JP2004047634A - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、残留炭素などの不純物濃度を低下させることを可能とした、良質な金属酸化膜を得ることができる成膜方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、該工程と同時若しくは該工程の後又は該工程の最中に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図2
【解決手段】本発明は、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、該工程と同時若しくは該工程の後又は該工程の最中に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に成膜技術に係り、CVD法等による金属酸化膜の成膜方法及び成膜装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
最先端技術により形成される超LSI、特にDRAM(Dynamic Random Access Memory)では、微細化に伴い膜厚が極めて薄い酸化膜がキャパシタ絶縁膜やゲート絶縁膜に用いられている。これらの絶縁膜には、リーク電流の低減を図りつつ薄膜化若しくは一層の微細化を図るために、比誘電率の大きな膜、例えば比誘電率8.6〜10.55のAl2O3膜や比誘電率50〜120のTa2O5膜等が用いられている。
【0003】
従来、これらの強誘電体膜や高誘電体膜は、CVD法等により形成し、その後、熱処理等の後処理により改質させる方法で形成されている。しかし、このような方法では膜の堆積と改質処理を別々に行う必要があり、また改質工程で用いられる酸素雰囲気中での高温熱処理に起因して、様々な問題が発生する。
【0004】
また、最近では、これらの強誘電体膜や高誘電体膜をALD法(AtomicLayer Deposition:複数種の原料ガスを1種類ずつ交互に供給して成膜を行なう方法)やMOCVD法により形成する技術が研究されている。特に強誘電体膜や高誘電体膜を形成する場合には、構成金属元素を含む様々な有機金属化合物を原料に使う必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような有機金属化合物を用いた成膜処理においては、当該有機金属化合物に由来するC(炭素)等の不純物が形成した膜に残留してしまうという問題点があった。特にゲート絶縁膜やキャパシタ絶縁膜の成膜に有機金属化合物を用いた場合には、不純物の混入によりリーク電流が生じやすくなり、絶縁膜の電気的特性を劣化させてしまうという問題点があった。
【0006】
そこで、本発明は、残留炭素などの不純物濃度を低下させることを可能とした、良質な金属酸化膜を得ることができる成膜方法及び成膜装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を、
請求項1に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程と同時に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項2に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程後に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項3に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程中に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを断続的に供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項4に記載したように、上記活性化した酸素ガスは、O2,NO若しくはN2Oのうちの少なくとも1種のガスを活性化して生成される、請求項1乃至3のうちいずれか1項記載の成膜方法により、又は、
請求項5に記載したように、上記有機金属ガスは、TMAガスである、請求項1乃至4のうちいずれか1項記載の成膜方法により、又は、
請求項6に記載したように、請求項1乃至5のうちいずれか1項記載の成膜方法を使用する、成膜装置により解決する。
【0008】
上記発明によれば、活性化した酸素ガスを用いて金属酸化膜を形成することによって、金属酸化膜中の残留炭素などの不純物濃度が著しく低下され、良質な金属酸化膜を得ることができる。尚、この活性化した酸素ガスは、リモートプラズマ発生器若しくはオゾナイザーによって生成されてよい。
【0009】
また、請求項3に記載の発明によると、従来の熱CVD法により形成される膜に比べ、被覆性、平滑性、膜の純度が良好な金属酸化膜を得ることができる。尚、請求項3の発明において、有機金属ガス及び活性化した酸素ガスを交互に供給する工程間に、処理容器内を真空排気或いは第3種のガスによるパージを行なうことが望ましい。これにより、処理容器へのこれらのガスの供給中において、不要な反応が生じることを防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0011】
まず、本発明による成膜方法の説明に先立ち、本発明による成膜方法を実現するCVD成膜装置200の構成例について説明する。
【0012】
図1を参照するに、この成膜装置200は、例えばアルミニウムにより円筒形若しくは箱型に形成された処理容器201を有する。この処理容器201内には、半導体基板101が載置される載置台203が設けられる。この載置台203は、処理容器201の底部に立設された支柱202により支持される。載置台203の内部には、加熱手段として抵抗加熱ヒータ204が埋設される。
【0013】
載置台203の下方には、リング状の支持部材206が設けられ、複数のL字状のリフタピン205が、この支持部材206からリフタピン穴208を通って半導体基板101に向かって延在する。この支持部材206は、処理容器201の底部を貫通する押し上げ棒207により上下移動させられ、この支持部材206の上下移動により、リフタピン205が半導体基板101を持ち上げることになる。押し上げ棒207の下端は、処理容器201において内部の気密状態を保持するために伸縮可能なベローズ209を介してアクチュエータ210に接続される。
【0014】
載置台203の周縁部には、窒化アルミニウム等から形成される、半導体基板101の周縁部を保持するためのクランプ部材211が設けられる。クランプ部材211は、支持部材206に連結棒212を介して連結されており、リフタピン205と一体的に上下移動させられる。尚、リフタピン205や連結棒212等はアルミナ等により形成される。
【0015】
載置台203の外周側には、アルミニウムからなる壁部213が形成され、壁部213の上部は、水平方向に曲げ加工され、屈曲部214が形成される。この屈曲部214の上面は、載置台203の上面と略同一平面状にあり、載置台203の外周よりも僅かな距離だけ離間され、この間に連結棒212が挿通されている。この円筒形の壁部213は、載置台203の裏側に不活性ガスパージを画成している。
【0016】
また、リング状のクランプ部材211の内周側には、複数の接触突起216が、周方向に沿って略等間隔で配設されており、クランプ時には、接触突起216の下端面が、半導体基板101の周縁部の上面と接触し、載置台203に対して半導体基板101を拘束する。
【0017】
尚、クランプ時において各接触突起216の間に形成される半導体基板101との間隙は、第1のガスパージ用間隙217として機能する。また、クランプ部材211の周縁部は、壁部213の屈曲部214の上方に配置され、これらが形成するリング状の間隙は、第2のガスパージ用間隙218として機能する。これにより、不活性ガスパージ室215内の不活性ガスは、処理空間に第1のガスパージ用間隙217及び第2のガスパージ用間隙218から流出できるようになる。
【0018】
処理容器201の底部には、不活性ガス供給手段219の一部を構成するガスノズル220が設けられる。ガス流路223は、マスフローコントローラのような流量制御器221及び開閉弁222,245を有する。このガス流路223の一端は、ガスノズル220に接続され、ガス流路223の他端は、例えばArガスやHeガスのような不活性ガスを貯留する不活性ガス源224に接続される。
【0019】
また、処理容器201の底部の周縁部には、排気口225が設けられ、排気口225には、処理容器201内を所定の真空度に維持できるように、真空ポンプ(図示せず)を備えた排気路226が接続される。また、処理容器201の側壁には、半導体基板101を搬出入する際に開閉されるゲートバルブ227が設けられる。
【0020】
一方、載置台203と対向する処理容器201の天井部には、原料ガス等を処理容器201内に導入する処理ガス供給手段としてシャワーヘッド228が設けられる。シャワーヘッド228は、例えばアルミニウム等により円形箱型に成形されたヘッド本体229を有し、このヘッド本体229の天井部にはガス流入口230が設けられる。このガス流入口230には、固体若しくは液体の原料を収容する原料容器(図示せず)を備えた原料供給路が接続される。尚、上述の如く処理容器201に導入される原料ガスは、原料容器内の原料を気化することにより生成され、Arガス等のキャリアガスにより処理容器201に搬送される。
【0021】
ヘッド本体229の下部には、ヘッド本体229に供給されたガスを処理空間へ放出するための多数のガス噴射孔231が配設される。また、ヘッド本体229の内部には、半導体基板101に均等にガスを供給するように、多数のガス分散孔232を有する拡散板233が配設されてよい。また、処理容器201の側壁内及びシャワーヘッド228の側壁内には、処理容器201及びシャワーヘッド228への原料や反応副生成物の凝縮や付着を防止するため、カートリッジヒータ234,235がそれぞれ設けられる。
【0022】
本発明による成膜装置200は、形成された膜中における残留炭素などの不純物濃度を低下させるべく、処理容器201に活性化した酸素ガスを導入するための手段を備える。具体的には、本発明による成膜装置200の処理容器201には、活性化した酸素ガスを導入する活性化ガス供給口241が設けられる。この活性化ガス供給口241に接続するガス導入経路242には、O2、NO、N2Oガスを活性化するリモートプラズマ発生器243が設けられる。
【0023】
このリモートプラズマ発生器243は、マイクロ波により酸素ガスをプラズマ化するものであるが、マイクロ波以外に、ICPプラズマ、平行平板プラズマ、ECRプラズマやDCプラズマ、RFプラズマを用いてもよい。また、リモートプラズマ発生器243に代わって、遠紫外線を用いて酸素ガスをオゾン化するオゾナイザーを利用してもよい。
【0024】
続いて、本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態について説明する。図2は、上述の成膜装置200を用いた本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。以下、図2に示す各処理について説明する。
【0025】
(ステップ100)処理容器201に半導体基板101を搬送アームにより搬入して予め所定の温度例えば300℃に加熱した載置台203に載置し、更に、Arガスを流しながら処理容器201の圧力を所定の圧力例えば1330Pa(10Torr)に維持する。
【0026】
(ステップ110)リモートプラズマ発生器243により活性化された酸素ガスを処理容器201に活性化ガス供給口241を介して導入し、半導体基板101が上記活性化した酸素ガスに曝された状態とし、処理容器201の圧力を所定の圧力例えば266Pa(2Torr)に保ち所定時間例えば60秒保持する。
【0027】
(ステップ120)リモートプラズマ発生器243により活性化された酸素ガスを処理容器201に導入しつつ、Arガス等のキャリアガスにより搬送した原料ガスを処理容器201にガス流入口230を介して断続的に導入する。このステップ120は、例えば10秒間原料ガスを流通し、20秒間停止するといったサイクルを複数回繰り返すものであってよい。
【0028】
本発明者らは、上述の成膜装置200を用い、第1の実施形態の成膜方法により各種の金属酸化膜を形成し、当該形成した金属酸化膜中の不純物濃度について調査した。
【0029】
その結果、原料として有機金属化合物であるTMA(トリメチルアルミニウム)を用い、本実施形態によりAl2O3膜を形成した場合には、活性化した酸素ガスを導入することなくAl2O3膜を形成した場合に比して、単位体積当たりの膜中の炭素量が一桁以上低減されることが確認された。その他、同様に有機金属化合物であるRu(EtCp)2を用い、本実施形態によりTa2O5膜を形成した場合には、活性化した酸素ガスを導入することなくTa2O5膜を形成した場合に比して、同様に単位体積当たりの膜中の炭素量が少なくとも1桁低くなることが確認された。
【0030】
尚、上述した第1の実施形態では、活性化された酸素ガスを処理容器201に導入しつつ原料ガスを導入するものであったが、これらのガスを処理容器201に同時に導入することとしても、同等の効果を得ることができる。
【0031】
また、活性化した酸素ガスを供給するガス導入経路242は、図1においては処理容器201の側壁に接続されているが、ガス導入経路242は、例えばシャワーヘッド228に接続されてもよい。かかる場合、シャワーヘッド228には、原料ガス及び活性化した酸素ガスに対して各々別個にガス通路が設けられ、処理容器201に導入された際にこれらのガスが混合されるように構成される。
【0032】
次いで、上述した熱CVD法に代わって、複数種のガスを交互供給することによって、上述の金属酸化膜を成膜する本発明による方法について説明する。
【0033】
まず、本発明による成膜方法の説明に先立ち、本発明による成膜方法を実現する成膜装置200の構成例について説明する。尚、本例では、TMA(トリメチルアルミニウム)を原料とするAl2O3膜の成膜処理を例として説明する。
【0034】
図3を参照するに、この成膜装置200は、原料供給路11、活性化ガス供給路13、処理容器201、加熱機構204、載置台203、及び真空ポンプ42を備えた排気路226等により構成されている。本実施形態の成膜装置200は、処理容器201内において原料ガス等を横方向(半導体基板101の面方向)に流す構成であるため、ガス流入口22,24は処理容器201の側壁に設けられている。
【0035】
載置台203は、支持部材202により固定されることより、処理容器201内に設置されている。この載置台203は、図示しない搬送アームにより搬入される半導体基板101を載置する。
【0036】
排気路226は、処理容器201の側壁に設置されている。この排気路226は、排気ガス流量を調節するバルブ41を介して真空ポンプ42に接続されている。真空ポンプ42により、排気路226を介して処理容器201内のガスを排気することにより、処理容器201内を真空ポンプ42の排気能力と、処理容器201,排気管40,バルブ41のコンダクタンスにより定められた到達真空度、或いは所定の圧力に維持することができる。
【0037】
原料供給路11には、原料容器30に供給するArガス等のキャリアガスの流量制御を行なうマスフローコントローラ32が設けられる。原料容器30内には原料であるTMAが収容される。TMAガスは、バブリング等により原料を気化して生成され、上記キャリアガスによって原料供給路11を通って成膜装置200まで搬送されていく。
【0038】
活性化ガス供給路13には、遠紫外線を用いて酸素ガスをオゾン化するオゾナイザー33が設けられる。オゾナイザー33は、ガス源(図示せず)より供給される酸素ガスを活性化(オゾン化)する。活性化した酸素ガスは、活性化ガス供給路13を通りガス流入口24を介して処理容器201内に供給される。尚、オゾナイザー33に代わって、第1の実施形態で説明したようなリモートプラズマ発生器243を用いてもよい。
【0039】
また、図示は省略するが、原料供給路11および活性化ガス供給路13には、バルブV3,V4がそれぞれ設けられており、各ガスの流通/停止は、各バルブV3,V4の開閉により制御される。このバルブV3,V4の駆動は、図示しない制御装置により実現される。
【0040】
続いて、本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態について説明する。図4は、上述の成膜装置200を用いた本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。以下、図4に示す各処理について説明する。
【0041】
(ステップ200)処理容器201に半導体基板101を搬送アームにより搬入し、予め所定の温度例えば300℃に加熱した載置台203に載置する。
【0042】
(ステップ210)オゾナイザー33により活性化された酸素ガスを処理容器201にガス流入口24を介して導入し、処理容器201を所定の圧力に保持する。
【0043】
(ステップ220)ガス供給を停止して、処理容器201を真空排気若しくはパージガスによりパージする。
【0044】
(ステップ230)Arガス等のキャリアガスにより搬送したTMAガスを処理容器201にガス流入口22を介して導入し、処理容器201を所定の圧力に保持する。
【0045】
(ステップ240)ガス供給を停止して、処理容器201を真空排気若しくはパージガスによりパージする。以上の(ステップ210)から(ステップ240)までの処理により、半導体基板101の表面には分子層レベルのAl2O3膜が形成される。
【0046】
(ステップ250)Al2O3膜が所望の膜厚となるように、(ステップ210)から(ステップ240)までを所定の回数繰り返す。
【0047】
本発明者らは、上述の第1の実施形態と同様に、第2の実施形態の成膜方法により形成したAl2O3膜中の不純物濃度について調査した。
【0048】
その結果、第2の実施形態により形成したAl2O3膜は、上記ステップ210で活性化された酸素ガスの代わりにH2Oガスを導入して形成したAl2O3膜に比して、膜中の炭素量が50%以上低減されることが確認された。
【0049】
尚、第2の実施形態の成膜装置200は、連続処理が可能なクラスタツール装置に複数適用してもよい。かかる場合、クラスタツール装置の各処理容器201には、原料ガス及び活性化した酸素ガスが異なる位相で交互に供給される。
【0050】
[成膜例]
本発明者らは、上述した第1の実施形態の成膜方法によりAl2O3膜を成膜し、従来的な成膜方法により形成したAl2O3膜と膜中の炭素量の比較を行った。
【0051】
尚、本実施例は、オゾナイザーに流通させた酸素ガスとキャリアガスにより搬送された原料ガスは、シャワーヘッドには異なる流路から流入し、シャワーヘッド内の流路も分かれており、処理容器内で初めてこれらのガスが混合される、ポストミックスタイプのシャワーヘッドを用いて供給されるものとする。
【0052】
まず、上記ステップ100に従い、処理容器に半導体基板を搬送アームにより搬入し、基板温度が300℃になるように加熱した載置台に載置し、半導体基板を昇温するために、Arガスを流しながら処理容器の圧力を1330Pa(10Torr)に保ち、60秒保持した。
【0053】
次いで、上記ステップ110に従い、オゾナイザーに流通させた流量500sccm(1sccmは、0℃・1気圧の流体が1cm3流れることを意味する)の酸素ガスを処理容器に流通させつつ、処理容器の圧力を266Pa(2Torr)に保ちつつ60秒保持した。
【0054】
次いで、上記ステップ120に従い、オゾナイザーに流通させた流量500sccmの酸素ガスを処理容器に流通させつつ、流量200sccmのArガスにより搬送したTMAガス(原料容器の温度:60℃)を処理容器に断続的に流通させた。TMAガスの流通/停止は、10秒間原料ガスを流通し、20秒間停止するサイクルで5回繰り返した。
【0055】
この結果、厚さ15nmのAl2O3膜が得られ、不純物濃度は低く、膜中のC(炭素)は、2E19atoms/cm3であった。
【0056】
一方、比較例として、オゾナイザーに流通させた酸素ガスの代わりに、80℃の純粋に流通させた流量200sccmのO2ガスを流通させた。上記例と同様に、原料容器の温度は60℃とし、基板温度は300℃とした。
【0057】
この結果、厚さ13nmのAl2O3膜が得られ、膜中のC(炭素)は、5E20atoms/cm3であった。
【0058】
以上の結果から、本発明による成膜方法によると、単位体積当たりのAl2O3膜中の残留炭素量が1/10以上低減され、非常に良質なAl2O3膜を得ることができることがわかった。
【0059】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【0060】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したようなものであるから、以下に記載されるような効果を奏する。本発明によれば、活性化した酸素ガスを用いて金属酸化膜を形成することによって、金属酸化膜中の残留炭素などの不純物濃度が著しく低下され、良質な金属酸化膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施に適用できる成膜装置200の構成例を示す断面図である。
【図2】本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。
【図3】本発明の実施に適用できるその他の成膜装置200の構成例を示す断面図である。
【図4】本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。
【符号の説明】
100 成膜装置
110 シャワーヘッド
130 載置台
132 加熱機構
140 排気管
101 半導体基板
200 成膜装置
201 処理容器
202 支柱
203 載置台
204 抵抗加熱ヒータ
205 リフタピン
206 支持部材
207 押し上げ棒
208 リフタピン穴
209 ベローズ
210 アクチュエータ
211 クランプ部材
212 連結棒
213 壁部
214 屈曲部
216 接触突起
217 第1のガスパージ用間隙
218 第2のガスパージ用間隙
219 不活性ガス供給手段
220 ガスノズル
221 流量制御器
222 開閉弁
223 ガス流路
224 不活性ガス源
225 排気口
226 排気路
227 ゲートバルブ
228 シャワーヘッド
229 ヘッド本体
230 ガス流入口
231 ガス噴射孔
232 ガス分散孔
233 拡散板
234,235 カートリッジヒータ
241 活性化ガス供給口
242 ガス導入経路
243 リモートプラズマ発生器
245 開閉弁
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に成膜技術に係り、CVD法等による金属酸化膜の成膜方法及び成膜装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
最先端技術により形成される超LSI、特にDRAM(Dynamic Random Access Memory)では、微細化に伴い膜厚が極めて薄い酸化膜がキャパシタ絶縁膜やゲート絶縁膜に用いられている。これらの絶縁膜には、リーク電流の低減を図りつつ薄膜化若しくは一層の微細化を図るために、比誘電率の大きな膜、例えば比誘電率8.6〜10.55のAl2O3膜や比誘電率50〜120のTa2O5膜等が用いられている。
【0003】
従来、これらの強誘電体膜や高誘電体膜は、CVD法等により形成し、その後、熱処理等の後処理により改質させる方法で形成されている。しかし、このような方法では膜の堆積と改質処理を別々に行う必要があり、また改質工程で用いられる酸素雰囲気中での高温熱処理に起因して、様々な問題が発生する。
【0004】
また、最近では、これらの強誘電体膜や高誘電体膜をALD法(AtomicLayer Deposition:複数種の原料ガスを1種類ずつ交互に供給して成膜を行なう方法)やMOCVD法により形成する技術が研究されている。特に強誘電体膜や高誘電体膜を形成する場合には、構成金属元素を含む様々な有機金属化合物を原料に使う必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような有機金属化合物を用いた成膜処理においては、当該有機金属化合物に由来するC(炭素)等の不純物が形成した膜に残留してしまうという問題点があった。特にゲート絶縁膜やキャパシタ絶縁膜の成膜に有機金属化合物を用いた場合には、不純物の混入によりリーク電流が生じやすくなり、絶縁膜の電気的特性を劣化させてしまうという問題点があった。
【0006】
そこで、本発明は、残留炭素などの不純物濃度を低下させることを可能とした、良質な金属酸化膜を得ることができる成膜方法及び成膜装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を、
請求項1に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程と同時に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項2に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程後に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項3に記載したように、有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程中に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを断続的に供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法により、又は、
請求項4に記載したように、上記活性化した酸素ガスは、O2,NO若しくはN2Oのうちの少なくとも1種のガスを活性化して生成される、請求項1乃至3のうちいずれか1項記載の成膜方法により、又は、
請求項5に記載したように、上記有機金属ガスは、TMAガスである、請求項1乃至4のうちいずれか1項記載の成膜方法により、又は、
請求項6に記載したように、請求項1乃至5のうちいずれか1項記載の成膜方法を使用する、成膜装置により解決する。
【0008】
上記発明によれば、活性化した酸素ガスを用いて金属酸化膜を形成することによって、金属酸化膜中の残留炭素などの不純物濃度が著しく低下され、良質な金属酸化膜を得ることができる。尚、この活性化した酸素ガスは、リモートプラズマ発生器若しくはオゾナイザーによって生成されてよい。
【0009】
また、請求項3に記載の発明によると、従来の熱CVD法により形成される膜に比べ、被覆性、平滑性、膜の純度が良好な金属酸化膜を得ることができる。尚、請求項3の発明において、有機金属ガス及び活性化した酸素ガスを交互に供給する工程間に、処理容器内を真空排気或いは第3種のガスによるパージを行なうことが望ましい。これにより、処理容器へのこれらのガスの供給中において、不要な反応が生じることを防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0011】
まず、本発明による成膜方法の説明に先立ち、本発明による成膜方法を実現するCVD成膜装置200の構成例について説明する。
【0012】
図1を参照するに、この成膜装置200は、例えばアルミニウムにより円筒形若しくは箱型に形成された処理容器201を有する。この処理容器201内には、半導体基板101が載置される載置台203が設けられる。この載置台203は、処理容器201の底部に立設された支柱202により支持される。載置台203の内部には、加熱手段として抵抗加熱ヒータ204が埋設される。
【0013】
載置台203の下方には、リング状の支持部材206が設けられ、複数のL字状のリフタピン205が、この支持部材206からリフタピン穴208を通って半導体基板101に向かって延在する。この支持部材206は、処理容器201の底部を貫通する押し上げ棒207により上下移動させられ、この支持部材206の上下移動により、リフタピン205が半導体基板101を持ち上げることになる。押し上げ棒207の下端は、処理容器201において内部の気密状態を保持するために伸縮可能なベローズ209を介してアクチュエータ210に接続される。
【0014】
載置台203の周縁部には、窒化アルミニウム等から形成される、半導体基板101の周縁部を保持するためのクランプ部材211が設けられる。クランプ部材211は、支持部材206に連結棒212を介して連結されており、リフタピン205と一体的に上下移動させられる。尚、リフタピン205や連結棒212等はアルミナ等により形成される。
【0015】
載置台203の外周側には、アルミニウムからなる壁部213が形成され、壁部213の上部は、水平方向に曲げ加工され、屈曲部214が形成される。この屈曲部214の上面は、載置台203の上面と略同一平面状にあり、載置台203の外周よりも僅かな距離だけ離間され、この間に連結棒212が挿通されている。この円筒形の壁部213は、載置台203の裏側に不活性ガスパージを画成している。
【0016】
また、リング状のクランプ部材211の内周側には、複数の接触突起216が、周方向に沿って略等間隔で配設されており、クランプ時には、接触突起216の下端面が、半導体基板101の周縁部の上面と接触し、載置台203に対して半導体基板101を拘束する。
【0017】
尚、クランプ時において各接触突起216の間に形成される半導体基板101との間隙は、第1のガスパージ用間隙217として機能する。また、クランプ部材211の周縁部は、壁部213の屈曲部214の上方に配置され、これらが形成するリング状の間隙は、第2のガスパージ用間隙218として機能する。これにより、不活性ガスパージ室215内の不活性ガスは、処理空間に第1のガスパージ用間隙217及び第2のガスパージ用間隙218から流出できるようになる。
【0018】
処理容器201の底部には、不活性ガス供給手段219の一部を構成するガスノズル220が設けられる。ガス流路223は、マスフローコントローラのような流量制御器221及び開閉弁222,245を有する。このガス流路223の一端は、ガスノズル220に接続され、ガス流路223の他端は、例えばArガスやHeガスのような不活性ガスを貯留する不活性ガス源224に接続される。
【0019】
また、処理容器201の底部の周縁部には、排気口225が設けられ、排気口225には、処理容器201内を所定の真空度に維持できるように、真空ポンプ(図示せず)を備えた排気路226が接続される。また、処理容器201の側壁には、半導体基板101を搬出入する際に開閉されるゲートバルブ227が設けられる。
【0020】
一方、載置台203と対向する処理容器201の天井部には、原料ガス等を処理容器201内に導入する処理ガス供給手段としてシャワーヘッド228が設けられる。シャワーヘッド228は、例えばアルミニウム等により円形箱型に成形されたヘッド本体229を有し、このヘッド本体229の天井部にはガス流入口230が設けられる。このガス流入口230には、固体若しくは液体の原料を収容する原料容器(図示せず)を備えた原料供給路が接続される。尚、上述の如く処理容器201に導入される原料ガスは、原料容器内の原料を気化することにより生成され、Arガス等のキャリアガスにより処理容器201に搬送される。
【0021】
ヘッド本体229の下部には、ヘッド本体229に供給されたガスを処理空間へ放出するための多数のガス噴射孔231が配設される。また、ヘッド本体229の内部には、半導体基板101に均等にガスを供給するように、多数のガス分散孔232を有する拡散板233が配設されてよい。また、処理容器201の側壁内及びシャワーヘッド228の側壁内には、処理容器201及びシャワーヘッド228への原料や反応副生成物の凝縮や付着を防止するため、カートリッジヒータ234,235がそれぞれ設けられる。
【0022】
本発明による成膜装置200は、形成された膜中における残留炭素などの不純物濃度を低下させるべく、処理容器201に活性化した酸素ガスを導入するための手段を備える。具体的には、本発明による成膜装置200の処理容器201には、活性化した酸素ガスを導入する活性化ガス供給口241が設けられる。この活性化ガス供給口241に接続するガス導入経路242には、O2、NO、N2Oガスを活性化するリモートプラズマ発生器243が設けられる。
【0023】
このリモートプラズマ発生器243は、マイクロ波により酸素ガスをプラズマ化するものであるが、マイクロ波以外に、ICPプラズマ、平行平板プラズマ、ECRプラズマやDCプラズマ、RFプラズマを用いてもよい。また、リモートプラズマ発生器243に代わって、遠紫外線を用いて酸素ガスをオゾン化するオゾナイザーを利用してもよい。
【0024】
続いて、本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態について説明する。図2は、上述の成膜装置200を用いた本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。以下、図2に示す各処理について説明する。
【0025】
(ステップ100)処理容器201に半導体基板101を搬送アームにより搬入して予め所定の温度例えば300℃に加熱した載置台203に載置し、更に、Arガスを流しながら処理容器201の圧力を所定の圧力例えば1330Pa(10Torr)に維持する。
【0026】
(ステップ110)リモートプラズマ発生器243により活性化された酸素ガスを処理容器201に活性化ガス供給口241を介して導入し、半導体基板101が上記活性化した酸素ガスに曝された状態とし、処理容器201の圧力を所定の圧力例えば266Pa(2Torr)に保ち所定時間例えば60秒保持する。
【0027】
(ステップ120)リモートプラズマ発生器243により活性化された酸素ガスを処理容器201に導入しつつ、Arガス等のキャリアガスにより搬送した原料ガスを処理容器201にガス流入口230を介して断続的に導入する。このステップ120は、例えば10秒間原料ガスを流通し、20秒間停止するといったサイクルを複数回繰り返すものであってよい。
【0028】
本発明者らは、上述の成膜装置200を用い、第1の実施形態の成膜方法により各種の金属酸化膜を形成し、当該形成した金属酸化膜中の不純物濃度について調査した。
【0029】
その結果、原料として有機金属化合物であるTMA(トリメチルアルミニウム)を用い、本実施形態によりAl2O3膜を形成した場合には、活性化した酸素ガスを導入することなくAl2O3膜を形成した場合に比して、単位体積当たりの膜中の炭素量が一桁以上低減されることが確認された。その他、同様に有機金属化合物であるRu(EtCp)2を用い、本実施形態によりTa2O5膜を形成した場合には、活性化した酸素ガスを導入することなくTa2O5膜を形成した場合に比して、同様に単位体積当たりの膜中の炭素量が少なくとも1桁低くなることが確認された。
【0030】
尚、上述した第1の実施形態では、活性化された酸素ガスを処理容器201に導入しつつ原料ガスを導入するものであったが、これらのガスを処理容器201に同時に導入することとしても、同等の効果を得ることができる。
【0031】
また、活性化した酸素ガスを供給するガス導入経路242は、図1においては処理容器201の側壁に接続されているが、ガス導入経路242は、例えばシャワーヘッド228に接続されてもよい。かかる場合、シャワーヘッド228には、原料ガス及び活性化した酸素ガスに対して各々別個にガス通路が設けられ、処理容器201に導入された際にこれらのガスが混合されるように構成される。
【0032】
次いで、上述した熱CVD法に代わって、複数種のガスを交互供給することによって、上述の金属酸化膜を成膜する本発明による方法について説明する。
【0033】
まず、本発明による成膜方法の説明に先立ち、本発明による成膜方法を実現する成膜装置200の構成例について説明する。尚、本例では、TMA(トリメチルアルミニウム)を原料とするAl2O3膜の成膜処理を例として説明する。
【0034】
図3を参照するに、この成膜装置200は、原料供給路11、活性化ガス供給路13、処理容器201、加熱機構204、載置台203、及び真空ポンプ42を備えた排気路226等により構成されている。本実施形態の成膜装置200は、処理容器201内において原料ガス等を横方向(半導体基板101の面方向)に流す構成であるため、ガス流入口22,24は処理容器201の側壁に設けられている。
【0035】
載置台203は、支持部材202により固定されることより、処理容器201内に設置されている。この載置台203は、図示しない搬送アームにより搬入される半導体基板101を載置する。
【0036】
排気路226は、処理容器201の側壁に設置されている。この排気路226は、排気ガス流量を調節するバルブ41を介して真空ポンプ42に接続されている。真空ポンプ42により、排気路226を介して処理容器201内のガスを排気することにより、処理容器201内を真空ポンプ42の排気能力と、処理容器201,排気管40,バルブ41のコンダクタンスにより定められた到達真空度、或いは所定の圧力に維持することができる。
【0037】
原料供給路11には、原料容器30に供給するArガス等のキャリアガスの流量制御を行なうマスフローコントローラ32が設けられる。原料容器30内には原料であるTMAが収容される。TMAガスは、バブリング等により原料を気化して生成され、上記キャリアガスによって原料供給路11を通って成膜装置200まで搬送されていく。
【0038】
活性化ガス供給路13には、遠紫外線を用いて酸素ガスをオゾン化するオゾナイザー33が設けられる。オゾナイザー33は、ガス源(図示せず)より供給される酸素ガスを活性化(オゾン化)する。活性化した酸素ガスは、活性化ガス供給路13を通りガス流入口24を介して処理容器201内に供給される。尚、オゾナイザー33に代わって、第1の実施形態で説明したようなリモートプラズマ発生器243を用いてもよい。
【0039】
また、図示は省略するが、原料供給路11および活性化ガス供給路13には、バルブV3,V4がそれぞれ設けられており、各ガスの流通/停止は、各バルブV3,V4の開閉により制御される。このバルブV3,V4の駆動は、図示しない制御装置により実現される。
【0040】
続いて、本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態について説明する。図4は、上述の成膜装置200を用いた本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。以下、図4に示す各処理について説明する。
【0041】
(ステップ200)処理容器201に半導体基板101を搬送アームにより搬入し、予め所定の温度例えば300℃に加熱した載置台203に載置する。
【0042】
(ステップ210)オゾナイザー33により活性化された酸素ガスを処理容器201にガス流入口24を介して導入し、処理容器201を所定の圧力に保持する。
【0043】
(ステップ220)ガス供給を停止して、処理容器201を真空排気若しくはパージガスによりパージする。
【0044】
(ステップ230)Arガス等のキャリアガスにより搬送したTMAガスを処理容器201にガス流入口22を介して導入し、処理容器201を所定の圧力に保持する。
【0045】
(ステップ240)ガス供給を停止して、処理容器201を真空排気若しくはパージガスによりパージする。以上の(ステップ210)から(ステップ240)までの処理により、半導体基板101の表面には分子層レベルのAl2O3膜が形成される。
【0046】
(ステップ250)Al2O3膜が所望の膜厚となるように、(ステップ210)から(ステップ240)までを所定の回数繰り返す。
【0047】
本発明者らは、上述の第1の実施形態と同様に、第2の実施形態の成膜方法により形成したAl2O3膜中の不純物濃度について調査した。
【0048】
その結果、第2の実施形態により形成したAl2O3膜は、上記ステップ210で活性化された酸素ガスの代わりにH2Oガスを導入して形成したAl2O3膜に比して、膜中の炭素量が50%以上低減されることが確認された。
【0049】
尚、第2の実施形態の成膜装置200は、連続処理が可能なクラスタツール装置に複数適用してもよい。かかる場合、クラスタツール装置の各処理容器201には、原料ガス及び活性化した酸素ガスが異なる位相で交互に供給される。
【0050】
[成膜例]
本発明者らは、上述した第1の実施形態の成膜方法によりAl2O3膜を成膜し、従来的な成膜方法により形成したAl2O3膜と膜中の炭素量の比較を行った。
【0051】
尚、本実施例は、オゾナイザーに流通させた酸素ガスとキャリアガスにより搬送された原料ガスは、シャワーヘッドには異なる流路から流入し、シャワーヘッド内の流路も分かれており、処理容器内で初めてこれらのガスが混合される、ポストミックスタイプのシャワーヘッドを用いて供給されるものとする。
【0052】
まず、上記ステップ100に従い、処理容器に半導体基板を搬送アームにより搬入し、基板温度が300℃になるように加熱した載置台に載置し、半導体基板を昇温するために、Arガスを流しながら処理容器の圧力を1330Pa(10Torr)に保ち、60秒保持した。
【0053】
次いで、上記ステップ110に従い、オゾナイザーに流通させた流量500sccm(1sccmは、0℃・1気圧の流体が1cm3流れることを意味する)の酸素ガスを処理容器に流通させつつ、処理容器の圧力を266Pa(2Torr)に保ちつつ60秒保持した。
【0054】
次いで、上記ステップ120に従い、オゾナイザーに流通させた流量500sccmの酸素ガスを処理容器に流通させつつ、流量200sccmのArガスにより搬送したTMAガス(原料容器の温度:60℃)を処理容器に断続的に流通させた。TMAガスの流通/停止は、10秒間原料ガスを流通し、20秒間停止するサイクルで5回繰り返した。
【0055】
この結果、厚さ15nmのAl2O3膜が得られ、不純物濃度は低く、膜中のC(炭素)は、2E19atoms/cm3であった。
【0056】
一方、比較例として、オゾナイザーに流通させた酸素ガスの代わりに、80℃の純粋に流通させた流量200sccmのO2ガスを流通させた。上記例と同様に、原料容器の温度は60℃とし、基板温度は300℃とした。
【0057】
この結果、厚さ13nmのAl2O3膜が得られ、膜中のC(炭素)は、5E20atoms/cm3であった。
【0058】
以上の結果から、本発明による成膜方法によると、単位体積当たりのAl2O3膜中の残留炭素量が1/10以上低減され、非常に良質なAl2O3膜を得ることができることがわかった。
【0059】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【0060】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したようなものであるから、以下に記載されるような効果を奏する。本発明によれば、活性化した酸素ガスを用いて金属酸化膜を形成することによって、金属酸化膜中の残留炭素などの不純物濃度が著しく低下され、良質な金属酸化膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施に適用できる成膜装置200の構成例を示す断面図である。
【図2】本発明による金属酸化膜の成膜方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。
【図3】本発明の実施に適用できるその他の成膜装置200の構成例を示す断面図である。
【図4】本発明による金属酸化膜の成膜方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。
【符号の説明】
100 成膜装置
110 シャワーヘッド
130 載置台
132 加熱機構
140 排気管
101 半導体基板
200 成膜装置
201 処理容器
202 支柱
203 載置台
204 抵抗加熱ヒータ
205 リフタピン
206 支持部材
207 押し上げ棒
208 リフタピン穴
209 ベローズ
210 アクチュエータ
211 クランプ部材
212 連結棒
213 壁部
214 屈曲部
216 接触突起
217 第1のガスパージ用間隙
218 第2のガスパージ用間隙
219 不活性ガス供給手段
220 ガスノズル
221 流量制御器
222 開閉弁
223 ガス流路
224 不活性ガス源
225 排気口
226 排気路
227 ゲートバルブ
228 シャワーヘッド
229 ヘッド本体
230 ガス流入口
231 ガス噴射孔
232 ガス分散孔
233 拡散板
234,235 カートリッジヒータ
241 活性化ガス供給口
242 ガス導入経路
243 リモートプラズマ発生器
245 開閉弁
Claims (6)
- 有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程と同時に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法。 - 有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程後に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法。 - 有機金属化合物を原料として金属酸化膜を成膜する成膜方法であって、
活性化した酸素ガスを第1の流路を介して処理容器に供給する工程と、
該工程中に、上記処理容器に第2の流路を介して有機金属ガスを断続的に供給する工程とを含むことを特徴とする、成膜方法。 - 上記活性化した酸素ガスは、O2,NO若しくはN2Oのうちの少なくとも1種のガスを活性化して生成される、請求項1乃至3のうちいずれか1項記載の成膜方法。
- 上記有機金属ガスは、TMAガスである、請求項1乃至4のうちいずれか1項記載の成膜方法。
- 請求項1乃至5のうちいずれか1項記載の成膜方法を使用する、成膜装置。
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