JP3652671B2 - 測定用配線パターン及びその測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
【0002】
本発明は、半導体基板上に形成する測定用配線パターン及びその測定方法に関するものである。
【0003】
【従来の技術】
【0004】
図2(a),(b)は、半導体基板上に形成された従来のコンタクト抵抗測定用の配線パターンの一例を示す図であり、同図(a)は平面図、及び同図(b)は断面図である。
【0005】
この配線パターンは、半導体基板1の回路形成面である表面2と、その反対側の裏面3との間を貫通して設けられたバイアホール(VIA HOLE)4の内部に形成された導電体5のコンタクト抵抗を測定するためのパターンである。
【0006】
この配線パターンは、半導体基板1の表面2に形成された表面配線パターン40と、この半導体基板1の裏面3に形成された裏面配線パターン50と、導電体5とで構成されている。
【0007】
表面配線パターン40は、電流供給用のプローブを接触させるためのパッド(電極)41と、電圧測定用のプローブを接触させるためのパッド42と、これらのパッド41,42を導電体5に接続する接続パターン43とを、一体化して半導体基板1の表面2に形成したものである。
【0008】
同様に、裏面配線パターン50は、電流供給用のプローブを接触させるためのパッド51と、電圧測定用のプローブを接触させるためのパッド52と、これらのパッド51,52を導電体5に接続する接続パターン53とを、一体化して半導体基板1の裏面3に形成したものである。
【0009】
図3は、図2の配線パターンによるコンタクト抵抗測定の構成図である。
【0010】
図3に示すように、表面配線パターン40のパッド41と、裏面配線パターン50のパッド51には、それぞれ電流供給用のプローブP1,P2が接触され、直流電源DCから一定電流Iが供給される。これにより、プローブP1から、パッド41〜接続パターン43〜導電体5〜接続パターン53〜パッド51の経路で、プローブP2に一定電流Iが流れ、導電体5の両端に、この導電体5の抵抗(コンタクト抵抗)と流れる電流Iの積に応じた電圧が発生する。
【0011】
一方、表面配線パターン40のパッド42と、裏面配線パターン50のパッド52には、それぞれ電圧測定用のプローブP3,P4が接触され、これらのパッド42,52間の電圧Vが電圧計VMによって測定される。
【0012】
一定電流Iに比べて無視できる程度の電流で電圧測定が可能な高感度の電圧計VMを用いることにより、測定された電圧Vはこの一定電流Iによって導電体5の両端に生じた電圧と見なすことができる。従って、導電体5のコンタクト抵抗Rは、R=V/Iの式によって算出される。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
【0014】
しかしながら、従来の配線パターンとその測定方法では、次のような課題があった。
【0015】
即ち、測定用のパッド41,42が半導体基板1の表面2に形成され、パッド51,52が裏面3に形成されているので、測定用のプローブP1〜P4を、測定対象の半導体基板1の表面側と裏面側から同時にこれらのパッドに接触させる必要がある。このため、特殊な装置が必要となって技術的に困難であり、量産性等で満足できるものが得られないという課題があった。
【0016】
本発明は、前記従来技術が持っていた課題を解決し、特殊な装置を使用せずに、半導体基板の裏面に形成されたパターンの測定が可能な配線パターンとその測定方法を提供するものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
【0018】
前記課題を解決するために、本発明の内の第1の発明は、測定用配線パターンにおいて、半導体基板を貫通して形成され、測定の対象となる導電体と、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板の表面で前記導電体の一端に接続する第1及び第2の測定用電極を有する表面配線パターンと、前記半導体基板の裏面に形成され、該半導体基板の裏面で前記導電体の他端に接続する裏面配線パターンと、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板を貫通して設けられたコンタクトを介して前記裏面配線パターンに電気的に接続された第3及び第4の測定用電極とを備えている。
【0019】
第1の発明によれば、以上のように測定用配線パターンを構成したので、次のような作用が行われる。
【0020】
半導体基板を貫通して形成された測定対象の導電体の一端が、この半導体基板の表面に形成された第1及び第2の測定用電極に接続される。また、測定対象の導電体の他端が半導体基板の裏面配線パターンに接続され、更にこの裏面配線パターンがコンタクトを介して、半導体基板の表面に形成された第3及び第4の測定用電極に接続される。従って、第1〜第4の測定用電極に測定器を接続することにより、導電体の電気的特性を半導体基板の表面側から測定することができる。
【0021】
第2の発明は、半導体基板を貫通して形成されて測定の対象となる導電体と、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板の表面で前記導電体の一端に接続する第1及び第2の測定用電極を有する表面配線パターンと、前記半導体基板の裏面に形成され、該半導体基板の裏面で前記導電体の他端に接続する裏面配線パターンと、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板を貫通して設けられたコンタクトを介して前記裏面配線パターンに電気的に接続された第3及び第4の測定用電極とを備えた測定用配線パターンの測定を、絶縁性の測定台の上に、前記半導体基板をその表面を上にして載せ、該半導体基板の表面に設けられた前記第1及び第3の測定用電極間に定電流を流し、前記第2及び第4の測定用電極間の電圧を測定することによって、前記導電体の電気的特性を測定するようにしている。
【0022】
【発明の実施の形態】
【0023】
(第1の実施形態)
【0024】
図1(a),(b)は、本発明の第1の実施形態を示す配線パターンであり、同図(a)は平面図、及び同図(b)は断面図である。
【0025】
この配線パターンは、半導体基板1の回路形成面である表面2と、その反対側の裏面3との間を貫通して設けられたバイアホール4の内部に形成された導電体5のコンタクト抵抗を測定するためのパターンである。
【0026】
この配線パターンは、半導体基板1の表面2に形成された表面配線パターン10を有している。表面配線パターン10は、電流供給用のプローブを接触させるためのパッド11と、電圧測定用のプローブを接触させるためのパッド12と、これらのパッド11,12を表面側の導電体5に接続する接続パターン13とを、一体化して半導体基板1の表面2に形成したものである。
【0027】
更に、半導体基板1の表面2で、表面配線パターン10の存在しない箇所に、2つの表面パターン21,22が形成されている。表面パターン21,22は、この半導体基板1の裏面3に形成された裏面配線パターン30にバイアホールを介して接続されており、それぞれ電流供給または電圧測定用のプローブを接触させるためのパッド21P,22Pが設けられている。
【0028】
一方、裏面配線パターン30は、裏面側の導電体5に接続する配線を、表面パターン21,22に対応する箇所まで延長するように形成したものである。表面パターン21と裏面配線パターン30との間は、バイアホール6の内部に形成された導電体7を介して電気的に接続されている。また、表面パターン22と裏面配線パターン30との間は、バイアホール8の内部に形成された導電体9を介して電気的に接続されている。
【0029】
図4は、図1の配線パターンによるコンタクト抵抗測定の構成図である。以下、この図4を参照しつつ、図1の配線パターンのコンタクト抵抗測定方法を説明する。
【0030】
図4に示すように、まず、測定用のステージSTGの上に紙や石英等の絶縁物INSを置き、その上に表面2が上になるように測定対象の半導体基板1を配置する。
【0031】
そして、表面配線パターン10のパッド11と、表面パターン21のパッド21Pに、それぞれ電流供給用のプローブP1,P2を接触させ、直流電源DCから一定電流Iが供給できるようにする。また、表面配線パターン10のパッド12と、表面パターン22のパッド22Pに、それぞれ電圧測定用のプローブP3,P4を接触させ、電圧計VMによって電圧が測定できるように設定する。
【0032】
次に、直流電源DCから一定電流Iを供給する。これにより、プローブP1から、パッド11〜接続パターン13〜導電体5〜裏面配線パターン30〜導電体7〜パッド21Pの経路で、プローブP2に一定電流Iが流れ、導電体5の両端には、この導電体5の抵抗(コンタクト抵抗)と流れる電流Iの積に応じた電圧が発生する。
【0033】
一方、電圧測定用のプローブP3には、導電体5の表面側の電位が、接続パターン13〜パッド12の経路で出力される。また、プローブP4には、導電体5の裏面側の電位が、裏面配線パターン30〜導電体9〜パッド22Pの経路で出力される。そして、パッド12,22P間の電圧Vが、電圧計VMによって測定される。
【0034】
一定電流Iに比べて無視できる程度の電流で電圧測定が可能な高感度の電圧計VMを用いることにより、測定された電圧Vはこの一定電流Iによって導電体5の両端に生じた電圧と見なすことができる。従って、導電体5のコンタクト抵抗Rは、R=V/Iの式によって算出される。
【0035】
以上のように、この第1の実施形態の配線パターンは、測定用のパッド11,12,21P,22Pを、すべて半導体基板1の表面2に形成している。これにより、測定用のプローブP1〜P4をすべて半導体基板1の表面2側から接触させることが可能になり、特殊な装置を必要とせず、容易に半導体基板1のパターンの測定ができるという利点がある。
【0036】
(第2の実施形態)
【0037】
図5(a),(b)は、本発明の第2の実施形態を示す配線パターンであり、同図(a)は平面図、及び同図(b)は断面図である。
【0038】
この配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された絶縁抵抗測定用のパターンで、2組の櫛形の裏面配線パターン31,32の歯の部分を、相互に一定の間隔を隔てて入れ子状に配置したものである。
【0039】
裏面配線パターン31の一か所は、半導体基板1に設けられたバイアホール6の内側に形成された導電体7を介して、この半導体基板1の表面2に形成された表面パターン21に電気的に接続されている。表面パターン21には、測定用のプローブを接触させるためのパッド21Pが設けられている。
【0040】
同様に、裏面配線パターン32の一か所は、半導体基板1に設けられたバイアホール8の内側に形成された導電体9を介して、この半導体基板1の表面2に形成された表面パターン22に電気的に接続されている。表面パターン22には、測定用のプローブを接触させるためのパッド22Pが設けられている。
【0041】
このような配線パターンによる絶縁抵抗測定では、まず測定用のステージの上に紙や石英等の絶縁物を置き、その上に表面2が上になるように測定対象の半導体基板1を配置する。そして、表面パターン21,22のパッド21P,22Pに、絶縁抵抗測定用のプローブを接触させ、これらのパッド21P,22P間の抵抗を測定する。
【0042】
以上のように、この第2の実施形態の配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された裏面配線パターン31,32の測定用のパッド21P,22Pを、バイアホール6,8を介して表面2に設けている。これにより、絶縁抵抗測定時に、微細な回路が形成された表面2を測定用のステージ等に接触させる必要がなくなり、基板表面が損傷したりパーティクルが付着して信頼性が低下するおそれがなくなるという利点がある。
【0043】
(第3の実施形態)
【0044】
図6は、本発明の第3の実施形態を示す配線パターンである。
【0045】
この配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された配線抵抗測定用のパターンで、つづら折り状に形成された基板裏面パターン33となっている。基板裏面パターン33の一端は、半導体基板1に設けられたバイアホールを介して、この半導体基板1の表面2に形成された表面パターン21に電気的に接続されている。表面パターン21には、測定用のプローブを接触させるためのパッド21Pが設けられている。
【0046】
同様に、裏面配線パターン33の他端は、半導体基板1に設けられたバイアホールを介して、この半導体基板1の表面2に形成された表面パターン22に電気的に接続されている。表面パターン22には、測定用のプローブを接触させるためのパッド22Pが設けられている。
【0047】
このような配線パターンによる配線抵抗測定では、まず測定用のステージの上に紙や石英等の絶縁物を置き、その上に表面2が上になるように測定対象の半導体基板1を配置する。そして、表面パターン21,22のパッド21P,22Pに、配線抵抗測定用のプローブを接触させ、これらのパッド21P,22P間の抵抗を測定する。
【0048】
以上のように、この第3の実施形態の配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された裏面配線パターン33の測定用のパッド21P,22Pを、バイアホールを介して表面2に設けている。これにより、配線抵抗測定時に、微細な回路が形成された表面2を測定用のステージ等に接触させる必要がなくなり、第2の実施形態と同様の利点がある。
【0049】
(第4の実施形態)
【0050】
図7は、本発明の第4の実施形態を示す配線パターンである。
【0051】
この配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された配線抵抗測定用のパターンで、直線状の裏面配線パターン34と、この裏面配線パターン34の一端の端子部35,36と、この裏面配線パターン34の他端の端子部37,38とが一体化されたものである。
【0052】
端子部35〜38は、半導体基板1に設けられたバイアホールを介して、この半導体基板1の表面2に形成された表面パターン25,26,27,28に、それぞれ電気的に接続されている。表面パターン25〜28には、それぞれ測定用のプローブを接触させるためのパッド25P,26P,27P,28Pが設けられている。
【0053】
このような4端子の配線パターンによる配線抵抗測定では、まず測定用のステージの上に紙や石英等の絶縁物を置き、その上に表面2が上になるように測定対象の半導体基板1を配置する。次に、表面パターン25,27のパッド25P,27Pに電流供給用のプローブを接触させ、表面パターン26,28のパッド26P,28Pに電圧測定用のパッドを接触させる。
【0054】
そして、パッド25P,27P間に直流電源から一定電流Iを供給し、パッド26P,28P間に発生する電圧Vを電圧計で測定する。この測定結果から、裏面配線パターン34の配線抵抗Rは、R=V/Iの式によって算出される。
【0055】
以上のように、この第4の実施形態の配線パターンは、半導体基板1の裏面3に形成された裏面配線パターン34の測定用のパッド25P〜28Pを、バイアホールを介して表面2に設けている。これにより、配線抵抗測定時に、微細な回路が形成された表面2を測定用のステージ等に接触させる必要がなくなり、第2の実施形態と同様の利点がある。
【0056】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
【0057】
(a) 基板1の表面2及び裏面3に形成する配線パターンは、例示した形状や配置に限定されない。
【0058】
(b) 測定項目は、絶縁抵抗や配線抵抗に限定されない。測定項目に対応した測定器を用いることにより、キャパシタンスやインダクタンス等の任意の電気的特性を測定することができる。
【0059】
【発明の効果】
【0060】
以上詳細に説明したように、第1の発明によれば、半導体基板を貫通して設けられたコンタクトを介して、裏面配線パターンをこの半導体基板の表面に形成された第3及び第4の測定用電極に接続している。これにより、半導体基板を貫通して形成された導電体の電気的特性を、半導体基板の表面から容易に測定することができる。
【0061】
第2の発明によれば、絶縁性の測定台の上に、第1の発明による測定用配線パターンが形成された半導体基板を載せ、該半導体基板の表面に設けられた前記第1及び第3の測定用電極間に定電流を流し、前記第2及び第4の測定用電極間の電圧を測定することによって、前記導電体の電気的特性を測定するようにしている。これにより、裏面配線パターン間が短絡せず、容易にこの導電体の電気的特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す配線パターンである。
【図2】従来のコンタクト抵抗測定用の配線パターンの一例を示す図である。
【図3】図2の配線パターンによるコンタクト抵抗測定の構成図である。
【図4】図1の配線パターンによるコンタクト抵抗測定の構成図である。
【図5】本発明の第2の実施形態を示す配線パターンである。
【図6】本発明の第3の実施形態を示す配線パターンである。
【図7】本発明の第4の実施形態を示す配線パターンである。
【符号の説明】
1 半導体基板
4,6,8 バイアホール
5,7,9 導電体
10 表面配線パターン
21,22,25〜28 表面パターン
21P,22P,25P〜28P パッド
30〜34 裏面配線パターン
35〜38 端子部
Claims (2)
- 半導体基板を貫通して形成され、測定の対象となる導電体と、
前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板の表面で前記導電体の一端に接続する第1及び第2の測定用電極を有する表面配線パターンと、
前記半導体基板の裏面に形成され、該半導体基板の裏面で前記導電体の他端に接続する裏面配線パターンと、
前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板を貫通して設けられたコンタクトを介して前記裏面配線パターンに電気的に接続された第3及び第4の測定用電極とを、
備えたことを特徴とする測定用配線パターン。 - 半導体基板を貫通して形成されて測定の対象となる導電体と、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板の表面で前記導電体の一端に接続する第1及び第2の測定用電極を有する表面配線パターンと、前記半導体基板の裏面に形成され、該半導体基板の裏面で前記導電体の他端に接続する裏面配線パターンと、前記半導体基板の表面に形成され、該半導体基板を貫通して設けられたコンタクトを介して前記裏面配線パターンに電気的に接続された第3及び第4の測定用電極とを備えた測定用配線パターンの測定方法であって、
絶縁性の測定台の上に、前記半導体基板をその表面を上にして載せ、該半導体基板の表面に設けられた前記第1及び第3の測定用電極間に定電流を流し、前記第2及び第4の測定用電極間の電圧を測定することによって、前記導電体の電気的特性を測定することを特徴とする測定方法。
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