JP3935478B2 - 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法および該画像表示装置を用いた情報表示再生装置 - Google Patents
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Description
本実施例で作成した電子放出素子は、図2に示したものと同様の構成を有するものである。図2と図6にもとづいて本実施例の製造工程を説明する。
本実施例では、実施例1の「活性化処理」で用いた炭素含有ガスをトルニトリルからHf[N(CH3)2]4(テトラキスジメチルアミノハフニウム)ガスに変えて行った。尚、「活性化処理」におけるテトラキスジメチルアミノハフニウムガスの分圧は、1×10−4Paで行った。
本実施例では、実施例1で用いたテトラキスジメチルアミノハフニウムを、Ti[N(CH3)2]4(テトラキスジメチルアミノチタン)に変えて、電子放出素子の作製を行い、その特性評価を行った。
本実施例では、実施例1で用いたテトラキスジメチルアミノハフニウムを、Zr[N(CH3)2]4(テトラキスジメチルアミノジルコン)に変えて、電子放出素子の作製を行い、その特性評価を行った。
本実施例では図5に示した画像表示装置を作製した。
2,3 電極
4 導電性薄膜
5 間隙
6 炭素膜
7 金属または金属化合物の被膜
Claims (6)
- 絶縁体の基板の表面上に設けられた炭素膜からなる第1導電膜と、前記基板の表面上に前記第1導電膜から離れて設けられた炭素膜からなる第2導電膜と、前記第1導電膜と第2導電膜と前記基板の表面とを被覆する、金属または金属化合物からなる被膜と、を含む表面伝導型電子放出素子の製造方法であって、
第1電極と該第1電極と離れた第2電極とを備えた絶縁体の基板を用意し、前記第1電極と前記第2電極との間に、炭素含有ガスを含む雰囲気中で、パルス電圧を複数回印加することによって、前記第1電極に電気的に接続する炭素膜からなる第1導電膜および前記第2電極に電気的に接続する炭素膜からなる第2導電膜とを設ける第1の工程と、
前記第1の工程の後に、前記基板を加熱しながら酸素含有ガスと金属含有ガスとに前記基板を交互に繰返し曝すことで、前記第1導電膜と第2導電膜と前記基板の表面とを被覆する、前記金属含有ガスに含まれた金属からなる被膜または前記金属含有ガスに含まれた金属の化合物からなる被膜を設ける第2の工程と、
を有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子の製造方法。 - 前記金属含有ガスが、ハフニウム、チタニウム、ジルコニウムの中から選択された金属を含有する有機金属ガスであり、前記酸素含有ガスが、O 2 ガスまたはH 2 Oガスであることを特徴とする請求項1に記載の表面伝導型電子放出素子の製造方法。
- 前記第2の工程における前記基板の加熱温度が85℃以上180℃以下であり、前記金属含有ガスが、Hf[N(CH 3 ) 2 ] 4 、Ti[N(CH 3 ) 2 ] 4 、Zr[N(CH 3 ) 2 ] 4 の中から選択された有機金属ガスであることを特徴とする請求項1または2に記載の表面伝導型電子放出素子の製造方法。
- 複数の表面伝導型電子放出素子を備える電子源の製造方法であって、前記複数の表面伝導型電子放出素子の各々が請求項1乃至3のいずれかに記載の製造方法によって製造されることを特徴とする電子源の製造方法。
- 電子源と発光体とを備える画像表示装置の製造方法であって、前記電子源が請求項4に記載の製造方法により製造されること特徴とする画像表示装置の製造方法。
- 受信した放送信号に含まれる映像情報、文字情報および音声情報の少なくとも1つを出力する受信器と、該受信器に接続された画像表示装置とを少なくとも備える情報表示再生装置であって、前記画像表示装置が請求項5に記載の製造方法により製造された画像表示装置であることを特徴とする情報表示再生装置。
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