JP2006088293A - ロボットステーション - Google Patents
ロボットステーション Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006088293A JP2006088293A JP2004279320A JP2004279320A JP2006088293A JP 2006088293 A JP2006088293 A JP 2006088293A JP 2004279320 A JP2004279320 A JP 2004279320A JP 2004279320 A JP2004279320 A JP 2004279320A JP 2006088293 A JP2006088293 A JP 2006088293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- robot
- station
- rotary table
- hand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 21
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】 ロボット移動ステーション1を中心として各作業ステーション2がワーク10に対し組立・加工・洗浄等の各工程が行われる各作業ステーション2にワーク10を送り出しあるいは各作業ステーション2からワーク10を受け取り又はワーク10に対して作業を行う産業用ロボットMを載置する回転テーブル5と、回転テーブル5の中央に配置され、これと一体となって回転可能な回転軸3と、回転軸3近傍に配置した回転軸3を回転させる回転軸用駆動装置4とを備え、回転テーブル5を中心として各作業ステーション2がその周囲に配置されるとともに、産業用ロボットMは、回転テーブル5とは独立の駆動ユニットとなっている。
【選択図】 図1
Description
2 作業ステーション
3 回転軸
4 回転軸用駆動装置
5 回転テーブル
6 ハンド支持軸
7 旋回用駆動装置
8 昇降用駆動装置
9 ハンド部
10 ワーク
M 産業用ロボット
Claims (4)
- ワークに対し組立・加工・洗浄等の各工程が行われる各作業ステーションに前記ワークを送り出しあるいは前記各作業ステーションから前記ワークを受け取り又は前記ワークに対して作業を行う産業用ロボットを載置する回転テーブルと、前記回転テーブルの中央に配置され、これと一体となって回転可能な回転軸と、該回転軸近傍に配置した前記回転軸を回転させる回転軸用駆動装置とを備え、前記回転テーブルを中心として前記各作業ステーションがその周囲に配置されるとともに、前記産業用ロボットは、前記回転テーブルとは独立の駆動ユニットであることを特徴とするロボットステーション。
- 前記産業用ロボットは、前記回転テーブルの回転中心以外の位置に自転可能に設けられ前記回転軸を中心としてその周りを移動するハンド支持軸と、該ハンド支持軸を前記回転テーブル上で自転させる旋回用駆動装置と、前記回転テーブルに対して前記ハンド支持軸を昇降させる昇降用駆動装置と、前記各作業ステーションとの間で前記ワークを授受のため前記ワークを保持し、又は前記ワークに対して作業を行うために前記ハンド支持軸に設けられたハンド部とを備え、前記回転テーブルの回転軸は、少なくとも360°回転可能なことを特徴とする請求項1に記載のロボットステーション。
- 前記産業用ロボットが前記回転テーブル上に複数設けられていることを特徴とする請求項2に記載のロボットステーション。
- 搬送又は作業の対象である前記ワークとして大きさまたは形状の異なる複数種を同時に取り扱うことを特徴とする請求項3に記載のロボットステーション。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004279320A JP2006088293A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | ロボットステーション |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004279320A JP2006088293A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | ロボットステーション |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006088293A true JP2006088293A (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=36229745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004279320A Withdrawn JP2006088293A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | ロボットステーション |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006088293A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014198368A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 平田機工株式会社 | 搬送ロボット及び制御方法 |
JP2015008339A (ja) * | 2014-10-17 | 2015-01-15 | 富士機械製造株式会社 | 製造作業機 |
JP2015065195A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社ディスコ | ウエーハ加工装置 |
CN107433577A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-12-05 | 柳州欧卡机器人有限公司 | 一种高工作效率的圆柱坐标型工业机器人 |
CN109318088A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-02-12 | 苏州华数机器人有限公司 | 一种带工业吸尘器的干磨旋转平台 |
-
2004
- 2004-09-27 JP JP2004279320A patent/JP2006088293A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014198368A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 平田機工株式会社 | 搬送ロボット及び制御方法 |
JP2015065195A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社ディスコ | ウエーハ加工装置 |
JP2015008339A (ja) * | 2014-10-17 | 2015-01-15 | 富士機械製造株式会社 | 製造作業機 |
CN107433577A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-12-05 | 柳州欧卡机器人有限公司 | 一种高工作效率的圆柱坐标型工业机器人 |
CN109318088A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-02-12 | 苏州华数机器人有限公司 | 一种带工业吸尘器的干磨旋转平台 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6234738B1 (en) | Thin substrate transferring apparatus | |
TWI433765B (zh) | Industrial robotic arm and collection processing device | |
US9457464B2 (en) | Substrate processing systems and robot apparatus for transporting substrates in electronic device manufacturing | |
JP4258851B1 (ja) | 多関節ロボット | |
CN104823272B (zh) | 具有非等长前臂的多轴机械手设备、电子装置制造系统、及用于在电子装置制造中传送基板的方法 | |
JP5209473B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2005046966A (ja) | 生産システム | |
CN109277229B (zh) | 机器人系统 | |
KR20120097528A (ko) | 구동장치 및 반송 장치 | |
KR20080076787A (ko) | 기판처리장치 | |
US20090126178A1 (en) | Device for machining components, in particular of a vehicle body | |
TWI558522B (zh) | Industrial robots | |
JP2007019216A (ja) | 基板の搬送ロボット | |
JP2006088293A (ja) | ロボットステーション | |
JP2014037027A (ja) | 搬送装置 | |
US7984543B2 (en) | Methods for moving a substrate carrier | |
JP2015207622A (ja) | 搬送機構 | |
JP5170225B2 (ja) | ワーク位置決め装置およびそれを用いた生産システム | |
JP7376285B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004009152A (ja) | 産業用ロボット | |
KR20170084389A (ko) | 기판 반송용 로봇 | |
JP2015164758A (ja) | ダイシング装置の吸着保持装置 | |
CN221361664U (zh) | 清洗装置 | |
TWM464295U (zh) | 具正弦式移動路徑之移動裝置 | |
JP5762161B2 (ja) | ダイシング装置の吸着保持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20061225 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080716 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080723 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20080724 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Effective date: 20081202 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 |