JP2005302876A - トンネル磁気抵抗効果素子およびその製造方法ならびに製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10上に、下部電極層20、ピンド層30、トンネルバリア層40、フリー層50、上部電極層60が順次積層されてなるトンネル磁気抵抗効果素子1において、トンネルバリア層40は、原子層成長法により成膜されたアルミナなどからなり、膜厚を薄いものとしても、下地のピンド層30の表面に存在する凹凸の被覆性を高め、トンネルバリア層40の膜厚ばらつきを小さくできる。
【選択図】 図1
Description
Rσ=Cσ・exp(2κd)
ここで、数式1中のκは、次の数式2で表されるものである。
κ=(2mφ/h2)1/2
上記数式1は、磁気抵抗効果素子のトンネル接合の抵抗Rσを表したもので、Cσは磁性層とトンネルバリア層の電子状態で決まる値、dはトンネルバリア層のバリア障壁の厚さ、φはフェルミ準位から測った障壁ポテンシャルの高さである。
It=J・S
ここで、上記数式3は電流と素子面積との関係を表している。数式3中、Itはトンネル電流、Jはトンネル電流の電流密度、Sは素子の有効表面積である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るトンネル磁気抵抗効果素子1の概略断面構成を示す図である。
図1に示されるように、本実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子1は、基板10上に、下部電極層20、ピンド層30、トンネルバリア層40、フリー層50、上部電極層60が順次成膜され積層されてなるものである。
θi=KaPi/(Kd+KaPi)=KPi/(1+KPi)
ここで、KPiが1より十分大きい、すなわち、気相に存在する原子または分子量が吸着量に対し過飽和状態になっていれば単原子層または単分子層形成が可能となる。
次に、上記した本例のトンネル磁気抵抗効果素子1の製造方法について述べる。
ところで、本実施形態によれば、基板10上に、下部電極層20、ピンド層30、トンネルバリア層40、フリー層50、上部電極層60が順次積層されてなるトンネル磁気抵抗効果素子1において、トンネルバリア層40は、実質的に化学量論組成となる薄膜が膜形成時に堆積されてなるものであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子1が提供される。
本発明の第2実施形態は、好ましいトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法を示すものである。上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
なお、上記実施形態の製造方法では、トンネルバリア層40の成膜方法である化学的気相成長法として主にALD法について述べたが、このALD法に代えて、上述したような熱CVD、プラズマCVD、光CVDを採用しても、同様の効果が得られることはもちろんである。
50…フリー層、60…上部電極層、
110、120…ピンド層用チャンバとしてのスパッタチャンバ、
130…トンネルバリア層用チャンバとしてのALDチャンバ、
140…酸化処理用チャンバ、150…ロードロックチャンバ。
Claims (22)
- ピンド層(30)、トンネルバリア層(40)、フリー層(50)が順次積層されてなるトンネル磁気抵抗効果素子において、
前記トンネルバリア層(40)は、実質的に化学量論組成となる薄膜が膜形成時に堆積されてなるものであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。 - ピンド層(30)、トンネルバリア層(40)、フリー層(50)が順次積層されてなるトンネル磁気抵抗効果素子において、
前記トンネルバリア層(40)は、化学的気相成長法により成膜されたものであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。 - 前記トンネルバリア層(40)は、原子層成長法により成膜されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)は、金属または半導体の酸化物、窒化物、酸窒化物、またはそれらの2種以上を組み合わせてなる薄膜にて形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)は、Al、Y、Si、Mg、Ti、Ta、W、Hf、Nbの酸化物またはそれらの2種以上を組み合わせてなる薄膜にて形成されていることを特徴とする請求項4に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)は、Siの窒化物の薄膜にて形成されていることを特徴とする請求項4に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)は、Al、Si、Ti、Taの酸窒化物またはそれらの2種を組み合わせてなる薄膜にて形成されていることを特徴とする請求項4に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)は、Alの酸化物からなる薄膜にて形成されていることを特徴とする請求項5に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記Alの酸化物からなる薄膜において、Alと酸素の組成比を表すAl/O原子比率が0.52以上0.68以下であることを特徴とする請求項8に記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)の炭素残留量が1at%以下であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)が前記ピンド層(30)と前記フリー層(50)とに挟まれている領域において、前記ピンド層(30)における最大高さRmaxが、10nm以上であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層(40)の膜厚が、0.5nm以上5nm以下であることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 基板(10)上に、下部電極層(20)、前記ピンド層(30)、前記トンネルバリア層(40)、前記フリー層(50)、上部電極層(60)が順次積層されていることを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子。
- 請求項1ないし13に記載のトンネル磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサ。
- 基板(10)上に、ピンド層(30)、トンネルバリア層(40)、フリー層(50)を順次積層するトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法において、
前記ピンド層(30)を形成した後、酸化雰囲気に暴露させることなく、前記トンネルバリア層(40)を化学的気相成長法により形成することを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記ピンド層(30)をスパッタ法により形成し、前記トンネルバリア層(40)を原子層成長法により形成することを特徴とする請求項15に記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記トンネルバリア層(40)を形成した後、前記トンネルバリア層(40)を酸化処理することを特徴とする請求項15または16に記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記基板(10)上に、下部電極層(20)、前記ピンド層(30)、前記トンネルバリア層(40)、前記フリー層(50)、上部電極層(60)を順次積層することを特徴とする請求項15ないし17のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 基板(10)上に、ピンド層(30)、トンネルバリア層(40)、フリー層(50)を順次積層するトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法に用いる製造装置において、
前記ピンド層(30)を形成するためのピンド層用チャンバ(110、120)と、前記トンネルバリア層(40)を化学的気相成長法により形成するためのトンネルバリア層用チャンバ(130)とを備え、
前記ピンド層用チャンバ(110、120)と前記トンネルバリア層用チャンバ(130)との間は、ロードロックチャンバ(150)により接続されており、
前記基板(10)は、酸化雰囲気にさらされることなく前記ロードロックチャンバ(150)内を前記ピンド層用チャンバ(110、120)から前記トンネルバリア層用チャンバ(130)へ搬送できるようになっていることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の製造装置。 - 前記ピンド層用チャンバ(110、120)は、スパッタ成膜用のチャンバであり、前記トンネルバリア層用チャンバ(130)は、原子層成長用のチャンバであることを特徴とする請求項19に記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造装置。
- 前記トンネルバリア層(40)を酸化処理するための酸化処理用チャンバ(140)を備えており、
前記トンネルバリア層用チャンバ(130)と前記酸化処理用チャンバ(140)との間は、前記ロードロックチャンバ(150)により接続されており、
前記基板(10)は、酸化雰囲気にさらされることなく前記ロードロックチャンバ(150)内を前記トンネルバリア層用チャンバ(130)から前記酸化処理用チャンバ(140)へ搬送できるようになっていることを特徴とする請求項19または20に記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造装置。 - 前記トンネル磁気抵抗効果素子は、前記基板(10)上に、下部電極層(20)、前記ピンド層(30)、前記トンネルバリア層(40)、前記フリー層(50)、上部電極層(60)を順次積層してなるものであることを特徴とする請求項19ないし21のいずれか1つに記載のトンネル磁気抵抗効果素子の製造装置。
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