JP4011848B2 - 高耐電圧半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は大電流を制御する高耐電圧のパワー半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
炭化珪素(SiC)などのワイドギャップ半導体材料は、シリコン(Si)に比べて絶縁破壊電界強度が約10倍高い等の優れた特性を有しており、高い耐逆電圧特性を有する高耐圧パワー半導体装置に好適な材料として注目されている。しかし、SiCの不純物の拡散係数はSiに比べるとはるかに小さい。従ってSiCを用いて半導体装置を製作するには高度の技術を要する。特に高耐圧のpn接合を有する高耐圧半導体装置の実現は困難であった。
【0003】
SiCを用いた従来例のワイドギャップ高耐圧半導体装置としては、例えば図9の断面図に示すようなプレーナ構造の高耐圧ダイオードがあり、これの耐圧は約3.4KVである。この高耐圧ダイオードは、1997年のInternational Conference on Silicon Carbide, III-Nitride and Related Materials の予稿集の136から137ページに開示されている。この従来例では、一方の面にカソード電極50を有するn型SiCのドレイン領域1の他方の面にn型ドリフト層2を形成し、n型ドリフト層2の中央部分にp型層3を形成している。p型層3にはアノード電極51が設けられている。p型層3の両側にはターミネーション用のp型層34が形成されている。「ターミネーション」とは高耐圧半導体素子の端部における電界集中を抑制するために、端部近傍を特殊な構造にすることをいう。電流を流すために電荷を注入する、p型層3とn型ドリフト層2の間のpn接合と、電界を緩和するためのターミネーション用のp型層34とn型ドリフト層2との間のpn接合とは、硼素やアルミニウム等のイオン打ち込み技術により形成される。
【0004】
他の従来例としては、図10の断面図で示す高耐圧ダイオードがある。この従来例では、電荷を注入するp型層13とn型ドリフト層2の間のpn接合をエピタキシャル成長技術で形成し、電界を緩和するためのターミネーション領域Tをメサエッチングで形成している。耐圧は約4.5kVである。この高耐圧ダイオードは、1995年の学術誌Applied Physics Letter, 67巻の1561から1563ページに開示されている。この高耐圧ダイオードの作り方は、図10の断面図に示すように、n型ドリフト層2の全面に形成した厚さ1.5μmのp型エピタキシャル層13の両端部分を深さ2μmまでメサエッチングで除去する。そしてアノード電極51を有する部分を除いて厚さ0.4μmの二酸化珪素の膜(以下、パッシベーション膜)10で表面保護をしている。
【0005】
図11は、平成12年電気学会全国大会講演論文集[4]の1600から1601ページに記載された高耐圧ダイオードの断面図である。図においてn型SiCのドレイン領域1の上に形成したn型ドリフト層2の左側の領域にエピタキシャル成長技術でp型層3を形成し、p型層3にアノード電極51を設ける。これによりp型層3とn型ドリフト層2の間に、電荷を注入するためのpn接合が形成される。半導体装置の端部の電界を緩和するためのターミネーション領域Tを形成するため、図の右側の領域を浅くメサエッチングする。メサ底面18近傍に、硼素あるいはアルミニウム等のイオン打ち込みにより、p型層44を形成し、n型ドリフト層2内にpn接合を形成する。ターミネーション領域Tと、p型層3のアノード電極51を除く領域は、約0.4μm厚のパッシベーション膜6で保護している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
図9のプレーナ構造の高耐圧ダイオードの場合、p型層3をイオン打ち込みにより形成するためp型層3とその周辺に結晶欠陥が形成される。そのため順バイアス時(アノード51が正の場合)の電荷の注入効率が低く、オン電圧が比較的高い。また逆バイアス時のリーク電流が大きい。従って低損失で高耐圧の半導体装置を実現するのは困難である。
図10のダイオードの場合は、p型層3をエピタキシャル成長法により形成するため結晶欠陥が少なく順バイアス時の電荷の注入効率は比較的高い。逆バイアス時のリーク電流も5×10−3A/cm2程度であり比較的少ない。しかし、逆電圧が4.5kVをいくらか超えると破壊してしまい高耐圧の半導体装置とはいえない。
図11のダイオードの場合は、p型層3をエピタキシャル成長法により形成するため結晶欠陥が少なく順バイアス時の電荷の注入効率は比較的高い。また逆バイアス時のリーク電流は1×10−3A/cm2程度と小さい。耐圧は5.8kVと高いが、メサコーナー部6Aのパッシベーション膜6に高電界が加わるので故障を生じやすく、長期間高い信頼性を保つことができない。
【0007】
本発明は、オン電圧が低く耐逆電圧が高い高信頼性の半導体装置を提供することを目的としている。特にSiCなどのワイドギャップ半導体材料では、臨界電界値が、パッシベーション膜の絶縁破壊電界値に近い。従って、パッシベーション膜が長期間高い電界にさらされるとリーク電流が増大して半導体装置の信頼性が低下する、という問題を解決することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の高耐電圧半導体装置は、ワイドギャップ半導体材料の基板に形成した第1の導電型の第1の層(ドリフト層)、前記第1の層の上にエピタキシャル成長法で形成した、第2の導電型の第2の層(電荷注入用の電荷注入層)、前記第2の層に隣接するメサ溝のメサ底面を形成する前記第1の層に、前記メサ底面側から形成した、第2の導電型のターミネーション領域、及び前記ターミネーション領域と前記第2の層と前記第1の層との上に形成された表面保護膜を有し、前記第2の層と前記第1の層との接合面は、前記メサ底面よりも、高い位置にあり、前記第2の層の側面を含む前記メサ溝のメサ側面と前記メサ底面とが交わる部分であるメサコーナー部と、前記ターミネーション領域の前記メサコーナー部側の端部と、の間における、前記表面保護膜の前記メサ底面に直交する方向の厚みは、前記接合面と前記メサ底面との間の距離よりも、大きいことを特徴とする。
前記メサコーナー部と、前記ターミネーション領域の前記メサコーナー部側の端部と、の間における、前記表面保護膜の前記メサ底面に直交する方向の厚みは、前記接合面と前記メサ底面との間の距離よりも、大きいことにより、前記メサコーナー部の電界が他の部分に比べてあまり高くならない。その結果長期間使用する場合の信頼性が向上する。
【0009】
本発明の他の観点の半導体装置は、ワイドギャップ半導体材料の基板に形成した第1の導電型の第1の層(ドリフト層)、前記第1の層の上にエピタキシャル成長法で形成した、第2の導電型の第2の層(電荷注入用の電荷注入層)、前記第2の層に隣接するメサ溝のメサ底面を形成する前記第1の層に、前記メサ底面側から形成した、第2の導電型のターミネーション領域、及び前記ターミネーション領域と前記第2の層と前記第1の層との上に形成した表面保護膜を有し、前記第2の層と前記第1の層との接合面は、前記メサ底面よりも、高い位置にあり、前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ溝のメサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサ側面と前記メサ底面とが交わる部分であるメサコーナー部を覆っていることを特徴とする。
前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサコーナー部を覆っていることにより、前記メサコーナー部近傍の前記ターミネーション領域と第1の層との接合から前記基板に向かって空乏層が広がる。この空乏層により前記メサコーナー部の前記表面保護膜への電界集中が緩和されるので耐電圧が高くなる。
【0010】
本発明の他の観点の半導体装置は、一方の面に第1の電極(ドレイン電極)を有するワイドギャップ半導体材料の基板の他方の面に形成した第1の導電型の第1の層(ドリフト層)、前記第1の層の上にエピタキシャル成長法で形成した、第2の導電型の第2の層(ボディ層)、前記第2の層の一部分に形成した第1の導電型の第1の領域(ソース領域)、前記第1の領域及び第2の層を貫通し、第1の層に達するように形成されたトレンチ、前記トレンチの内壁面に絶縁膜を介して形成した第2の電極(ゲート電極)、前記第2の層に隣接するメサ溝のメサ底面を形成する前記第1の層に、前記メサ底面側から形成した、第2の導電型のターミネーション領域、前記第1の領域と第2の層の上に形成した第3の電極(ソース電極)、及び前記ターミネーション領域、前記第1の層及び前記第2の層の側面に形成した表面保護膜を有し、前記第2の層と前記第1の層との接合面は、前記メサ底面よりも、高い位置にあり、前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ溝のメサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサ側面と前記メサ底面とが交わる部分であるメサコーナー部を覆っていることを特徴とする。
前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサコーナー部を覆っていることにより、前記メサコーナー部近傍の電界を緩和することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施例を図1から図8を参照して説明する。図1から図8は各実施例の半導体装置の右半分の断面図であり、この右半分の構成と対称な構成を有する左半分は図示を省略している。また各半導体装置は、各図の紙面に垂直な方向に長いストライプ状である。
【0012】
《第1実施例》
図1は本発明の第1実施例の耐圧6.5kVのSiC(炭化珪素)pnダイオードの断面図である。図において、下面にカソード電極50を有する厚さ約350μmの、高不純物濃度のn型SiCのドレイン領域1の上に、厚さ約50μmの低不純物濃度のn型SiCのドリフト層2を形成している。ドリフト層2の左側部分に厚さ約2μmの電荷注入用の低不純物濃度のp型層3をエピタキシャル成長法により形成している。ドリフト層2をメサエッチング法の一種の反応性イオンエッチング法により浅くエッチングして、ターミネーション領域Tを形成する。ターミネーション領域Tの面に硼素あるいはアルミニウム等をイオン打ち込みしてp型ターミネーション領域(ターミネーション部)4を形成している。ターミネーション領域Tの右端には、n型のチャネルストッパー5が形成されている。半導体装置の表面に水分やNaイオンなどのアルカリイオンが付着するのを防止するために、p型ターミネーション領域4の表面を含む全面に二酸化珪素や窒化珪素などの薄膜による表面保護膜のパッシベーション膜16を形成する。パッシベーション膜16の大部分の膜厚は、約0.4μmであるが、p型層3とターミネーション領域4との境界部のメサコーナー部20では膜厚を1から2μmと大幅に厚くしてある。これにより、メサコーナー部20と、メサコーナー部20から十分離れたターミネーション領域T内の位置Aまでの間の領域が、p型層3とドリフト層2の接合面3Aと、メサ底面18との間の距離Lよりも厚いパッシベーション膜16で覆われることになる。電荷注入層(3)の側面とメサ底面18とがなす角であるメサ角θは90から150度である。
【0013】
本実施例のSiCpnダイオードでは、p型層3をエピタキシャル成長法により形成しているため、結晶欠陥が非常に少ない。従って順方向に電圧を印加したとき(以後、順バイアスという)、p型層3からn型ドリフト層2に十分な量のホールが注入され、伝導度変調が生じてオン電圧が低くなる。単位面積当たりの電流(電流密度)が100A/cm2の時、オン電圧は4.9Vであった。逆方向に電圧を印加したとき(以後、逆バイアスという)には、p型層3とn型ドリフト層2の接合部3Aから、カソード電極50及びp型層3に設けられたアノード電極51に向かって空乏層が広がる。p型層3の結晶欠陥が少ないので、ほぼ理論値通りの臨界電界が得られる。印加電圧が高くなると、ドリフト層2内に広がる空乏層は、p型ターミネーション領域4の作用により、図の右端の領域へ広がる。この空乏層により高い耐逆電圧が得られる。p型ターミネーション領域4の不純物濃度が高いと、メサコーナー部20から遠いp型ターミネーション領域4の端部4Aに電界が集中する。
【0014】
一方、p型ターミネーション領域4の不純物濃度が低いと、メサコーナー部20近傍のp型領域3及びパッシベーション膜16の電界が高くなる。メサ角θを90度以下にすると、メサコーナー部20近傍のp型層3内では空乏層があまり広がらず、メサコーナー部20に電界集中が起こる。一方、メサ角θを150度以上にすると、メサコーナー部20の電界集中は緩和されるが、パッシベーション膜16に電界が集中し、相互作用によりメサコーナー部20近傍のドリフト層2内の電界が高くなる。そこで、p型ターミネーション領域4の不純物濃度を1016から1018atm/cm3の範囲とし、メサ角度を90度から150度の範囲にすると、耐圧は6.5kVと高い値が得られた。特に、p型ターミネーション領域4の不純物濃度を約5×1017atm/cm3以下にすると、カソード電圧を6kVとした時、p型ターミネーション領域4の全域に空乏層がひろがる。その結果p型ターミネーション領域4の全域で電圧を分担することになり、高耐圧のダイオードが得られる。メサコーナー部20のパッシベーション膜16が図9の従来例のパッシベーション膜6のように薄いと、メサコーナー部20の電界がSiCの臨界電界と同程度の2MV/cmの高電界になる。そのためリーク電流が増大するなどして、長期間使用する場合の信頼性を悪化させる。本実施例ではメサコーナー部20のパッシベーション膜16をPSG(Phospho-Silicate Grass)などを用いて1ないし2μmと厚くする。これによりメサコーナー部20の電界を1MV/cm以下とすることができ、長期間使用する場合の信頼性が向上する。パッシベーション膜16は、2種類以上の材料で形成してもよい。
【0015】
《第2実施例》
図2は本発明の第2実施例の耐圧6.5kVのSiCpnダイオードの断面図である。本実施例のダイオードでは、図1に示す第1実施例のダイオードに比べ、ターミネーション領域T全域のパッシベーション膜26を、接合面3Aとメサ底面18との間の距離Lよりも大幅に厚くしている。その厚さは、0.5μmから3μmが望ましいが3μm以上でもよい。その他の構成は第1実施例のものと実質的に同じである。パッシベーション膜26を厚くすることにより、メサコーナー部20での電界集中を緩和でき高耐圧化ができる。またパッシベーション膜26の表面に付着するNaイオンなどのアルカリイオンにより生じるドリフト領域2やp型ターミネーション領域4の表面の局部電界集中を緩和することができる。さらに、水分等がパッシベーション膜26の表面に付着しても内部に浸入することはないので、その影響が内部にまでおよぶのを防止できる。これにより第2実施例の高耐電圧半導体装置は長期間使用する場合の信頼性が更に向上する。
【0016】
《第3実施例》
図3は本発明の第3実施例の耐圧6.9kVのSiCpnダイオードの断面図である。本実施例のダイオードでは、p型ターミネーション領域14をメサコーナー部20まで延長している。高耐圧半導体の従来技術では、順方向の特性をよくするため、p型ターミネーション領域14の左端をp型層3から離す必要があると考えられていた。本実施例では、p型ターミネーション領域14を形成するためのイオン打込みを、メサ斜面領域のメサコーナー部20の近傍にまで行って、p型ターミネーション領域14の左端部がp型層3とつながっていても良いことが実験によって確認された。実験では、この構成のダイオードを試作し、前記p型ターミネーション領域14の左端とp型層3がつながっている第1の場合とつながっていない第2の場合について、ダイオードの順方向特性の変化を調べた。その結果、第1の場合と第2の場合で順方向特性の差はなかった。p型ターミネーション領域14の左端部がp型層3につながっていても悪影響がないことが解った。
【0017】
さらに、p型ターミネーション領域14を含むターミネーション領域Tには全面に厚さ約0.4μmのパッシベーション膜6を形成している。その他の構成は第1実施例のものと実質的に同じである。この構成にすることにより、前記第1実施例において説明した空乏層に加えて、メサコーナー部20近傍のp型ターミネーション領域14とn型ドリフト層2との接合部からもカソード電極50に向かって空乏層が広がる。この空乏層によりメサコーナー部20のパッシベーション膜6への電界集中が緩和され耐電圧が高くなる。本実施例のダイオードに3KVの逆電圧を印加したとき、メサコーナー部20のパッシベーション膜6の電界は0.19MV/cmであった。従来例のダイオードでは約1.3MV/cmであるので、本実施例のものは従来例のものの15%程度に低下する。その結果本実施例の高耐圧半導体装置では高い耐電圧が得られるとともに更なる高信頼化を実現することができる。
【0018】
《第4実施例》
図4は本発明の第4実施例の耐圧6.9kVのSiCpnダイオードの断面図である。本実施例のダイオードでは、図3に示す第3実施例のダイオードに比べ、ターミネーション領域Tを含む全域のパッシベーション膜26を接合面3Aとメサ底面18との間の距離Lよりもはるかに厚くしている。その厚さは、2μmから3μmである。3μm以上でもよい。その他の構成は実施例3のものと実質的に同じである。パッシベーション膜26を厚くすることにより、メサコーナー部20の電界集中を緩和できる。さらにパッシベーション膜26の表面に付着するNaイオンなどのアルカリイオンがSiC表面の局部電界集中に与える影響が緩和される。さらに、パッシベーション膜26上に付着した水分などの影響がパッシベーション膜26の表面近傍にとどまり、内部にまでおよばない。
【0019】
《第5実施例》
図5は、本発明の第5実施例の耐圧7.5kVのSiCpnダイオードの断面図である。本実施例のダイオードは図3に示す第3実施例のダイオードのp型ターミネーション領域14を2つの領域14A及び14Bに分けたものである。その他の構成は第3実施例のものと同じである。メサコーナー部20に近い領域14Aの不純物濃度は、遠い領域14Bの不純物濃度より高くなされている。カソード電極50に正の電圧を印加したとき、まず領域14A内に空乏層が広がりこの空乏層により逆電圧に耐える。カソード電極50の正の電圧をさらに上げると、p型ターミネーション領域14の不純物濃度が約5×1017atm/cm3以下の場合は、p型ターミネーション領域14の全ての領域14A、14Bに空乏層が広がり、領域14A、14Bで電圧を分担する。これにより、p型ターミネーション領域14の端部14Cに電界が集中するのを防ぐことができ、ダイオードの高耐圧化が図れる。また、p型ターミネーション領域の不純物濃度が約5×1017atm/cm3よりも大きい場合、カソード電極50の正の電圧をさらに上げると、領域14Bには空乏層が広がるが、領域14Aの上層部には空乏層が広がらず、電圧は領域14Bと領域14Aの下層部により分担される。このため、メサコーナー部20には大きな電圧がかからず、メサコーナー部20のパッシベーション膜6の電界が緩和される。これにより信頼性の高いダイオードが得られる。
【0020】
《第6実施例》
図6は、本発明の第6実施例の耐圧7.5kVのSiCpnダイオードの断面図である。本実施例のダイオードは図3に示す第3実施例のダイオードのp型ターミネーション領域14を複数の領域、例えば4つの領域14D、14E、14F、及び14Gに分けたものである。各領域14D〜14Gは互いに分離されており、各領域14D〜14Gをほぼ同じ大きさにしてもよいが、メサコーナー部20に近い領域14Dを他の領域14E〜14Gより大きくするのが望ましい。各領域14D〜14Gの不純物濃度はほぼ同じである。各領域14D〜14Gの不純物濃度を互いに異なる濃度にしてもよい。その他の構成は第3実施例のものと同じである。本実施例のダイオードのカソード電極50に正の電圧を印加すると、空乏層がp型ターミネーション領域14の領域14Dから領域14Gに向かって広がりこの空乏層により逆電圧に耐える。実験によると、p型領域14D〜14Gの数を多くするほどダイオードの耐圧は上昇した。複数のp型領域14D〜14G及びそれらの間のドリフト層2でも電圧を分担するので、メサコーナー部20のパッシベーション膜6の電界が緩和され信頼性の高いダイオードが実現できる。
【0021】
《第7実施例》
図7は、本発明の第7実施例の耐圧2500V級のnチャネルSiCMOSFETの断面図である。図において、下面にドレイン電極52を有する高不純物濃度のn型ドレイン領域11の厚さは約200μm、ドレイン領域11の上に形成したn型ドリフト層2の厚さは約20μmである。n型ドリフト層2の上に部分的に形成したp型ボディ層33の厚さは約4μm、p型ボディ層33の一部に形成したn型ソース層7の厚さは約0.5μmである。p型ボディ層33のほぼ中央にトレンチ(溝)60が形成されている。トレンチ60の深さは約6μm、幅は約3μmである。トレンチ60内のゲート絶縁物層8の厚さはトレンチ60の底部で約1μm、側部で約0.1μmである。本実施例では、トレンチ60及びゲート電極54は図の紙面に垂直な方向にのびるストライプ状であるが、その形状は例えば円形や四角形等であってもかまわない。
【0022】
本実施例のMOSFETの製作方法は、次のとおりである。図7において、ドレイン領域11として機能する1018から1020atm/cm3のn型SiC基板を用意し、その上面に1015から1016atm/cm3のSiCn型ドリフト層2をエピタキシャル成長により形成する。n型ドリフト層2の上に1016atm/cm3程度のSiCp型ボディ層33を気相成長法等により形成する。図の左側部分のみp型ボディ層33を残して他の部分のp型ボディ層をメサエッチングで除去し、ターミネーション領域Tとする。ターミネーション領域Tにイオン打ち込みにより不純物濃度が1016から1018atm/cm3のp型ターミネーション領域14を形成する。残ったp型ボディ層33の中央領域に1018atm/cm3程度のn型ソース領域7を窒素、りん等のイオン打ち込みにより形成する。次に、異方性エッチングにより、p型ボディ層33を貫通し底部がn型ドリフト層2に達するトレンチ60を形成する。トレンチ60の内壁にSiO2のゲート絶縁膜8を形成した後、高濃度のりんを含んだポリシリコンを堆積してトレンチ60を埋める。トレンチ60の内壁に付着したポリシリコン膜を残し、他のポリシリコンを除去してポリシリコン膜のゲート電極54を形成する。アルミニウム、ニッケル等で、n型領域7とp型ボディ層33の表面にソース電極53を形成し、ドレイン領域11にドレイン電極52を形成する。最後にターミネーション領域Tに厚さ0.5μm以上のパッシベーション膜26を形成して完成する。
【0023】
図7の構成では、p型ターミネーション領域14の左端部がメサコーナー部20を覆っているが、必ずしも覆っていなくても良い。パッシベーション膜26の厚さを0.5μm以上と、p型ボディ層33とn型ドリフト層2の接合面33Aとメサ底面18との間の距離Lより厚くしたため、パッシベーション膜26のメサコーナー部20近傍での電界を緩和できる。さらに、パッシベーション膜26の表面に付着しSiC基板面に局部電界集中を生じさせるNaイオンなどのアルカリイオンによる影響を緩和することができる。また、水分の付着などによる影響がパッシベーション膜26の表面近傍にとどまり内部にまで及ばない。p型ボディー層33をエピタキシャル成長法により形成するため、結晶欠陥は非常に少ない。その結果オン時にp型ボディ層33とゲート絶縁膜8との界面に形成されるチャネル領域の移動度も83cm2/Vsと高い。
【0024】
《第8実施例》
図8は、本発明の第8実施例の耐圧8500V級SiCIGBTの断面図である。本実施例のIGBTはSiCp型基板のコレクタ領域12の一方の面にコレクタ電極62を有する。コレクタ領域12の他方の面にドリフト層2が形成されている。ドリフト層2の厚さを約70μmとし、その不純物濃度を約5×1014atm/cm3としている。p型ボディ層33は第5実施例のMOSFETと同様にエピタキシャル成長により形成するので結晶欠陥は非常に少ない。p型ボディー層33の一部に、エミッタ領域57が形成され、エミッタ領域57にエミッタ電極63が設けられている。この構成によりオン時にp型ボディ層33とゲート絶縁膜8との界面に形成されるチャネル領域の移動度が92cm2/Vsと高い値を有する。オン時にコレクタ領域12からホールがドリフト層2に注入されるため、伝導度変調が生じオン電圧を低くすることができる。電流密度が100A/cm2のときオン電圧は4.3Vである。
【0025】
本発明は上記の各実施例に限定されるものではなく、さらに多くの適用範囲あるいは派生構造をカバーするものである。
前記各実施例では、SiCを用いた半導体装置のみを例に挙げたが、本発明は、ダイヤモンド、ガリウムナイトライドなどの他のワイドギャップ半導体材料を用いた半導体装置に有効に適用できる。
前記第1ないし第8実施例では、ドリフト層2がn型の半導体装置を例に挙げて述べた。ドリフト層2がp型の半導体装置の場合には、他の要素のn型領域をp型領域に、p型領域をn型領域に置き変えることにより、本発明の構成を適用できる。さらに、本発明は、メサコーナー部20を挟む斜面及びドリフト層にp型領域(あるいはn型領域)を有する半導体装置すべてに適用可能である。さらに、パッシベーション膜を2種類以上の材料の膜で形成する場合でも、本発明の構成を適用できる。
【0026】
【発明の効果】
以上の各実施例の詳細な説明から明らかなように、本発明の半導体装置では、メサコーナー部近傍のp型層の斜面とターミネーション領域の面とのなす角を鈍角にしている。そしてp型層の不純物濃度を所定の範囲内にし、少なくともメサコーナー部のパッシベーション膜をp型層とn型ドリフト層の接合面とメサ底面間の距離より厚くする。これにより、メサコーナー部のパッシベーション膜への電界集中が緩和され、半導体装置の耐電圧及び信頼性が向上する。さらに、パッシベーション膜を厚くすることにより、この膜のメサコーナー部での電界集中を緩和できるのみならず、パッシベーション膜の表面に付着するNaイオンなどのアルカリイオンによるSiC表面の局部電界集中の影響を緩和することができる。さらに、水分などの影響がパッシベーション膜の表面近傍にとどまり内部のSiCまでおよびにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例のpnダイオードの断面図
【図2】 本発明の第2実施例のpnダイオードの断面図
【図3】本発明の第3実施例のpnダイオードの断面図
【図4】本発明の第4実施例のpnダイオードの断面図
【図5】本発明の第5実施例のpnダイオードの断面図
【図6】本発明の第6実施例のpnダイオードの断面図
【図7】本発明の第7実施例のMOSFETの断面図
【図8】本発明の第8実施例のIGBTの断面図
【図9】従来の例のpnダイオードの断面図
【図10】従来の他の例のpnダイオードの断面図
【図11】従来の更に他の例のpnダイオードの断面図
【符号の説明】
1 カソード領域
2 ドリフト層
3 p型層
4、14 p型ターミネーション領域
5 チャネルストッパー
6、16、26 パッシベーション膜
7 ソース領域
8 ゲート絶縁膜
11 ドレイン領域
20 メサコーナー部
26 パッシベーション膜
33 p型ボディー層
50 カソード電極
51 アノード電極
52 ドレイン電極
53 ソース電極
54 ゲート電極
Claims (24)
- ワイドギャップ半導体材料の基板に形成した第1の導電型の第1の層、
前記第1の層の上にエピタキシャル成長法で形成した、第2の導電型の第2の層、
前記第2の層に隣接するメサ溝のメサ底面を形成する前記第1の層に、前記メサ底面側から形成した、第2の導電型のターミネーション領域、及び
前記ターミネーション領域と前記第2の層と前記第1の層との上に形成した表面保護膜
を有し、
前記第2の層と前記第1の層との接合面は、前記メサ底面よりも、高い位置にあり、
前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ溝のメサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサ側面と前記メサ底面とが交わる部分であるメサコーナー部を覆っていることを特徴とする高耐電圧半導体装置。 - 前記第2の導電型のターミネーション領域の不純物濃度が1016から1018atm/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の層の側面と前記メサ底面がなす角が90度を越え、かつ、150度以下の範囲であることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記メサコーナー部における前記表面保護膜の前記メサ底面に直交する方向の厚みは、1μm以上であることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記表面保護膜の厚さが0.5μm以上であることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域が前記第2の層の近傍又は第2の層に接して形成されていることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域の不純物濃度を、前記メサコーナー部に近い部分で高くし、前記メサコーナー部から遠い部分で低くしたことを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、互いに間隔をあけて配列された複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域のうちの最も前記第2の層側にある一の分割領域は、前記メサコーナー部を覆っていることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記一の分割領域は、他の前記分割領域よりも、前記メサ底面に沿って前記メサコーナー部から離れる方向の長さが、大きいことを特徴とする請求項8記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域は、不純物濃度がほぼ等しいことを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域は、不純物濃度が互いに異なることを特徴とする請求項1記載の高耐電圧半導体装置。
- 一方の面に第1の電極を有するワイドギャップ半導体材料の基板の他方の面に形成した第1の導電型の第1の層、
前記第1の層の上にエピタキシャル成長法で形成した、第2の導電型の第2の層、
前記第2の層の一部分に形成した第1の導電型の第1の領域、
前記第1の領域及び第2の層を貫通し、第1の層に達するように形成されたトレンチ、
前記トレンチの内壁面に絶縁膜を介して形成した第2の電極、
前記第2の層に隣接するメサ溝のメサ底面を形成する前記第1の層に、前記メサ底面側から形成した、第2の導電型のターミネーション領域、
前記第1の領域と第2の層の上に形成した第3の電極、及び
前記ターミネーション領域、前記第1の層及び前記第2の層の側面に形成した表面保護膜
を有し、
前記第2の層と前記第1の層との接合面は、前記メサ底面よりも、高い位置にあり、
前記ターミネーション領域の前記第2の層側の端部は、前記メサ溝のメサ側面にあって、前記ターミネーション領域は、前記メサ側面と前記メサ底面とが交わる部分であるメサコーナー部を覆っていることを特徴とする高耐電圧半導体装置。 - 前記ワイドギャップ半導体材料の基板が第2の導電型であることを特徴とする請求項12記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記表面保護膜の厚さが0.5μm以上であることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域の不純物濃度が1016から1018atm/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の層の側面と前記メサ底面がなす角が90度を越え、かつ、150度以下の範囲であることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記メサコーナー部における前記表面保護膜の前記メサ底面に直交する方向の厚みは、1μm以上であることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域が前記第2の層の近傍又は第2の層に接して形成されていることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域が前記第2の層に接して形成されていることを特徴とする請求項12又は13記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2の導電型のターミネーション領域の不純物濃度を、前記メサコーナー部に近い部分で高くし、前記メサコーナー部から遠い部分で低くしたことを特徴とする請求項12記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、互いに間隔をあけて配列された複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域のうちの最も前記第2の層側にある一の分割領域は、前記メサコーナー部を覆っていることを特徴とする請求項12記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記一の分割領域は、他の前記分割領域よりも、前記メサ底面に沿って前記メサコーナー部から離れる方向の長さが、大きいことを特徴とする請求項21記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域は、不純物濃度がほぼ等しいことを特徴とする請求項12記載の高耐電圧半導体装置。
- 前記第2導電型のターミネーション領域は、複数の分割領域を有し、前記複数の分割領域は、不純物濃度が互いに異なることを特徴とする請求項12記載の高耐電圧半導体装置。
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