JP2009071142A - 強誘電体メモリ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】水素バリア膜の下層との間においてエッチングの十分な選択比が得られると共に、コンタクトホールの形成工程を簡略化した強誘電体メモリ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板上に強誘電体キャパシタ3を形成する工程と、強誘電体キャパシタ3を被覆する水素バリア膜12を形成する工程と、水素バリア膜12を被覆する層間絶縁膜13を形成する工程と、C4F8ガススとO2ガスとを少なくとも含む混合ガスを用いたエッチングにより層間絶縁膜13及び水素バリア膜12を貫通する貫通孔21を形成する工程とを備え、C4F8ガスの流量がO2ガスの流量に対して0.77倍以上3.8倍以下である。
【選択図】図2
【解決手段】半導体基板上に強誘電体キャパシタ3を形成する工程と、強誘電体キャパシタ3を被覆する水素バリア膜12を形成する工程と、水素バリア膜12を被覆する層間絶縁膜13を形成する工程と、C4F8ガススとO2ガスとを少なくとも含む混合ガスを用いたエッチングにより層間絶縁膜13及び水素バリア膜12を貫通する貫通孔21を形成する工程とを備え、C4F8ガスの流量がO2ガスの流量に対して0.77倍以上3.8倍以下である。
【選択図】図2
Description
本発明は、強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリ装置の製造方法に関する。
強誘電体メモリ装置(FeRAM)は、強誘電体材料の自発分極を利用した低電圧及び高速動作が可能な不揮発性メモリであり、メモリセルが1トランジスタ/1キャパシタ(1T/1C)で構成できる。そのため、DRAM並の集積化が可能であることから、大容量の不揮発性メモリとして期待されている。
ここで、強誘電体材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3:PZT)などのペロブスカイト型酸化物やタンタル酸ビスマスストロンチウム(SrBi2TaO9:SBT)などのビスマス層状化合物などが挙げられる。
ここで、強誘電体材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3:PZT)などのペロブスカイト型酸化物やタンタル酸ビスマスストロンチウム(SrBi2TaO9:SBT)などのビスマス層状化合物などが挙げられる。
強誘電体メモリ装置を構成する強誘電体キャパシタの周辺には、外界から侵入する水素などの還元種を阻止する水素バリア膜が設けられている。これにより、強誘電体材料において酸素欠損が生じ、強誘電体キャパシタの電気特性が劣化することを防止している。
また、強誘電体キャパシタは、水素バリア膜を被覆する層間絶縁膜上に形成された配線と、水素バリア膜及び層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールに形成されたプラグを介して導通している(例えば、特許文献1参照)。
コンタクトホールは、ドライエッチング法を用いて形成されている。ここで、層間絶縁膜にコンタクトホールを形成する際は、エッチングガスとして例えばCHF3ガスとCF4ガスとArガスとを含む混合ガスが用いられている。そして、水素バリア膜にコンタクトホールを形成する際は、エッチングガスとして例えばBCl3ガスとCl2ガスとを含む混合ガスが用いられている。
特開2006−108268号公報
また、強誘電体キャパシタは、水素バリア膜を被覆する層間絶縁膜上に形成された配線と、水素バリア膜及び層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールに形成されたプラグを介して導通している(例えば、特許文献1参照)。
コンタクトホールは、ドライエッチング法を用いて形成されている。ここで、層間絶縁膜にコンタクトホールを形成する際は、エッチングガスとして例えばCHF3ガスとCF4ガスとArガスとを含む混合ガスが用いられている。そして、水素バリア膜にコンタクトホールを形成する際は、エッチングガスとして例えばBCl3ガスとCl2ガスとを含む混合ガスが用いられている。
しかしながら、上記従来の強誘電体メモリ装置の製造方法においても、以下の課題が残されている。すなわち、BCl3ガスとCl2ガスとを含む混合ガスを用いたエッチングでは、水素バリア膜の下層に形成されたIr膜などのエッチング速度が速いため、十分な選択比を得ることができない。そのため、オーバーエッチによりIr膜などが過剰に削られてしまうという問題がある。
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、水素バリア膜の下層との間においてエッチングの十分な選択比が得られると共に、コンタクトホールの形成工程を簡略化した強誘電体メモリ装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明にかかる強誘電体メモリ装置の製造方法は、基板上に強誘電体キャパシタを形成する工程と、該強誘電体キャパシタを被覆する水素バリア膜を形成する工程と、該水素バリア膜を被覆する絶縁膜を形成する工程と、パーフルオロカーボンガス及び酸素ガスを含む混合ガスを用いたエッチングにより前記絶縁膜及び前記水素バリア膜を貫通する貫通孔を形成する工程とを備え、前記パーフルオロカーボンガスの流量が、前記酸素ガスの流量に対して0.77倍以上3.8倍以下であることを特徴とする。
この発明では、強誘電体材料に対する還元種である水素を構成元素として含まないパーフルオロカーボンガスを用い、パーフルオロカーボンガスの流量を酸素ガスに対して0.77倍以上3.8倍以下とすることで、絶縁膜及び水素バリア膜それぞれを十分な速度でエッチングすることができると共に水素バリア膜の下層との間におけるエッチングの十分な選択比が得られる。また、絶縁膜のエッチング及び水素バリア膜のエッチングそれぞれでエッチングガスを変更する必要がなくなるため、製造工程の簡略化が図れる。
すなわち、パーフルオロカーボンガスの流量を酸素ガスに対して0.77倍以上とすることで、貫通孔の形成時においてマスクとして用いるレジスト層がプラズマにさらされることによって発生したポリマーが堆積することを防止し、層間絶縁膜及び水素バリア膜それぞれを安定してエッチングすることができる。
また、パーフルオロカーボンガスの流量を酸素ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜を安定した速度でエッチングすることができると共に、エッチング時にレジスト層が過度に削れて貫通孔の加工精度が低下することを防止できる。
そして、強誘電体材料に対する還元種となる水素を構成元素として含まないパーフルオロカーボンガスを用いることで、水素バリア膜のエッチング時に強誘電体材料において酸素欠損が発生することを防止できる。
すなわち、パーフルオロカーボンガスの流量を酸素ガスに対して0.77倍以上とすることで、貫通孔の形成時においてマスクとして用いるレジスト層がプラズマにさらされることによって発生したポリマーが堆積することを防止し、層間絶縁膜及び水素バリア膜それぞれを安定してエッチングすることができる。
また、パーフルオロカーボンガスの流量を酸素ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜を安定した速度でエッチングすることができると共に、エッチング時にレジスト層が過度に削れて貫通孔の加工精度が低下することを防止できる。
そして、強誘電体材料に対する還元種となる水素を構成元素として含まないパーフルオロカーボンガスを用いることで、水素バリア膜のエッチング時に強誘電体材料において酸素欠損が発生することを防止できる。
また、本発明における強誘電体メモリ装置の製造方法は、前記酸素ガスの流量が、2sccm以上10sccm以下であることが好ましい。
この発明では、酸素ガスの流量を2sccm以上10sccm以下とすることで、エッチストップ層が形成されること及び貫通孔の加工精度が低下することを防止する。
この発明では、酸素ガスの流量を2sccm以上10sccm以下とすることで、エッチストップ層が形成されること及び貫通孔の加工精度が低下することを防止する。
また、本発明における強誘電体メモリ装置の製造方法は、前記混合ガスが、一酸化炭素ガスを含むことが好ましい。
この発明では、貫通孔の形成時に、マスクとして用いるレジスト層がエッチングされにくくなる。これにより、貫通孔の加工精度が維持できる。
この発明では、貫通孔の形成時に、マスクとして用いるレジスト層がエッチングされにくくなる。これにより、貫通孔の加工精度が維持できる。
以下、本発明における強誘電体メモリ装置の製造方法の一実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために縮尺を適宜変更している。ここで、図1は強誘電体メモリ装置の製造方法により製造される強誘電体メモリ装置を模式的に示す拡大断面図、図2は強誘電体メモリ装置の製造方法を示す工程図である。
〔強誘電体メモリ装置〕
まず、本実施形態における強誘電体メモリ装置の製造方法により製造される強誘電体メモリ装置を、図1を参照しながら説明する。
強誘電体メモリ装置1は、1トランジスタ/1キャパシタ(1T/1C)型のメモリセル構造を有するスタック型であって、図1に示すように、半導体基板(基板)2と、半導体基板2上に形成された強誘電体キャパシタ3及びトランジスタ4とを備えている。
まず、本実施形態における強誘電体メモリ装置の製造方法により製造される強誘電体メモリ装置を、図1を参照しながら説明する。
強誘電体メモリ装置1は、1トランジスタ/1キャパシタ(1T/1C)型のメモリセル構造を有するスタック型であって、図1に示すように、半導体基板(基板)2と、半導体基板2上に形成された強誘電体キャパシタ3及びトランジスタ4とを備えている。
半導体基板2は、例えばSi(シリコン)によって構成されており、上面に順に第1層間絶縁膜11、水素バリア膜12及び第2層間絶縁膜(絶縁膜)13が積層されている。
第1層間絶縁膜11は、例えばSiO2(酸化ケイ素)で構成されており、半導体基板2上に形成されたトランジスタ4を被覆している。また、第1層間絶縁膜11の後述するドレイン領域42上には、貫通孔15が形成されており、プラグ16が充填されている。
プラグ16は、貫通孔15内に充填された導電材料で構成されており、例えばW(タングステン)やMo(モリブデン)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)、Ni(ニッケル)などで形成されている。
第1層間絶縁膜11は、例えばSiO2(酸化ケイ素)で構成されており、半導体基板2上に形成されたトランジスタ4を被覆している。また、第1層間絶縁膜11の後述するドレイン領域42上には、貫通孔15が形成されており、プラグ16が充填されている。
プラグ16は、貫通孔15内に充填された導電材料で構成されており、例えばW(タングステン)やMo(モリブデン)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)、Ni(ニッケル)などで形成されている。
水素バリア膜12は、例えばAlOx(アルミナ)で形成されている。そして、水素バリア膜12は、第1層間絶縁膜11上に形成された強誘電体キャパシタ3の上面及び側面を被覆している。
第2層間絶縁膜13は、図1に示すように、第1層間絶縁膜11と同様に、例えばSiO2で形成されている。そして、第2層間絶縁膜13は、水素バリア膜12を被覆している。また、第2層間絶縁膜13及び水素バリア膜12には、貫通孔21が形成されている。
なお、第2層間絶縁膜13の上面と、貫通孔21の内壁面と、強誘電体キャパシタ3の上面において貫通孔21により露出している領域とには、プラグ22との密着性を向上させるための密着層(図示略)が形成されている。密着層は、例えばTiNやTiAlN、これらの積層膜などのように水素バリア性を有する材料により形成されている。
第2層間絶縁膜13は、図1に示すように、第1層間絶縁膜11と同様に、例えばSiO2で形成されている。そして、第2層間絶縁膜13は、水素バリア膜12を被覆している。また、第2層間絶縁膜13及び水素バリア膜12には、貫通孔21が形成されている。
なお、第2層間絶縁膜13の上面と、貫通孔21の内壁面と、強誘電体キャパシタ3の上面において貫通孔21により露出している領域とには、プラグ22との密着性を向上させるための密着層(図示略)が形成されている。密着層は、例えばTiNやTiAlN、これらの積層膜などのように水素バリア性を有する材料により形成されている。
プラグ22は、例えばWやMo、Ta、Ti、Niなどで形成されている。
また、第2層間絶縁膜13上には、プラグ22と導通する配線23が形成されている。配線23は、例えばAlなどの導電材料で形成されている。なお、配線23の表面には、反射防止膜(図示略)が形成されている。
また、第2層間絶縁膜13上には、プラグ22と導通する配線23が形成されている。配線23は、例えばAlなどの導電材料で形成されている。なお、配線23の表面には、反射防止膜(図示略)が形成されている。
強誘電体キャパシタ3は、第1層間絶縁膜11及びプラグ16上に形成されており、下層から順に、導電膜31、酸素バリア膜32、下部電極33、強誘電体膜34及び上部電極35を積層した構成となっている。
導電膜31は、例えばTiNなどの導電材料で構成されており、プラグ16と強誘電体キャパシタ3との導通を図っている。
酸素バリア膜32は、例えばTiAlN、TiAl、TiSiN、TiN、TaN、TaSiNなどの酸素バリア性を有する材料で形成されている。
導電膜31は、例えばTiNなどの導電材料で構成されており、プラグ16と強誘電体キャパシタ3との導通を図っている。
酸素バリア膜32は、例えばTiAlN、TiAl、TiSiN、TiN、TaN、TaSiNなどの酸素バリア性を有する材料で形成されている。
下部電極33は、例えばIr(イリジウム)、Pt(白金)、Ru(ルテニウム)、Rh(ロジウム)、Pd(パラジウム)、Os(オスミウム)のうちから少なくとも1つまたはこれらの合金あるいはこれらの酸化物からなる。ここで、下部電極33は、IrまたはPtからなることが好ましく、Irからなることがより好ましい。なお、下部電極33は、単層膜であっても、積層した多層膜であってもよい。
そして、下部電極33が結晶質である場合には、図1に示すように、下部電極33の結晶配向と酸素バリア膜32の結晶配向が互いに接触する界面においてエピタキシャルの方位関係となることが好ましい。このとき、下部電極33の結晶配向と強誘電体膜34の結晶配向とも、互いに接触する界面においてエピタキシャルの方位関係となることが好ましい。
例えば、酸素バリア膜32が立法晶系に属してその結晶配向が(111)配向である場合、または酸素バリア膜32が六方方晶系に属してその結晶配向が(001)配向である場合、下部電極33の結晶配向が(111)配向であることが好ましい。この構成によれば、下部電極33上に強誘電体膜34を形成する場合において、強誘電体膜34の結晶配向を(111)配向とすることが容易になる。
例えば、酸素バリア膜32が立法晶系に属してその結晶配向が(111)配向である場合、または酸素バリア膜32が六方方晶系に属してその結晶配向が(001)配向である場合、下部電極33の結晶配向が(111)配向であることが好ましい。この構成によれば、下部電極33上に強誘電体膜34を形成する場合において、強誘電体膜34の結晶配向を(111)配向とすることが容易になる。
強誘電体膜34は、A1−bB1−aXaO3の一般式で示されるペロブスカイト型の結晶構造を有する強誘電体材料で形成されている。ここで、上記一般式中のAは、Pbからなり、Pbの一部をLaに置換してもよい。また、Bは、Zr(ジルコニウム)及びTiのうちの少なくとも一方からなる。そして、Xは、V(バナジウム)、Nb(ニオブ)、Ta、Cr(クロム)、Mo、W、Ca(カルシウム)、Sr(ストロンチウム)及びMg(マグネシウム)のうちの少なくとも1つからなる。このとき、強誘電体膜34を構成する強誘電体材料としては、例えばPZTやSBT、(Bi,La)4Ti3O12(チタン酸ビスマスランタン:BLT)などの公知の材料を用いることができ、なかでもPZTであることが好ましい。
ここで、強誘電体材料としてPZTを用いるときには、強誘電体キャパシタ3の信頼性の観点から下部電極33としてIrを用いることが好ましい。
また、強誘電体材料としてPZTを用いる場合には、より大きな自発分極量を獲得するため、上述したようにPZTにおけるTiの含有量をZrの含有量より多くすることが好ましい。さらに、強誘電体膜34がPZTで構成され、PZTにおけるTiの含有量がZrの含有量よりも多い場合には、ヒステリシス特性が良好である点で、PZTの結晶配向が(111)配向であることが好ましい。
また、強誘電体材料としてPZTを用いる場合には、より大きな自発分極量を獲得するため、上述したようにPZTにおけるTiの含有量をZrの含有量より多くすることが好ましい。さらに、強誘電体膜34がPZTで構成され、PZTにおけるTiの含有量がZrの含有量よりも多い場合には、ヒステリシス特性が良好である点で、PZTの結晶配向が(111)配向であることが好ましい。
上部電極35は、上述した下部電極33と同様の材料やAl、Ag(銀)、Niなどからなる。なお、上部電極35は、単層膜であっても、積層した多層膜であってもよい。ここで、上部電極35は、PtまたはIrOxとIrとの多層膜からなることが好ましい。
トランジスタ4は、図1に示すように、半導体基板2の表層に形成されたソース領域41、ドレイン領域42及びチャネル領域(図示略)と、チャネル領域上に形成されたゲート絶縁膜43と、ゲート絶縁膜43上に形成されたゲート電極44とを備えている。そして、トランジスタ4は、ドレイン領域42上に形成されたプラグ16と導通している。
また、トランジスタ4は、半導体基板2に間隔をおいて複数形成されており、隣接する他のトランジスタ4との間に設けられた素子分離領域45によって互いの絶縁が図られている。
また、トランジスタ4は、半導体基板2に間隔をおいて複数形成されており、隣接する他のトランジスタ4との間に設けられた素子分離領域45によって互いの絶縁が図られている。
〔強誘電体メモリ装置の製造方法〕
次に、上述した強誘電体メモリ装置1の製造方法について、図2を参照しながら説明する。
最初に、半導体基板2にトランジスタ4を形成すると共にトランジスタ4を被覆する第1層間絶縁膜11を形成する。そして、第1層間絶縁膜11を貫通する貫通孔15を形成し、プラグ16でこの貫通孔15を充填する。
次に、第1層間絶縁膜11上に強誘電体キャパシタ3を形成する(図2(a))。ここでは、第1層間絶縁膜11上に導電膜31の構成材料からなる膜と、酸素バリア膜32の構成材料からなる膜と、下部電極33の構成材料からなる膜と、強誘電体膜34の構成材料からなる膜と、上部電極35の構成材料からなる膜とを積層して形成する。そして、これらをフォトリソグラフィ技術などによりパターニングする。これにより、強誘電体キャパシタ3を形成する。このとき、酸素バリア膜32がプラグ16と導通する。
次に、上述した強誘電体メモリ装置1の製造方法について、図2を参照しながら説明する。
最初に、半導体基板2にトランジスタ4を形成すると共にトランジスタ4を被覆する第1層間絶縁膜11を形成する。そして、第1層間絶縁膜11を貫通する貫通孔15を形成し、プラグ16でこの貫通孔15を充填する。
次に、第1層間絶縁膜11上に強誘電体キャパシタ3を形成する(図2(a))。ここでは、第1層間絶縁膜11上に導電膜31の構成材料からなる膜と、酸素バリア膜32の構成材料からなる膜と、下部電極33の構成材料からなる膜と、強誘電体膜34の構成材料からなる膜と、上部電極35の構成材料からなる膜とを積層して形成する。そして、これらをフォトリソグラフィ技術などによりパターニングする。これにより、強誘電体キャパシタ3を形成する。このとき、酸素バリア膜32がプラグ16と導通する。
続いて、強誘電体キャパシタ3を被覆する水素バリア膜12を形成する(図2(b))。ここでは、第1層間絶縁膜11及び強誘電体キャパシタ3を被覆するように、CVD法によりAlOx膜を形成する。
なお、CVD法以外に、スパッタ法によってAlOx膜を形成してもよい。
また、強誘電体キャパシタ3中の強誘電体膜34は、その成膜条件などによっては酸素欠損を起こしている場合がある。したがって、水素バリア膜12を形成した後、必要に応じて酸素雰囲気で加熱処理を行い、水素バリア膜12を介して強誘電体膜34に酸素を供給して酸素欠損を補填してもよい。ここで、加熱処理の温度としては、例えば550℃〜750℃であり、600℃〜750℃であることが好ましい。
なお、CVD法以外に、スパッタ法によってAlOx膜を形成してもよい。
また、強誘電体キャパシタ3中の強誘電体膜34は、その成膜条件などによっては酸素欠損を起こしている場合がある。したがって、水素バリア膜12を形成した後、必要に応じて酸素雰囲気で加熱処理を行い、水素バリア膜12を介して強誘電体膜34に酸素を供給して酸素欠損を補填してもよい。ここで、加熱処理の温度としては、例えば550℃〜750℃であり、600℃〜750℃であることが好ましい。
そして、水素バリア膜12を被覆する第2層間絶縁膜13を形成する(図2(c))。ここでは、強誘電体キャパシタ3に対するダメージが十分に小さい成膜法である、TEOS(テトラエトキシシラン)を原料としたプラズマCVD法(プラズマTEOS法)によりSiO2膜を形成する。この後、CMP処理によりSiO2膜の上面を平坦化する。なお、プラズマTEOS法以外に、スパッタ法によってSiO2膜を形成してもよい。
続いて、第2層間絶縁膜13及び水素バリア膜12それぞれに貫通孔21を形成する(図2(d))。ここでは、第2層間絶縁膜13の上面に形成されて貫通孔21の形成領域に開口を有するレジスト層(図示略)をマスクとし、ドライエッチング法により貫通孔21を形成する。なお、エッチング装置としては、例えばAlliance4520XL(ラムリサーチ社製)を用いている。
ここで、ドライエッチング時におけるガスの流量及び高周波バイアスパワーそれぞれを変更したときの第2層間絶縁膜13を構成するSiO2膜のエッチングレート及び水素バリア膜12を構成するAlOx膜のエッチングレートそれぞれを、表1に示す。
ここで、ドライエッチング時におけるガスの流量及び高周波バイアスパワーそれぞれを変更したときの第2層間絶縁膜13を構成するSiO2膜のエッチングレート及び水素バリア膜12を構成するAlOx膜のエッチングレートそれぞれを、表1に示す。
表1に示すように、エッチング時にチャンバ内に導入される混合ガスは、パーフルオロカーボンガスであるC4F8ガスと、O2ガスと、COガスと、Arガスと、N2ガスとの混合ガスとなっている。
そして、表1の条件1、2に示すように、C4F8ガス及びO2ガスに対するC4F8ガスの割合を低くすると、第2層間絶縁膜13を構成するSiO2膜のエッチングレートが水素バリア膜12を構成するAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
また、条件1、4に示すように、C4F8ガス及びO2ガスの流量を多くすると、SiO2膜のエッチングレートがAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
さらに、条件1、3に示すように、高周波バイアスパワーを大きくすると、SiO2膜のエッチングレートがAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
そこで、本実施形態では、貫通孔21の形成時におけるドライエッチング条件を、条件1としている。
そして、表1の条件1、2に示すように、C4F8ガス及びO2ガスに対するC4F8ガスの割合を低くすると、第2層間絶縁膜13を構成するSiO2膜のエッチングレートが水素バリア膜12を構成するAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
また、条件1、4に示すように、C4F8ガス及びO2ガスの流量を多くすると、SiO2膜のエッチングレートがAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
さらに、条件1、3に示すように、高周波バイアスパワーを大きくすると、SiO2膜のエッチングレートがAlOx膜のエッチングレートに対して高くなる。
そこで、本実施形態では、貫通孔21の形成時におけるドライエッチング条件を、条件1としている。
そして、条件1で第2層間絶縁膜13及び水素バリア膜12をエッチングすると、C4F8ガスの流量をO2ガスに対して0.77倍以上としているため、貫通孔21の形成時においてマスクとして用いているレジスト層がプラズマにさらされて発生したポリマーが除去される。これにより、レジスト層の開口内にポリマーによるエッチストップ層が形成されにくくなる。
また、C4F8ガスの流量をO2ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜13を安定した速度でエッチングされる。そして、エッチング時にレジスト層が過度に削れて開口形状が変化することが抑制される。
また、C4F8ガスの流量をO2ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜13を安定した速度でエッチングされる。そして、エッチング時にレジスト層が過度に削れて開口形状が変化することが抑制される。
以上のように、貫通孔21を形成することにより、強誘電体キャパシタ3の上面の一部が露出する。
その後、貫通孔22を充填するプラグ22と配線23とを形成する。以上のようにして、図1に示すような強誘電体メモリ装置1を製造する。
その後、貫通孔22を充填するプラグ22と配線23とを形成する。以上のようにして、図1に示すような強誘電体メモリ装置1を製造する。
以上のように、本実施形態における強誘電体メモリ装置1の製造方法によれば、C4F8ガスの流量をO2ガスの流量に対して0.77倍以上とすることで、レジスト層に起因するエッチストップ層の形成を抑制する。これにより、第2層間絶縁膜13及び水素バリア膜12それぞれが安定してエッチングされると共に水素バリア膜12の下層との間におけるエッチングの十分な選択比が得られる。また、第2層間絶縁膜13のエッチング時と水素バリア膜12のエッチング時とでエッチングガスを変更する必要がないため、製造工程が簡略化される。
また、C4F8ガスの流量をO2ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜13が安定した速度でエッチングされる。そして、エッチング時にレジスト層が過度に削れて開口形状が変化することが抑制される。
ここで、C4F8ガスを用いることで、貫通孔21の形成時に強誘電体膜34に酸素欠損が発生することを防止できる。
そして、混合ガスがCOガスを含有しているため、貫通孔21の形成時におけるレジスト層のエッチング選択性を高めることができる。
また、C4F8ガスの流量をO2ガスに対して3.8倍以下とすることで、層間絶縁膜13が安定した速度でエッチングされる。そして、エッチング時にレジスト層が過度に削れて開口形状が変化することが抑制される。
ここで、C4F8ガスを用いることで、貫通孔21の形成時に強誘電体膜34に酸素欠損が発生することを防止できる。
そして、混合ガスがCOガスを含有しているため、貫通孔21の形成時におけるレジスト層のエッチング選択性を高めることができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、強誘電体キャパシタは、スタック型構造に限らず、例えばプレーナ型など、他の構造であってもよい。
また、パーフルオロカーボンガスは、C4F8ガスに限らず、例えばC4F6ガスやC5F8ガスなど他のパーフルオロカーボンガスであってもよい。
そして、O2ガスの流量の流量を2sccm以上10sccm以下としているが、C4F8ガスの流量がO2ガスに対して0.77倍以上3.8倍以下となっていれば、他の値であってもよい。
さらに、混合ガスの構成は、少なくともパーフルオロカーボンガス及び酸素ガスを含有していればよく、レジスト層に対する十分なエッチング選択性が得られれば一酸化炭素ガスを含まない構成とするなど、他の構成としてもよい。
例えば、強誘電体キャパシタは、スタック型構造に限らず、例えばプレーナ型など、他の構造であってもよい。
また、パーフルオロカーボンガスは、C4F8ガスに限らず、例えばC4F6ガスやC5F8ガスなど他のパーフルオロカーボンガスであってもよい。
そして、O2ガスの流量の流量を2sccm以上10sccm以下としているが、C4F8ガスの流量がO2ガスに対して0.77倍以上3.8倍以下となっていれば、他の値であってもよい。
さらに、混合ガスの構成は、少なくともパーフルオロカーボンガス及び酸素ガスを含有していればよく、レジスト層に対する十分なエッチング選択性が得られれば一酸化炭素ガスを含まない構成とするなど、他の構成としてもよい。
1 強誘電体メモリ装置、2 半導体基板(基板)、3 強誘電体キャパシタ、12 水素バリア膜、13 第2層間絶縁膜(絶縁膜)、21 貫通孔
Claims (3)
- 基板上に強誘電体キャパシタを形成する工程と、
該強誘電体キャパシタを被覆する水素バリア膜を形成する工程と、
該水素バリア膜を被覆する絶縁膜を形成する工程と、
パーフルオロカーボンガス及び酸素ガスを含む混合ガスを用いたエッチングにより前記絶縁膜及び前記水素バリア膜を貫通する貫通孔を形成する工程とを備え、
前記パーフルオロカーボンガスの流量が、前記酸素ガスの流量に対して0.77倍以上3.8倍以下であることを特徴とする強誘電体メモリ装置の製造方法。 - 前記酸素ガスの流量が、2sccm以上10sccm以下であることを特徴とする請求項1に記載の強誘電体メモリ装置の製造方法。
- 前記混合ガスが、一酸化炭素ガスを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の強誘電体メモリ装置の製造方法。
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