JP2015164758A - ダイシング装置の吸着保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サーキュラテーブル1には、複数の吸着口9を各別に含む複数の排気経路10が形成され、配管ブロック8は、サーキュラテーブル1と同心の環形状に形成され、配管継手13が接続される複数の排気室12を有する。この配管ブロック8は、サーキュラテーブル1の下面側又は外側に配置される。又、配管ブロック8を移動体3上に支持固定し、排気室12を円弧形状に形成し、各排気室12をサーキュラテーブル1側の各排気経路12に夫々独立に連通させて、各吸着口9に吸着力が独立に生じるように構成する。
【選択図】図5
Description
又、配管ブロック側の複数の各排気室を円弧形状に形成したことにより、排気室の円弧形状の中心角に応じた範囲で、サーキュラテーブルが回転しても、サーキュラテーブル側の排気経路と排気室との連通状態が維持される。よって、各吸着口において安定した真空吸着作用が保持される。
2 中空モータ(回転駆動部)
3 キャリッジ(移動体)
4 台座
5 固定フレーム
6 レール
7 支持フレーム
8 配管ブロック
9 吸着口
10 排気経路
12 排気室(吸引室)
13 配管継手
18 配管ブロック(吸引ブロック)
20 排気経路
22 排気室
30 排気経路
28 配管ブロック
32A,32B 排気室
Claims (5)
- 複数のワークをそれぞれ吸着保持する複数の吸着口を有するサーキュラテーブルと、該サーキュラテーブルを回転させる回転駆動部と、真空発生源に接続可能な配管ブロックと、を備えたダイシング装置の吸着保持装置において、
前記配管ブロックは、前記吸着口を含む排気経路に連通され、前記真空発生源に連通する円弧形状の排気室を備えていることを特徴とするダイシング装置の吸着保持装置。 - 前記配管ブロックは、前記サーキュラテーブルの外径と略同等の外径を有し、該サーキュラテーブルの下面側に配置されていることを特徴とする請求項1記載のダイシング装置の吸着保持装置。
- 前記配管ブロックは、前記サーキュラテーブルの外径と略同等の内径を有し、該サーキュラテーブルの外側に配置されていることを特徴とする請求項1記載のダイシング装置の吸着保持装置。
- 前記複数の排気室は、前記配管ブロックの周方向に沿って一列に設けられていることを特徴とする請求項1記載のダイシング装置の吸着保持装置。
- 前記複数の排気室は、前記配管ブロックの径方向において複数段に配設されていることを特徴とする請求項1記載のダイシング装置の吸着保持装置。
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