KR101323152B1 - 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 측정 시스템은, 유리 기판이 식각 용액에 의해 식각되는 동안에 유리 기판의 두께를 모니터링하고, 모니터링 결과에 따라 식각 용액을 분사하는 분사부의 작동 변수를 제어함으로써, 상기 유리 기판의 두께가 미리 설정된 설정 두께에 보다 정확하게 도달할 수 있는 효과가 있다. 또한, 광학 두께 측정기의 렌즈를 식각 용액으로부터 보호하기 위한 렌즈 보호장치를 포함함으로써, 식각 용액이 상기 렌즈에 붙거나 상기 렌즈를 에칭하는 현상이 방지되어, 두께 측정의 정확도를 유지할 수 있다.

Description

유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템{A thickness monitoring system in etching process of glass substrate}
본 발명은 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 및 그의 제어방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유리 기판을 식각하면서 두께를 모니터링하고 그에 따라 식각 변수를 제어함으로써, 보다 정확한 치수의 유리 기판을 얻어낼 수 있는 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 및 그의 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 LCD나 PDP, OLED 등의 디스플레이 패널이나 전자기기에 유리 기판이 사용되고 있다. 최근에는 제품의 박형화, 소형화, 경량화가 요구되는 추세이며, 그에 따라 유리 기판도 박형화가 요구되고 있다. 이러한 유리 기판은 사이즈가 매우 크게 제조되기 때문에, 너무 얇은 상태로는 운반 중 파손 가능성이 매우 크다. 따라서, 소정의 두께 이상을 갖도록 제작된 후, 불산(HF)용액 혹은 비불산 용액과 같은 식각 용액에 의해 유리 기판의 외면을 에칭하여 얇게 만들고 있다.
선출원된 등록특허 10-695575호, 10-0835745에서는 유리 기판을 식각액을 통해 에칭하여 얇게 만드는 방법을 개시하고 있다. 그러나, 이들은 경험만을 바탕으로 식각액의 분사 시간, 분사속도를 설정하고, 식각 과정 중에는 유리 기판의 두께를 알 수가 없기 때문에, 유리 기판의 정확한 두께를 얻어내는 데 한계가 있으므로, 신뢰도와 정확도가 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 유리 기판의 식각시 정확한 두께를 얻어낼 수 있는 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 및 그의 제어방법을 제공하는 데 있다.
본 발명에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템은, 챔버와, 상기 챔버내에 설치된 한 장 또는 복수장의 유리 기판과, 상기 챔버내에서 상기 유리 기판에 식각 용액을 분사하는 분사부와, 상기 챔버내에서 상기 유리 기판이 식각되는 동안 상기 유리 기판의 두께를 광학 측정방식에 의해 모니터링하는 광학 두께 측정기와, 상기 광학 두께 측정기에서 측정된 두께에 따라 상기 분사부의 작동 변수를 제어하는 제어부를 포함한다.
본 발명에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템의 제어방법은, 챔버내에서 유리 기판을 향해 식각 용액을 분사하는 단계와, 상기 유리 기판이 식각되는 동안 상기 유리 기판의 두께를 모니터링하는 단계와, 상기 유리 기판의 측정 두께가 미리 설정된 설정 범위 이내인지 비교 판단하는 단계와, 상기 유리 기판의 측정 두께가 상기 설정 범위 이내이면, 상기 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 노즐들의 작동 개수 중 적어도 하나를 감소시키는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 측정 시스템은, 유리 기판이 식각 용액에 의해 식각되는 동안에 유리 기판의 두께를 모니터링하고, 모니터링 결과에 따라 식각 용액을 분사하는 분사부의 작동 변수를 제어함으로써, 상기 유리 기판의 두께가 미리 설정된 설정 두께에 보다 정확하게 도달할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 유리 기판의 측정 두께가 미리 설정된 설정 범위 이내이면, 상기 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 노즐들의 작동 개수 중 적어도 하나를 점차 감소시킴으로써, 상기 유리 기판의 두께가 설정 두께에 보다 정확하게 도달할 수 있다.
또한, 광학 두께 측정기의 렌즈를 식각 용액으로부터 보호하기 위한 렌즈 보호장치를 포함함으로써, 식각 용액이 상기 렌즈에 붙거나 상기 렌즈를 에칭하는 현상이 방지되어, 두께 측정의 정확도를 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 광학 두께 측정기가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 두께 모니터링 시스템의 제어 흐름이 도시된 블록도이다.
도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 두께 모니터링 시스템의 제어 방법이 도시된 순서도이다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 렌즈 보호장치가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 제 3실시예에 따른 렌즈 보호장치가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 4실시예에 따른 광학 두께 측정기가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템(10)이 도시된 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 광학 두께 측정기(40)가 개략적으로 도시된 도면이다. 도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 두께 모니터링 시스템의 제어 흐름이 도시된 블록도이다.
도 1을 참조하면, 상기 유리 기판(30)의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템(10)은, 챔버(2)와, 분사부(20)와, 광학 두께 측정기(30)와, 제어부(60)를 포함한다.
상기 유리 기판(30)은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등에 사용되는 것을 모두 포함한다. 상기 유리기판(30)은 한 쌍의 유리판에 전극과 액정(32) 등이 구비된 후 식각 용액에 의해 외면이 깎아져 두께가 얇아진 후 소정의 크기로 잘라져 사용된다.
상기 챔버(2)는 상기 유리 기판(30)이 식각되는 공간을 형성한다. 상기 챔버(2)에는 한 장 또는 복수장의 유리 기판(30)이 서로 소정 간격으로 이격되게 배치된다. 본 실시예에서는, 상기 챔버(2)에 복수장의 유리 기판들(30)이 설치된 것으로 설명하고, 상기 복수장의 유리기판들(30)은 지지대(24)에 의해 지지되는 것으로 설명한다. 상기 지지대(24)는 이동가능하게 설치되어 상기 챔버(2)를 출입하거나 상기 챔버(2)내에서 움직이는 것도 가능하다.
상기 복수의 유리 기판들(30)은 각각 수직방향으로 세워지는 것도 가능하고, 수평 방향으로 눕혀지되 상하방향으로 소정간격 이격되게 배치되는 것도 가능하다. 상기 복수의 유리 기판들(30)이 수직방향으로 세워질 경우, 상기 지지대(24)는 상기 유리 기판들(30)의 상, 하측 중 일측을 지지하고 타측에 상기 분사부(20)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 복수의 유리 기판들(30)이 수평 방향으로 눕혀질 경우 상기 지지대(24)는 상기 유리 기판들(30)의 좌, 우측 중 일측을 지지하고 타측에 상기 분사부(20)가 배치될 수 있다. 여기서는 상기 복수의 유리 기판들(30)이 수직방향으로 세워지고, 좌우방향으로 서로 소정간격 이격되게 배치된 것으로 한정하여 설명한다.
상기 분사부(20)는, 스프레이 노즐을 사용하고 상기 유리 기판(30)의 측면을 향해 식각 용액을 수평 분사하는 것도 가능하고, 상기 유리 기판(30)의 상측에서 식각 용액을 상기 유리 기판을 향해 하향 분사하는 것도 가능하고, 블레이드 노즐을 사용하고 상기 식각 용액이 자연 낙하방식(Down flow)으로 상기 유리 기판(30)의 측면을 따라 흘러내리도록 하는 것도 모두 가능하다. 본 실시예에서는, 상기 분사부(20)는, 상기 유리 기판들(30)의 상측에 배치되고, 상기 유리 기판들(30)의 측면과 평행한 방향으로 식각 용액을 분사하는 분사노즐(22)를 포함하는 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 분사노즐(22)에서 분사되는 식각 용액이 상기 유리 기판(30)을 타고 흐를 수 있다. 상기 분사 노즐(22)은 복수개가 상기 챔버(2)의 내부 상측에 구비될 수 있다.
상기 식각 용액은 에칭액이라고도 하며, 주로 불산(HF) 용액을 사용하나, 최근에는 환경보호를 위해 친환경적인 비불산 용액의 사용이 늘고 있다.
상기 광학 두께 측정기(40)는, 상기 챔버(2)내에서 상기 유리 기판(30)이 식각되는 동안 상기 유리 기판(30)의 두께를 광학 측정방식에 의해 모니터링하는 기기이다. 상기 광학 두께 측정기(40)는 상기 복수의 유리 기판들(30)의 두께를 모두 측정하도록 복수개가 배치되는 것도 가능하고, 상기 복수의 유리 기판들(30) 중 어느 하나의 두께를 측정하도록 한 개만이 배치되는 것도 가능하다. 본 실시예에서는, 상기 광학 두께 측정기(40)는 상기 복수의 유리 기판들(30) 중 가장 인접하게 배치된 유리 기판의 두께만을 측정하는 것으로 설명한다.
도 2를 참조하면, 상기 광학 두께 측정기(40)는 빛을 이용하여 대상물의 두께나 표면 형상 등을 측정하는 일반적인 광학기기이다. 상기 광학 두께 측정기(40)는 일반적으로 광원부(41), 시준 렌즈(43), 수광 렌즈(44), 검출부(45), 대물 렌즈(42) 등을 포함한다. 상기 광원부(41)에서 조명된 빛이 상기 유리 기판(30)으로 입사되고, 상기 유리 기판(30)으로부터 반사되어 되돌아오는 빛이 상기 검출부(45)로 입사되어 검출될 수 있다. 이 때, 상기 유리 기판(30)으로 입사되는 빛은 상기 대물 렌즈(42)에 의하여 특정한 점으로 초점이 맺어질 수 있다. 상기 광학 두께 측정기(40)의 구성은 이에 한정되지 않으며, 상기 유리 기판(30)을 향해 빛을 보내거나 상기 유리 기판(30)에서 반사된 빛을 받는 렌즈를 포함하는 것이면 모두 가능하다.
한편, 상기 분사 노즐(22)에서 분사되는 식각 용액이 상기 광학 두께 측정기(40)의 렌즈측으로 유입되는 것을 차단하는 렌즈 보호 장치(50)(52)를 더 포함한다. 본 실시예에서는, 상기 광학 두께 측정기(40)에 포함된 렌즈들 중에서 상기 대물 렌즈(42)가 상기 챔버(2)내에서 식각 용액에 노출되므로, 상기 렌즈 보호 장치(50)(52)는 상기 대물 렌즈(42)를 보호하는 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 대물 렌즈(42)외에도 상기 챔버(2)내로 노출되는 렌즈는 모두 보호하도록 구비되는 것도 가능하다.
상기 렌즈 보호 장치(50)(52)는 에어 커튼(50)을 포함한다. 상기 에어 커튼(50)은 상기 챔버(2)의 상측에 설치되고, 하측에 형성된 흡입구를 통해 압축 공기를 상기 대물 렌즈(42)의 전방으로 분출하여, 상기 대물 렌즈(42)의 전방에 공기층(52)을 형성하여, 상기 식각 용액이 상기 대물 렌즈(42)측으로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
상기 제어부(60)는 상기 광학 두께 측정기(40)의 검출부(45)로부터 상기 유리 기판(30)의 측정 두께를 입력 받고, 그에 따라 상기 분사부(20)의 작동변수를 제어한다. 상기 작동변수는 분사 노즐(22)의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 상기 분사 노즐들(22)의 작동 개수 등을 포함할 수 있다. 상기 분사부(20)는 식각 용액을 공급 또는 차단하기 위한 밸브(미도시)를 더 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 밸브(미도시)의 개도량을 제어함으로써, 분사양, 분사속도, 분사시간 및 상기 분사 노즐들(22)의 작동 개수를 제어할 수 있다.
상기와 같이 구성된 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템의 제어방법을 살펴보면 다음과 같다.
도 4를 참조하면, 상기 복수의 유리 기판들(30)이 상기 지지대(24)에 탑재된 후, 상기 챔버(2)내에 위치되면, 상기 분사 노즐들(22)이 작동한다.
상기 분사 노즐들(22)을 통해 식각 용액이 분사되고, 분사된 식각 용액이 상기 유리 기판들(30)의 외면을 삭감하면서 흘러내리게 된다.(S10) 상기 분사 노즐들(22)의 분사양, 분사 속도, 분사시간과 상기 분사 노즐들(22)의 작동 개수는 미리 설정된 초기값에 따른다. 상기 식각 용액이 분사되는 동안, 상기 에어 커튼(50)도 함께 작동되어, 상기 대물 렌즈(42)의 전방에 공기층(52)을 형성한다. 상기 공기층(52)이 상기 식각 용액이 상기 대물 렌즈(42)측으로 유입되는 것을 차단하여, 상기 대물 렌즈(42)가 상기 식각 용액에 의해 손상되지 않는다.
상기 제어부(60)는 상기 식각 용액이 분사 시작된 후 설정시간이 경과되었는지 판단한다.(S11) 상기 설정시간은 0을 포함할 수 있다.
상기 설정시간이 경과되었다고 판단되면, 상기 광학 두께 측정기(40)의 광원부(41)에서 빛을 쏘아, 상기 유리 기판(30)의 두께(t)를 측정한다.(S12) 상기 유리 기판(30)으로부터 반사된 빛의 파장을 상기 검출부(45)에서 검출하고, 그에 따라 상기 유리 기판(30)의 두께(t)를 판단할 수 있다. 상기 검출부(45)에서 판단된 상기 유리 기판(30)의 두께에 대핸 데이터는 상기 제어부(60)로 전송된다.
상기 제어부(60)는 상기 유리 기판(30)의 측정 두께(t)가 미리 설정된 설정 범위 이내인지 여부를 판단한다.(S13) 예를 들어, 상기 설정 범위는 미리 설정된 설정 두께의 95% 이상으로 설정될 수 있다. 상기 설정 두께는 상기 유리 기판(30)을 식각하여 얻고자 하는 최종 목표 두께에 해당한다.
상기 측정 두께(t)가 상기 설정 범위인 상기 설정 두께의 95%에 도달하면, 상기 제어부(60)는 상기 밸브(미도시)의 개도량을 제어하여, 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 상기 분사노즐들(22)의 작동 개수를 감소시킨다.(S14) 상기 제어부(60)는 상기 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 상기 분사노즐들(22)의 작동 개수를 모두 감소시키는 것도 가능하고, 그 중 일부만을 감소시키는 것도 물론 가능하다. 상기 제어부(60)는 상기 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간을 점차 감소시킴으로써, 상기 유리 기판(30)의 식각 속도가 점차 감소되면서 상기 유리 기판(30)의 측정 두께(t)가 설정 두께의 100%에 정확하게 도달할 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 분사부(20)의 작동 변수를 제어하는 동안에도 상기 유리 기판(30)의 두께는 소정의 시간 간격으로 계속해서 측정할 수 있다. (S15)
이후, 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께에 도달하면, 상기 제어부(60)는 상기 분사부(20)의 작동을 정지시켜, 상기 식각 용액의 분사를 중지할 수 있다.(S16) 여기서, 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께에 일치하는 경우 분사를 중지하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께에 거의 도달하는 경우 미리 분사를 중지하는 것도 물론 가능하다.
한편, 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께가 아니면, 상기 제어부(60)는 상상기 식각 용액의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 상기 분사노즐들(22)의 작동 개수 중 적어도 어느 하나를 다시 조절할 수 있다.(S14) 본 실시예에서는, 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께에 도달하지 않으면, 상기 작동 변수들을 다시 제어하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 상기 작동 변수들을 그대로 유지한 채 상기 측정 두께(t)가 상기 설정 두께에 도달하는 지 여부만 확인하는 것도 물론 가능하다.
상기와 같이, 상기 유리 기판(30)의 식각이 이루어지는 동안, 상기 유리 기판(30)의 두께(t)를 모니터링함으로써, 상기 유리 기판(30)의 두께가 작업자가 원하는 두께로 보다 정확하게 도달할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 렌즈 보호장치가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제 2실시예에 따른 렌즈 보호장치는, 상기 대물 렌즈(42)보다 상기 유리 기판(30)을 향해 소정 길이 이상으로 돌출되게 형성된 격벽(70)인 것이 상이하며, 그 외의 구성 및 작용은 상기 제 1실시예와 유사하므로, 유사 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 격벽(70)은 상기 대물 렌즈(42)를 둘러싸도록 형성되고, 상기 대물 렌즈(42)보다 돌출되게 형성되어, 상기 식각 용액이 상기 대물 렌즈(42)측으로 유입되는 것을 최소화하여, 상기 대물 렌즈(42)를 보호할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제 3실시예에 따른 렌즈 보호장치가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제 3실시예에 따른 렌즈 보호장치는, 상기 대물 렌즈(42)에 장착되어 상기 대물 렌즈(42)를 보호하는 보호 렌즈(80)인 것이 상이하며, 그 외의 구성 및 작용은 상기 제 1실시예와 유사하므로, 유사 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 보호 렌즈(80)는 상기 식각 용액에 의해 부식되지 않는 내산성이며, 상기 대물 렌즈(42)를 통과하는 빛을 방해하지 않는 투명재질의 렌즈가 사용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제 4실시예에 따른 광학 두께 측정기가 구비된 챔버가 도시된 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제 4실시예에 따른 광학 두께 측정기(90)는, 상기 챔버(2)를 출입하도록 설치되는 것이 상이하며, 그 외의 구성 및 작용은 상기 제 1실시예와 유사하므로, 유사 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 광학 두께 측정기(90)는 설정된 시간 간격마다 상기 챔버(2)내로 들어가서 상기 유리 기판(30)의 두께를 측정한 후, 다시 상기 챔버(2)의 외부로 인출되도록 설치된다. 즉, 상기 광학 두께 측정기(90)는 설정된 시간 간격마다 상기 유리 기판(30)의 두께를 측정하는 바, 상기 유리 기판(30)의 두께를 측정하는 시점에만 상기 챔버(2)의 내부로 들어가고, 그 외의 시간에는 상기 챔버(2)의 외부에 위치함으로써, 상기 광학 두께 측정기(90)의 대물 렌즈(92)가 상기 식각 용액에 노출되는 것을 최소화하여 상기 대물 렌즈(92)를 보호할 수 있다. 상기 광학 두께 측정기(90)와 상기 챔버(2)사이에는 레일 등의 이송부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 대물 렌즈(92)를 둘러싸고, 상기 대물 렌즈(92)보다 돌출되게 형성된 격벽(100)을 더 포함하여, 상기 대물 렌즈(92)가 상기 챔버(2)내로 들어가는 동안에도 상기 대물 렌즈(92)를 상기 식각 용액으로부터 보호하는 것도 가능하다. 이에 한정되지 않고, 상기 격벽(100) 대신 상기 대물 렌즈(92)의 전방에 내산성 재질이고 투명한 보호 렌즈가 장착되는 것도 물론 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
2: 챔버 20: 분사부
22: 분사 노즐 24: 지지대
30: 유리 기판 40,90: 광학 두께 측정기
42, 92: 대물 렌즈 50: 에어 커튼
52: 공기층 60: 제어부
70: 격벽 80: 보호 렌즈

Claims (9)

  1. 챔버와;
    상기 챔버내에 설치된 복수장의 유리 기판과;
    상기 챔버내에서 상기 유리 기판에 식각 용액을 분사하는 분사부와;
    상기 챔버내에서 상기 유리 기판이 식각되는 동안 상기 유리 기판의 두께를 광학 측정방식에 의해 모니터링하며, 상기 유리 기판을 향해 빛을 보내거나 상기 유리 기판에서 반사된 빛을 받는 렌즈를 포함하는 광학 두께 측정기와;
    상기 광학 두께 측정기에서 측정된 두께에 따라 상기 분사부의 작동 변수를 제어하는 제어부와;
    상기 식각 용액이 상기 렌즈측으로 유입되는 것을 차단하여 상기 렌즈의 식각을 방지하고 보호하는 렌즈 보호장치를 포함하고,
    상기 렌즈 보호 장치는,
    상기 렌즈를 둘러싸고, 상기 렌즈보다 상기 유리 기판을 향해 소정 길이 이상으로 돌출되게 형성된 격벽과,
    상기 챔버의 상측에 설치되고, 하측에 형성된 흡입구를 통해 압축 공기를 상기 렌즈의 전방으로 분출함으로써, 상기 렌즈의 전방에 공기층을 형성하여 상기 식각 용액의 유입을 차단하는 에어 커튼을 포함하고,
    상기 광학 두께 측정기 및 상기 격벽은 일체로, 설정된 시간 간격마다 상기 챔버로 유입되어 상기 유리 기판의 두께를 측정한 후, 다시 상기 챔버의 외부로 인출되는 것을 반복하되, 상기 격벽과 상기 챔버 사이에는 이동이 원활하도록 레일이 배치되고,
    상기 작동변수는 상기 분사부의 분사양, 분사속도, 분사시간 및 노즐들의 작동 개수 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 렌즈 보호 장치는,
    상기 렌즈에 장착되고, 상기 식각 용액에 의해 부식되지 않는 내산성이며, 투명재질의 보호 렌즈를 더 포함하고,
    상기 챔버내에는 복수장의 상기 유리 기판들이 서로 소정간격 이격되게 배치되고,
    상기 광학 두께 측정기는 상기 복수장의 유리 기판들 중에서 인접한 유리 기판의 두께를 측정하는 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템.
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