JPS61259176A

JPS61259176A - プロ−ブ

Info

Publication number: JPS61259176A
Application number: JP10225585A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Naito; 内藤　誠一; Shuji Katayama; 片山　修次; Takashi Kawai; 高志河合
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1985-05-14
Filing date: 1985-05-14
Publication date: 1986-11-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】イ、「発明の目的」（産業上の利用分野）本発明は、ＬＳＩやプリント板等の端子の電圧測定に用
いるプローブの改良に関するものである。

〔従来の技術〕

ＬＳＩテスタ等の測定装置においては、ＬＳＩの取付は
ビンにおける複数の端子電圧を同時に取込んで、各端子
における信号の相互のタイミング等を検査の対象として
いる。このような場合に用いられる従来のプローブは複
数本の剣を備え、この８針にリード線が接続された構成
をしている。

そして、この複数本の針を検査対象のＬＳＩの各取付は
ビンに丁度一致する位置に配置することで、ＬＳＩの端
宇電圧をテスタ内に取込んでいる。

（発明が解決しようとする問題点）しかし、以上のような従来のプローブは、ＬＳＩの取付
はビンの配列やプリント板のパターンの変化に対応して
針の配列・寸法を定めなければならない問題を有してい
る。また、各ビンの相互間の位置関係も正確にする必要
があった。

本発明の目的は、ＬＳＩの取付はビンの配列やプリント
板のパターンの変化に対応することができるプロ−ブを
提供することである。

口、「発明の構成」〔問題点を解決するための手段〕本発明は、上記問題点を解決するために、平板形状であ
って、厚み方向に導電性を生ずるように配置した異方性
導電ゴムと、この異方性導電ゴムの一方の平面に密着し
て配置された多芯ケーブルと、を備え、異方性導電ゴム
の他方の平面を測定対濠の端子に押付けることにより、
この端子の電圧を多芯ケーブルから取出すようにしたも
のである。

〔実施例〕以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明に係るプローブの要部構成例とこれが
接続される装置とを示した図、第２図は第１図のプロー
ブを用いてプリント板に装着されたＬＳ［を検査してい
る状態を示す断面図、第３図は多芯ケーブルの断面構成
図である。

第１図において、１は異方性導電ゴムであり、平板の形
状をしている。異方性導電ゴムは、導電性を有しこれが
方向性を持っている。例えば、縦方向に電気抵抗を有し
た無数の経路が存在し、各経路間は電気的に絶縁されて
いる。そして、この縦方向に圧力が加わると、経路の電
気抵抗値が減少する特性を持つものである。第１図では
、平板形状の厚み方向に導電性が生ずるように配置しで
ある。２は多芯ケーブルであり、図のように多数の導線
２ａで構成される。多芯ケーブル２における導線２ａ、
　２ｂの配置！！！度は、必要な分解能を満たすものと
する。例えば、５本／ｍｍ’程度の密度であり、第３図
のように配置される。この多芯ケーブル２は異方性導電
ゴム１の一方の平面に密着して配置される。

以上の異方性導電ゴム１と多芯ケーブル２とで、本発明
に係るプローブは構成される。このプローブは、端末処
理器３を介して測定器５に接続される。この測定器５は
、例えばＬＳＩテスタやオシロスコープのようなもので
ある。また、第１図では端末処理器３を測定器５と別の
構成で描いたが、通常は測定器５の内部に取込まれてい
るものである。

第２図に６いてプローブ部の構成要素は、第１図と同じ
素子番号を付しており、その再説明は省略する。６は検
査対象のＬＳＩであり、７はＬＳＩ６が取付けられてい
るプリント板である。

以上のような第１図のプローブを用いて、例えばＬＳＩ
の検査を行なうには、第２図の如（、ＬＳＩが取付けら
れているプリント板のハンダ面からＬＳＩの取付は足（
端子）の部分に異方性導電ゴム１を押付ｔプる。通常、
ハンダ面には、電子部品の足が突出ており、この足がハ
ンダでプリント板に固着されている。異方性導電ゴムは
、この僅かに突出た足により他に比べて大きな圧力を受
けて、その足に該当する部分の経路の電気抵抗が他の経
路より低下する。そして、その経路（異方性導電ゴム）
の他端には、十分な導線密度の多芯ケーブル２が接続さ
れているので、その結果、各Ｌ８１の足に相当する部分
の電圧は、多芯ケーブルの導線を介して端末処理器３側
に取出すことができる。もっとも、上述のように足が突
出ていない平らなプリント基板のパターンであっても、
その面に異方性導電ゴムを押付ければ、全体の経路の抵
抗値が減少し、パターン全部の電圧を多芯ケーブルに取
出すことができる。

本発明に係るプローブの動作は以上であり、その後、こ
のプロ−ブの出力信号をどのような信号処理によって取
出し、また演算処理するかは、特に限定するものではな
い。

一例を上げれば、端末処理器３として、スキャナやサン
プラ等があり、多数の導ｉ２ａ、２ｂ　、・・・をスキ
ャンニングすることで、どの導線の信号を選択するのが
良いか判別することができる。

また、測定器５としてデジタル電圧計やオシロスコープ
やＬＳｒテスタ等が用いられ、端子電圧の観ｉｌ！ｌＩ
等を行なうことができる。もつとも、この際、異方性導
電ゴム１の経路において、抵抗値が圧力により低下した
としても幾らかの抵抗弁があるので、測定器５の入力イ
ンピーダンスとしては、高くとることになる。

また、多芯ケーブル２の各出力に対応したＬＥＤのアレ
イをドライブすると、測定対争の端子電圧の分布を２次
元で同時に表示することもできる。

また異方性導電ゴム１の代りに第４図に示すような部材
を多芯ケーブルに取付けても本発明は成立する。第４図
において、８は平板状の絶縁基板であり、９は棒状の導
電ゴムである。この導電ゴム９は、第１図のように、異
方性を有している必要はない。そして、この導電ゴム９
の多数が絶縁基板に取付けられ、その両端部が絶縁基板
の表裏から突出るように構成されている。このような部
材において、絶縁基板の一方の面から突出た各導電ゴム
に密着して多芯ケーブルを配置すれば、第１図と同様な
動作・効果が得られる。この場合、個々の導電ゴムは、
異方性導電ゴムの各経路の作用を行なう。

ハ、「本発明の効果」以上述べたように、本発明によれば従来プローブのよう
な針という概念がないので、位置決め精度の必要がなく
、ＬＳＩのビン配列やプリン１〜板のパターンの変化に
対応することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプローブの要部構成例とこれが接
続される装置とを示した図、　第２図は第１図のプロー
ブを用いてプリント板に装着されたＬＳＩを検査してい
る状態を示す断面図、　第３図は多芯ケーブルの断面構
成図、　第４図は本発明に係るプローブの別の要部構成
例を示した図である。１・・・異方性導電ゴム、２・・・多芯ケーブル、２ａ
。２ｂ・・・導線、８・・・絶縁基板、９・・・導電ゴム
。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）平板形状であつて、厚み方向に導電性を生ずるよ
うに配置した異方性導電ゴムと、この異方性導電ゴムの一方の平面に密着して配置された
多芯ケーブルと、を備え、異方性導電ゴムの他方の平面を測定対象の端子に押付け
ることにより、この端子の電圧を多芯ケーブルから取出
すようにしたプローブ。
（２）棒状の多数の導電ゴムが平板形状の絶縁基板に取
付けられ、この棒状の導電ゴムの両端部が絶縁基板の表
裏から突き出るように構成した部材と、この絶縁基板の
一方の面から突き出た各導電ゴムに密着して配置された
多芯ケーブルと、を備え、絶縁基板の他方の面から突出た導電ゴムを測定対象の端
子に押付けることにより、この端子の電圧を多芯ケーブ
ルから取出すようにしたプローブ。