TWI704093B - 處理液容置裝置 - Google Patents

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TWI704093B
TWI704093B TW108125504A TW108125504A TWI704093B TW I704093 B TWI704093 B TW I704093B TW 108125504 A TW108125504 A TW 108125504A TW 108125504 A TW108125504 A TW 108125504A TW I704093 B TWI704093 B TW I704093B
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馮傳彰
郭承瑋
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辛耘企業股份有限公司
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Abstract

一種處理液容置裝置包括一槽體、一防漏單元和一冷液傳輸單元。槽體容置一處理液。防漏單元設置於槽體上側。冷液傳輸單元供一冷卻液流通，冷液傳輸單元包括一管體組、一第一固定端以及一第二固定端，管體組設置於槽體內，第一固定端以及第二固定端為管體組兩側且和防漏單元連接。當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少之一洩漏時，冷卻液流至防漏單元。

Description

處理液容置裝置
本發明係關於一種處理液容置裝置，特別是一種可以避免處理液被漏液汙染，且可以立即檢知漏液的處理液容置裝置。
在保存半導體製程所需的化學藥液時，通常會將化學藥液存放在具有冷卻功效的處理液槽中，以避免化學藥液受到高溫影響而變質。如圖1所示，一般的處理液槽900具有一槽體910和一U型的冷卻液管920。槽體910用來存放化學藥液。U型的冷卻液管920的兩端連接槽體910的頂部，冷卻液管920內部設有冷卻液；如此一來，槽體910內的化學藥液可接觸冷卻液管920表面而降溫。
然而，U型的冷卻液管920和槽體910的頂部的連接點可能因為熔接不確實或強度不足，使得冷卻液管920和槽體910頂部的連接點逐漸鬆脫而造成漏液，讓槽體910內的化學藥液濃度改變而影響製程良率；另外，連接點鬆脫而造成的漏液往往無法立即被檢知，故無法即使通報工作人員來維修處理液槽900。
因此，有必要提供一種可以避免化學藥液被漏液汙染，並且可以立即檢知漏液的處理液槽。
本發明之主要目的係在提供一種可以避免處理液被漏液汙染，且可以立即檢知漏液的處理液容置裝置。
為達成上述之目的，本發明之一種處理液容置裝置包括一槽體、一防漏單元和一冷液傳輸單元。槽體容置一處理液。防漏單元設置於槽體上側。冷液傳輸單元供一冷卻液流通，冷液傳輸單元包括一管體組、一第一固定端以及一第二固定端，管體組設置於槽體內，第一固定端以及第二固定端為管體組兩側且和防漏單元連接。當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少之一洩漏時，冷卻液流至防漏單元。
根據本發明之一實施例，其中管體組包括複數子管體，冷液傳輸單元更包括一間隔板，間隔板包括複數穿孔。複數穿孔相互間隔。複數子管體穿設於複數穿孔中，以使冷卻液流過複數子管體時，提高複數子管體與處理液的一冷熱交換面積。
根據本發明之一實施例，其中防漏單元包括一第一隔離槽以及一第二隔離槽，第一固定端設置於第一隔離槽且和一冷卻液供應管連通，第二固定端設置於第二隔離槽且和一冷卻液排出管連通。
根據本發明之一實施例，其中管體組環繞狀得設置於槽體內，以使管體組具有至少一相交點。
根據本發明之一實施例，其中防漏單元包括一第一液體偵測件以及一第二液體偵測件，第一液體偵測件設置於第一隔離槽，第二液體偵測件設置於第二隔離槽，以各自偵測判斷第一固定端和第二固定端是否發生漏液。
根據本發明之一實施例，其中防漏單元包括一第一排液管以及一第二排液管，第一排液管和第一隔離槽連通，第二排液管和第二隔離槽連通；當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少一者洩漏時，冷卻液自第一排液管或第二排液管排出。
根據本發明之一實施例，其中防漏單元包括一第三液體偵測件以及一第四液體偵測件，第三液體偵測件設置於第一排液管外側，第四液體偵測件設置於第二排液管外側，以各自偵測判斷第一固定端和第二固定端是否發生漏液。
根據本發明之一實施例，其中第一排液管和第一隔離槽的一第一側壁連通，第二排液管和第二隔離槽的一第二側壁連通。第一排液管和第一隔離槽的一連通處與第一隔離槽的一底壁相距一第一高度，第一側壁包括供管體組穿設的一第一開口，第一開口與第一隔離槽的底壁相距一第二高度，第一高度小於第二高度。第二排液管和第二隔離槽的一連通處與第二隔離槽的一底壁相距一第三高度，第二側壁包括供管體組穿設的一第二開口，第二開口與第二隔離槽的底壁相距一第四高度，第三高度小於第四高度。
根據本發明之一實施例，其中防漏單元包括一氣體供應管，氣體供應管分別和第一隔離槽以及第二隔離槽連通並提供一氣體，使第一隔離槽以及第二隔離槽的氣壓大於槽體的氣壓。
根據本發明之一實施例，其中設置於槽體部分的管體組係以水平方向穿入第一側壁以及第二側壁，第一固定端以及第二固定端分別設置於第一側壁以及第二側壁，使設置於第一隔離槽以及第二隔離槽部分的管體組呈現水平，以使冷卻液自第一固定端或第二固定端中的至少一者洩漏時，不會沿著管體組流至槽體。
根據本發明之一實施例，其中設置於槽體部分的管體組係以傾斜方向穿入第一側壁以及第二側壁，第一固定端以及第二固定端分別設置於第一側壁以及第二側壁，使設置於第一隔離槽以及第二隔離槽部分的管體組呈現傾斜，以使冷卻液自第一固定端或第二固定端中的至少一者洩漏時，不會沿著管體組流至槽體。
為能讓 貴審查委員能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。
以下請一併參考圖2至圖4關於本發明之第一實施例之處理液容置裝置。圖2係本發明之第一實施例之處理液容置裝置之示意圖；圖3係本發明之第一實施例之處理液容置裝置之部分剖面圖；圖4係本發明之第一實施例之子管體和間隔板之示意圖。
如圖2和圖3所示，在本發明的第一實施例之中，處理液容置裝置1可以用低溫的方式保存處理液L，並且避免處理液L被漏液的冷卻液C汙染，且可以立即檢知漏液。處理液容置裝置1包括一槽體10、一防漏單元20和一冷液傳輸單元30。
在本發明的第一實施例之中，槽體10容置一處理液L。防漏單元20用以容納漏液的冷卻液C，以防止冷卻液C流入槽體10而汙染處理液L。防漏單元20設置於槽體10上側。防漏單元20包括一第一隔離槽21、一第二隔離槽22、一第一液體偵測件23、一第二液體偵測件24、一第一排液管25、一第二排液管26、一第三液體偵測件27、一第四液體偵測件28和一氣體供應管29。
第一隔離槽21和第二隔離槽22用以容納漏液的冷卻液C，以使冷卻液C和處理液L隔離。第一隔離槽21包括一第一側壁211，其為環繞第一隔離槽21之底壁的長方管狀壁面。第二隔離槽22包括一第二側壁221，其為環繞第二隔離槽22之底壁的長方管狀壁面。第一側壁211包括供冷液傳輸單元30穿設的一第一開口2111。第二側壁221包括供冷液傳輸單元30穿設的一第二開口2211。氣體供應管29分別和第一隔離槽21以及第二隔離槽22連通並提供一氣體，使第一隔離槽21以及第二隔離槽22的氣壓大於槽體10的氣壓。
第一液體偵測件23設置於第一隔離槽21內，並且可以偵測到液體。第二液體偵測件24設置於第二隔離槽22內，並且可以偵測到液體。第一液體偵測件23和第二液體偵測件24可藉由偵測液體的功能而各自判斷是否發生漏液。第一排液管25和第一隔離槽21的第一側壁211連通，第一排液管25用以讓漏液的冷卻液C流出至外部。第二排液管26和第二隔離槽22的第二側壁221連通，第二排液管26用以讓漏液的冷卻液C流出至外部。第三液體偵測件27設置於第一排液管25外側，並且可以偵測到液體是否從第一排液管25流出。第四液體偵測件28設置於第二排液管26外側，並且可以偵測到液體是否從第二排液管26流出。第三液體偵測件27和第四液體偵測件28用以各自偵測判斷是否發生漏液；在本發明中，第一液體偵測件23、第二液體偵測件24、第三液體偵測件27和第四液體偵測件28可電性連接至一外部電腦(圖未示)，以便在偵測到發生漏液時，傳輸通知至外部電腦以警示工作人員。
如圖2和圖3所示，第一排液管25和第一隔離槽21的一連通處與第一隔離槽21的底壁相距一第一高度H1，第一開口2111與第一隔離槽21的底壁相距一第二高度H2，第一高度H1小於第二高度H2；因此，若發生漏液，且第一隔離槽21內的冷卻液C的高度達到第一高度H1時，冷卻液C便會沿著流出方向M流至外部，冷卻液C的高度不會達到第二高度H2故不會從第一開口2111流至槽體10。第二排液管26和第二隔離槽22的一連通處與第二隔離槽22的底壁相距一第三高度H3，第二開口2211與第二隔離槽22的底壁相距一第四高度H4，第三高度H3小於第四高度H4；因此，若發生漏液，則當第二隔離槽22內的冷卻液C的高度達到第三高度H3時，冷卻液C便會沿著流出方向N流至外部，冷卻液C的高度不會達到第四高度H4故不會從第二開口2211流至槽體10。
在本發明的第一實施例之中，如圖2至圖4所示，冷液傳輸單元30供一冷卻液C流通，以使接觸到冷液傳輸單元30表面的處理液L降溫。冷液傳輸單元30包括一管體組31、一第一固定端32、一第二固定端33和一間隔板34。管體組31包括複數子管體311。設置於槽體10內的部分的管體組31的兩端以水平方向分別穿設第一開口2111和第二開口2211。管體組31環繞狀得設置於槽體10內，以使環繞的管體組31具有至少一相交點312；環繞狀的設置方式可以讓管體組31的各個子管體311不會過度彎折而產生折角，如此一來可以確保冷卻液C的流通平穩滑順，且可避免子管體311因過度彎折而破損。
第一固定端32以及第二固定端33為管體組31兩側，第一固定端32設置於第一隔離槽21之第一側壁211且和一冷卻液供應管800連通，第二固定端33設置於第二隔離槽22之第二側壁221且和一冷卻液排出管900連通；第一固定端32和第二固定端33的設置方式使設置於第一隔離槽21以及第二隔離槽22部分的管體組31呈現水平，以使冷卻液C自第一固定端32或第二固定端33中的至少一者洩漏時，不會沿著管體組31流至槽體10，冷卻液C會流至防漏單元20之第一隔離槽21或第二隔離槽22，且冷卻液C會自第一排液管25或第二排液管26排出。
間隔板34包括複數穿孔341，複數穿孔341相互間隔。複數子管體311穿設於複數穿孔341中，因此複數子管體311可以彼此相距一定距離而不會互相接觸，以提升複數子管體311的表面積(即為與處理液L的一冷熱交換面積)；因此，當冷卻液C流過複數子管體311時，可藉由複數子管體311與處理液L之間的較佳的冷熱交換面積，而提高冷卻效率。
當使用者需要運用處理液容置裝置1來儲存處理液L時，如圖2和圖3所示，使用者可以先將處理液L置於槽體10內，再藉由冷卻液供應管800輸入冷卻液C至冷液傳輸單元30的第一固定端32；冷卻液C會沿著管體組31流動，並且使管體組31周圍的處理液L降溫，以確保處理液L不會因為溫度而變質。最後冷卻液C會從第二固定端33流出至冷卻液排出管900。
若是第一固定端32和第二固定端33中的至少之一發生漏液，則冷卻液C會流至對應的防漏單元20之第一隔離槽21或第二隔離槽22，且冷卻液C會自第一排液管25或第二排液管26排出。第一液體偵測件23可以藉由偵測第一隔離槽21內是否有液體，或是第三液體偵測件27可以藉由偵測是否有液體從第一排液管25流出，而即時判斷第一固定端32是否發生漏液；第二液體偵測件24也可以藉由偵測第二隔離槽22內是否有液體，或是第四液體偵測件28可以藉由偵測是否有液體從第二排液管26流出，而即時判斷第二固定端33是否發生漏液；如此一來，偵測到漏液的偵測件會即時通知外部電腦，以告知工作人員來維修。
以下請一併參考圖5關於本發明之第二實施例之處理液容置裝置。圖5係本發明之第二實施例之處理液容置裝置之示意圖。
如圖5所示，本發明之第二實施例與第一實施例的差別在於，在第二實施例之處理液容置裝置1a中，設置於槽體10部分的冷液傳輸單元30a之管體組31a係以傾斜方向穿入第一側壁211以及第二側壁221。第一固定端32以及第二固定端33分別設置於第一側壁211以及第二側壁221；第二實施例的第一固定端32和第一側壁211的連接高度低於第一實施例的第一固定端32和第一側壁211的連接高度，第二實施例的第二固定端33和第二側壁221的連接高度低於第一實施例的第二固定端33和第二側壁221的連接高度；如此一來，可以使設置於防漏單元20a之第一隔離槽21a以及第二隔離槽22a內的部分的管體組31a呈現傾斜，以使冷卻液C自第一固定端32或第二固定端33中的至少一者洩漏時，不會沿著管體組31a流至槽體10。
藉由本發明之處理液容置裝置1、1a之設計，可以用低溫的方式保存處理液，並且讓漏液隔離於隔離槽內並流出至外部，防止漏液流入槽體，以避免槽體內的處理液被漏液的冷卻液汙染，且處理液容置裝置1、1a可以立即檢知漏液，以通報工作人員維修。
需注意的是，上述僅為實施例，而非限制於實施例。譬如 此不脫離本發明基本架構者，皆應為本專利所主張之權利範圍，而應以專利申請範圍為準。
 先前技術：
900:處理液槽
910:槽體
920:冷卻液管
本發明：
1、1a:處理液容置裝置
10:槽體
20、20a:防漏單元
21、21a:第一隔離槽
211:第一側壁
2111:第一開口
22、22a:第二隔離槽
221:第二側壁
2211:第二開口
23:第一液體偵測件
24:第二液體偵測件
25:第一排液管
26:第二排液管
27:第三液體偵測件
28:第四液體偵測件
29:氣體供應管
30、30a:冷液傳輸單元
31、31a:管體組
311:子管體
312:相交點
32:第一固定端
33:第二固定端
34:間隔板
341:穿孔
800:冷卻液供應管
900:冷卻液排出管
C:冷卻液
H1:第一高度
H2:第二高度
H3:第三高度
H4:第四高度
L:處理液
M、N:流出方向
圖1係先前技術之處理液槽之示意圖。 圖2係本發明之第一實施例之處理液容置裝置之示意圖。 圖3係本發明之第一實施例之處理液容置裝置之部分剖面圖。 圖4係本發明之第一實施例之子管體和間隔板之示意圖。 圖5係本發明之第二實施例之處理液容置裝置之示意圖。
1:處理液容置裝置
10:槽體
20:防漏單元
21:第一隔離槽
211:第一側壁
2111:第一開口
22:第二隔離槽
221:第二側壁
2211:第二開口
23:第一液體偵測件
24:第二液體偵測件
25:第一排液管
26:第二排液管
27:第三液體偵測件
28:第四液體偵測件
29:氣體供應管
30:冷液傳輸單元
31:管體組
311:子管體
312:相交點
32:第一固定端
33:第二固定端
34:間隔板
800:冷卻液供應管
900:冷卻液排出管
H1:第一高度
H2:第二高度
H3:第三高度
H4:第四高度
L:處理液

Claims (9)

  1. 一種處理液容置裝置，包括：一槽體，容置一處理液；一防漏單元，設置於該槽體上側；以及一冷液傳輸單元，供一冷卻液流通，該冷液傳輸單元包括一管體組、一第一固定端以及一第二固定端，該管體組設置於該槽體內，該第一固定端以及該第二固定端為該管體組兩側且和該防漏單元連接；其中，當該冷卻液由該第一固定端或該第二固定端中的至少之一洩漏時，該冷卻液流至該防漏單元且不會流至該槽體。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之處理液容置裝置，其中該管體組包括複數子管體，該冷液傳輸單元更包括一間隔板，該間隔板包括複數穿孔，該複數穿孔相互間隔；該複數子管體穿設於該複數穿孔中，以使該冷卻液流過該複數子管體時，提高該複數子管體與該處理液的一冷熱交換面積。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之處理液容置裝置，其中該防漏單元包括一第一隔離槽以及一第二隔離槽，該第一固定端設置於該第一隔離槽且和一冷卻液供應管連通，該第二固定端設置於該第二隔離槽且和一冷卻液排出管連通。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之處理液容置裝置，其中該防漏單元包括一第一液體偵測件以及一第二液體偵測件，該第一液體偵測件設置於該第一隔離槽，該第二液體偵測件設置於該第二隔離槽，以各自偵測判斷該第一固定端和該第二固定端是否發生漏液。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之處理液容置裝置，其中該防漏單元包括一第一排液管以及一第二排液管，該第一排液管和該第一隔離槽連通，該第二排液管和該第二隔離槽連通；當該冷卻液由該第一固定端或該第二固定端中的至少一者洩漏時，該冷卻液自該第一排液管或該第二排液管排出。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之處理液容置裝置，其中該防漏單元包括一第三液體偵測件以及一第四液體偵測件，該第三液體偵測件設置於該第一排液管外側，該第四液體偵測件設置於該第二排液管外側，以各自偵測判斷該第一固定端和該第二固定端是否發生漏液。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之處理液容置裝置，其中該第一排液管和該第一隔離槽的一第一側壁連通，該第二排液管和該第二隔離槽的一第二側壁連通；該第一排液管和該第一隔離 槽的一連通處與該第一隔離槽的一底壁相距一第一高度，該第一側壁包括供該管體組穿設的一第一開口，該第一開口與該第一隔離槽的該底壁相距一第二高度，該第一高度小於該第二高度；該第二排液管和該第二隔離槽的一連通處與該第二隔離槽的一底壁相距一第三高度，該第二側壁包括供該管體組穿設的一第二開口，該第二開口與該第二隔離槽的該底壁相距一第四高度，該第三高度小於該第四高度。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之處理液容置裝置，其中設置於該槽體部分的該管體組係以水平方向穿入該第一側壁以及該第二側壁，該第一固定端以及該第二固定端分別設置於該第一側壁以及該第二側壁，使設置於該第一隔離槽以及該第二隔離槽部分的該管體組呈現水平，以使該冷卻液自該第一固定端或該第二固定端中的至少一者洩漏時，不會沿著該管體組流至該槽體。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之處理液容置裝置，其中設置於該槽體部分的該管體組係以傾斜方向穿入該第一側壁以及該第二側壁，該第一固定端以及該第二固定端分別設置於該第一側壁以及該第二側壁，使設置於該第一隔離槽以及該第二隔離 槽部分的該管體組呈現傾斜，以使該冷卻液自該第一固定端或該第二固定端中的至少一者洩漏時，不會沿著該管體組流至該槽體。
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