KR101313655B1 - 기판식각장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 전체에 걸쳐 균일하게 식각하기 위한 것으로, 지면과 수직으로 배치되어 적어도 일면이 기판과 인접하도록 배치되며, 내부에 식각액이 충전된 복수의 분사판과, 상기 분사판에 형성되어 설정된 각도로 유동하는 상태에서 기판에 식각액을 분사하여 기판을 식각하는 복수의 노즐로 구성된다.

기판, 식각, 식각액, 노즐, 분사, 유동

Description

기판식각장치{APPARATUS FOR ETCHING SUBSTRATEE}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판식각장치의 구조를 나타내는 도면.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판식각장치의 개략적인 구조를 나타내는 사시도.

도 3은 본 발명에 도 1에 도시된 기판식각장치에서 기판에 분사된 분사영역을 나타내는 도면.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판식각장치의 분사판 및 노즐의 구조를 나타내는 도면.

도 5는 도 4에 도시된 기판식각장치에서 노즐의 유동을 나타내는 도면.

도 6은 도 4에 도시된 기판식각장치에서 식각액의 분사영역을 나타내는 도면.

도 7a∼도 7c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판식각장치의 개략적인 구조를 나타내는 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1,201: 기판 12,212 : 분사판

13,113 : 노즐 17 : 식각액 저장탱크

R : 식각액 분사영역 S : 중첩영역

d : 노즐 사이의 간격 α: 노즐의 유동각도

본 발명은 기판식각장치에 관한 것으로, 특히 노즐을 유동하면서 식각액을 분사하여 기판에 식각액을 균일하게 분사함에 따라 기판을 균일하게 식각할 수 있는 기판식각장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(mobile phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

이러한 액정표시소자는 휴대용 전자기기에 특히 많이 사용되기 때문에, 그 크기와 무게를 감소시켜야만 전자기기의 휴대성을 향상시킬 수 있게 된다. 액정표시소자의 크기나 무게를 감소시키는 방법은 여러가지가 있을 수 있지만, 그 구조나 현재 기술상 액정표시소자의 필수 구성요소를 줄이는 것은 한계가 있다. 더욱이, 이러한 필수 구성요소는 중량이 작기 때문에 이들 필수 구성요소의 중량을 감소하여 전체 액정표시소자의 크기나 중량을 줄이는 것은 대단히 어려운 실정이었다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 기판 또는 표시패널을 식각함으로써 표시소자의 무게를 감소할 수 있는 기판식각장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 노즐을 유동시키면서 식각액을 기판 또는 표시패널에 분사함으로써 기판 전체에 걸쳐 균일한 식각이 가능한 기판식각장치를 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판식각장치는 지면과 수직으로 배치되어 적어도 일면이 기판과 인접하도록 배치되며, 내부에 식각액이 충전된 복수의 분사판; 및 상기 분사판에 형성되어 설정된 각도로 중력과 수직방향으로 유동하는 상태에서 기판에 식각액을 분사하여 기판을 식각하는 복수의 노즐로 구성되며, 노즐에 의한 식각액의 분사영역은 중력의 수직방향으로는 인접하는 노즐에 의한 분사영역과는 겹치고 중력방향으로는 인접하는 노즐의 분사영역과 일정 간격 떨어져서 상기 중력방향으로 인접하는 분사영역 사이의 기판은 중력에 의해 상부에서 흘러 내리는 식각액에 의해 식각되는 것을 특징으로 한다.

상기 노즐은 중력의 수직방향으로 유동하여 식각액의 분사영역이 노즐의 유동방향과 인접하는 노즐로부터 분사된 분사영역과 겹치며 노즐의 유동방향과 수직으로 인접하는 노즐로부터 분사된 분사영역과는 일정 간격 떨어진다. 이때, 일정 간격 떨어진 분사영역 사이의 기판은 중력에 의해 상부에서 흘러내린 식각액에 의해 식각된다.

상기 식각장치의 대상인 기판은 합착된 유리 모기판일 수도 있고 개개의 모기판일 수도 있으며 합착된 표시패널일 수도 있을 것이다.

또한, 본 발명에 따른 기판식각장치는 지면과 수직으로 배치되어 적어도 일면이 기판과 인접하도록 배치되며, 내부에 식각액이 충전된 복수의 분사판과, 상기 분사판에 형성되어 기판에 식각액을 분사하여 기판을 식각하는 복수의 노즐로 구성되며, 상기 분사판 및 기판은 서로 상대적으로 이동하면서 기판에 식각액이 분사되는 것을 특징으로 한다.

액정표시소자의 무게를 좌우하는 요소에는 여러가지가 있지만, 그중에서도 유리로 이루어진 기판이 액정표시소자의 다른 구성요소 중에서 가장 무거운 구성이다. 따라서, 액정표시소자의 무게를 감소시키기 위해서는 이 유리기판의 무게를 감소하는 것이 가장 효율적이다.

통상적으로 유리기판의 식각은 HF와 같은 식각액에 의해 이루어진다. 즉, 유리기판을 식각액(etchant)이 채워진 용기에 담아 이 식각액에 의해 유리기판의 표면을 에칭(etching)하는 방법이다. 그러나, 이러한 방법에서는 기판 자체의 불완전성에 의해 기판이 균일하게 에칭되지 않고, 더욱이 에칭과정에서 생성되는 불순물이 기판에 달라 붙게 되어 기판의 표면이 울퉁불퉁하게 되는 문제가 있었다. 더욱이, 과도한 식각액의 사용에 의해 비용이 증가하고 환경오염이라는 문제가 발생한다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 기판을 컨베이어에 로딩하여 기판을 이동시키면서 식각액을 상기 기판에 적용시켜 기판을 식각할 수도 있지만, 이 경우 컨베이어에 로딩된 기판 표면의 일부에 식각액이 남아 있게 되어 남아 있는 영역의 기판이 과도하게 식각되어 기판이 전체적으로 불균일하게 식각된다는 문제가 발생하게 된다.

본 발명에서는 이러한 문제를 해결하기 위해, 기판을 지면과 수직방향으로 배치한 후 식각액을 기판의 양면에 분사함으로써 기판 전체를 균일하게 식각할 수 있게 되는데, 도 1에 기판을 식각하는 수직식각장치의 기본적인 개념이 도시되어 있다.

이러한 유리기판의 식각은 통상적으로 합착된 모기판에 대해서 이루어진다. 액정표시소자와 같은 평판표시소자의 제작시 효율을 향상시키기 위해 하나의 서로 대향하는 2개의 모기판에 각각 박막트랜지스터와 컬러필터와 같은 필요한 구성을 형성하고 이들 모기판을 합착한 후 단위 패널로 절단하여 각각의 표시패널을 형성하게 된다. 본 발명의 기판의 식각은 주로 단위 패널로 절단하기 전의 합착된 모기판 단위로 이루어진다. 이와 같이, 합착된 모기판 단위로 기판을 식각하는 이유는 다음과 같다.

기판을 식각할 때 그 식각정도는 한정되어 있다. 기판이 과식각되어 그 두께가 너무 얇아지게 되면, 표시소자의 제조공정시 기판이 파손되게 된다. 따라서, 모기판 단위의 유리기판은 그 식각에 한계가 있었다. 하지만, 2개의 기판을 합착한 경우(혹은 합착된 유리패널의 경우), 모기판 보다 많은 양을 식각하여도 합착된 2개의 기판에 의해 충격에 견디는 힘이 증가하기 때문에, 상대적으로 모기판에 비해 더 많은 양을 식각할 수 있게 되어 표시패널을 제작했을 때 무게를 더욱 감소시킬 수 있게 된다.

그러나, 본 발명의 식각장치에 의해 식각되는 대상이 상기와 같은 합착된 모기판에만 한정되는 것이 아니라 단위 모기판, 가공된 기판, 분리된 단위 패널이 모 두 식각대상이 될 수 있을 것이다.

따라서, 이후에 사용되는 기판이라는 용어는 단지 합착된 모기판, 유리 모기판, 가공된 기판, 분리된 단위 패널을 모두 포함하는 의미로 사용될 것이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 수직식각장치(10)는 일정한 간격으로 배치되고 그 사이에 기판(1)이 배치되는 분사판(12)과, 상기 분사판(12)에 형성되어 기판(1)에 식각액을 분사하는 복수의 노즐(13)과, 상기 분사판(12)에 식각액을 공급하는 식각액 저장탱크(17)로 구성된다. 상기 분사판(12)의 내부는 비어 있기 때문에, 식각액 저장탱크(17)의 식각액이 공급관(15)을 통해 상기 분사판(12)으로 공급되며, 이 공급된 식각액이 노즐(13)을 통해 기판(1)으로 분사된다.

분사판(12)의 내부로 공급된 식각액은 노즐(13)에 의해 기판(1)의 표면으로 분사되어 기판(1)을 식각하게 된다. 이때, 상기 기판(1)이 식각액을 분사하는 분사판(12)의 사이에 위치하므로, 양측면에 위치한 분사판(12)의 노즐(13)로부터 분사된 식각액이 기판(1)의 양측면에 도달하여 기판(1)의 양측면이 식각된다.

상기 분사판(12)의 노즐(13)의 갯수와 간격은 식각되는 기판(1)의 크기와 분사판(12)과 기판(1) 사이의 거리에 따라 결정되지만, 기판(1)에 식각액을 균일하게 분사할 수만 있다면 어떠한 갯수나 간격도 가능할 것이다.

상기와 같이 구성된 식각장치에서는 지면과 수직으로 배치된 기판(1) 상에 식각액을 균일하게 분사하여 기판(1)을 식각한다. 이와 같이, 기판(1)을 수직으로 배치함에 따라 기판(1)에 분사된 식각액이 중력에 의해 하부로 흘러 내리므로, 기판(1) 상에는 식각액이 잔류하지 않게 되어 특정 영역에 식각액이 남아 해당 영역 이 과도하게 식각되는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 2는 본 발명에 따른 기판식각장치의 개략적인 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(1)의 양측면에 위치하는 분사판(12)의 길이 및 높이는 식각되는 기판(1)과 동일한 면적으로 형성되거나 더 넓은 면적으로 형성되어 기판(1) 전체에 걸쳐 식각액을 일정한 압력으로 분사함으로써 기판(1)을 신속하게 식각할 수 있게 된다.

도 3은 분사판(12)의 노즐(13)을 통해 기판(1) 상에 분사되는 식각액의 분사영역(R)을 나타내는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐(13)로부터 분사된 식각액은 기판(1)의 표면 일정 영역에 도달한다. 분사판(12)에 형성된 복수의 노즐(13)에서 분사된 식각액이 기판(1) 전체에 걸쳐 분사되어 기판(1)을 식각하기 위해서는 각각의 노즐(13)에서 분사된 식각액의 분사영역(R)이 인접하는 노즐(13)로부터 분사된 분사영역(R)과 중첩되어야만 식각액이 분사되지 않은 영역을 제거할 수 있게 된다. 그러나, 이와 같이 식각액을 중첩하여 분사하는 경우 인접하는 노즐(13)로부터 식각액이 중첩되는 중첩영역(S)에 분사되는 식각액의 양이 중첩되지 않는 식각영역에 분사되는 식각액의 양에 비해 더 많으므로 중첩영역(S)과 중첩되지 않은 식각영역에서의 식각정도가 다르게 되어 기판(1) 전체에 걸쳐 불균일한 식각이 이루어지게 된다.

또한, 기판(1) 전체에 걸쳐 분사영역(R)을 형성하기 위해서는 분사판(12)에 형성되는 노즐(13)의 갯수가 많아지게 되는데(중첩영역이 많아져야 하므로), 이와 같이 노즐(13)의 숫자가 많다는 것은 그 만큼 상기 분사구(13)를 통해 분사되는 식 각액이 많아진다는 것을 의미한다. 따라서, 식각시 과도한 식각액이 사용되어 비용이 증가하고 환경오염에 문제가 발생하는 것이다.

본 발명에서는 이러한 문제를 해결하기 위해, 도 4에 도시된 바와 같은 구조의 기판식각장치가 제안되고 있다. 이때, 도 4에 도시된 구조의 기판식각장치는 식각액을 분사하는 노즐(113)을 제외하고는 도 1에 도시된 기판식각장치와 그 구조가 유사하므로, 동일한 구조에 대해서는 설명을 생략하고 다른 구조에 대해서만 설명한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 기판에 식각액을 분사하는 노즐(113)이 유동하기 때문에, 기판에 분사되는 식각액의 분사영역이 확장된다. 즉, 노즐(113)이 설정 각도로 좌우로 유동하면서 기판에 식각액을 분사하게 되는 것이다. 이와 같이, 노즐(113)을 유동하면서 식각액을 분사함에 따라 도 1에 도시된 구조의 기판식각장치에 비해 노즐(113)의 유동방향으로의 분사영역이 더 확장된다. 따라서, 노즐(113) 사이의 간격(d)을 도 1에 도시된 기판식각장치에서의 노즐 사이의 간격보다 크게 할 수 있게 되어, 도 1에 도시된 기판식각장치에 비해 노즐(113)의 갯수를 감소할 수 있게 되므로, 식각액의 소모가 감소하게 되어 비용을 절감할 수 있게 되고 환경오염을 방지할 수 있게 된다.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(113)은 설정된 각도(α)로 좌우방향으로 유동한다. 이때, 상기 유동각도(α)는 기판과 노즐(113) 사이의 간격, 노즐(113)과 노즐(113) 사이의 간격(d) 및 노즐(113)의 식각액 분사압력에 따라 결정될 것이다. 그러나, 가장 중요한 것은 도 6에 도시된 바와 같이 상기 유동각도(α) 에 의해 분사되는 식각액의 분사영역이 인접하는 노즐(113)에 의해 식각액이 분사된 분사영역과 일부가 겹쳐져야만 한다는 것이다. 이와 같이, 분사영역이 인접하는 분사영역과 겹쳐짐에 따라 기판 전체에 걸쳐 모든 영역에 식각액이 균일하게 분사되어 기판이 식각된다.

한편, 상기 노즐(113)은 기판(1)의 좌우방향으로 유동하는 것이 바람직하다. 즉, 중력과 수직방향으로 노즐(113)이 유동하는 것이 바람직한데, 그 이유는 다음과 같다.

노즐(113)을 통해 식각액이 기판(1)에 분사되면, 분사된 식각액은 중력에 의해 기판(1)의 하부로 흘러내리게 된다. 기판(1)에 분사된 식각액은 기판(1)의 분사영역을 식각하며, 하부로 흘러내리면서 흘러내린 영역의 기판(1)을 식각하게 된다. 따라서, 상기 노즐(113)을 좌우방향으로만 유동시키는 경우에도 분사된 식각액과 상부 영역에서 흘러내린 식각액에 의해 기판(1)이 식각되므로, 도 1에 도시된 기판식각장치에 비해 적은 양의 식각액으로 기판(1)을 균일하게 식각할 수 있게 되는 것이다.

또한, 본 발명에서는 노즐(113)이 유동하는 좌우방향과 수직방향, 즉 중력방향으로의 노즐(113)의 배치간격이 도 1에 도시된 기판식각장치의 배치간격 보다 넓게 되어, 도 6에 도시된 바와 같이 상하방향으로의 식각액의 분사영역(R)이 겹치지 않고 일정 간격을 두고 형성된다. 특정 식각영역으로 분사된 식각액은 중력에 의해 하부로 흘러내리게 되며, 이 흘러내린 식각액에 의해 상하로 배치된 분사영역(R) 사이의 기판(1)이 식각되는 것이다. 이와 같이 좌우방향(즉, 노즐(113)의 유동방 향)으로의 노즐(113) 사이의 간격뿐만 아니라 그 상하방향 방향으로의 간격도 도 1에 도시된 기판식각장치의 노즐 사이의 간격보다 증가하기 때문에, 과도한 식각액의 사용을 방지할 수 있게 된다. 또한, 상하방향으로 인접한 분사영역(R) 사이의 영역이 기판(1)에 직접 분사되는 식각액과 상부로부터 흘러내린 식각액에 의해 이중으로 식각되지 않으므로, 특정 영역의 과도한 식각을 방지할 수 있게 되어 기판(1) 전체에 걸쳐 균일한 식각이 가능하게 된다.

한편, 본 발명의 노즐(113)이 좌우방향으로만 유동하는 것은 아니다. 노즐(113)에서 분사된 식각액의 흘러내림 정도는 식각액의 점도나 기판(101)의 재질에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 식각액의 종류나 기판(101)의 종류에 따라 노즐(113)을 상하로 유동시킬 수도 있고 상하 및 좌우로 유동시킬 수도 있으며, 노즐(113)을 원형상으로 유동시킬 수도 있을 것이다.

본 발명에서 중요한 것은 노즐(113)을 유동시켜 기판(101) 상에 균일하게 식각액을 작용시켜 기판(101)을 균일하게 식각하는 것이지, 노즐(113)의 유동방향이 아니다. 따라서, 본 발명은 노즐(113)이 특정 방향으로 유동하는데에 한정되는 것이 아니라, 노즐(113)이 유동함으로써 식각액을 기판(101)에 균일하게 작용시킬 수 있는 모든 구성을 포함할 것이다.

한편, 본 발명에서는 노즐을 구동시킴으로서만 식각액을 기판상에 균일하게 작용시키는 것이 아니라 노즐이 형성된 분사판 자체를 이동시킴으로써 식각액을 기판상에 균일하게 분사할 수 있게 된다.

이러한 구조의 식각장치의 개념이 도 7a∼도 7c에 도시되어 있다.

도 7a에 도시된 바와 같이, 기판(201)의 양측면에는 복수의 노즐(213)이 형성된 분사판(212)이 배치되어, 분사판(212) 내부의 식각액이 상기 노즐(213)을 통해 기판(201)의 양면에 분사된다. 이때, 상기 분사판(212)은 기판(201)과 표면과 수평한 방향으로 이동하면서 노즐(213)을 통해 식각액을 분사한다. 따라서, 도 4에 도시된 구조의 식각장치와 마찬가지로 기판상에 분사되는 식각액의 분사영역이 고정되어 있을 때의 분상영역에 비해 기판의 좌우방향으로 확장된다.

상기 분사판(212)은 일방향으로 이동할 수도 있고 좌우방향으로 왕복할 수도 있다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 분사판(212)의 하부에는 가이드레일이 구비되어 상기 분사판(212)이 모터와 같은 구동수단에 의해 가이드레일을 따라 이동하게 된다. 상기 분사판(201)은 가이드레일과 같은 특정의 이동수단에 의해서만 이동(또는 왕복)하는 것이 아니라 다양한 이동수단에 의해 이동될 수 있을 것이다. 또한, 상기 분사판(212)은 기판(201)의 좌우방향이 아니라 상하방향으로 이동하거나 왕복하면서 식각액을 분사할수도 있을 것이다. 상기 분사판(212)의 이동거리는 분사판(212)에 형성된 노즐(213) 사이의 간격과 기판(201)과 분사판(212) 사이의 간격 및 분사압력에 따라 달라질 것이다.

상기와 같이, 분사판(212)을 이동시키거나 왕복시키면서 식각액을 분사하는 이유는 도 4에 도시된 구조의 식각장치에서 노즐을 유동시키면서 식각액을 분사시키는 이유와 동일하다.

즉, 분사판(212)을 이동 또는 왕복시키면서 식각액을 분사함에 따라 도 1에 도시된 구조의 기판식각장치에 비해 분사판(212)의 이동 또는 왕복방향으로의 분사 영역이 더 확장된다. 따라서, 노즐(213) 사이의 간격을 크게 할 수 있게 되어, 노즐(213)의 갯수를 감소할 수 있게 되므로, 식각액의 소모가 감소하게 되어 비용을 감소할 수 있게 되고 환경오염을 방지할 수 있게 된다.

이 실시예에서도 중력방향으로 배치되는 노즐(213)의 간격은 중력방향과 수직으로 배치되는 노즐(213)의 간격보다 크게 할 수 있다. 이때, 분사된 식각액의 분사영역은 중력방향으로는 겹치지 않지만, 분사된 식각액이 중력에 의해 하부로 흘러내림에 따라 노즐(213) 사이의 기판(201)이 식각되는 것이다.

한편, 이 실시예에서의 기판식각장치에서는 분사판(212)을 이동 또는 왕복시키는 것이 아니라 분사판(212)은 고정시키고 기판(201)을 이동 또는 왕복시키는 상태에서 식각액을 분사할 수도 있을 것이다.

또한, 도 7b에 도시된 바와 같이, 분사판(212)의 면적을 기판(201)의 면적 보다 작게 할 수 있다. 이 경우, 기판(201) 전체에 걸쳐 식각액을 분사하기 위해, 분사판(212)이 기판(201)의 일측 단부에서 타측 단부의 전체 거리를 걸쳐 이동하거나 왕복해야만 할 것이다.

또한, 도 7c에 도시된 바와 같이, 기판(201) 보다 작은 면적의 분사판(212)을 복수개 기판(201)의 양측면에 배치하여 분사판(212) 또는 기판(201)을 이동 또는 왕복시키면서 식각액을 분사함으로써 분사효율을 향상시킬 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 노즐이나 기판을 유동 또는 이동시키면서 식각액을 기판에 분사시킴으로써 기판으로의 분사영역을 확장할 수 있게 된다. 따라서, 식각액의 소모가 감소하게 되어 비용을 절감할 수 있게 된다.

상기와 같은 기판(1)의 식각은 주로 합착된 유리모기판 단위로 이루어지는 것이 바람직하다. 통상적으로 액정표시소자와 같은 평판표시소자는 2개의 유리기판을 합착하여 사용하므로, 하나의 유리기판에 비해 그 강도가 높게 된다. 따라서, 하나의 유리기판을 사용하는 경우보다도 더 얇게 제작할 수 있게 되므로, 유리기판의 무게를 대폭 감소할 수 있게 된다. 물론, 상기 기판(1)의 식각은 개개의 유리모기판 단위로 이루어질 수도 있을 것이다.

상기한 본 발명의 설명에서는 액정표시소자의 구조를 한정하여 설명하였지만, 본 발명이 특정 구조의 액정표시소자의 구조에만 한정되는 것이 아니라 모든 액정표시소자의 구조에 적용될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명은 특정한 기판의 식각에만 한정되는 것이 아니라 유리 모기판, 합착된 유리 모기판, 가공된 유리기판, 합착된 단위 패널을 식각하는데 사용될 수 있을 것이다.

또한, 본 발명은 액정표시소자에만 적용되는 것이 아니라 다양한 PDP, FED, VFD, OLED 등과 같은 다양한 평판표시소자 제조방법에 적용될 수 있을 것이다.

또한, 상술한 설명에서는 주로 기판을 지면과 수직으로 배치한 후 식각을 진행하는 방법에 대해 개시되어 있지만, 본 발명이 이러한 구성에만 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 기판을 지면과 수평으로 배치하거나 일정 각도로 배치한 상태에서 식각액을 분사하여 기판을 식각하는 방법도 포함할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판 및 액정패널을 설정된 두께로 식각함에 따라 액정표시소자의 무게를 대폭 감소할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 노즐을 유동하거나 분사판을 이동시키면서 식각액을 기판에 분사하므로, 기판 전체에 걸쳐 균일한 식각액의 분사가 가능하게 되어 기판을 균일하게 분사할 수 있게 된다.

Claims (22)

1. 지면과 수직으로 배치되어 적어도 일면이 기판과 인접하도록 배치되며, 내부에 식각액이 충전된 복수의 분사판; 및

   상기 분사판에 형성되어 설정된 각도로 중력과 수직방향으로 유동하는 상태에서 기판에 식각액을 분사하여 기판을 식각하는 복수의 노즐로 구성되며,

   노즐에 의한 식각액의 분사영역은 중력의 수직방향으로는 인접하는 노즐에 의한 분사영역과는 겹치고 중력방향으로는 인접하는 노즐의 분사영역과 일정 간격 떨어져서 상기 중력방향으로 인접하는 분사영역 사이의 기판은 중력에 의해 상부에서 흘러 내리는 식각액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 식각장치는 분사판에 식각액을 공급하는 식각액 저장탱크를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 기판은 2개의 분사판 사이에 배치되어 양면이 식각액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 기판은 합착된 유리 모기판인 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 기판은 유리 모기판인 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 기판은 합착된 표시패널인 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
8. 삭제
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10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제
15. 제1항에 있어서, 상기 노즐의 유동각도는 노즐과 기판 사이의 간격, 노즐과 노즐 사이의 간격 및 노즐의 식각액 분사압력에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 기판식각장치.
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17. 삭제
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19. 삭제
20. 삭제
21. 삭제
22. 삭제

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