JP3907667B2 - 電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置 - Google Patents

電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置 Download PDF

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7271529B2 (en) * 2004-04-13 2007-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting devices having metal-based film formed over an electro-conductive film element
JP4366235B2 (ja) 2004-04-21 2009-11-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法
US7230372B2 (en) * 2004-04-23 2007-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source, image display apparatus, and their manufacturing method
JP3907667B2 (ja) * 2004-05-18 2007-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP3935478B2 (ja) * 2004-06-17 2007-06-20 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法および該画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP3774723B2 (ja) 2004-07-01 2006-05-17 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法、該製造方法によって製造された画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP4594077B2 (ja) * 2004-12-28 2010-12-08 キヤノン株式会社 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP4920925B2 (ja) * 2005-07-25 2012-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置とそれらの製造方法
JP2008027853A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Canon Inc 電子放出素子、電子源および画像表示装置、並びに、それらの製造方法
EP2109132A3 (en) * 2008-04-10 2010-06-30 Canon Kabushiki Kaisha Electron beam apparatus and image display apparatus using the same
JP2009277458A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2009277460A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2009277457A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP4458380B2 (ja) * 2008-09-03 2010-04-28 キヤノン株式会社 電子放出素子およびそれを用いた画像表示パネル、画像表示装置並びに情報表示装置
JP2010092843A (ja) * 2008-09-09 2010-04-22 Canon Inc 電子線装置およびそれを用いた画像表示装置
JP2010146914A (ja) * 2008-12-19 2010-07-01 Canon Inc 電子放出素子の製造方法および画像表示装置の製造方法
JP4637233B2 (ja) * 2008-12-19 2011-02-23 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法及びこれを用いた画像表示装置の製造方法
JP2010182585A (ja) * 2009-02-06 2010-08-19 Canon Inc 電子放出素子及びこれを用いた画像表示装置
US10345802B2 (en) * 2016-02-17 2019-07-09 Lam Research Corporation Common terminal heater for ceramic pedestals used in semiconductor fabrication
CN110875165A (zh) * 2018-08-30 2020-03-10 中国科学院微电子研究所 一种场发射阴极电子源及其阵列

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4956574A (en) * 1989-08-08 1990-09-11 Motorola, Inc. Switched anode field emission device
JP2574500B2 (ja) * 1990-03-01 1997-01-22 松下電器産業株式会社 プレーナ型冷陰極の製造方法
JP3235172B2 (ja) * 1991-05-13 2001-12-04 セイコーエプソン株式会社 電界電子放出装置
US5502314A (en) * 1993-07-05 1996-03-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Field-emission element having a cathode with a small radius
JP3332676B2 (ja) 1994-08-02 2002-10-07 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置と、それらの製造方法
US6246168B1 (en) 1994-08-29 2001-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source and image-forming apparatus as well as method of manufacturing the same
DE69532690T2 (de) 1994-09-22 2005-01-13 Canon K.K. Verfahren zur Herstellung einer Elektronen-emittierenden Einrichtung sowie einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes mit derartigen Elektronen-emittierenden Einrichtungen
CN1086056C (zh) 1995-03-13 2002-06-05 佳能株式会社 电子发射器件和电子源及其成象装置
JP3174999B2 (ja) 1995-08-03 2001-06-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、それを用いた画像形成装置、及びそれらの製造方法
DE69919242T2 (de) 1998-02-12 2005-08-11 Canon K.K. Verfahren zur Herstellung eines elektronenemittierenden Elementes, Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerätes
JP3320387B2 (ja) 1998-09-07 2002-09-03 キヤノン株式会社 電子源の製造装置及び製造方法
JP2000155555A (ja) 1998-09-16 2000-06-06 Canon Inc 電子放出素子の駆動方法及び、該電子放出素子を用いた電子源の駆動方法、並びに該電子源を用いた画像形成装置の駆動方法
JP3135118B2 (ja) 1998-11-18 2001-02-13 キヤノン株式会社 電子源形成用基板、電子源及び画像形成装置並びにそれらの製造方法
JP3154106B2 (ja) 1998-12-08 2001-04-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源並びに該電子源を用いた画像形成装置
JP3131782B2 (ja) 1998-12-08 2001-02-05 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源並びに画像形成装置
EP1148532B1 (en) 1999-01-19 2011-04-06 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing electron beam device, and image creating device manufactured by these manufacturing methods, method for manufacturing electron source, and apparatus for manufacturing electron source, and apparatus for manufacturing image creating device
JP3323847B2 (ja) 1999-02-22 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
JP2000311597A (ja) 1999-02-23 2000-11-07 Canon Inc 電子放出素子の製造方法及び装置、駆動方法並びに調整方法
JP3323848B2 (ja) 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP3323851B2 (ja) 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP2000251643A (ja) 1999-02-26 2000-09-14 Canon Inc 電子放出素子、電子放出素子を用いた電子源、及び電子源を用いた画像形成装置
JP3667137B2 (ja) 1999-02-26 2005-07-06 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子放出素子を用いた電子源、及び電子源を用いた画像形成装置
JP3323850B2 (ja) 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP3323849B2 (ja) 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP3323852B2 (ja) 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP4323679B2 (ja) 2000-05-08 2009-09-02 キヤノン株式会社 電子源形成用基板及び画像表示装置
JP3639808B2 (ja) * 2000-09-01 2005-04-20 キヤノン株式会社 電子放出素子及び電子源及び画像形成装置及び電子放出素子の製造方法
JP3634828B2 (ja) 2001-08-09 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像表示装置の製造方法
JP3634852B2 (ja) 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法
JP3634850B2 (ja) 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
JP3740485B2 (ja) 2004-02-24 2006-02-01 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置の製造方法及び駆動方法
US7271529B2 (en) 2004-04-13 2007-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting devices having metal-based film formed over an electro-conductive film element
JP4366235B2 (ja) 2004-04-21 2009-11-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法
US7230372B2 (en) 2004-04-23 2007-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source, image display apparatus, and their manufacturing method
JP3907667B2 (ja) 2004-05-18 2007-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP3935478B2 (ja) 2004-06-17 2007-06-20 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法および該画像表示装置を用いた情報表示再生装置
US7393288B2 (en) * 2005-06-23 2008-07-01 Bridgestone Sports Co., Ltd. Golf ball material, golf ball and method for preparing golf ball material

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