JP4791191B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明では、FeRAMに代表される半導体メモリの可及的な微細化・高集積化を図るも、蓄積電荷量の大幅な増加を実現するメモリセル構成として、各メモリセル毎に1つの強誘電体キャパシタ構造と1つの選択トランジスタとを有する1トランジスタ1キャパシタ(1T1C)構造を採用し、各キャパシタ構造を、半導体基板の表面からの高さが相異なる少なくとも2層の層間絶縁膜のいずれか1層内にそれぞれ配する。
(1)シリコン酸化膜等の水との親和性の高い層間絶縁膜を介して外部から水分が侵入す ると、当該水分が層間絶縁膜やメタル配線成膜時の高温プロセス中で水素と酸素と に分解する。この水素が強誘電体膜中に侵入する。
(2)例えばWを材料とした接続プラグを形成する際に、CVD法等によるW等の堆積で 接続プラグ内に水素が取り込まれる。この水素が強誘電体膜中に侵入する。
以下、本発明を1T1C構造のFeRAMに適用した好適な緒実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明の便宜上、各実施形態におけるFeRAMの構成をその製造方法と共に説明する。
第1の実施形態では、スタック型のFeRAMの構成及びその製造方法について説明する。
図1〜図7は、第1の実施形態によるスタック型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
次に、PMOSトランジスタとなるトランジスタ構造20c,20dの素子活性領域(以下、P活性領域と言う)を覆い、NMOSトランジスタとなるトランジスタ構造20a,20bの形成領域(以下、N活性領域と言う)を露出させる開口を有するレジストマスク(不図示)を形成する。
そして、このレジストマスクを用いて、N活性領域にP型不純物、ここではホウ素(B)を例えばドーズ量3.0×1013/cm2、加速エネルギー300keVの条件でイオン注入し、N活性領域にP型ウェル12aを形成する。レジストマスクは灰化処理等により除去する。
そして、このレジストマスクを用いて、P活性領域にN型不純物、ここではリン(P)を例えばドーズ量3.0×1013/cm2、加速エネルギー600keVの条件でイオン注入し、P活性領域にN型ウェル12bを形成する。レジストマスクは灰化処理等により除去する。
そして、このレジストマスク及びキャップ膜15をマスクとして、N活性領域にN型不純物、ここではAsを例えばドーズ量5.0×1014/cm2、加速エネルギー10keVの条件でイオン注入し、いわゆるLDD領域16aを形成する。
そして、このレジストマスク及びキャップ膜15をマスクとして、P活性領域にP型不純物、ここではBを例えばドーズ量1.0 ×1013/cm2、加速エネルギー15keVの条件でイオン注入し、いわゆるLDD領域16bを形成する。
詳細には、トランジスタ構造20a,20b,20c,20dを覆うように、保護膜21及び絶縁膜22を順次堆積する。ここで、保護膜21としては、シリコン酸化膜を材料とし、CVD法により膜厚20nm程度に堆積する。絶縁膜22としては、例えばプラズマSiO膜(膜厚20nm程度)、プラズマSiN膜(膜厚80nm程度)及びプラズマTEOS膜(膜厚1000nm程度)を順次成膜した積層構造を形成し、積層後、化学機械研磨(CMP)により膜厚が700nm程度となるまで研磨する。
先ず、トランジスタ構造20a,20b,20c,20dへの各ビア孔34を形成する。
詳細には、絶縁膜22及び保護膜21をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工し、ソース/ドレイン領域18aの一方、及びソース/ドレイン領域18bの表面の一部を露出させるビア孔34をそれぞれ形成する。
詳細には、先ず、プラグ36の酸化防止膜37を、CVD法等により例えばSiONを材料として膜厚130nm程度に形成する。
次に、プラズマCVD法により、膜厚200nm程度のプラズマTEOS膜38を形成する。
次に、ビア孔39の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)41を形成する。そして、CVD法によりグルー膜41を介してビア孔39を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPによりプラズマTEOS膜38をストッパーとしてW膜及びグルー膜41を研磨し、ビア孔39内をグルー膜41を介してWで埋め込むプラグ42を形成する。
詳細には、先ず、強誘電体膜45の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ42の異常酸化、及びプラグ42の形成時に当該プラグ42内に取り込まれた水素の強誘電体膜45への影響を共に抑制するため、導電膜である保護下地膜43を、例えばスパッタ法により膜厚100nm程度に形成する。保護下地膜43の材料としては、TiAlNの単層、TiNとTiAlNとの積層構造等、ここではTiNとTiAlNとの積層構造とする。
次に、MOCVD法により、450℃〜650℃程度、ここでは550℃にて下部電極層44上に強誘電体である例えばPZTからなる強誘電体膜45を膜厚100nm程度に堆積する。この際、強誘電体膜45が成膜当初アモルファス状態にある場合はRTA処理を施して当該強誘電体膜45を結晶化する。すでに強誘電体45が結晶化している場合は必ずしもRTA処理を必要としない。
そして、スパッタ法により、下層上部電極層46上に例えばIrを膜厚100nm程度に堆積し、上部電極層47を形成する。
詳細には、上層上部電極層47上に、CVD法等により例えばTEOS膜を膜厚600nm程度に堆積し、ハードマスク材料48を形成する。
詳細には、ハードマスク材料48を用い、例えば400℃にて、上層上部電極層47、下層上部電極層46、強誘電体膜45、下部電極層44、及び保護下地膜43を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料48をウェットエッチング等で除去することにより、N活性領域にプラグ42と保護下地膜43を介し、下部電極層44からなる下部電極51と、下層上部電極層46及び上層上部電極層47の積層構造である上部電極52とで強誘電体膜45を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造30が完成する。
詳細には、例えば高密度プラズマ(HDP)CVD法により、強誘電体キャパシタ構造30を覆うようにシリコン酸化膜を膜厚1300nm程度に堆積した後、CMPによりシリコン酸化膜の表面を平坦化して、第1の層間絶縁膜49を形成する。この第1の層間絶縁膜49内に複数(図示の例では2個)の強誘電体キャパシタ構造30が内包される。このとき、強誘電体キャパシタ構造30と第1の層間絶縁膜49とにより下層キャパシタ層40が構成される。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造30の上部電極52の上方に整合した部位で第1の層間絶縁膜49をパターニングし、上部電極52の表面の一部を露出させるビア孔53を形成する。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、プラグ36の上方に整合した部位で第1の層間絶縁膜49、プラズマTEOS膜38、及び酸化防止膜37をパターニングし、プラグ36の表面の少なくとも一部を露出させるビア孔54を形成する。
詳細には、ビア孔53,54の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)55,56を形成する。そして、CVD法によりグルー膜55,56を介してビア孔53,54を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPにより第1の層間絶縁膜49をストッパーとしてW膜及びグルー膜55,56を研磨し、ビア孔53,54内をグルー膜55,56を介してWで埋め込むプラグ57,58をそれぞれ形成する。
詳細には、先ず、プラグ57,58の酸化防止膜59を、CVD法等により例えばSiONを材料として膜厚130nm程度に形成する。
次に、プラズマCVD法により、膜厚200nm程度のプラズマTEOS膜61を形成する。
次に、ビア孔62の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)63を形成する。そして、CVD法によりグルー膜63を介してビア孔62を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPによりプラズマTEOS膜61をストッパーとしてW膜及びグルー膜63を研磨し、ビア孔62内をグルー膜63を介してWで埋め込むプラグ64を形成する。
詳細には、先ず、強誘電体膜67の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ64の異常酸化、及びプラグ64の形成時に当該プラグ64内に取り込まれた水素の強誘電体膜67への影響を共に抑制するため、導電膜である保護下地膜65を、例えばスパッタ法により膜厚100nm程度に形成する。保護下地膜65の材料としては、TiAlNの単層、TiNとTiAlNとの積層構造等、ここではTiNとTiAlNとの積層構造とする。
次に、MOCVD法により、MOCVD法により、450℃〜650℃程度、ここでは550℃にて下部電極層66上に強誘電体である例えばPZTからなる強誘電体膜67を膜厚100nm程度に堆積する。この際、強誘電体膜67が成膜当初アモルファス状態にある場合はRTA処理を施して当該強誘電体膜67を結晶化する。すでに強誘電体67が結晶化している場合は必ずしもRTA処理を必要としない。
そして、スパッタ法により、下層上部電極層68上に例えばIrを膜厚100nm程度に堆積し、上部電極層69を形成する。
詳細には、ハードマスク材料71を用い、例えば400℃にて、上層上部電極層69、下層上部電極層68、強誘電体膜67、下部電極層66、及び保護下地膜65を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料71をウェットエッチング等で除去することにより、P活性領域にプラグ64と保護下地膜65を介し、下部電極層66からなる下部電極72と、下層上部電極層68及び上層上部電極層69の積層構造である上部電極73とで強誘電体膜67を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造50が完成する。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造50の上部電極73の上方に整合した部位で第2の層間絶縁膜74をパターニングし、上部電極73の表面の一部を露出させるビア孔75を形成する。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、プラグ57,58の上方に整合した部位で第2の層間絶縁膜74、プラズマTEOS膜61、及び酸化防止膜59をパターニングし、プラグ57,58の表面の少なくとも一部をそれぞれ露出させるビア孔76,77を形成する。
詳細には、ビア孔75,76,77の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)78,79,81を形成する。そして、CVD法によりグルー膜78,79,81を介してビア孔75,76,77を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPにより第2の層間絶縁膜74をストッパーとしてW膜及びグルー膜78,79,81を研磨し、ビア孔75,76,77内をグルー膜78,79,81を介してWで埋め込むプラグ82,83,84をそれぞれ形成する。
詳細には、先ずスパッタ法により、例えばTiNを膜厚60nm程度に堆積してバリアメタル膜85を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばAl−Cu合金を膜厚360nm程度に堆積して配線層86を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばTiNとTiの積層膜を膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜87を形成する。
詳細には、バリアメタル膜87、配線層86、及びバリアメタル膜85をリソグラフィー及びドライエッチングによりパターニングする。このパターニングにより、プラグ84と接続される各ビット線88と、プラグ82,83と接続される各プレート線89とが形成される。
図8は、FeRAMの強誘電体キャパシタ構造周辺のレイアウトを示す概略平面図であり、(a)が第1の実施形態による2層構造のFeRAM(例えば図19における下層キャパシタ層40の部分)を、(b)が従来による単層構造のFeRAMをそれぞれ示す。図示の便宜上、(b)では、(a)における各構成部材と対応したものに同一の符号を付す。
また、強誘電体キャパシタ構造周辺の各離間距離等を表1に示す。
ここで、第1の実施形態の緒変形例について説明する。これらの変形例では、第1の実施形態と同様にスタック型のFeRAMを開示する。なお、記載の便宜上、第1の実施形態で説明した各構成部材等と同様のものについては、第1の実施形態と同一の符号を付す。
変形例1では、水素の強誘電体膜中への侵入を抑止するための保護絶縁膜を形成する。
図9〜図11は、第1の実施形態の変形例1によるスタック型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
詳細には、強誘電体キャパシタ構造30を覆うように、プラズマTEOS膜38上に金属酸化膜、例えばアルミナを材料としてスパッタ法により膜厚30nm程度に堆積し、保護絶縁膜91を形成する。この保護絶縁膜91により、例えば後工程により形成されるシリコン酸化膜等からの水分・水素の強誘電体膜45への浸入が抑止され、強誘電体膜45へのダメージが防止される。
詳細には、例えば高密度プラズマ(HDP)CVD法により、保護絶縁膜91を介して強誘電体キャパシタ構造30を覆うようにシリコン酸化膜を膜厚1300nm程度に堆積した後、CMPによりシリコン酸化膜の表面を平坦化して、第1の層間絶縁膜49を形成する。この第1の層間絶縁膜49内に保護絶縁膜91を介して複数(図示の例では2個)の強誘電体キャパシタ構造30が内包される。このとき、強誘電体キャパシタ構造30と保護絶縁膜91及び第1の層間絶縁膜49とにより下層キャパシタ層70が構成される。
詳細には、先ず、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造30の上部電極52の上方に整合した部位で第1の層間絶縁膜49をパターニングし、上部電極52の表面の一部を露出させるビア孔53を形成する。
詳細には、先ず、プラグ57,58の酸化防止膜59を、CVD法等により例えばSiONを材料として膜厚130nm程度に形成する。
次に、プラズマCVD法により、膜厚200nm程度のプラズマTEOS膜61を形成する。
次に、ビア孔62の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)63を形成する。そして、CVD法によりグルー膜63を介してビア孔62を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPによりプラズマTEOS膜61をストッパーとしてW膜及びグルー膜63を研磨し、ビア孔62内をグルー膜63を介してWで埋め込むプラグ64を形成する。
次に、MOCVD法により、MOCVD法により、450℃〜650℃程度、ここでは550℃にて下部電極層66上に強誘電体である例えばPZTからなる強誘電体膜67を膜厚100nm程度に堆積する。この際、強誘電体膜67が成膜当初アモルファス状態にある場合はRTA処理を施して当該強誘電体膜67を結晶化する。すでに強誘電体67が結晶化している場合は必ずしもRTA処理を必要としない。
そして、スパッタ法により、下層上部電極層68上に例えばIrを膜厚100nm程度に堆積し、上部電極層69を形成する。
詳細には、強誘電体キャパシタ構造50を覆うように、プラズマTEOS膜61上に金属酸化膜、例えばアルミナを材料としてスパッタ法により膜厚30nm程度に堆積し、保護絶縁膜92を形成する。この保護絶縁膜92により、例えば後工程により形成されるシリコン酸化膜等からの水分・水素の強誘電体膜67への浸入が抑止され、強誘電体膜67へのダメージが防止される。
詳細には、先ず、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造50の上部電極73の上方に整合した部位で第2の層間絶縁膜74及び保護絶縁膜92をパターニングし、上部電極73の表面の一部を露出させるビア孔75を形成する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、例えばTiNを膜厚60nm程度に堆積してバリアメタル膜85を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばTiNとTiの積層膜を膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜87を形成する。
変形例2では、水素の強誘電体膜中への侵入を抑止するとともに、プラグの異常酸化を抑止するための保護下地膜を形成する。
図12〜図15は、第1の実施形態の変形例2によるスタック型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
詳細には、先ず、強誘電体膜45の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ42の異常酸化、及びプラグ42の形成時に当該プラグ42内に取り込まれた水素の強誘電体膜45への影響を共に抑制するため、導電膜である保護下地膜43を、例えばスパッタ法により膜厚100nm程度に形成する。保護下地膜43の材料としては、TiAlNの単層、TiNとTiAlNとの積層構造等、ここではTiNとTiAlNとの積層構造とする。
次に、MOCVD法により、450℃〜650℃程度、ここでは550℃にて下部電極層44上に強誘電体である例えばPZTからなる強誘電体膜45を膜厚100nm程度に堆積するこの際、強誘電体膜45が成膜当初アモルファス状態にある場合はRTA処理を施して当該強誘電体膜45を結晶化する。すでに強誘電体45が結晶化している場合は必ずしもRTA処理を必要としない。
詳細には、ハードマスク材料48を用い、例えば400℃にて、上部電極層121、強誘電体膜45、下部電極層44、及び保護下地膜43を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料48をウェットエッチング等で除去することにより、N活性領域にプラグ42と保護下地膜43を介し、下部電極層44からなる下部電極51と、上部電極層121からなる上部電極122とで強誘電体膜45を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造100が完成する。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、プラグ36の上方に整合した部位で第1の層間絶縁膜93、プラズマTEOS膜38、及び酸化防止膜37をパターニングし、プラグ36の表面の少なくとも一部を露出させるビア孔94を形成する。
詳細には、ビア孔94の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)95を形成する。そして、CVD法によりグルー膜95を介してビア孔94を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPにより第1の層間絶縁膜93をストッパーとしてW膜及びグルー膜95を研磨し、ビア孔94内をグルー膜95を介してWで埋め込むプラグ96をそれぞれ形成する。
詳細には、スパッタ法により、例えばTiAlNを材料として下層キャパシタ層90上に膜厚100nm程度の導電層97を形成する。ここで、導電層97の材料としては、TiAlNの代わりに、TiNとTiAlNとの積層構造、Ir等を用いても良い。
詳細には、導電層97をリソグラフィー及びドライエッチングによりパターニングし、例えば各プラグ96の上面形状に整合したサイズ(強誘電体キャパシタ構造30上でも同様のサイズ)とされた各保護下地膜98を形成する。これら保護下地膜98により、強誘電体膜67の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ96の異常酸化、及びプラグ96の形成時に当該プラグ96内に取り込まれた水素の強誘電体膜67への影響が共に抑制される。
詳細には、各保護下地膜98を覆うように、プラズマCVD法により膜厚800nm程度のプラズマTEOS膜99を形成する。その後、各保護下地膜98を研磨ストッパーとして、CMPによりプラズマTEOS膜99を平坦化する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、膜厚100nm程度に例えばIrを堆積し、下部電極層66を形成する。
そして、スパッタ法により、下層上部電極層68上に例えばIrを膜厚100nm程度に堆積し、上部電極層69を形成する。
詳細には、ハードマスク材料71を用い、例えば400℃にて、上層上部電極層69、下層上部電極層68、強誘電体膜67、及び下部電極層66を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料71をウェットエッチング等で除去することにより、P活性領域に、下部電極層66からなる下部電極72と、下層上部電極層68及び上層上部電極層69の積層構造である上部電極73とで強誘電体膜67を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造50が完成する。
詳細には、例えば高密度プラズマ(HDP)CVD法により、強誘電体キャパシタ構造50を覆うようにシリコン酸化膜を膜厚1300nm程度に堆積した後、CMPによりシリコン酸化膜の表面を平坦化して、第2の層間絶縁膜74を形成する。この第2の層間絶縁膜74内に複数(図示の例では2個)の強誘電体キャパシタ構造50が内包される。このとき、強誘電体キャパシタ構造50と第2の層間絶縁膜74とにより、下層キャパシタ層90よりも上部に位置する上層キャパシタ層60が構成される。
詳細には、先ず、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造50の上部電極73の上方に整合した部位で第2の層間絶縁膜74をパターニングし、上部電極73の表面の一部を露出させるビア孔101を形成する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、例えばTiNを膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜85を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばTiNとTiの積層膜を膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜87を形成する。
変形例3では、各メモリセルの強誘電体キャパシタ構造が下層キャパシタ層及び上層キャパシタ層に交互に隣接配置された構成を採る。更に、変形例2の特徴を付加する。
図16〜図20は、第1の実施形態の変形例3によるスタック型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
先ず、トランジスタ構造20a,20b,20c,20dへの各ビア孔34を形成する。
詳細には、絶縁膜22及び保護膜21をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工し、トランジスタ構造20aのソース/ドレイン領域18aの一方、トランジスタ構造20cのソース/ドレイン領域18bの一方、及びトランジスタ構造20b,20dのソース/ドレイン領域18a,18bの表面の一部を露出させるビア孔34をそれぞれ形成する。
詳細には、先ず、プラグ36の酸化防止膜37を、CVD法等により例えばSiONを材料として膜厚130nm程度に形成する。
次に、プラズマCVD法により、膜厚200nm程度のプラズマTEOS膜38を形成する。
詳細には、先ず、強誘電体膜45の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ42の異常酸化、及びプラグ42の形成時に当該プラグ42内に取り込まれた水素の強誘電体膜45への影響を共に抑制するため、導電膜である保護下地膜43を、例えばスパッタ法により膜厚100nm程度に形成する。保護下地膜43の材料としては、TiAlNの単層、TiNとTiAlNとの積層構造等、ここではTiNとTiAlNとの積層構造とする。
次に、MOCVD法により、450℃〜650℃程度、ここでは550℃にて下部電極層44上に強誘電体である例えばPZTからなる強誘電体膜45を膜厚100nm程度に堆積する。この際、強誘電体膜45が成膜当初アモルファス状態にある場合はRTA処理を施して当該強誘電体膜45を結晶化する。すでに強誘電体45が結晶化している場合は必ずしもRTA処理を必要としない。
詳細には、ハードマスク材料48を用い、例えば400℃にて、上部電極層121、強誘電体膜45、下部電極層44、及び保護下地膜43を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料48をウェットエッチング等で除去することにより、N活性領域及びP活性領域に各々、プラグ42と保護下地膜43を介し、下部電極層44からなる下部電極51と、上部電極層121からなる上部電極122とで強誘電体膜45を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造100が完成する。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより、プラグ36の上方に整合した部位で第1の層間絶縁膜93、プラズマTEOS膜38、及び酸化防止膜37をパターニングし、プラグ36の表面の少なくとも一部を露出させるビア孔94を形成する。
詳細には、ビア孔94の各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)95を形成する。そして、CVD法によりグルー膜95を介してビア孔94を埋め込むように、W,TiAlN,TiN,Ti,Al,Cu,Ru,SRO,Irの単膜又は積層膜、ここではW膜を形成する。その後、CMPにより第1の層間絶縁膜93をストッパーとしてW膜及びグルー膜95を研磨し、ビア孔94内をグルー膜95を介してWで埋め込むプラグ96をそれぞれ形成する。
詳細には、スパッタ法により、例えばTiAlNを材料として下層キャパシタ層110上に膜厚100nm程度の導電層97を形成する。ここで、導電層97の材料としては、TiAlNの代わりに、TiNとTiAlNとの積層構造、Ir等を用いても良い。
詳細には、導電層97をリソグラフィー及びドライエッチングによりパターニングし、例えば各プラグ96の上面形状に整合したサイズ(強誘電体キャパシタ構造30上でも同様のサイズ)とされた各保護下地膜98を形成する。これら保護下地膜98により、強誘電体膜67の後述する酸素アニール処理に起因するプラグ96の異常酸化、及びプラグ96の形成時に当該プラグ96内に取り込まれた水素の強誘電体膜67への影響が共に抑制される。
詳細には、各保護下地膜98を覆うように、プラズマCVD法により膜厚1300nm程度のプラズマTEOS膜99を形成する。その後、各保護下地膜98を研磨ストッパーとして、CMPによりプラズマTEOS膜99を平坦化する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、膜厚100nm程度に例えばIrを堆積し、下部電極層66を形成する。
そして、スパッタ法により、下層上部電極層68上に例えばIrを膜厚100nm程度に堆積し、上部電極層69を形成する。
詳細には、ハードマスク材料71を用い、例えば400℃にて、上層上部電極層69、下層上部電極層68、強誘電体膜67、及び下部電極層66を一括エッチングする。そして、ハードマスク材料71をウェットエッチング等で除去することにより、N活性領域及びP活性領域に各々、下部電極層66からなる下部電極72と、下層上部電極層68及び上層上部電極層69の積層構造である上部電極73とで強誘電体膜67を挟持してなる、強誘電体キャパシタ構造50が完成する。
詳細には、例えば高密度プラズマ(HDP)CVD法により、強誘電体キャパシタ構造50を覆うようにシリコン酸化膜を膜厚1300nm程度に堆積した後、CMPによりシリコン酸化膜の表面を平坦化して、第2の層間絶縁膜74を形成する。この第2の層間絶縁膜74内に複数(図示の例では2個)の強誘電体キャパシタ構造50が内包される。このとき、N,P活性領域の各強誘電体キャパシタ構造50と第2の層間絶縁膜74とにより、下層キャパシタ層90よりも上部に位置する上層キャパシタ層120が構成される。
詳細には、先ず、リソグラフィー及びドライエッチングにより、強誘電体キャパシタ構造50の上部電極73の上方に整合した部位で第2の層間絶縁膜74をパターニングし、上部電極73の表面の一部を露出させるビア孔101を形成する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、例えばTiNを膜厚60nm程度に堆積してバリアメタル膜85を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばTiNとTiの積層膜を膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜87を形成する。
第2の実施形態では、プレーナ型のFeRAMの構成及びその製造方法について説明する。
図21〜図25は、第2の実施形態によるプレーナ型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
詳細には、シリコン半導体基板210の表層に例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法により素子分離構造211を形成し、素子活性領域を確定する。
次に、素子活性領域に不純物、ここではBを例えばドーズ量3.0×1013/cm2、加速エネルギー300keVの条件でイオン注入し、ウェル212を形成する。
詳細には、トランジスタ構造220a,220bを覆うように、保護膜221及び絶縁膜222を順次堆積する。ここで、保護膜221としては、シリコン酸化膜を材料とし、CVD法により膜厚20nm程度に堆積する。絶縁膜222としては、例えばプラズマSiO膜(膜厚20nm程度)、プラズマSiN膜(膜厚80nm程度)及びプラズマTEOS膜(膜厚1000nm程度)を順次成膜した積層構造を形成し、積層後、CMPにより膜厚が700nm程度となるまで研磨する。
詳細には、絶縁膜222上に例えばシリコン酸化膜を堆積し、配向性向上膜223を形成する。
詳細には、先ずスパッタ法により例えば膜厚が20nm程度のTi膜及び膜厚が150nm程度のPt膜を順次堆積させ、Ti膜及びPt膜の積層構造に下部電極層224を形成する。
次に、反応性スパッタ法により、強誘電体膜225上に例えば導電性酸化物であるIrO2を材料とする上部電極層226を膜厚200nm程度に堆積する。なお、上部電極層226の材料として、IrO2の代わりにIr、Ru、RuO2、SrRuO3、その他の導電性酸化物やこれらの積層構造としても良い。
詳細には、上部電極層226をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより複数の電極形状に加工して、上部電極231をパターン形成する。
詳細には、先ず強誘電体膜225を上部電極231に整合させて若干上部電極231よりも大きいサイズとなるように、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工する。
その後、強誘電体膜225のエッチング時に受けたダメージを回復するために、酸素アニール処理を実行する。
詳細には、強誘電体キャパシタ構造230を覆うように、配向性向上膜223上に金属酸化膜、例えばアルミナを材料としてスパッタ法により膜厚30nm程度に堆積し、保護絶縁膜233を形成する。この保護絶縁膜233により、例えば後工程により形成されるシリコン酸化膜等からの水分・水素の強誘電体膜225への浸入が抑止され、強誘電体膜225へのダメージが防止される。
先ず、強誘電体キャパシタ構造230へのビア孔234a,235aを形成する。
詳細には、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングとして、上部電極231の表面の一部が露出するまで第1の層間絶縁膜227及び保護絶縁膜233に施す加工と、下部電極232の表面の一部が露出するまで第1の層間絶縁膜227及び保護絶縁膜233に施す加工とを同時に実行し、それぞれの部位に例えば約0.5μm径のビア孔234a,235aを同時形成する。これらビア孔234a,235aの形成時には、上部電極231及び下部電極232がそれぞれエッチングストッパーとなる。
詳細には、ソース/ドレイン領域218をエッチングストッパーとして、当該ソース/ドレイン領域218の表面の一部が露出するまで第1の層間絶縁膜127、保護絶縁膜233、配向性向上膜223、絶縁膜222、及び保護膜221をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工し、例えば約0.3μm径のビア孔236aを形成する。
先ず、通常の酸化膜のエッチング換算で数10nm、ここでは10nm程度に相当するRF前処理を行った後、ビア孔234a,235a,236aの各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)241を形成する。そして、CVD法によりグルー膜241を介してビア孔234a,235a,236aを埋め込むように例えばW膜を形成する。その後、CMPにより第1の層間絶縁膜227をストッパーとしてW膜及びグルー膜241を研磨し、ビア孔234a,235a,236a内をグルー膜241を介してWで埋め込むプラグ234,235,236を形成する。
詳細には、第1の層間絶縁膜227上に例えばシリコン酸化膜を堆積し、配向性向上膜242を形成する。
詳細には、先ずスパッタ法により例えば膜厚が20nm程度のTi膜及び膜厚が150nm程度のPt膜を順次堆積させ、Ti膜及びPt膜の積層構造に下部電極層243を形成する。
次に、反応性スパッタ法により、強誘電体膜244上に例えば導電性酸化物であるIrO2を材料とする上部電極層245を膜厚200nm程度に堆積する。なお、上部電極層245の材料として、IrO2の代わりにIr、Ru、RuO2、SrRuO3、その他の導電性酸化物やこれらの積層構造としても良い。
詳細には、上部電極層245をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより複数の電極形状に加工して、上部電極251をパターン形成する。
詳細には、先ず強誘電体膜244を上部電極251に整合させて若干上部電極251よりも大きいサイズとなるように、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工する。
その後、強誘電体膜244のエッチング時に受けたダメージを回復するために、酸素アニール処理を実行する。
詳細には、強誘電体キャパシタ構造250を覆うように、配向性向上膜242上に金属酸化膜、例えばアルミナを材料としてスパッタ法により膜厚30nm程度に堆積し、保護絶縁膜253を形成する。この保護絶縁膜253により、例えば後工程により形成されるシリコン酸化膜等からの水分・水素の強誘電体膜244への浸入が抑止され、強誘電体膜244へのダメージが防止される。
先ず、強誘電体キャパシタ構造250へのビア孔254a,255aを形成する。
詳細には、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングとして、上部電極251の表面の一部が露出するまで第2の層間絶縁膜246及び保護絶縁膜253に施す加工と、下部電極252の表面の一部が露出するまで第2の層間絶縁膜246及び保護絶縁膜253に施す加工とを同時に実行し、それぞれの部位に例えば約0.5μm径のビア孔254a,255aを同時形成する。これらビア孔254a,255aの形成時には、上部電極251及び下部電極252がそれぞれエッチングストッパーとなる。
詳細には、プラグ234,235,236をエッチングストッパーとして、当該プラグ234,235,236の表面の一部が露出するまで第2の層間絶縁膜246及び保護絶縁膜253をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工し、例えば約0.3μm径のビア孔256aを形成する。
先ず、通常の酸化膜のエッチング換算で数10nm、ここでは10nm程度に相当するRF前処理を行った後、ビア孔254a,255a,256aの各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)261を形成する。そして、CVD法によりグルー膜261を介してビア孔254a,255a,256aを埋め込むように例えばW膜を形成する。その後、CMPにより第2の層間絶縁膜246をストッパーとしてW膜及びグルー膜261を研磨し、ビア孔254a,255a,256a内をグルー膜261を介してWで埋め込むプラグ254,255,256を形成する。
詳細には、先ず、スパッタ法により、例えばTiNを膜厚60nm程度に堆積してバリアメタル膜262を形成する。
次に、スパッタ法により、例えばTiNとTiの積層膜を膜厚70nm程度に堆積してバリアメタル膜264を形成する。
前記キャパシタ構造を選択するための1つのトランジスタと
を含み1つのメモリセルが構成されており、
前記各メモリセルの前記キャパシタ構造は、前記半導体基板の表面からの高さが相異なる少なくとも2層の層間絶縁膜のいずれか1層内にそれぞれ形成されていることを特徴とする半導体装置。
半導体基板の上方にトランジスタを形成する工程と、
1つの前記トランジスタと対応するように、前記トランジスタの上方に、下部電極と上部電極とにより誘電体膜を挟持してなる1つのキャパシタ構造を形成する工程と
を含み、
前記各メモリセルの前記キャパシタ構造を、前記半導体基板の表面からの高さが相異なる少なくとも2層の層間絶縁膜のいずれか1層内にそれぞれ形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
30 50 100,230 250 強誘電体キャパシタ構造
40,70,90,110,240 下層キャパシタ層
60,80,120,260 上層キャパシタ層
Claims (7)
- 半導体基板の上方に形成されており、下部電極と上部電極とにより誘電体膜を挟持してなる1つのキャパシタ構造と、
前記キャパシタ構造を選択するための1つのトランジスタと
を含み1つのメモリセルが構成されており、
前記各メモリセルの前記キャパシタ構造は、前記半導体基板の表面からの高さが相異なる少なくとも2層の層間絶縁膜のいずれか1層内にそれぞれ形成されており、
積層された2層の前記層間絶縁膜に挟持された絶縁膜内に形成された1層構造として、上層の前記層間絶縁膜内に形成された前記キャパシタ構造の前記下部電極と第1の接続プラグとの間、下層の前記層間絶縁膜内に形成された前記キャパシタ構造の前記上部電極と第2の接続プラグとの間、及び前記上層の前記層間絶縁膜内と前記下層の前記層間絶縁膜内に形成された一対の第3の接続プラグ間を接続する各部位に、それぞれ導電性の保護下地膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記各キャパシタ構造について、当該キャパシタ構造と同一の前記層間絶縁膜で隣接する前記キャパシタ構造が存する構成とされてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記各キャパシタ構造について、当該キャパシタ構造と、当該キャパシタ構造と隣接する前記キャパシタ構造とが異なる前記層間絶縁膜内に存する構成とされてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記誘電体膜は、強誘電特性を有する強誘電材料からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記下層の前記層間絶縁膜内に形成された前記キャパシタ構造の前記下部電極と第4の接続プラグとの間を接続する部位に、当該下部電極と同一形状の導電性の保護下地膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 複数のメモリセルを備えてなる半導体装置の製造方法であって、
半導体基板の上方にトランジスタを形成する工程と、
1つの前記トランジスタと対応するように、前記トランジスタの上方に、下部電極と上部電極とにより誘電体膜を挟持してなる1つのキャパシタ構造を形成する工程と
を含み、
前記各メモリセルの前記キャパシタ構造を、前記半導体基板の表面からの高さが相異なる少なくとも2層の層間絶縁膜のいずれか1層内にそれぞれ形成し、
積層された2層の前記層間絶縁膜に挟持された絶縁膜内に形成された1層構造として、上層の前記層間絶縁膜内に形成された前記キャパシタ構造の前記下部電極と第1の接続プラグとの間、下層の前記層間絶縁膜内に形成された前記キャパシタ構造の前記上部電極と第2の接続プラグとの間、及び前記上層の前記層間絶縁膜内と前記下層の前記層間絶縁膜内に形成された一対の第3の接続プラグ間を接続する各部位に、それぞれ導電性の保護下地膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記各キャパシタ構造を、当該キャパシタ構造と同一の前記層間絶縁膜で隣接する前記キャパシタ構造が存する構成に形成することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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