JP3790519B2 - 厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置 - Google Patents
厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3790519B2 JP3790519B2 JP2003081044A JP2003081044A JP3790519B2 JP 3790519 B2 JP3790519 B2 JP 3790519B2 JP 2003081044 A JP2003081044 A JP 2003081044A JP 2003081044 A JP2003081044 A JP 2003081044A JP 3790519 B2 JP3790519 B2 JP 3790519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- light
- optical probe
- etching apparatus
- mounting block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 57
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 57
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 53
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 50
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 35
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 22
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3063—Electrolytic etching
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Weting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子の製造装置に関するものであり、さらに具体的に、回転するスピンヘッド上に置かれた基板にエッチング液を噴射して特定膜をエッチングする回転エッチング装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子は基板上に薄膜を蒸着する蒸着工程、基板上にフォトレジストパターンを形成する写真工程、基板内に不純物を注入するイオン注入工程及び特定薄膜を除去するエッチング工程などで構成された複雑な単位工程を通じて製造される。これらのうち、エッチング工程は外部から密閉された真空チャンバ内にプラズマを発生させて基板の表面の薄膜を除去する乾式エッチング工程及びエッチング液が入れた水槽に基板を入れて薄膜を除去する湿式エッチングを含む。最近では、回転可能なスピンヘッド上に基板を設け、前記基板が回転する間基板の上部面、下部面またはエッジに気化したエッチング液を噴射して基板の特定領域をエッチングする回転エッチング装置が導入された。回転エッチング装置は特定領域のみをエッチングすることができる領域選択性が優れており、薄膜のエッチング厚さを制御するのに容易なので、薄い厚さの薄膜のエッチングに多い使用されている。したがって、薄い薄膜の厚さを制御するために、エッチング終点を正確に測定することが非常に重要である。
【0003】
従来には、エッチング副産物として発生するガス成分を分光計で分析することによって、エッチング終点を検出した。この際に、エッチング液の濃度変化及び工程条件変化によりエッチング量の誤差が発生し、正確な厚さの制御が難しい問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、基板上の薄膜の厚さを実時間測定して、工程終了時点を探知することができる終点検出装置が具備された回転エッチング装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を達成するために本発明は、厚さ測定システム、エッチング液供給手段及び回転可能なスピンヘッドを含む回転エッチング装置を提供する。この装置は、基板が置かれる回転可能なスピンヘッドと、前記基板の上部に位置し、前記基板上にエッチング液を噴射するエッチング液供給手段と、前記エッチング液供給を制御するエッチング液供給制御器とを含む。またこの装置は、薄膜の厚さを測定する厚さ測定システムと前記エッチング液供給制御器にエッチング液供給停止信号を伝達する主制御器とを含む。前記厚さ測定システムは前記基板の表面に光を入射し、前記基板から反射される光の干渉信号を分析して薄膜の厚さを測定する。前記主制御器は前記厚さ測定システムで測定された結果を基準値と比較し、測定値が基準値に到達する前に、前記エッチング液供給制御器にエッチング液供給停止信号を伝達する。この際に、エッチング液供給が停止した後に、一定の時間、前記基板上の残留エッチング液により薄膜が追加エッチングされ、薄膜の厚さが基準値に到達される。また、上記厚さ測定システムは前記基板の上部に位置する探針設置台に設けられる光学探針を含み、前記探針設置台には前記光学探針の前方に傾いて挿入されて前記光学探針を保護する透明窓が装着される。
【0006】
本発明の一態様で、前記光学探針は、前記基板の表面に光を入射し、前記基板から反射された光を感知する複数の光学探針(optical probes)であり、上記厚さ測定システムはさらに、特定波長の光を前記各光学探針に提供する光源と、前記各光学探針から伝達される反射光の干渉信号を検出する検出器と、前記検出器から検出された干渉信号を評価して厚さを測定し、前記主制御器に伝送する厚さ測定制御器とを含む。前記光学探針は探針フォルダに装着されてエッチング液から腐食が防止される。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図を参照して、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明はここで説明される実施形態に限定されず、他の形態で具体化されることができる。むしろ、ここで紹介される実施形態は開示された内容が徹底で、完全になれるように、そして当業者に本発明の思想が十分に伝達されるように提供されるものである。明細書の全体にわたって同一の参照番号で表示された部分は同一の構成要素を示す。
【0008】
図1は本発明の望ましい実施形態による厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置を概略的に示す図面である。
【0009】
図1を参照すると、本発明による回転エッチング装置は基板4に置かれるスピンヘッド2、エッチング液供給手段80及び厚さ測定システムが具備されている。前記スピンヘッド2は回転可能なシャフトに固定されて一定の速度に回転する。前記厚さ測定システムは光学探針ユニット(optical probe unit:10)、光源部18、検出器20及び厚さ測定制御器22で構成される。前記光学探針ユニット10は前記基板4の上部に所定の距離離隔されて設けられ、光を発光する発光部と基板から反射された光を受光する受光部で構成される。前記光源部18は紫外線ランプまたはキセノン(Xenon)ランプなどで短波長の光を生成し、前記光学探針ユニット10の発光部に伝達する。前記検出器20は前記光学探針ユニット10の受光部から伝送された光のノイズを除去し、所望する干渉信号を抽出する機能をし、前記厚さ測定制御器22は前記検出器20から抽出された干渉信号が入力され、変換(FFT;Fast Fourier Transformation)、補正(Fitting)及び演算などの一連の過程を実行するマイクロプロセッサを使用して薄膜の厚さを測定する。前記光学探針ユニット10と前記光源部18及び前記検出器20の間の光伝送は信号伝送ライン26を通じて行われる。前記信号伝送ライン26は多数の光ファイバーからなる。すなわち、前記光学探針10は前記光源18から信号伝送ライン26を通じて光が伝達され、前記基板4に入射し、前記基板4から反射された光は前記信号伝送ライン26を通じて前記検出器20に伝送される。薄膜の厚さを正確に測定するために、前記厚さ測定システムは複数の光学探針ユニット10を具備する。この場合に、前記厚さ測定装置は各々の光学探針ユニット10の光信号が入力されるための複数のチャネルを有し、前記各々の光学探針10から伝送された光信号は分岐され、各チャネルに入力される。
【0010】
前記エッチング液供給手段80は前記基板4の上部にエッチング液を噴射する噴射ノズル8を具備している。前記噴射ノズル8は移送アーム6に設けられ、前記基板の上部に所定の距離離隔されて位置する。また、前記エッチング液供給手段80はエッチング液供給制御器12をさらに含む。前記エッチング液供給制御器12は特定エッチング液を供給、または遮断し、エッチング液の供給及び遮断のために、エッチング液供給ラインに設けられたバルブ14を制御する機能をする。本発明による回転エッチング装備は装備の全体システムを監視して制御するための主制御器16を具備している。前記厚さ測定制御器22で実時間に測定された基板上の薄膜の厚さは前記主制御器16に伝送され、前記主制御器16は薄膜の厚さが適正の水準に至った時に、前記エッチング液供給制御器12にエッチング液供給中断命令を伝送する。この際に、基板上に噴射されるエッチング液が中断されても、残留エッチング液により薄膜のエッチングが起こる。したがって、本発明による回転エッチング装置は残留エッチング液による薄膜の厚さを考慮し、薄膜の厚さが基準値に到達する前に、エッチング液の供給を中断し、残留エッチング液により二次エッチングを進行させ、薄膜の厚さが基準値を有するようにする。前記二次エッチングは10μs乃至2sの間実施することが望ましい。また、前記光学探針ユニット10はエッチング液により光学探針が損傷されることを防止するために、基板の表面から30cm乃至1m程度離隔させて設けることが望ましい。
【0011】
図2は本発明の望ましい実施形態による光学探針ユニットを説明するための図面である。
【0012】
図2を参照すると、本発明によると、光学探針ユニット10は探針設置台に設けられた光学探針50を含む。前記探針設置台は上部マウンティングブロック40、下部マウンティングブロック42及びマウンティングブロック支持部60で構成される。前記上部マウンティングブロック40及び前記下部マウンティングブロック42は第1結合手段54で締結される。前記上部マウンティングブロック40はその下部面にスライド溝44が形成されている。前記スライド溝44は約1°乃至5°の傾斜角を有するように形成される。前記上部マウンティングブロック40の下部に前記下部マウンティングブロック42が締結される。結果的に、前記下部マウンティングブロック42及び前記上部マウンティングブロック40の間にスライド溝44が存在する。前記スライド溝44は前記上部マウンティングブロック40及び前記下部マウンティングブロック42の間で一方向に開口されており、前記スライド溝44に透明窓52が挿入される。この際に、前記透明窓52は前記マウンティングブロックの外部に所定の部分の突出部を有するように前記スライド溝44の深さより長く製作されることが望ましい。前記透明窓52はその表面が損傷される場合に、交替することができる。前記上部マウンティングブロック40及び前記下部マウンティングブロック42の中心軸には各々上部ホール62t及び下部ホール62bが形成されている。前記透明窓52を除去した場合に、前記上部ホール62t及び前記下部ホール62bは互いに連通する。前記上部ホール62tに前記光学探針50が挿入される。したがって、前記上、下部ホール62t、62bは前記光学探針50から発光または受光される光の経路に提供される。上述のように、前記スライド溝44は約1°乃至5°の傾斜角を有する。前記透明窓52を透過する光の入射角と前記透明窓の法線方向が平行する場合に、前記透明窓52から反射される光と基板から反射された光の干渉によってノイズが発生する場合がある。このため、前記透明窓52を所定の角度の傾斜角を有するように設けることによって、前記透明窓52から反射される光によるノイズの発生を防止することができる。
【0013】
前記下部マウンティングブロック42の下部はマウンティングブロック支持部60に第2結合手段58で締結される。前記マウンティングブロック支持部60は光出入口62hが形成されている。前記光出入口62hは前記下部マウンティングブロック42が前記マウンティングブロックの支持部60に締結された時に、前記下部ホール62bと連通する。図示しないが、前記マウンティングブロック支持部60には前記光出入口62hの内部に気体を噴射して気体カーテン(air curtain)を形成するための気体供給手段が存在する。
【0014】
図3は図2に示した光学探針ユニットを示す断面図である。
【0015】
図3を参照すると、前記マウンティングブロック40と下部マウンティングブロック42の間のスライド溝4に透明窓52が図1乃至図5°の傾斜角に挿入される。また、光ファイバー26に連結された光学探針10が前記上部マウンティングブロック40の上部に挿入される。前記下部マウンティングブロック42はマウンティングブロック支持部60に締結される。前記マウンティングブロック支持部60に形成された光出入口62hの側壁には前記光出入口62hの内部に気体68を噴射する気体噴射手段70が形成されている。前記気体噴射手段70は前記光出入口62hの内部に窒素または空気を噴射して気体カーテンを形成する。エッチング工程が進行される間、気化したエッチング液が前記光出入口62hを通じて前記透明窓52に付着される場合に、透過率が低くなるか、前記透明窓52の表面がエッチング液により腐食されることができる。したがって、前記透明窓52の前方に気体カーテンを形成してエッチング液の蒸気が前記透明窓52に付着されることを防止することができる。
【0016】
図4は本発明の望ましい実施形態による光学探針を説明するための図面である。
【0017】
図4を参照すると、光学探針10は複数の受光部64及び複数の発光部66で構成される。各々の受光部64及び発光部66には光ファイバー56sが接続されている。前記光ファイバー56sは光ファイバーの束である光信号伝送ライン26に連結される。
【0018】
図5及び図6は本発明の望ましい実施形態による回転エッチング装置において、基板の表面の薄膜の厚さを測定する方法を説明するための概略図である。
【0019】
図5及び図6を参照すると、半導体基板100上に形成された薄膜102が形成されており、前記半導体基板100から所定の距離離隔され、ノズル8が配置されてエッチング溶液を噴射する。前記半導体基板100は回転するスピンヘッド(図示せず)に置かれて一定の速度に回転する。前記半導体基板100の上部に一定距離離隔されて光学探針ユニット10が位置する。薄膜102をエッチングする間、前記基板100の上部に位置する光学探針50から前記基板100の表面に光が入射される。図6は光が入射される領域Aを拡大した図面である。図6に示したように、前記薄膜102の表面から反射される第1反射光I1と前記薄膜102を透過して前記基板100の表面から反射される第2反射光I2が存在する。前記第1反射光I1及び前記第2反射光I2は相互干渉を起こして前記薄膜102がエッチングされる間、相殺及び消滅干渉信号を有する反射光を発生させる。この際の干渉信号は前記光学探針50に入射され、光伝送ラインを通じて厚さ測定制御器に伝送される。厚さ測定制御器は入力された干渉信号を評価して薄膜の厚さを実時間に測定する。
【0020】
【発明の効果】
前述のように、本発明によると、基板が設けられたスピンヘッドが一定の速度に回転する間、前記基板上にエッチング溶液を噴射させ、基板上に形成された薄膜をエッチングする間、実時間に正確な薄膜の厚さを測定することができる。また、光学探針がエッチング液の増加により損傷されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の望ましい実施形態による厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置を概略的に示す図面である。
【図2】本発明の望ましい実施形態による光学探針部分を説明するための図面である。
【図3】図2に示した光学探針部分を示す断面図である。
【図4】本発明の望ましい実施形態による光学探針を説明するための図面である。
【図5】本発明の望ましい実施形態による回転エッチング装置において、基板の表面の薄膜の暑さを測定する方法を説明するための概略図である。
【図6】本発明の望ましい実施形態による回転エッチング装置において、基板の表面の薄膜の暑さを測定する方法を説明するための概略図である。
【符号の説明】
2 スピンヘッド
4 基板
6 移送アーム
8 噴射ノズル
10 光学探針
12 エッチング液供給制御器
14 バルブ
16 主制御器
18 光源
20 検出器
22 厚さ測定制御器
26 信号伝送ライン
80 エッチング液供給手段
Claims (7)
- 基板が置かれる回転可能なスピンヘッドと、
前記基板の上部に位置し、前記基板上にエッチング液を噴射するエッチング液供給手段と、
前記エッチング液供給を制御するエッチング液供給制御器と、
前記基板の表面に光を入射し、前記基板から反射される光の干渉信号を分析して基板上の薄膜の厚さを測定する厚さ測定システムと、
前記厚さ測定システムで測定された結果を基準値と比較し、測定値が基準値に到達する前に、前記エッチング液供給制御器にエッチング液供給停止信号を伝達する主制御器とを含み、エッチング液供給停止の後に、前記基板上の残留エッチング液により薄膜の厚さが基準値に到達し、
前記厚さ測定システムは前記基板の上部に位置する探針設置台に設けられる光学探針を含み、前記探針設置台には前記光学探針の前方に傾いて挿入されて前記光学探針を保護する透明窓が装着されることを特徴とする回転エッチング装置。 - 前記光学探針は、前記基板の表面に光を入射し、反射された光を感知する複数の光学探針であり、前記厚さ測定システムはさらに、
特定波長の光を前記各光学探針に提供する光源部と、
前記各光学探針から伝達される反射光の干渉信号を検出する検出器と、
前記検出器から検出された干渉信号を評価して厚さを測定する主制御器に伝送する厚さ測定制御器とを含むことを特徴とする請求項1に記載の回転エッチング装置。 - 前記光源は紫外線ランプまたはキセノンランプであることを特徴とする請求項2に記載の回転エッチング装置。
- 前記光学探針は、
前記光源から提供される光を基板の表面に入射する複数の発光部と、
前記基板から反射された反射光を感知する複数の受光部とを含むことを特徴とする請求項2に記載の回転エッチング装置。 - 前記探針設置台は、
中心軸に前記光学探針が挿入される上部ホールが存在し、下部面にスライド溝が形成された上部マウンティングブロックと、
前記上部マウンティングブロックの下部に締結され、前記上部ホールと同軸の下部ホールを有する下部マウンティングブロックと、
前記スライド溝に挿入される脱着可能な前記透明窓と、
前記下部マウンティングブロックが締結され、前記下部ホールと連通した光出入口が形成され、前記光出入口の内側に形成されて前記光出入口内に気体を噴射する噴射手段が具備されたマウンティングブロック支持部とを含むことを特徴とする請求項2に記載の回転エッチング装置。 - 前記スライド溝は1゜乃至5゜の傾斜角を有するように形成されることを特徴とする請求項5に記載の回転エッチング装置。
- 前記エッチング液供給中断の後に、10μs乃至2sの時間の間、前記基板の表面の薄膜を二次エッチングすることを特徴とする請求項1に記載の回転エッチング装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0019925A KR100452918B1 (ko) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | 두께측정시스템이 구비된 회전식각장치 |
KR2002-019925 | 2002-04-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003332299A JP2003332299A (ja) | 2003-11-21 |
JP3790519B2 true JP3790519B2 (ja) | 2006-06-28 |
Family
ID=29244722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003081044A Expired - Lifetime JP3790519B2 (ja) | 2002-04-12 | 2003-03-24 | 厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7154611B2 (ja) |
JP (1) | JP3790519B2 (ja) |
KR (1) | KR100452918B1 (ja) |
CN (1) | CN1293618C (ja) |
TW (1) | TWI307923B (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100587391B1 (ko) * | 2004-12-21 | 2006-06-08 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 고전압 소자의 게이트 절연막 식각방법 |
JP4835175B2 (ja) | 2006-01-31 | 2011-12-14 | 株式会社Sumco | ウェーハの枚葉式エッチング方法 |
CN1869284B (zh) * | 2006-04-06 | 2010-08-04 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 一种旋转喷腐方法的化学挖槽工艺方法及装置 |
KR100766193B1 (ko) * | 2006-04-19 | 2007-10-10 | 광주과학기술원 | 전기화학적 에칭법을 이용한 마이크로 탐침 제조방법 및 그장치 |
KR100917612B1 (ko) * | 2007-10-17 | 2009-09-17 | 삼성전기주식회사 | 기판의 가공 방법 |
JP5179206B2 (ja) * | 2008-01-25 | 2013-04-10 | 株式会社ディスコ | 板状物の切削加工方法 |
US7972969B2 (en) | 2008-03-06 | 2011-07-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for thinning a substrate |
TWI452644B (zh) * | 2011-05-17 | 2014-09-11 | Univ Nat Yunlin Sci & Tech | 蝕刻深度量測方法及其裝置 |
KR101380494B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2014-04-01 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판의 처리 장치 및 처리 방법 |
JP6091193B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2017-03-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の処理装置及び処理方法 |
KR101323152B1 (ko) * | 2012-02-08 | 2013-11-04 | 신동수 | 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 |
JP6289930B2 (ja) * | 2014-02-18 | 2018-03-07 | 株式会社ディスコ | ウェットエッチング装置 |
EP3095709B1 (en) * | 2015-05-20 | 2018-01-10 | Goodrich Lighting Systems GmbH | Exterior aircraft lighting device |
JP6561894B2 (ja) * | 2016-04-01 | 2019-08-21 | 株式会社デンソー | エッチング装置 |
TW202403940A (zh) * | 2016-05-06 | 2024-01-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於蝕刻系統的晶圓輪廓 |
CN106338236A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-01-18 | 天津华海清科机电科技有限公司 | 膜厚度测量装置及具有其的用于制造晶片的系统 |
DE102017212887A1 (de) | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Gebr. Schmid Gmbh | Verfahren, Vorrichtung und Anlage zur Leiterplattenherstellung |
US11421977B2 (en) * | 2018-10-19 | 2022-08-23 | Applied Materials, Inc. | Eliminating internal reflections in an interferometric endpoint detection system |
WO2020161887A1 (ja) * | 2019-02-08 | 2020-08-13 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | エッチング処理装置、エッチング処理方法および検出器 |
TWI704093B (zh) * | 2019-05-09 | 2020-09-11 | 辛耘企業股份有限公司 | 處理液容置裝置 |
JP7273660B2 (ja) | 2019-08-30 | 2023-05-15 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置、および半導体装置の製造方法 |
JP7460411B2 (ja) | 2020-03-24 | 2024-04-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP7409956B2 (ja) | 2020-04-28 | 2024-01-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
CN116438633A (zh) | 2020-11-05 | 2023-07-14 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的记录介质 |
US11619594B2 (en) * | 2021-04-28 | 2023-04-04 | Applied Materials, Inc. | Multiple reflectometry for measuring etch parameters |
TW202410234A (zh) * | 2022-07-12 | 2024-03-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置及膜厚推定方法 |
WO2024097654A1 (en) * | 2022-10-31 | 2024-05-10 | Verity Instruments, Inc. | Improved optical access for spectroscopic monitoring of semiconductor processes |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5678358A (en) | 1979-11-29 | 1981-06-27 | Fujitsu Ltd | Manufacture of stator for electrical machine |
JPS57192954A (en) * | 1981-05-23 | 1982-11-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Surface processing method |
JP2612089B2 (ja) | 1990-08-10 | 1997-05-21 | 富士通株式会社 | 被エッチング膜の膜厚検出方法、膜厚検出装置及びエッチング装置 |
JPH06223418A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 回転塗布方法及びその装置 |
JP3039761B2 (ja) | 1994-04-28 | 2000-05-08 | キヤノン株式会社 | 画像入力装置および画像入力方法 |
FI97655C (fi) | 1995-04-05 | 1997-01-27 | Nokia Telecommunications Oy | Offset-kompensoitu lineaarinen RF-ilmaisin |
EP0756318A1 (en) * | 1995-07-24 | 1997-01-29 | International Business Machines Corporation | Method for real-time in-situ monitoring of a trench formation process |
US5827985A (en) * | 1995-12-19 | 1998-10-27 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Sensor apparatus for process measurement |
JPH1027775A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-01-27 | Daido Steel Co Ltd | 化合物半導体エピタキシャルウェハのエッチング終点検出方法 |
TW346649B (en) | 1996-09-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Co Ltd | Method for wet etching a film |
JPH10209112A (ja) * | 1997-01-27 | 1998-08-07 | Tera Tec:Kk | エッチング方法および装置 |
JPH10270414A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Tera Tec:Kk | エッチング方法および装置 |
JPH10268236A (ja) | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Katsuyuki Kageyama | 電磁波防止用眼鏡フレーム |
JPH10312064A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Canon Inc | 薄膜のパターニング方法、ブラックマトリクス及び液晶素子の製造方法 |
US6406641B1 (en) * | 1997-06-17 | 2002-06-18 | Luxtron Corporation | Liquid etch endpoint detection and process metrology |
JPH1114312A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Toshiba Corp | 成膜装置及びエッチング装置 |
US5956142A (en) * | 1997-09-25 | 1999-09-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of end point detection using a sinusoidal interference signal for a wet etch process |
KR20010014319A (ko) * | 1998-05-01 | 2001-02-26 | 히가시 데츠로 | 막 두께 측정 장치, 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
US5942939A (en) | 1998-06-01 | 1999-08-24 | Motorola, Inc. | Amplifier and method of canceling distortion by combining hyperbolic tangent and hyperbolic sine transfer functions |
IL125964A (en) * | 1998-08-27 | 2003-10-31 | Tevet Process Control Technolo | Method and apparatus for measuring the thickness of a transparent film, particularly of a photoresist film on a semiconductor substrate |
US6334807B1 (en) * | 1999-04-30 | 2002-01-01 | International Business Machines Corporation | Chemical mechanical polishing in-situ end point system |
US6160621A (en) * | 1999-09-30 | 2000-12-12 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for in-situ monitoring of plasma etch and deposition processes using a pulsed broadband light source |
JP4347484B2 (ja) * | 2000-01-21 | 2009-10-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 厚み計測装置、及びそれを用いたウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法 |
JP4347517B2 (ja) * | 2000-12-06 | 2009-10-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 厚み計測装置、及びそれを用いたウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法 |
JP2001294362A (ja) | 2000-04-12 | 2001-10-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像形成装置 |
JP3748527B2 (ja) * | 2001-09-26 | 2006-02-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | エッチング装置およびエッチング方法 |
US6678055B2 (en) * | 2001-11-26 | 2004-01-13 | Tevet Process Control Technologies Ltd. | Method and apparatus for measuring stress in semiconductor wafers |
-
2002
- 2002-04-12 KR KR10-2002-0019925A patent/KR100452918B1/ko active IP Right Grant
-
2003
- 2003-03-18 TW TW092105949A patent/TWI307923B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-03-24 JP JP2003081044A patent/JP3790519B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-01 CN CNB031212735A patent/CN1293618C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-11 US US10/412,120 patent/US7154611B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI307923B (en) | 2009-03-21 |
TW200306623A (en) | 2003-11-16 |
US7154611B2 (en) | 2006-12-26 |
US20040004724A1 (en) | 2004-01-08 |
JP2003332299A (ja) | 2003-11-21 |
KR100452918B1 (ko) | 2004-10-14 |
KR20030081607A (ko) | 2003-10-22 |
CN1293618C (zh) | 2007-01-03 |
CN1452018A (zh) | 2003-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3790519B2 (ja) | 厚さ測定システムが具備された回転エッチング装置 | |
KR101203592B1 (ko) | 근적외선 스펙트럼 반사광 측정을 이용한 개선된 프로세스 감지 및 제어 | |
JP2009505429A (ja) | ガス注入孔を用いたpecvdのための光学的放射干渉測定 | |
KR100609932B1 (ko) | 습식에칭공정을위한종말점검출방법 | |
US7537671B2 (en) | Self-calibrating optical emission spectroscopy for plasma monitoring | |
US6381021B1 (en) | Method and apparatus for measuring reflectivity of deposited films | |
US5748297A (en) | Endpoint detecting apparatus in a plasma etching system | |
TW201724258A (zh) | 電感耦合電漿處理器 | |
KR20060003669A (ko) | 기판 건조 장치 | |
KR20020041445A (ko) | 플라즈마 에칭처리를 종료하기 위한 간섭측정방법 | |
US6863772B2 (en) | Dual-port end point window for plasma etcher | |
JP3995236B2 (ja) | 基板端面洗浄装置、基板端面洗浄方法及び半導体装置の製造方法 | |
US20230107142A1 (en) | Substrate treating method and apparatus used therefor | |
KR102161373B1 (ko) | 복수의 광수광부를 갖는 플라즈마 모니터링 장치 및 이를 이용한 플라즈마 모니터링 방법 | |
KR930006525B1 (ko) | 드라이 에칭(dry etching)장치 | |
JP2012122101A (ja) | 成膜装置 | |
JPH03104212A (ja) | 気相成長装置 | |
JPH09162165A (ja) | 処理装置及びそのクリーニング方法 | |
KR100215886B1 (ko) | 반도체소자 제조를 위한 노광 공정용 웨이퍼 가장자리포토레지스트세정장치 | |
KR102396143B1 (ko) | Oes 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
KR100733264B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
KR102003730B1 (ko) | 박막두께 측정장치 및 이를 갖는 박막 제조용 증착장치 및, 박막두께 측정방법 | |
JP2003332318A (ja) | プラズマ処理装置の計測用窓 | |
KR20070027277A (ko) | 기판의 가장자리 에칭 장치 및 방법 | |
KR20160006353A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060314 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060331 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3790519 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100407 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130407 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140407 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |