KR101597776B1 - 기판 이송 로봇 - Google Patents

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KR101597776B1
KR101597776B1 KR1020140004114A KR20140004114A KR101597776B1 KR 101597776 B1 KR101597776 B1 KR 101597776B1 KR 1020140004114 A KR1020140004114 A KR 1020140004114A KR 20140004114 A KR20140004114 A KR 20140004114A KR 101597776 B1 KR101597776 B1 KR 101597776B1
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김영종
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Abstract

본 발명은 기판 이송 로봇에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 안치하여 이송하는 포크부에 구동부를 설치하여, 직진성을 유지하고 턴 테이블의 내부 공간의 활용을 극대화하기 위한 기판 이송 로봇에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 회전 및 승강 이동이 가능한 턴 테이블; 상기 턴 테이블에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 1 로봇 암; 상기 제 1 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 2 로봇 암; 상기 제 2 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되고, 타단에는 기판을 안치하는 엔드 이펙터가 형성되는 포크부; 및 상기 포크부 일단의 상부에 설치되어 상기 제 2 로봇 암을 회전시키는 구동부를 포함한다.

Description

기판 이송 로봇{Substrate transfer robot}
본 발명은 기판 이송 로봇에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 안치하여 이송하는 포크부에 구동부를 설치하여, 직진성을 유지하고 턴 테이블의 내부 공간의 활용을 극대화하기 위한 기판 이송 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이나 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판들은 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스 등과 같은 일련의 공정을 거치면서 처리된다. 이러한 일련의 처리 공정을 위한 해당 장치들은 일정한 처리 영역을 가지며 기판 처리시 요구되는 실내 환경을 구비한 크린 룸(Clean Room) 등에서 행해지고 있다.
특히, 화학 기상 증착을 행하는 설비는 다수의 고온 진공 챔버들로 이루어지는 공정 챔버들, 이 공정 챔버들에 기판을 공급하는 기판 이송 로봇 등을 포함한다.
기판을 이송하기 위한 로봇은 그 선단부에 기판이 올려지는 엔드 이펙터가 형성되는 포크부를 구비하고 있다. 기판 이송 로봇은 기판을 엔드 이펙터에 올려놓고 회전 또는 이동하면서 공정 챔버들의 내부로 기판을 투입하여 처리하고, 처리된 기판을 다시 외부로 인출한다.
도 1은 종래의 기판 이송 로봇의 구성을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기판 이송 로봇은 테이블(10), 상기 테이블(10)의 하부에 설치되는 구동 모터(50), 상기 테이블(10)의 상부에 설치되어 구동 모터(50)에 의하여 회전하는 제 1 로봇 암(20), 상기 제 1 로봇 암(20)에 회전 가능하게 결합되는 제 2 로봇 암(30) 및 상기 제 2 로봇 암(30)에 회전 가능하게 결합되는 포크부(40)로 구성된다.
즉, 종래에는 제 1 로봇 암(20)의 회전에 의하여 포크부(40)를 직선상으로 왕복 이동시키기 위하여, 테이블(10)의 하부에서 구동 모터(50)를 제 1 로봇 암(20)에 직접적으로 연결하여 이를 회전시키는 구조를 가지고 있었다.
일반적으로 기판 이송 로봇의 테이블(10)은 내부가 중공인 형태로 형성되고, 상기 중공형 내부에는 테이블(10)을 회전 및 승강 이동시키기 위한 케이블 및 상기 케이블의 끼임 및 단선을 방지하기 위한 케이블 베어(cableveyor)가 설치된다. 또한, 로봇을 유지하고 보수하기 위한 정비 작업 역시 상기 테이블(10)의 중공형 내부를 통하여 이루어진다.
그러나, 종래와 같이 테이블(10)의 하부 즉, 중공형의 내부에 구동 모터(50)를 설치하는 경우, 테이블(10)을 회전 및 승강 이동시키기 위하여 필수적으로 설치되는 케이블 베어 등과 간섭을 피하여야 하는 공간적 제약이 발생하고, 복잡한 설계 구조를 갖게 되어 조립 및 세팅이 매우 힘든 문제점이 있었다.
또한, 연속적인 동작 및 정밀한 작업이 요구되는 이송 로봇의 특성상 지속적인 설비의 유지·보수가 이루어져야 할 필요성이 높은바, 테이블(10) 하부의 중공형 내부에 구동 모터(40)가 설치되면 상기 구동 모터(40)의 배치로 인하여 테이블(10) 내부의 공간 활용 및 로봇의 유지·보수가 극히 어려운 문제점이 있었다.
KR 10-0919215 B1
본 발명은 종래의 기판 이송 로봇의 경우 테이블 하부의 중공형 내부 공간에 구동 모터를 설치하여 상기 내부 공간에 필수적으로 배치되는 케이블 베어 등과의 간섭이 발생하고, 상기 구동 모터의 배치로 인한 테이블 내부의 공간 활용 및 유지·보수가 어려운 문제점을 해결할 수 있는 기판 이송 로봇에 관한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 로봇은,
회전 및 승강 이동이 가능한 턴 테이블; 상기 턴 테이블에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 1 로봇 암; 상기 제 1 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 2 로봇 암; 상기 제 2 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되고, 타단에는 기판을 안치하는 엔드 이펙터가 형성되는 포크부; 및 상기 포크부 일단의 상부에 설치되어 상기 제 2 로봇 암을 회전시키는 구동부를 포함하고,
상기 턴 테이블의 상부에는 상부 회전축이 형성되어, 상기 제 1 로봇 암의 일단과 회전 가능하게 결합되고, 상기 제 1 로봇 암의 타단에는 연결 회전축이 형성되어, 상기 제 2 로봇 암의 일단과 회전 가능하게 결합되고, 상기 포크부 일단의 하부에는 하부 회전축이 형성되어, 상기 제 2 로봇 암의 타단과 회전 가능하게 결합될 수 있으며,
상기 상부 회전축과 상기 제 1 로봇 암의 일단은 제 1 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합되고, 상기 연결 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 일단은 제 2 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합되고, 상기 하부 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 타단은 제 3 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합될 수 있으며,
상기 상부 회전축과 상기 제 1 로봇 암의 일단은 각각 상기 제 1 베어링의 내륜과 외륜에 장착되고, 상기 연결 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 일단은 각각 상기 제 2 베어링의 내륜과 외륜에 장착되고, 상기 하부 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 타단은 각각 상기 제 3 베어링의 내륜과 외륜에 장착될 수 있으며,
상기 구동부는, 회전력을 발생시키는 구동 모터; 상기 구동 모터의 회전력을 제어하는 감속기; 및 상기 제어된 회전력을 상기 제 2 로봇 암으로 전달하는 구동축을 포함할 수 있으며,
상기 하부 회전축은 중공형으로 형성되고, 상기 구동축은 상기 중공형의 하부 회전축의 내부를 관통하여 제 2 로봇 암에 결합될 수 있으며,
상기 연결 회전축의 하부에는 하부 연결 풀리가 장착되고, 상기 상부 회전축에는 상부 풀리가 장착되어, 상기 하부 연결 풀리와 상부 풀리는 상기 제 1 로봇 암의 내부에서 제 1 벨트에 의해 연결되고, 상기 하부 회전축에는 하부 풀리가 장착되고, 상기 연결 회전축의 상부에는 상부 연결 풀리가 장착되어, 상기 하부 풀리와 상부 연결 풀리는 상기 제 2 로봇 암의 내부에서 제 2 벨트에 의해 연결될 수 있으며,
상기 하부 회전축과 상부 회전축에는 상기 포크부를 정렬하기 위한 파워락이 각각 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇에 의하면, 구동부를 포크부의 상부에 설치하여 턴 테이블에 필수적으로 배치되는 케이블 베어 등과의 간섭을 방지하여 설계 구조의 단순화 및 조립·세팅이 용이한 현저한 효과가 있다.
또한, 포크부 상부에 설치되는 구동부에 의하여 제 1 로봇 암을 회전시켜 동작함으로써 기판이 안치되는 포크부가 직진성을 유지하며 안정적으로 직선 이동할 수 있으며, 턴 테이블의 내부 공간을 확보하여 부가 공정을 위한 추가적 설비의 설치 공간으로 효율적으로 활용할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇에 의하면 턴 테이블의 내부 공간을 통하여 로봇을 유지하고 보수하기 위한 정비 작업을 용이하게 수행할 수 있어, 설비 안정성 및 공정 신뢰도를 향상시키고 생산성을 증대시킬 수 있는 현저한 효과가 있다.
도 1은 종래의 기판 이송 로봇의 구성을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇의 구성을 개략적으로 도시한 단면도.
본 발명에 따른 기판 이송 로봇은 기판을 안치하여 이송하는 포크부에 구동부를 설치하여, 직진성을 유지하고 턴 테이블의 내부 공간의 활용을 극대화할 수 있는 기술적 특징을 제시한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 회전 및 승강 이동이 가능한 턴 테이블(100); 상기 턴 테이블(100)에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 1 로봇 암(200); 상기 제 1 로봇 암(200)의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 2 로봇 암(300); 상기 제 2 로봇 암(300)의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되고, 타단에는 기판을 안치하는 엔드 이펙터가 형성되는 포크부(400); 및 상기 포크부(400) 일단의 상부에 설치되어 상기 제 2 로봇 암(300)을 회전시키는 구동부(500)를 포함한다.
턴 테이블(100)은 별도의 구동원에 의하여 회전하거나 승강 이동한다. 턴 테이블(100)의 내부는 중공인 형태로 형성하여 내부 공간을 확보하여 활용할 수 있고, 턴 테이블(100)의 하부에서 상기 중공형의 내부를 통하여 장비의 유지·보수를 용이하게 할 수 있다. 또한, 턴 테이블(100)을 회전하거나 승강 이동시키기 위하여 필요한 케이블 베어 등을 공간의 제약 없이 용이하게 배치할 수도 있다.
턴 테이블(100)의 상부에는 제 1 로봇 암(200)의 내부로 진입하여 상부 회전축(150)이 형성되며, 상기 상부 회전축(150)은 제 1 로봇 암(200)의 일단과 회전 가능하게 결합된다. 바람직하게는, 상기 상부 회전축(150)과 제 1 로봇 암(200)의 일단은 제 1 베어링(미도시)에 의하여 마찰력을 최소화시키도록 결합 지지될 수 있다. 이때, 턴 테이블(100)의 상부에 형성된 상부 회전축(150)은 상기 제 1 베어링의 내륜에 장착되고, 제 1 로봇 암(200)의 일단은 상기 제 1 베어링의 외륜에 장착되어, 턴 테이블(100)의 상부 회전축(150)을 중심으로 제 1 로봇 암(200)이 회전 가능하게 결합된다.
제 1 로봇 암(200)은 턴 테이블(100)에 일단이 회전 가능하게 결합된다. 상기한 바와 같이 제 1 로봇 암(200)의 일단은 턴 테이블(100)의 상부 회전축(150)과 제 1 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 제 1 로봇 암(200)의 타단에는 연결 회전축(250)이 형성된다.
연결 회전축(250)은 제 1 로봇 암(200)의 내부로부터 제 2 로봇 암(300)의 내부로 진입하도록 형성된다. 또한, 상기 연결 회전축(250)의 상부는 제 2 로봇 암(300)의 일단과 회전 가능하게 결합된다. 바람직하게는, 상기 연결 회전축(250)의 상부와 상기 제 2 로봇 암(300)의 일단은 제 2 베어링(미도시)에 의하여 결합 지지될 수 있으며, 이때 연결 회전축(250)의 상부는 제 2 베어링의 내륜에 장착되고, 제 2 로봇 암(300)의 일단은 상기 제 2 베어링의 외륜에 장착되어, 상호 회전 가능하게 결합된다.
또한, 연결 회전축(250)의 하부에는 하부 연결 풀리(270)가 장착되고, 상기한 턴 테이블(100)의 상부 회전축(150)에는 상기 제 1 베어링의 내륜에 지지되어 상부 풀리(170)가 장착된다. 하부 연결 풀리(270)와 상부 풀리(170)는 제 1 로봇 암(200)의 내부에서 제 1 벨트(290)에 의해 연결되어 구동된다.
바람직하게는, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 턴 테이블(100)의 상부에 형성된 상부 회전축(150)에 설치되어 포크부(400)의 직진성을 유지하도록 정렬하기 위한 파워락(600)(power lock)을 더 포함할 수 있다. 상기 파워락(600)에 의하여 상부 회전축(150)을 중심으로 상부 풀리(170)를 회전 정렬시킬 수 있으며, 제 1 로봇 암(200)의 위치를 수정하여 포크부(400)의 직진성을 유지하도록 정렬하게 된다.
제 2 로봇 암(300)은 제 1 로봇 암(200)의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합된다. 상기한 바와 같이, 제 2 로봇 암(300) 일단의 내부에는 제 1 로봇 암(200)의 연결 회전축(250)이 진입되어 제 2 베어링에 의하여 마찰을 최소화하며 회전 가능하게 결합된다.
포크부(400)는 제 2 로봇 암(300)의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되고, 타단에는 엔드 이펙터가 형성된다. 엔드 이펙터 상에는 기판이 안치되며, 도면에서 도시된 엔드 이펙터의 형상 및 구조는 본 발명의 일 실시예에 의한 것으로 이에 의하여 제한되지 않으며, 기판을 안정적으로 안치하여 지지할 수 있는 다양한 형상 및 구조를 갖는 엔드 이펙터가 포함됨은 물론이다.
포크부(400) 일단의 하부에는 제 2 로봇 암(300)의 내부로 진입하여 하부 회전축(450)이 형성되며, 상기 하부 회전축(450)은 제 2 로봇 암(300)의 타단과 회전 가능하게 결합된다. 바람직하게는, 상기 하부 회전축(450)과 제 2 로봇 암(300)의 타단은 제 3 베어링(미도시)에 의하여 결합 지지될 수 있다. 이때, 포크부(400) 일단의 하부에 형성된 하부 회전축(450)은 상기 제 3 베어링의 내륜에 장착되고, 제 2 로봇 암(300)의 타단은 상기 제 3 베어링의 외륜에 장착되어, 포크부(400)의 하부 회전축(450)을 중심으로 제 2 로봇 암(300)이 회전 가능하게 결합된다.
또한, 하부 회전축(450)에는 하부 풀리(470)가 장착되고, 전술한 제 1 로봇 암(200)의 연결 회전축(250)의 상부에는 상부 연결 풀리(230)가 장착된다. 상기 하부 풀리(470)와 상부 연결 풀리(230)는 제 2 로봇 암(300)의 내부에서 제 2 벨트(390)에 의해 연결되어 구동된다.
바람직하게는, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 포크부(400)의 하부에 형성된 하부 회전축(450)에 설치되어 포크부(400)의 직진성을 유지하도록 정렬하기 위한 파워락(600)을 더 포함할 수 있다. 파워락(600)은 하부 회전축(450)을 중심으로 포크부(400)를 정렬하여 직진성을 유지하도록 조절된다.
구동부(500)는 포크부(400) 일단의 상부에 설치되어 제 2 로봇 암(300)을 회전시킨다. 구동부(500)는 회전력을 발생시키는 구동 모터(520); 상기 구동 모터(520)의 회전력을 제어하는 감속기(540); 및 상기 제어된 회전력을 상기 제 2 로봇 암(300)으로 전달하는 구동축(560)을 포함할 수 있다.
보다 상세하게는, 구동 모터(520) 및 상기 구동 모터(520)의 회전 속도를 감소시켜 토크(torque)를 증가시키는 감속기(540)는 포크부(400)의 상부에 고정되고, 하부에 형성되는 하부 회전축(450)에 의하여 제 3 베어링의 내륜에 지지된다. 구동축(560)은 제 2 로봇 암(300)에 결합되어, 제 2 로봇 암(300) 및 제 2 로봇 암(300)에 장착된 제 3 베어링의 외륜을 회전시킨다.
구동축(560)을 제 2 로봇 암(300)에 직접 연결하기 위하여 포크부(400) 하부의 하부 회전축(450)은 중공형을 형성될 수 있다. 따라서, 구동축(560)은 상기 하부 회전축(450)의 중공형의 내부를 관통하여 제 2 로봇 암(300)에 연결되어, 제 2 로봇 암(300) 및 제 2 로봇 암(300)에 장착된 제 3 베어링의 외륜을 회전시키게 된다.
종래의 경우, 기판 이송 로봇을 구동시키기 위한 구동 모터를 턴 테이블의 하부, 즉 턴 테이블의 중공형의 내부에 설치하였다. 그러나, 상기한 바와 같이 턴 테이블의 중공형 내부에는 턴 테이블을 회전 및 승강 이동시키기 위한 케이블이 배치되고, 상기 케이블은 이송 로봇의 동작 등에 의한 끼임 및 단선을 방지하기 위하여 케이블 베어 내에 넣어져 설치된다.
따라서, 턴 테이블의 중공형 내부에 구동 모터를 설치하게 되면, 턴 테이블을 회전 및 승강 이동시키기 위하여 설치되는 케이블 베어 등과의 간섭을 피하여야 하는 공간적 제약이 발생하게 된다. 또한, 기판 이송 로봇은 턴 테이블의 중공형 내부를 통하여 지속적으로 유지 및 보수를 하여야 하는데, 상기 구동 모터의 배치로 인하여 장비의 유지·보수를 위한 공간을 확보할 수 없는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 구동부(500)를 포크부(400)의 상부에 배치하고, 상기 구동부(500)에 의하여 포크부(400)의 직진성을 유지하며 동작하도록 구성함으로써 턴 테이블(100)의 중공형 내부의 공간을 확보할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 턴 테이블(100)의 중공형 내부 공간을 통하여 기판 이송 로봇의 유지 및 보수 작업을 용이하게 수행할 수 있는 현저한 효과가 있다.
이하에서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇의 작동 과정에 대하여 상세히 설명한다.
상기한 바와 같이 구동 모터(520) 및 감속기(540)는 포크부(400)의 상부에 고정 설치되고, 포크부(400) 하부에 형성된 하부 회전축(450)에 의하여 제 3 베어링의 내륜에 지지된다. 또한, 구동축(560)은 포크부(400)의 하부에 형성되는 중공형의 하부 회전축(450)을 관통하여 제 2 로봇 암(300)에 결합된다.
구동 모터(520)가 구동되면 구동축(560)은 제 2 로봇 암(300) 및 상기 제 2 로봇 암(300)에 장착된 제 3 베어링의 외륜을 회전시킨다. 제 2 로봇 암(300)이 하부 회전축(450)을 중심으로 회전하게 되면, 제 3 베어링의 내륜과 결합된 하부 회전축(450)에 장착된 하부 풀리(470)와 제 1 로봇 암(200)의 연결 회전축(250)의 상부에 장착된 상부 연결 풀리(230)를 연결하는 제 2 벨트(390)에 의하여 제 1 로봇 암(200)이 연결 회전축(250)을 중심으로 회전하게 된다. 이때, 상기 제 1 로봇 암(200)에 형성된 연결 회전축(250)과 제 2 로봇암의 일단은 각각 제 2 베어링의 내륜과 외륜에 장착되어 회전됨은 전술한 바와 같다.
제 1 로봇 암(200)이 연결 회전축(250)을 중심으로 회전하게 되면, 연결 회전축(250)의 하부에 장착된 하부 연결 풀리(270)와 턴 테이블(100)의 상부 회전축(150)에 장착된 상부 풀리(170)를 연결하는 제 1 벨트(290)에 의하여 상부 회전축(150)에 결합된 제 1 베어링의 내륜에 회전력을 전달한다. 이때, 상부 풀리(170)는 제 1 베어링의 내륜에 지지되어 턴 테이블(100)의 상부 회전축(150)에 고정되어 있어, 상기 턴 테이블(100) 위에 고정된 상부 풀리(170)에 의하여 상부 회전축(150)을 중심으로 제 1 베어링의 외륜에 장착된 제 1 로봇 암(200)이 회전하게 된다.
따라서, 상기와 같은 작동 과정에 따라 턴 테이블(100) 상에서 회전하는 제 1 로봇 암(200)과 제 2 로봇암에 의하여 포크부(400)는 직진성을 유지하면서 직선상으로 이동할 수 있게 된다.
상기에서, 본 발명의 바람직한 실시예가 특정 용어들을 사용하여 설명 및 도시되었지만 그러한 용어는 오로지 본 발명을 명확하게 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명의 실시예 및 기술된 용어는 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 사상 및 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명의 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.
100: 턴 테이블 150: 상부 회전축
170: 상부 풀리 200: 제 1 로봇 암
230: 상부 연결 풀리 250: 연결 회전축
270: 하부 연결 풀리 290: 제 1 벨트
300: 제 2 로봇 암 390: 제 2 벨트
400: 포크부 450: 하부 회전축
470: 하부 풀리 500: 구동부
520: 구동 모터 540: 감속기
560: 구동축 600: 파워락

Claims (8)

  1. 회전 및 승강 이동이 가능한 턴 테이블;
    상기 턴 테이블에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 1 로봇 암;
    상기 제 1 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 제 2 로봇 암;
    상기 제 2 로봇 암의 타단에 일단이 회전 가능하게 결합되고, 타단에는 기판을 안치하는 엔드 이펙터가 형성되는 포크부; 및
    상기 포크부 일단의 상부에 설치되어 상기 제 2 로봇 암을 회전시키는 구동부를 포함하는 기판 이송 로봇.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 턴 테이블의 상부에는 상부 회전축이 형성되어, 상기 제 1 로봇 암의 일단과 회전 가능하게 결합되고,
    상기 제 1 로봇 암의 타단에는 연결 회전축이 형성되어, 상기 제 2 로봇 암의 일단과 회전 가능하게 결합되고,
    상기 포크부 일단의 하부에는 하부 회전축이 형성되어, 상기 제 2 로봇 암의 타단과 회전 가능하게 결합되는 기판 이송 로봇.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 상부 회전축과 상기 제 1 로봇 암의 일단은 제 1 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합되고,
    상기 연결 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 일단은 제 2 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합되고,
    상기 하부 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 타단은 제 3 베어링에 의하여 회전 가능하게 결합되는 기판 이송 로봇.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부 회전축과 상기 제 1 로봇 암의 일단은 각각 상기 제 1 베어링의 내륜과 외륜에 장착되고,
    상기 연결 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 일단은 각각 상기 제 2 베어링의 내륜과 외륜에 장착되고,
    상기 하부 회전축과 상기 제 2 로봇 암의 타단은 각각 상기 제 3 베어링의 내륜과 외륜에 장착되는 기판 이송 로봇.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 구동부는,
    회전력을 발생시키는 구동 모터;
    상기 구동 모터의 회전력을 제어하는 감속기; 및
    상기 제어된 회전력을 상기 제 2 로봇 암으로 전달하는 구동축을 포함하는 기판 이송 로봇.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 하부 회전축은 중공형으로 형성되고,
    상기 구동축은 상기 중공형의 하부 회전축의 내부를 관통하여 제 2 로봇 암에 결합되는 기판 이송 로봇.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 연결 회전축의 하부에는 하부 연결 풀리가 장착되고, 상기 상부 회전축에는 상부 풀리가 장착되어, 상기 하부 연결 풀리와 상부 풀리는 상기 제 1 로봇 암의 내부에서 제 1 벨트에 의해 연결되고,
    상기 하부 회전축에는 하부 풀리가 장착되고, 상기 연결 회전축의 상부에는 상부 연결 풀리가 장착되어, 상기 하부 풀리와 상부 연결 풀리는 상기 제 2 로봇 암의 내부에서 제 2 벨트에 의해 연결되는 기판 이송 로봇.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 하부 회전축과 상부 회전축에는 상기 포크부를 정렬하기 위한 파워락이 각각 설치되는 기판 이송 로봇.
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