JPH03120484A - 集積回路検査装置 - Google Patents

集積回路検査装置

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Publication number
JPH03120484A
JPH03120484A JP1258374A JP25837489A JPH03120484A JP H03120484 A JPH03120484 A JP H03120484A JP 1258374 A JP1258374 A JP 1258374A JP 25837489 A JP25837489 A JP 25837489A JP H03120484 A JPH03120484 A JP H03120484A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
terminals
connector
pins
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1258374A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Hirano
平野　政章
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
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Publication of JPH03120484A publication Critical patent/JPH03120484A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体などの電子回路の集積回路検査装置の改
良に関する。
［従来の技術］ 近年、電子回路は回路の複雑化により各集積回路が有す
る端子数も急激に増え、かつ高密度化している。
以下に従来技術のプローブカード形状と周辺装置につい
て、図面を参照しながら説明する。第２図は従来技術の
プローブカード形状と周辺装置を示すもので、集積回路
１の各端子はプローブカード２の配線と接続され、プロ
ーバー３のプローブカードコネクター４に接続され、接
続ケーブル５によって自動検査器６につながっている。
前記プローブカードコネクター４はゴムコネクターなど
を用いている。このプローブカードコネクター４は、た
とえば非導電性シリコーンゴム中に導電性細線を厚み方
向に配向させているものであるか、または導電性シリコ
ーンゴムと非導電性シリコーンゴムを積層したもので構
成されている（たとえば富士高分子工業株式会社製、商
品名“エラスチック・コネクター”など）。
このプローブカードコネクター４は製造の困難性から７
０ピン以下の集積回路に相当するものしか得られていな
いのが実状である。
［発明が解決しようとする課題］ 前記した従来技術においては、前記ブローブカ−ドコネ
クター４の導電ピッチが決まっているために端子数が７
０ピン以下の集積回路しか自動検査器とつなぐことがで
きないという課題があった。
すなわち端子数が７１ピン以上の集積回路の検査はでき
ないという課題があった。
本発明は前記した従来技術の課題を解決するため、絶縁
基板（プローブカード）上のプリント配線を二方向以上
に導き出し、外部検査装置との接続部を複数の箇所に分
割して設けることにより、７１ピン以上の多数の端子を
有する集積回路であっても、電気特性試験を正確に行う
ことができる集積回路検査装置を提供する。
［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本発明は下記の構成からなる
。すなわち本発明は、絶縁基板上に多数のプリント配線
を形成し、該プリント配線の一方の端子は集積回路配線
と接続し、他方の端子はコネクターを介して外部検査装
置に接続して電気導通試験を行う集積回路検査装置にお
いて、前記プリント配線を二方向以上に導き出し、外部
検査装置との接続部を複数の箇所に分割して設けたこと
を特徴とする集積回路検査装置である。
本発明においては、プリント配線の導出方向は、二以上
であればいくつでもよく、たとえば三方向でも四方向で
もよい。また、外部検査装置との接続は、ゴムコネクタ
ーなど従来から用いられているプローブカードコネクタ
ーを用いることができる。そしてプローブカードコネク
ターは複数個使用し、外部検査装置との接続部を複数の
箇所に分割して設けるのである。
なお本発明においてプローブカードとは、絶縁基板上に
多数のプリント配線を形成したものをいう。
［作用］ 本発明は、絶縁基板（プローブカード）上のプリント配
線を二方向以上に導き出し、外部検査装置との接続部を
複数の箇所に分割して設けることにより、７１ピン以上
の多数の端子を有する集積回路であって・も、電気特性
試験を正確に行うことができる。
さらに本発明は従来のプローブカードの基本的な形状は
替えないため、端子数７０ピン以下の集積回路を検査す
る装置と共用でき、端子数の多少によって検査器を替え
る必要がなくなる。
［実施例］ 以下実施例を用いて本発明をさらに詳細に説明する。な
お本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
第１図に示す本発明の実施例は、絶縁基板上に多数のプ
リント配線を形成したプローブカード２のプリント配線
を二方向に導き出し、一方向の配線の一方の端子は集積
回路配線１の７０ピンまでの端子と接続し、他方の端子
はコネクター４を介して外部検査装置６に接続する。そ
して前記した方向と逆方向の配線の一方の端子は集積回
路配線１の残りのピンの端子と接続し、他方の端子は追
加装備したコネクター７を介して外部検査装置６に接続
する。
すなわち、集積回路の７０ピンまでの端子はプローブカ
ード２のプリント配線によりプローブカードコネクター
４につながっており、７１ピン以上の端子はプローブカ
ード２に追加装備されたコネクター７に配線されている
。
一方、自動検査器６にはコネクター７に接続するための
接続ケーブル８を装備する。コネクター７と接続ケーブ
ル８をつなぐことにより、７１ピン以上の端子を有する
集積回路の電気特性試験が可能なる。
本発明の検査装置は、第１図のように絶縁基板（プロー
ブカー、ド）上のプリント配線を二方向に導き出したと
きは、７０×２ピンまで検査することができ同様に方向
数ｎであれば、７０Ｘｎ倍まで理論的には検査すること
ができる。
さらに本発明は従来のプローブカードの基本的な形状は
替えないため、端子数７０ピン以下の集積回路を検査す
る装置と共用でき、端子数の多少によって検査器を替え
る必要がな（なる。このことは実用的には大きなメリッ
トであり、本発明の装置を用いれば、集積回路の端子数
の多少によって検査装置を選択する手間が省け、ピン数
の多いものでも少ないものでも一つの検査器で検査でき
るという利点を発揮できる。
［発明の効果］ 本発明は、絶縁基板（プローブカード）上のプリント配
線を二方向以上に導き出し、外部検査装置との接続部を
複数の箇所に分割して設けるようにしたので、７１ピン
以上の多数の端子を有する集積回路であっても、電気特
性試験を正確に行うことができるという顕著な効果を有
する。
さらに本発明は従来のプローブカードの基本的な形状は
替えないため、端子数７０ピン以下の集積回路を検査す
る装置と共用でき、端子数の多少によって検査器を替え
る必要がなくなる。
多リード端子化された集積回路は今後さらに増える傾向
にある中、従来の集積回路の検査と共用できるという点
でも、本発明の実用的な効果は大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の集積回路検査装置とその周辺装置との
接続を示す斜視図、第２図は従来技術の集積回路検査装
置とその周辺装置との接続を示す斜視図である。 １：被試験集積回路 ２ニブローブカード ３ニブローバー ４ニブローブカードコネクター ５：接続ケーブル ６：自動検査器 ７：追加装備コネクター

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）絶縁基板上に多数のプリント配線を形成し、該プ
    リント配線の一方の端子は集積回路配線と接続し、他方
    の端子はコネクターを介して外部検査装置に接続して電
    気導通試験を行う集積回路検査装置において、前記プリ
    ント配線を二方向以上に導き出し、外部検査装置との接
    続部を複数の箇所に分割して設けたことを特徴とする集
    積回路検査装置。
JP1258374A 1989-10-02 1989-10-02 集積回路検査装置 Pending JPH03120484A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1258374A JPH03120484A (ja) 1989-10-02 1989-10-02 集積回路検査装置

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JP1258374A JPH03120484A (ja) 1989-10-02 1989-10-02 集積回路検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03120484A true JPH03120484A (ja) 1991-05-22

Family

ID=17319361

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1258374A Pending JPH03120484A (ja) 1989-10-02 1989-10-02 集積回路検査装置

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JP (1) JPH03120484A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100389909B1 (ko) * 1995-11-21 2003-08-30 삼성전자주식회사 웨이퍼 레벨 테스트에서 프로우브 카드와 테스트 장비간의 연결 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100389909B1 (ko) * 1995-11-21 2003-08-30 삼성전자주식회사 웨이퍼 레벨 테스트에서 프로우브 카드와 테스트 장비간의 연결 방법

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