囲うように形成され、
前記第3の水素バリア層の端部が全て、前記第1の水素バリア層と接触し、
前記上部配線層と前記プレート線が、前記第1の水素バリア層の下側の絶縁層に設けた下部配線を介して接続されていることを特徴とする強誘電体メモリ。 - 複数の強誘電体キャパシタとこれに接続されたトランジスタを備え、強誘電体キャパシタの下部電極と対応するトランジスタのソースドレイン領域とが、それぞれコンタクトプラグで直結されているスタック型の強誘電体メモリを製造する方法において、
前記複数の強誘電体キャパシタの下部電極の下側となる位置に、第1の水素バリア層を形成する工程と、
下部電極用薄膜、誘電体薄膜、および上部電極用薄膜を積層した後にパターニングすることにより、下部電極、強誘電体層、および上部電極からなる強誘電体キャパシタを、前記各コンタクトプラグ上に形成する工程と、
前記工程で形成された複数の強誘電体キャパシタの上面と側面を、第2の水素バリア層で覆う工程と、
前記第1の水素バリア層の下側となる位置に形成された絶縁層に、同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタの全ての上部電極を接続する上部配線層と前記プレート線との接続用の下部配線を形成する工程と、
前記上部配線層を、前記第2の水素バリア層の上に、前記上部電極および前記下部配線の所定部分と接続するように形成する工程と、
前記上部配線層の上に第3の水素バリア層を、前記第2の水素バリア層を囲うように、且つ、端部が全て前記第1の水素バリア層と接触するように形成する工程と、
前記下部配線の前記プレート線の下方となる位置にコンタクトプラグを形成する工程と、
前記コンタクトプラグ上に前記プレート線を形成する工程と、を備えたことを特徴とする強誘電体メモリの製造方法。 - 前記第3の水素バリア層を二層の絶縁性膜の間に導電性膜を挟んだ積層構造とした請求項2記載の強誘電体メモリの製造方法。
- 前記下部配線上に形成する前記上部配線層との接続用コンタクトホールの平面形状を、プレート線に平行な方向の寸法がプレート線に直交する方向の寸法より小さいものとする請求項2記載の強誘電体メモリの製造方法。
- ゲートおよびソースドレイン領域からなる電界効果トランジスタが形成された半導体基板上に、第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜を貫通する第1のコンタクトホールを前記ソースドレイン領域の上に形成する工程と、
前記第1のコンタクトホール内に導電性材料を充填して下部コンタクトプラグを形成する工程と、
前記下部コンタクトプラグおよび前記第1の絶縁膜上に導電性薄膜を形成した後パターニングして、前記下部コンタクトプラグ上に、上部コンタクトプラグとの接続用電極であるプラグ接続部を、前記第1の絶縁膜上の所定位置に、同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタの全ての上部電極を接続する上部配線層と前記プレート線との接続用配線である下部配線を、それぞれ形成する工程と、
前記プラグ接続部、前記下部配線、および前記第1の絶縁膜上に、第2の絶縁膜を形成した後、第2の絶縁膜の上面を平坦にする工程と、
前記第2の絶縁膜の上に第1の水素バリア層を形成する工程と、
前記第1の水素バリア層の上に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第3の絶縁膜を貫通する第2のコンタクトホールを、前記プラグ接続部上に形成する工程と、
前記第2のコンタクトホール内に導電性材料を充填して上部コンタクトプラグを形成する工程と、
前記上部コンタクトプラグおよび第3の絶縁膜の上に、下部電極用薄膜、強誘電体薄膜、および上部電極用薄膜を順に形成する工程と、
前記下部電極用薄膜、誘電体薄膜、および上部電極用薄膜をパターニングして、下部電極、強誘電体層、および上部電極からなる強誘電体キャパシタを前記上部コンタクトプラグ上に形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタの側面と前記上部電極の上面を第2の水素バリア層で覆う工程と、
前記第2の水素バリア層および前記第3の絶縁膜の上に第4の絶縁膜を形成する工程と、
前記第4の絶縁膜および前記第2の水素バリア層を貫通する第3のコンタクトホールを前記上部電極の上に形成し、前記第2の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第3の絶縁膜を貫通する第4のコンタクトホールを、前記下部配線上の、同じプレート線に接続される複数の強誘電体キャパシタ間となる部分に形成する工程と、
前記第3および第4のコンタクトホールの底面および側面と、前記第4の絶縁膜の上に導電性膜を形成してパターニングすることにより、前記上部配線層を、前記上部電極および前記下部配線の所定部分と接続するように形成する工程と、
前記上部配線層の上に第3の水素バリア層を、前記第2の水素バリア層を囲うように、且つ端部の全てが前記第1の水素バリア層と接触するように形成する工程と、
前記第3の水素バリア層の上に第5の絶縁膜を形成する工程と、
前記第5の絶縁膜、第1の水素バリア層、および第2の絶縁膜を貫通する第5のコンタクトホールを、前記下部配線上の前記プレート線の下方となる位置に形成する工程と、
前記第5のコンタクトホール内に導電性材料を充填して、プレート線接続用コンタクトプラグを形成する工程と、
前記第5の絶縁膜の上に導電性薄膜を形成した後にパターニングすることにより、前記プレート線接続用コンタクトプラグ上にプレート線を形成する工程と、
をこの順に行うことを特徴とする強誘電体メモリの製造方法。
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