TWI656594B - 基板處理裝置 - Google Patents

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Abstract

基板處理裝置包括一底座、一基板載台、複數升降式主收集件、一第一動力件和一升降控制件。基板載台可旋轉得和底座連接，用以固定和旋轉基板。複數升降式主收集件設於基板載台外圍，用以收集處理基板的處理液。各個升降式主收集件包括一升降軸和一處理液收集環。升降軸包括一升降輪組件。升降輪組件用以帶動升降軸升降。處理液收集環連接升降軸之上。第一動力件設於底座，用以提供動力給升降式主收集件，以使升降式主收集件升降。升降控制件連接第一動力件，以控制第一動力件傳遞動力給升降式主收集件之升降軸對應之升降輪組件。

Description

基板處理裝置
本發明係關於一種基板處理裝置，特別是一種可以藉由一動力件，即可提供動力使複數收集件升降，且可以達成簡化裝置操作功效的基板處理裝置。
在半導體製程中，常會運用一晶圓處理裝置對晶圓進行蝕刻或清洗。如圖1所示，晶圓處理裝置800具有一旋轉平台810、一液體施加件820、複數液體回收環830、831、832、複數第一動力升降件850、851、852和複數第二動力升降件860、861、862，每一液體回收環對應一第一動力升降件及一第二動力升降件。旋轉平台810用以固定晶圓W，並讓晶圓W旋轉。液體施加件820用以對旋轉的晶圓W施加蝕刻液或清洗液。複數液體回收環830、831、832分別連接複數第一動力升降件850、851、852及複數第二動力升降件860、861、862。液體回收環830形成一內側回收環；液體回收環831形成一中央回收環；液體回收環832形成一外側回收環。內側回收環、中央回收環和外側回收環分別用以收集旋轉的晶圓W甩出的不同液體。複數第一動力升降件850、851、852用以分別配合複數第二動力升降件860、861、862，以分別控制內側回收環、中央回收環和外側回收環升降；如此一來可以控制只有其中一回收環升起以回收液體。然而，若是要控制一回收環升降，需要使第一動力升降件850、851、852和第二動力升降件860、861、862的升降速度一致且同時啟動動力，才能讓各個回收環順利升降。然而，在實務上，欲使第一動力升降件850、851、852和第二動力升降件860、861、862的升降速度一致且同時啟動動力，需採用非常精密的軟體電腦設計或硬體控制，否則各個升降件會難以單獨或同步運作，且精密的控制也會消耗大量的控制器設計成本，並且當遇到第一動力升降件或第二動力升降件至少一個損壞時，無法同時啟動動力或達到升降速度一致，將會損壞到其升降之回收環或晶圓處理裝置之其他部件。
另外，如圖2所示，有的晶圓處理裝置900也會設計成具有複數液體回收環930、931、932、複數動力升降件950、951、952和複數連接桿970、971、972。各個連接桿970、971、972的兩端分別連接各個液體回收環930、931、932。各個動力升降件950、951、952分別連接著連接桿970、971、972。因此，當各個動力升降件950、951、952分別升降時，會帶動著自身連接的連接桿970、971、972一起升降，並連帶著讓連接桿970、971、972連接的回收環升降。然而此配置是一回收環需搭配一動力升降件，複數回收環則需對應搭配複數動力升降件，此配置仍然有各動力升降件之控制複雜及損壞問題。
因此，有必要提供一種新的晶圓處理裝置其可以藉由一動力件，即可提供動力使複數回收環升降，並且可以達成簡化裝置操作功效。
本發明之主要目的係在提供一種可以藉由一動力件，即可提供動力使複數收集件升降，且可以達成簡化裝置操作功效的基板處理裝置。
為達成上述之目的，本發明之一種基板處理裝置包括一底座、一基板載台、複數升降式主收集件、一第一動力件和一升降控制件。基板載台可旋轉得和底座連接，基板載台用以固定和旋轉基板。複數升降式主收集件設於基板載台外圍，用以收集處理基板的處理液。各個升降式主收集件包括至少一升降軸和一處理液收集環。升降軸包括一升降輪組件。升降輪組件用以帶動升降軸升降。處理液收集環連接升降軸之上。第一動力件設於底座，用以提供一動力給各個升降式主收集件，以使各個升降式主收集件升降。升降控制件連接第一動力件，以控制第一動力件傳遞動力給升降式主收集件之升降軸對應之升降輪組件。
根據本發明之一實施例，其中各個升降式主收集件的至少一升降軸的數量為兩個，且兩個升降軸分別設置於處理液收集環的兩端。升降控制件控制第一動力件傳遞動力給兩個升降軸各別對應之升降輪組件，使得兩個升降輪組件一起帶動連接處理液收集環升降。
根據本發明之一實施例，其中各個升降輪組件更包括一升降輪環；當動力傳遞給升降輪組件之升降輪環時，將帶動對應升降輪環的升降軸及處理液收集環升降。
根據本發明之一實施例，其中升降控制件和各個升降輪組件是藉由一傳遞輪結構作為一傳輸媒介而傳遞動力。
根據本發明之一實施例，其中一升降式主收集件之升降輪組件更包括至少一動力轉傳輪環；藉由動力轉傳輪環，動力被轉傳至另一升降式主收集件之升降輪組件之升降輪環。
根據本發明之一實施例，基板處理裝置更包括至少一動力傳遞輪，至少一動力傳遞輪設置於升降輪組件之間。動力傳遞輪包括至少一轉傳輪環。藉由轉傳輪環，動力被轉傳至升降輪組件之升降輪環。
根據本發明之一實施例，其中至少一動力傳遞輪設置在其中一升降式主收集件之其中一升降輪組件和另一升降式主收集件之其中一升降輪組件之間，以轉傳動力。
根據本發明之一實施例，其中至少一動力傳遞輪設置於其中一升降式主收集件之兩個升降輪組件之間，以轉傳動力。
根據本發明之一實施例，其中基板載台更包括一載台壁；其中一動力傳遞輪環設於載台壁外圍。
根據本發明之一實施例，基板處理裝置更包括至少一動力傳遞帶，升降控制件與各個升降輪組件是以至少一動力傳遞帶作為一媒介而傳遞動力。
根據本發明之一實施例，其中各個動力傳遞帶連通升降控制件和各個升降式主收集件之兩個升降輪組件；動力傳遞帶傳遞動力給兩個升降輪組件，使得兩個升降輪組件一起帶動處理液收集環升降。
根據本發明之一實施例，基板處理裝置更包括至少一動力傳遞輪，動力傳遞輪設置於其中一升降式主收集件之兩個升降輪組件之間，以轉傳動力。
根據本發明之一實施例，其中升降輪環為水平設置；當升降輪環轉動時，升降輪組件將帶動連接著升降輪環的升降軸進行升降。
根據本發明之一實施例，其中任一升降式主收集件之升降輪環和其他的升降式主收集件之升降輪環分別設置於不同水平高度；升降控制件藉由動力轉動任一水平高度上的升降輪環，以帶動該任一水平高度上的升降輪環連接的升降式主收集件進行升降。
根據本發明之一實施例，其中一升降式主收集件之升降輪組件更包括至少一動力轉傳輪環；藉由其中一水平高度上的動力轉傳輪環，動力被轉傳至位於該其中一水平高度上的另一升降式主收集件之升降輪組件之升降輪環。
根據本發明之一實施例，基板處理裝置更包括至少一動力傳遞輪，至少一動力傳遞輪設置於升降輪組件之間。至少一動力傳遞輪包括至少一轉傳輪環；藉由其中一水平高度上的轉傳輪環，動力被轉傳至位於該其中一水平高度上的升降輪組件之升降輪環。
根據本發明之一實施例，其中升降控制件包括複數控制輪環，各個控制輪環分別設置於不同水平高度，其中不同水平高度上的控制輪環分別用以驅使各個升降式主收集件的升降輪組件之升降輪環旋轉，以帶動不同水平高度上的升降輪環連接的升降式主收集件進行升降。
根據本發明之一實施例，其中升降控制件更包括一動力切換構件；當動力切換構件連通任一水平高度上之控制輪環，則控制輪環將轉動以傳遞動力給該水平高度上之升降輪組件。
根據本發明之一實施例，其中升降控制件更包括一控制輪環；控制輪環用以移動至各個水平高度並進行轉動，以傳遞動力給各個水平高度上之升降輪組件。
根據本發明之一實施例，其中當升降控制件帶動升降式主收集件進行升降時，藉由依序轉動不同水平高度上的升降輪環，升降控制件依序帶動升降輪環對應的升降式主收集件進行升降。
根據本發明之一實施例，其中當升降控制件帶動升降式主收集件進行升降時，藉由同時轉動不同水平高度上的升降輪環，升降控制件同時帶動升降輪環對應的升降式主收集件進行升降。
根據本發明之一實施例，其中各個升降式主收集件包括更包括一支撐架，支撐架連接處理液收集環的兩端和至少一升降輪組件；當升降控制件傳遞動力給至少一升降輪組件時，藉由支撐架，會帶動處理液收集環進行升降。
根據本發明之一實施例，基板處理裝置更包括一升降式副收集件和一第二動力件。升降式副收集件設於基板載台外圍，用以收集處理基板之處理液。第二動力件設於底座，用以提供一動力給升降式副收集件，以使升降式副收集件升降。
為能讓 貴審查委員能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。
以下請一併參考圖3至圖8關於本發明之第一實施例之基板處理裝置。圖3係本發明之第一實施例之基板處理裝置之部分示意圖；圖4係本發明之第一實施例之基板處理裝置之各個升降輪組件、第一動力件、升降控制件和動力傳遞輪之俯視圖；圖5係本發明之第一實施例之第一動力件和升降輪組件之示意圖；圖6係本發明之第一實施例之第一動力件和升降控制件之示意圖；圖7係本發明之第一實施例之第一動力件和另一態樣的升降控制件之示意圖；圖8係本發明之第一實施例之處理液收集環升起的基板處理裝置之部分示意圖。
如圖3和圖4所示，在第一實施例中，基板處理裝置1承載和旋轉一基板S，並藉由輸液裝置所提供的處理液L以處理基板S，且基板處理裝置1可收集旋轉的基板S甩出的處理液L。基板處理裝置1包括一底座10、一基板載台20、四個升降式主收集件30、30a、30b、30c、一第一動力件50、一升降控制件40和複數動力傳遞輪60、60a、60b、60c、60d。
底座10是一平台，用以承載基板載台20、四個升降式主收集件30、30a、30b、30c、第一動力件50、升降控制件40和複數動力傳遞輪60、60a、60b、60c、60d。基板載台20可旋轉得和底座10連接，基板載台20用以固定和旋轉基板S。基板載台20包括一載台壁21，載台壁21和底座10連接，載台壁21環繞基板載台20之旋轉軸，且載台壁21之外壁面連接其中一動力傳遞輪60。基板載台20之旋轉軸也可以設計為具有昇降機制，以改變基板載台20的高度。
升降式主收集件為具有至少一個支柱(亦即為升降軸)的環形收集件。此實施例之中，四個升降式主收集件30、30a、30b、30c皆為具有兩個支柱的環形收集件。四個升降式主收集件30、30a、30b、30c由內至外依序環繞基板載台20外圍，且可以分別或同時升降而收集旋轉的基板S甩出之不同處理液L；然而，升降式主收集件30、30a、30b、30c不以四個為限，其可依設計需求而改變。升降式主收集件30包括二個升降軸31和一處理液收集環32。兩個升降軸31是可受旋轉帶動而伸縮，以改變高度而達成升降效果的軸體。升降軸31包括一升降輪組件33，升降輪組件33分別驅使升降軸31旋轉而伸縮，以帶動升降軸31升降。處理液收集環32為一圓環結構，其連接於二個升降軸31之上，處理液收集環32用以收集基板S甩出之處理液L。各個升降軸31分別設置於處理液收集環32的兩端；如此一來，當兩個升降輪組件33驅使兩個升降軸31改變高度時，可以從處理液收集環32的兩端一起抬起或降下處理液收集環32。需注意的是，可受旋轉帶動而伸縮的升降軸31是已被本領域揭露的常見結構，故不對其伸縮機制多加贅述。
如圖3和圖5所示，在第一實施例中，四個升降式主收集件30、30a、30b、30c之結構大致相同，四者皆分別具有二升降軸31、31a、31b、31c和一處理液收集環32、32a、32b、32c；各個升降軸31、31a、31b、31c分別具有一個升降輪組件33、33a、33b、33c。且各個處理液收集環32、32a、32b、32c分別連接於二個升降軸31、31a、31b、31c之上。然而四個升降式主收集件30、30a、30b、30c之差異在於，升降輪組件33、33a、33b、33c分別設置於不同水平高度或是具有不同的內部結構。
升降式主收集件30之升降輪組件33包括一升降輪環331和三個動力轉傳輪環332、332a、332b；但是動力轉傳輪環332、332a、332b之數量並不以三個為限，其可依照設計需求而改變。升降輪環331用以接收第一動力件50產生的動力。升降輪環331、331a、331b、331c為水平設置。當第一動力件50之動力傳遞給升降輪環331而讓升降輪環331轉動時，升降輪組件33會帶動對應升降輪環331的升降軸31旋轉而伸縮，以進行垂直式升降，並進而讓處理液收集環32升降。其他三個升降式主收集件30a、30b、30c之二個升降輪組件33a、33b、33c則沒有動力轉傳輪環，僅分別有升降輪環331a、331b、331c(當升降式主收集件有轉傳動力之需要，即可設置動力轉傳輪環，本發明並不以此實施例為限)。該些升降輪環331a、331b、331c轉動時，會分別帶動對應的升降軸31a、31b、31c旋轉而伸縮，以進行垂直式升降，並進而讓處理液收集環32a、32b、32c升降；且任一升降式主收集件30、30a、30b、30c之兩個升降輪組件33、33a、33b、33c之升降輪環331、331a、331b、331c和其他的升降式主收集件之兩個升降輪組件之升降輪環分別設置於不同水平高度。
動力轉傳輪環332、332a、332b分別設置於不同水平高度，其由低而高得依序位於升降輪環331之上方(前述為此實施例之設置；動力轉傳輪環之數量以及與升降輪環之間的設置位置，本發明並不以此實施例為限。)，各個動力轉傳輪環332、332a、332b用以接收第一動力件50產生的動力。動力轉傳輪環332和升降式主收集件30a之二個升降輪組件33a之升降輪環331a位於同一水平高度，並連動二個升降輪組件33a之升降輪環331a；動力轉傳輪環332a和升降式主收集件30b之二個升降輪組件33b之升降輪環331b位於同一水平高度，並連動二個升降輪組件33b之升降輪環331b；動力轉傳輪環332b和升降式主收集件30c之二個升降輪組件33c之升降輪環331c位於同一水平高度，並連動二個升降輪組件33c之升降輪環331c；也就是說，任一升降式主收集件30、30a、30b、30c之兩個升降輪組件33、33a、33b、33c之升降輪環331、331a、331b、331c和其他的升降式主收集件之兩個升降輪組件之升降輪環分別設置於不同水平高度。藉由各個動力轉傳輪環332、332a、332b，第一動力件50之動力會被轉傳至和動力轉傳輪環332、332a、332b在同一水平高度上的其他的升降式主收集件30a、30b、30c之升降輪組件33a、33b、33c之升降輪環331a、331b、331c。本發明之各個升降輪組件33、33a、33b、33c之升降輪環331、331a、331b、331c和動力轉傳輪環332、332a、332b皆為傳遞輪結構，例如凸輪、齒輪、摩擦輪或磁力輪，傳遞輪結構可以作為一傳輸媒介而傳遞動力。
如圖5所示，第一動力件50例如為一馬達，第一動力件50連接於升降控制件40之內，並設於底座10。第一動力件50用以提供一動力給各個升降式主收集件30、30a、30b、30c，以使各個升降式主收集件30、30a、30b、30c升降。
升降控制件40電性連接至外部電腦(圖未示)，以受外部電腦控制。升降控制件40連接第一動力件50，升降控制件40用以控制第一動力件50傳遞動力給升降式主收集件30之升降輪組件33之升降輪環331和三個動力轉傳輪環332、332a、332b，再藉由複數動力傳遞輪60、60a、60b、60c、60d而將動力傳遞給其他並未直接接觸到的升降式主收集件30a、30b、30c；藉此，升降控制件40可以使動力被傳給任一升降式主收集件30、30a、30b、30c之升降軸31、31a、31b、31c對應之升降輪組件33、33a、33b、33c，以控制接收到動力的升降式主收集件30、30a、30b、30c升降。升降控制件40包括複數控制輪環41、42、43、44，各個控制輪環41、42、43、44分別設置於不同水平高度。不同水平高度上的控制輪環41、42、43、44分別用以驅使各個升降式主收集件30、30a、30b、30c的升降輪組件33、33a、33b、33c之升降輪環331、331a、331b、331c旋轉，以帶動不同水平高度上的升降輪環331、331a、331b、331c連接的升降式主收集件30、30a、30b、30c進行升降。各個控制輪環41、42、43、44為傳遞輪結構，例如凸輪、齒輪、摩擦輪或磁力輪，傳遞輪結構可以作為一傳輸媒介而傳遞動力。圖5所示的各個控制輪環41、42、43、44係設計為可自主進行轉動；藉此，可由外部電腦選擇任一控制輪環41、42、43、44自行轉動，以傳遞動力給同一水平高度上之升降輪組件33、33a、33b、33c。
然而，升降控制件之結構也可以設計為圖6之態樣，在圖6之中，升降控制件40a更包括一動力切換構件49，動力切換構件49可沿著一移動方向A而上下移動以連通任一水平高度上之控制輪環41、42、43、44，並且讓連通的控制輪環41、42、43、44轉動。例如圖6所示，動力切換構件49可以移動以連通最低的水平高度上之控制輪環41，使得控制輪環41轉動，以控制控制輪環41傳遞動力給同樣水平高度上之升降輪組件33之升降輪環331，使得收到動力的升降輪組件33一起帶動升降輪組件33連接的兩個升降軸31升降。因此，在升降控制件40a控制第一動力件50傳遞動力給任一水平高度上的升降式主收集件之兩個升降輪組件之後，可以使得收到動力的該兩個升降輪組件之升降輪環轉動，以一起帶動該水平高度上的該兩個升降輪組件連接的兩個升降軸升降。
然而，升降控制件之態樣並不以上述為限，如圖7所示，升降控制件40b亦可設計為只包括一控制輪環41a；控制輪環41a用以沿著移動方向B而移動至任一水平高度並進行轉動，以傳遞動力給同一水平高度上之升降輪組件；例如圖7中，控制輪環41a移動至次低的水平高度並進行轉動，以傳遞動力給同一水平高度上之升降輪組件。
如圖3和圖4所示，複數動力傳遞輪60、60a、60b、60c、60d為大小不同的傳遞輪結構，例如凸輪、齒輪、摩擦輪或磁力輪，其可以作為傳輸媒介而傳遞動力。動力傳遞輪60設置於升降式主收集件30之兩個升降輪組件33之間，並環設於載台壁21外圍。動力傳遞輪60用以相對載台壁21轉動以將第一動力件40的動力傳遞給基板處理裝置1右側的各個升降輪組件33、33a、33b、33c。動力傳遞輪60a連通動力傳遞輪60和基板處理裝置1右側的升降輪組件33，以將動力傳遞輪60傳來的動力傳遞給基板處理裝置1右側的各個升降輪組件33、33a、33b、33c。二個動力傳遞輪60b分別位於基板處理裝置1左右兩側之升降輪組件33和升降輪組件33a之間，以將升降輪組件33傳來的動力傳遞給升降輪組件33a。二個動力傳遞輪60c和二個動力傳遞輪60d分別位於基板處理裝置1左右兩側之升降式主收集件30、30b、30c的升降輪組件33、33b、33c之間，以將升降輪組件33傳來的動力傳遞給升降輪組件33b、33c。前述複數動力傳遞輪為此實施例之設置；動力傳遞輪之數量以及與升降式主收集件之間的設置位置，本發明並不以此實施例為限。動力傳遞輪60包括設置於不同水平高度的四個轉傳輪環61、61a、61b、61c，四個轉傳輪環61、61a、61b、61c的水平高度分別對應四個控制輪環41、42、43、44，以分別將動力傳遞給不同高度上的升降輪環331、331a、331b、331c。動力傳遞輪設置轉傳輪環之數量及水平高度，視需動力傳遞之升降輪環而設置，本發明並不以此實施例為限。
如圖3所示，當欲運用基板處理裝置1以收集基板S甩出的處理液L時，外部電腦控制升降控制件40，讓升降控制件40帶動各個升降式主收集件30、30a、30b、30c進行升降。在本發明中，如圖5所示，若是升降控制件40是設計成不具有一外部獨立設置之動力切換構件，只具有可自主進行轉動的控制輪環41、42、43、44；則可由外部電腦控制指定之控制輪環41、42、43、44各別或同時自行轉動，以各別或同時帶動不同水平高度上的各個升降輪環331、331a、331b、331c旋轉，使得各個升降輪環331、331a、331b、331c對應的升降式主收集件30、30a、30b、30c可各別或同時進行升降。如此一來，各個升降式主收集件30、30a、30b、30c可以各別或同時進行升降而收集處理液L。
如圖6所示，若是升降控制件40a是設計成具有一外部獨立設置之動力切換構件49，則外部電腦控制動力切換構件49移動，而依序控制各個控制輪環41、42、43、44轉動。依序轉動的各個控制輪環41、42、43、44會再依序連通基板處理裝置1左側的升降輪組件33之升降輪環331和各個動力轉傳輪環332、332a、332b，並且也藉由動力傳遞輪60、60a而依序連通基板處理裝置1右側的升降輪組件33之升降輪環331和各個動力轉傳輪環332、332a、332b。最早被連通的升降輪環331會最早轉動，而帶動升降輪環331對應的升降式主收集件30進行升降(如圖3所示)，使得升起的處理液收集環32可收集處理液L。接著，如圖3至圖5所示，第二個被連通的動力轉傳輪環332也會轉動，並藉由帶動動力傳遞輪60b而帶動升降輪組件33a之升降輪環331a轉動，而帶動升降輪環331a對應的升降式主收集件30a進行升降。第三個被連通的動力轉傳輪環332a也會轉動，並藉由帶動動力傳遞輪60c而帶動升降輪組件33b之升降輪環331b轉動，而帶動升降輪環331b對應的升降式主收集件30b進行升降。最後被連通的動力轉傳輪環332b也會轉動，並藉由帶動動力傳遞輪60c、60d而帶動升降輪組件33c之升降輪環331c轉動，而帶動升降輪環331c對應的升降式主收集件30c進行升降，使得升起的處理液收集環32c可收集處理液L (如圖8所示)。如此一來，各個升降式主收集件30、30a、30b、30c可以依序進行升降而收集處理液L。
以下請一併參考圖9關於本發明之第二實施例之基板處理裝置。圖9係本發明之第二實施例之基板處理裝置之動力傳遞帶連接升降輪組件、第一動力件和載台壁之部分示意圖。
如圖9所示，第二實施例與第一實施例的差別在於，第二實施例之基板處理裝置1a並不包括任何動力傳遞輪，基板處理裝置1a更包括三個動力傳遞帶70、70a、70b，且基板處理裝置1a只具有三個升降式主收集件30d、30e、30f。各個升降式主收集件30d、30e、30f之升降輪組件33d、33e、33f是可受動力傳遞帶70、70a、70b帶動而旋轉的軸體。動力傳遞帶70、70a、70b例如為皮帶、鏈帶、鋼帶等具有傳遞動力功效的帶狀物體，動力傳遞帶70、70a、70b用以分別帶動升降輪組件33d、33e、33f旋轉。、升降控制件40a與各個升降式主收集件30d、30e、30f之升降輪組件33d、33e、33f是以三個動力傳遞帶70、70a、70b作為一媒介而傳遞動力。動力傳遞帶70位於最低水平高度上，其連通升降控制件40a和升降式主收集件30d之兩個升降輪組件33d；動力傳遞帶70a位於中間水平高度上，其連通升降控制件40a和升降式主收集件30e之兩個升降輪組件33e；動力傳遞帶70b位於最高水平高度上，其連通升降控制件40a和升降式主收集件30f之兩個升降輪組件33f；藉此，當升降控制件40a的不同高度上的控制輪環轉動時，可以讓動力分別傳遞給不同高度上的動力傳遞帶70、70a、70b，再傳遞給各個動力傳遞帶70、70a、70b連接著的升降輪組件33d、33e、33f。然而，動力傳遞帶及升降式主收集件之數量並不以三個為限，其可依照設計需求而改變。
以下請一併參考和圖10關於本發明之第三實施例之基板處理裝置。圖10係本發明之第三實施例之基板處理裝置之動力傳遞帶連接動力傳遞輪、升降輪組件和載台壁之俯視圖。
如圖10所示，第三實施例與第二實施例的差別在於，第三實施例之基板處理裝置1b包括複數動力傳遞輪60e，動力傳遞輪60e為可旋轉的長軸。複數動力傳遞輪60e連接三個動力傳遞帶70、70a、70b。複數動力傳遞輪60e可以配合三個動力傳遞帶70、70a、70b而一起傳遞動力，且複數動力傳遞輪60e可以調整三個動力傳遞帶70、70a、70b的配置方向，如此一來可以讓基板處理裝置1b的內部空間規劃更為靈活多變。
以下請一併參考圖11關於本發明之第四實施例之基板處理裝置。圖11係本發明之第四實施例之基板處理裝置之示意圖。
如圖11所示，第四實施例與第一實施例的差別在於，第四實施例之基板處理裝置1c只具有三個升降式主收集件30g、30h、30i，且各個升降式主收集件30g、30h、30i皆分別只有一個升降軸31、31a、31b、一處理液收集環32、32a、32b、一個升降輪組件33、33a、33b和一支撐架34、34a、34b。各個支撐架34、34a、34b分別連接於各個處理液收集環32、32a、32b和各個升降輪組件33、33a、33b之間。升降控制件40c的控制輪環數量也配合升降式主收集件30g、30h、30i之數量而變更為三個。當升降控制件40c傳遞動力給任一升降輪組件33、33a、33b時，藉由連接著升降輪組件33、33a、33b的支撐架34、34a、34b，會帶動同樣連接著支撐架34、34a、34b的處理液收集環32、32a、32b進行升降。
以下請一併參考圖12關於本發明之第五實施例之基板處理裝置。圖12係本發明之第五實施例之基板處理裝置之示意圖。
如圖12所示，第五實施例與第一實施例的差別在於，第五實施例之基板處理裝置1d不包括升降式主收集件30c，且基板處理裝置1d更包括一升降式副收集件90和一第二動力件80。升降式副收集件90設於基板載台20外圍，第二動力件80用以獨立提供一動力給升降式副收集件90，以使升降式副收集件90升降。
升降式副收集件90可包括二升降軸91、一處理液收集環92和二個升降輪組件93。處理液收集環92為一圓環結構，其連接於二個升降軸91之上，處理液收集環92用以收集基板S甩出之處理液L。兩個升降輪組件93分別連接兩個升降軸91，兩個升降輪組件93用以分別驅使兩個升降軸91旋轉而伸縮，以改變高度。第二動力件80設於底座10，用以提供一動力給基板處理裝置1d右側之升降輪組件93，以使基板處理裝置1d右側的升降輪組件93驅使連接的升降軸91旋轉而讓升降式副收集件90升降。另外，基板處理裝置1d右側的升降輪組件93接收的動力也會藉由連通的各個動力傳遞輪60、60a、60b、60c、60d、升降控制件40和升降輪組件33，而將動力傳遞給基板處理裝置1d左側之升降輪組件93，以使基板處理裝置1d左側的升降輪組件93驅使連接的升降軸91旋轉而產生升降效果。於一實施例，升降式副收集件90之二升降軸91也可分別配置第二動力件80獨立提供動力進行升降(圖未示，可參考圖12，第二動力件80與右側之升降輪組件93)。
藉由本發明之基板處理裝置1、1a、1b、1c、1d之結構，可以透過動力傳遞輪、動力傳遞帶或支撐架等元件，並藉由一動力件，即可提供動力使複數收集件升降，而簡單得使液體收集件平穩得升降，且可以節省裝置之內部空間以及省去精密的軟體電腦設計或硬體控制之成本。
需注意的是，上述僅為實施例，而非限制於實施例。譬如 此不脫離本發明基本架構者，皆應為本專利所主張之權利範圍，而應以專利申請範圍為準。
先前技術：
800、900‧‧‧晶圓處理裝置
810‧‧‧旋轉平台
820‧‧‧液體施加件
830、831、832、930、931、932‧‧‧液體回收環
850、851、852、950、951、952‧‧‧第一動力升降件
860、861、862、960、961、962‧‧‧第二動力升降件
970、971、972‧‧‧連接桿
W‧‧‧晶圓
本發明：
1、1a、1b、1c、1d‧‧‧基板處理裝置
10‧‧‧底座
20‧‧‧基板載台
21‧‧‧載台壁
30、30a、30b、30c、30d、30e、30f、30g、30h、30i‧‧‧升降式主收集件
31、31a、31b、31c、91‧‧‧升降軸
32、32a、32b、32c、92‧‧‧處理液收集環
33、33a、33b、33c、33d、33e、33f、93‧‧‧升降輪組件
331、331a、331b、331c‧‧‧升降輪環
332、332a、332b‧‧‧動力轉傳輪環
34、34a、34b‧‧‧支撐架
40、40a、40b、40c‧‧‧升降控制件
41、42、43、44‧‧‧控制輪環
49‧‧‧動力切換構件
50‧‧‧第一動力件
60、60a、60b、60c、60d、60e‧‧‧動力傳遞輪
61、61a、61b、61c‧‧‧轉傳輪環
70、70a、70b‧‧‧動力傳遞帶
80‧‧‧第二動力件
90‧‧‧升降式副收集件
A、B‧‧‧移動方向
L‧‧‧處理液
S‧‧‧基板
ZZ‧‧‧剖面線
圖1係先前技術之晶圓處理裝置之剖面圖。 圖2係先前技術之另一態樣之晶圓處理裝置之剖面圖。 圖3係本發明之第一實施例之基板處理裝置之部分示意圖。 圖4係本發明之第一實施例之基板處理裝置之各個升降輪組件、第一動力件、升降控制件和動力傳遞輪之俯視圖。 圖5係本發明之第一實施例之第一動力件和升降輪組件之示意圖。 圖6係本發明之第一實施例之第一動力件和升降控制件之示意圖。 圖7係本發明之第一實施例之第一動力件和另一態樣的升降控制件之示意圖。 圖8係本發明之第一實施例之處理液收集環升起的基板處理裝置之部分示意圖。 圖9係本發明之第二實施例之基板處理裝置之動力傳遞帶連接升降輪組件、第一動力件和載台壁之部分示意圖。 圖10係本發明之第三實施例之基板處理裝置之動力傳遞帶連接動力傳遞輪、升降輪組件和載台壁之俯視圖。 圖11係本發明之第四實施例之基板處理裝置之示意圖。 圖12係本發明之第五實施例之基板處理裝置之示意圖。

Claims (22)

  1. 一種基板處理裝置，包括：一底座；一基板載台，可旋轉得和該底座連接，該基板載台用以固定和旋轉一基板；複數升降式主收集件，設於該基板載台外圍，用以收集處理該基板的一處理液，其中各個升降式主收集件包括；兩個升降軸，其中各個升降軸包括一升降輪組件，該升降輪組件用以帶動該升降軸升降；以及一處理液收集環，該處理液收集環連接於該兩個升降軸之上，該兩個升降軸分別設置於該處理液收集環的兩端；一第一動力件，設於該底座，用以提供一動力給該各個升降式主收集件，以使該各個升降式主收集件升降；以及一升降控制件，連接該第一動力件，以控制該第一動力件傳遞該動力給該至少一升降式主收集件之該兩個升降軸各別對應之該升降輪組件，使得該兩個升降輪組件一起帶動該處理液收集環升降。
  2. 一種基板處理裝置，包括：一底座；一基板載台，可旋轉得和該底座連接，該基板載台用以固定和旋轉一基板；複數升降式主收集件，設於該基板載台外圍，用以收集處理該基板的一處理液，其中各個升降式主收集件包括；至少一升降軸，其中各個升降軸包括一升降輪組件，該升降輪組件用以帶動該升降軸升降；一處理液收集環，該處理液收集環連接於該至少一升降軸之上；以及一支撐架，該支撐架連接該處理液收集環的兩端和該至少一升降輪組件；一第一動力件，設於該底座，用以提供一動力給該各個升降式主收集件，以使該各個升降式主收集件升降；以及一升降控制件，連接該第一動力件，以控制該第一動力件傳遞該動力給該至少一升降式主收集件之該至少一升降軸對應之該升降輪組件，並藉由該支撐架，會帶動該處理液收集環進行升降。
  3. 一種基板處理裝置，包括：一底座；一基板載台，可旋轉得和該底座連接，該基板載台用以固定和旋轉一基板；複數升降式主收集件，設於該基板載台外圍，用以收集處理該基板的一處理液，其中各個升降式主收集件包括；至少一升降軸，其中各個升降軸包括一升降輪組件，該升降輪組件用以帶動該升降軸升降；以及一處理液收集環，該處理液收集環連接於該至少一升降軸之上；一第一動力件，設於該底座，用以提供一動力給該各個升降式主收集件，以使該各個升降式主收集件升降；一升降控制件，連接該第一動力件，以控制該第一動力件傳遞該動力給該至少一升降式主收集件之該至少一升降軸對應之該升降輪組件；以及一升降式副收集件和一第二動力件；該升降式副收集件設於該基板載台外圍，用以收集處理該基板之該處理液；該第二動力件設於該底座，用以提供一動力給該升降式副收集件，以使該升降式副收集件升降。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之基板處理裝置，其中各個升降輪組件更包括一升降輪環；當該動力傳遞給該升降輪組件之該升降輪環時，將帶動對應該升降輪環的該升降軸及該處理液收集環升降。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之基板處理裝置，其中該升降控制件和該各個升降輪組件是藉由一傳遞輪結構作為一傳輸媒介而傳遞該動力。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之基板處理裝置，其中一升降式主收集件之該升降輪組件更包括至少一動力轉傳輪環；藉由該動力轉傳輪環，該動力被轉傳至另一升降式主收集件之該升降輪組件之該升降輪環。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之基板處理裝置，更包括至少一動力傳遞輪，該至少一動力傳遞輪設置於該升降輪組件之間；該動力傳遞輪包括至少一轉傳輪環；藉由該至少一轉傳輪環，該動力被轉傳至該升降輪組件之該升降輪環。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中該至少一動力傳遞輪設置在其中一升降式主收集件之其中一升降輪組件和另一升降式主收集件之其中一升降輪組件之間，以轉傳該動力。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中該各個升降式主收集件包括兩個升降軸，其中該至少一動力傳遞輪設置於其中一升降式主收集件之該兩個升降輪組件之間，以轉傳該動力。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中該基板載台更包括一載台壁；其中一動力傳遞輪環設於該載台壁外圍。
  11. 如申請專利範圍第4項所述之基板處理裝置，更包括至少一動力傳遞帶，該升降控制件與該各個升降輪組件是以該至少一動力傳遞帶作為一媒介而傳遞該動力。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之基板處理裝置，其中該各個升降式主收集件包括兩個升降軸，其中各個動力傳遞帶連通該升降控制件和該各個升降式主收集件之該兩個升降輪組件；該動力傳遞帶傳遞該動力給該兩個升降輪組件，使得該兩個升降輪組件一起帶動該處理液收集環升降。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之基板處理裝置，更包括至少一動力傳遞輪，該至少一動力傳遞輪設置於其中一升降式主收集件之該兩個升降輪組件之間，以轉傳該動力。
  14. 如申請專利範圍第4項所述之基板處理裝置，其中該升降輪環為水平設置；當該升降輪環轉動時，該升降輪組件將帶動連接著該升降輪環的該升降軸進行升降。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之基板處理裝置，其中任一升降式主收集件之該升降輪環和其他的升降式主收集件之該升降輪環分別設置於不同水平高度；該升降控制件藉由該動力轉動任一水平高度上的該升降輪環，以帶動該任一水平高度上的該升降輪環連接的該升降式主收集件進行升降。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之基板處理裝置，其中一升降式主收集件之該升降輪組件更包括至少一動力轉傳輪環；藉由其中一水平高度上的該動力轉傳輪環，該動力被轉傳至位於該其中一水平高度上的另一升降式主收集件之該升降輪組件之該升降輪環。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之基板處理裝置，更包括至少一動力傳遞輪，該至少一動力傳遞輪設置於該升降輪組件之間；該至少一動力傳遞輪包括至少一轉傳輪環；藉由其中一水平高度上的該轉傳輪環，該動力被轉傳至位於該其中一水平高度上的該升降輪組件之該升降輪環。
  18. 如申請專利範圍第15項所述之基板處理裝置，其中該升降控制件包括複數控制輪環，各個控制輪環分別設置於不同水平高度，其中不同水平高度上的該控制輪環分別用以驅使各個升降式主收集件的該升降輪組件之該升降輪環旋轉，以帶動不同水平高度上的該升降輪環連接的該升降式主收集件進行升降。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之基板處理裝置，其中該升降控制件更包括一動力切換構件；當該動力切換構件連通任一水平高度上之該控制輪環，則該控制輪環將轉動以傳遞該動力給該水平高度上之該升降輪組件。
  20. 如申請專利範圍第15項所述之基板處理裝置，其中該升降控制件更包括一控制輪環；該控制輪環用以移動至各個水平高度並進行轉動，以傳遞該動力給各個水平高度上之該升降輪組件。
  21. 如申請專利範圍第15項所述之基板處理裝置，其中當該升降控制件帶動該升降式主收集件進行升降時，藉由依序轉動不同水平高度上的該升降輪環，該升降控制件依序帶動該升降輪環對應的該升降式主收集件進行升降。
  22. 如申請專利範圍第15項所述之基板處理裝置，其中當該升降控制件帶動該升降式主收集件進行升降時，藉由同時轉動不同水平高度上的該升降輪環，該升降控制件同時帶動該升降輪環對應的該升降式主收集件進行升降。
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