JP3625383B2 - 不揮発性半導体メモリ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
不揮発性半導体メモリ装置においては、歩留まりを向上させるために、不良ビット線,不良ワード線及び不良メモリセルを正常品と置換する冗長機能がある。このような冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置では、上記不良ビット線,不良ワード線および不良メモリセルのアドレスを記憶しておく必要がある。
【0003】
従来より、このように上記不良ビット線,不良ワード線および不良メモリセルのアドレス(以下、不良アドレスと言う)を記憶しておく方法として最も一般的なものとして、特開平2−307245号公報や特開平6−150689号公報に開示されているようなヒューズを用いるものがある。この方法では、3ビットのアドレスを記憶する場合には、図8に示すように、不良アドレスが例えば「101」のときにはヒューズ1を切断するのである。この不良アドレスの特定と対応するヒューズの切断は、デバイスのテスト時に行われる。
【0004】
次に、上記テストが終了し、実際にデバイスが動作する場合には次のように動作する。電源電圧Vccが立ち上がり、信号rdcamenのレベルが“H"になってトランジスタ1〜3がオンすると、インバータ4,6の入力電圧がヒューズ0及びヒューズ2を介して電圧Vssに引かれる。その結果、インバータ4,6の出力、つまりアドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"にラッチされる。一方、インバータ5の入力電圧は、ヒューズ1が切断されているためにレベル“H"を保つ。その結果、インバータ5の出力、つまりアドレス信号rdadd1のレベルは“L"にラッチされる。こうして、不良アドレス「101」が設定されるのである。
【0005】
この場合、最も問題となるのは、ヒューズ0〜ヒューズ2の部分のレイアウト面積である。デバイスの高集積化が進み、記憶する不良アドレスが増加するに連れて、ヒューズ本数も増加してヒューズのレイアウト面積が増加し、ヒューズのレイアウト面積の縮小化が必要となる。
【0006】
そこで、上述の問題を解決する方法の1つとして、特開平5−276018号公報に開示されているように、ヒューズの代わりに電気的に書き換え可能な不揮発性半導体メモリセルを用いる方法がある。その1例の回路図を図9に示す。この不良アドレス設定回路では、図8に示す回路におけるヒューズ0〜ヒューズ2の部分に電気的に書き換え可能なフローティングゲートを有する不揮発性半導体メモリセル(以下、単にメモリセルと言う)M0〜M2を配置している。そして、この不良アドレス設定回路においては、ビット選択信号bitsel0〜bitsel2で図中のトランスファーゲートを選択的にオンするカラムデコーダと、不良アドレスデータを書き込むためのデータラッチ機能と、レベルシフタが付加されている。
【0007】
以下、この不良アドレス設定回路で、不良アドレス「101」を設定する場合について説明する。図9に示す不良アドレス設定回路は、ETOX(インテル社の商品名)に代表されるチャネルホットエレクトロンを用いた書き込みを行うフラッシュメモリに適用された回路である。このタイプのフラッシュメモリでは、初期状態では、メモリセルMの閾値は0.5V〜1.5V付近にある。このメモリセルMへの書き込みはホットエレクトロンを用いて以下のように行われる。
【0008】
先ず、図9中におけるデータ線11のレベルが“H"になると、書き込みデータラッチ回路12にレベル“L"の書き込みデータがラッチされる。また、メモリセルM0のワード線WLがVpp(例えば10V)まで立ち上げられ、ビット選択信号bitsel0のレベルがVppになる。この時、レベルシフタ(HV)13の出力レベルは“L"ラッチであるからトランジスタ14のゲート電圧は0Vとなり、トランジスタ14はオフする。その結果、ビット線BL0はフローティング状態となり、メモリセルM0の閾値は低い状態(1.5V以下)が保たれる。次に、データ線11のレベルが“L"になると書き込みデータラッチ回路12にレベル“H"の書き込みデータがラッチされる。また、メモリセルM1のワード線WLがVppまで立ち上げられ、ビット選択信号bitsel1のレベルがVppになる。この時、レベルシフタ13の出力レベルは“H"ラッチであるからトランジスタ14のゲート電圧はVppとなり、上記トランジスタ14はオンする。その結果、上記ビット線BL1の電圧はhhprg(例えば6V)となり、メモリセルM1の閾値はチャネルホットエレクトロンによって上昇する。次に、上記データ線11のレベルが“L"になり、ワード線WLがVppまで立ち上げられ、ビット選択信号bitsel2のレベルがVppになると、メモリセルM0の場合と同様に、メモリセルM2の閾値は低い状態が保たれる。このような、不良アドレスの特定と対応するメモリセルMへの書き込みは、デバイスのテスト時に行われる。
【0009】
次に、上記テストが終了し、実際にデバイスが動作する場合には次のように動作する。電源電圧Vcc(例えば3V)が立ち上がり、ワード線WLがVccまで立ち上がり、信号rdcamenのレベルが“H"になってトランジスタ15〜17がオンすると、閾値が低いメモリセルM0,M2がオンしてインバータ18,20の入力電圧が電圧Vssに引かれる。その結果、インバータ18,20の出力、つまりアドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"にラッチさる。一方、インバータ19の入力電圧は、閾値が高いメモリセルM1はオフしているためにレベル“H"を保つ。その結果、インバータ19の出力、つまりアドレス信号rdadd1のレベルは“L"にラッチされる。こうして、不良アドレス「101」が設定されるのである。
【0010】
このようにして、チャネルホットエレクトロンタイプのフラッシュメモリにおいて、不良アドレスが設定記憶されるのである。ところで、フラッシュメモリの場合には検討しなければならない問題の一つとしてディスターブがある。この場合、特に書き込み時のゲートディスターブが問題となる。チャネルホットエレクトロンを用いる場合の書き込み条件は図10に示すようになり、1セル当たりの書き込み速度は1μsec程度である。したがって、上述したような手順によって1セル毎に順に書き込む方式の場合、例えば256個のセルを順に書き込んだとすると、最も厳しい条件で255μsecのディスターブ時間となり、これはディスターブ時間としては非常に短く十分耐え得る時間であるから問題はない。
【0011】
ところで、メインの記憶回路と冗長記憶回路とに使用されるメモリセルは同じに形成される。そのために、上記チャネルホットエレクトロンタイプのフラッシュメモリと異なり、メインの記憶回路にFN(ファウラー・ノルドハイム)−FNタイプのフラッシュメモリが使用されると、冗長記憶回路および不良アドレス書き込み用の不揮発性半導体メモリセルアレイにもFN−FNタイプの不揮発性半導体メモリセルが使用されることになる。そこで、FN−FNタイプのフラッシュメモリの不良アドレスを電気的に書き込み可能な不揮発性半導体メモリセルを用いて設定記憶する場合の不良アドレス設定回路は、図11に示すようになる。
【0012】
ここで、FN−FNタイプのフラッシュメモリの場合には図9に示すような不良アドレス設定回路を使用できない理由としては、以下のことが上げられる。すなわち、FN−FNタイプのフラッシュメモリの場合、上記チャネルホットエレクトロンタイプのフラッシュメモリよりも1セル当たりの書き込み速度が遅く、1msec程度である。この場合におけるディスターブ条件は図12に示す通りである。そして、256セルを順次書き込んだ場合にはそのディスターブ時間は255msecとなり、ディスターブ時間が長く、図9に示すような不良アドレス設定回路を適用した場合には閾値の変化が生じてしまう。したがって、図11に示すような回路構成が必要になるのである。この回路構成によれば、不良アドレスデータを夫々対応する書き込みラッチ回路にラッチした後に、不揮発性半導体メモリセルアレイにおける対応するメモリセルに一度に書き込むために、ディスターブの発生を抑制することが可能になるのである。
【0013】
以下、図11に示す不良アドレス設定回路の動作について説明する。この場合には、最初各メモリセルM0〜M2は閾値の高い状態にして消去しておく。消去の手法としては、共通ソースおよびメモリセルMが形成されている基板に電圧Vns(例えば−8V)を印加し、各ビット線BLをオープン状態にし、ワード線WLに電圧Vpp(例えば10V)を印加する。こうして、チャネル層から電子をフローティングゲートに注入して閾値を4V以上に上昇させることによって行う。
【0014】
次に、不良アドレスデータを、以下のようにして不揮発性半導体メモリセルアレイ27に書き込む。最初に、書き込みラッチ回路26の夫々のラッチに不良アドレスデータをトランスファーする。先ず、データ線21のレベルが“H"になり、信号bitsel0のレベルが“H"になってカラムデコーダ22のトランジスタ23がオンし、書き込みラッチ回路26のラッチ0にレベル“H"がラッチされる。次に、データ線21のレベルが“L"になり、信号bitsel1のレベルが“H"になってトランジスタ24がオンして、書き込みラッチ回路26のラッチ1にレベル“L"がラッチされる。次に、同様にして、データ線21のレベルが“H"になると、信号bitsel2のレベルが“H"になってトランジスタ25がオンし、書き込みラッチ回路26のラッチ2にレベル“H"がラッチされる。
【0015】
次に、不揮発性半導体メモリセルアレイ27のワード線WLの電圧がVnn(例えば−8V)になり、書き込みラッチ回路26の信号hhprgの電圧がVpg(例えば5V)になり、信号rdpgenがVpps(例えば7V)になると、ラッチ0及びラッチ2にはレベル“H"がラッチされているので、ビット線BL0,BL2には5Vの電圧が印加される。それによって、メモリセルM0,M2のドレインサイドでFNトンネル現象が発生し、電子がドレインサイドに引き抜かれて閾値電圧が1.5V以下に低下する。これに対して、ラッチ1にはレベル“L"がラッチされているので、ビット線BL1には0Vの電圧が印加される。それによって、メモリセルM1の閾値電圧は4V以上に保たれる。
【0016】
このようにして不良アドレスが設定された不良アドレス設定回路が実際にデバイスとして用いられる場合には、次のように動作する。電源電圧Vcc(例えば3V)が立ち上がると、不揮発性半導体メモリセルアレイ27のワード線WLおよび信号rdcamenの電圧が電源電圧Vccまで立ち上がる。そうすると、閾値が1.5V以下に低下しているメモリセルM0,M2がオンし、閾値が4V以上に保持されているメモリセルM1はオフする。したがって、図8に示す不良アドレス設定回路のヒューズの場合と同様に、不良アドレスラッチ回路28のインバータ29,31の入力電圧は、メモリセルM0,M2を介して共通ソース(電圧Vss)に引かれる。その結果、インバータ29,31の出力、つまりアドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"にラッチされる。一方、インバータ30の入力電圧は、メモリセルM1がオフ状態であるためレベル“H"を保つ。その結果、インバータ30の出力、つまりアドレス信号rdadd1のレベルは“L"にラッチされる。こうして、不良アドレス「101」が設定されるのである。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、電気的書き込み可能な不揮発性半導体メモリに不良アドレスを記憶した場合には、ヒューズを用いた場合よりもレイアウト面積を縮小化することが可能である。
【0018】
しかしながら、上記従来のFN−FNタイプのフラッシュメモリにおいて不揮発性半導体メモリセルアレイに不良アドレスを記憶する場合には、不良アドレス設定回路の構成は、不良アドレスラッチ回路28,不揮発性半導体メモリセルアレイ27,書き込みラッチ回路26およびカラムデコーダ22から構成されている。このように、FN−FNタイプのフラッシュメモリを用いる場合には、書き込み時のゲートディスターブの関係から、各メモリセルM毎のラッチ0〜ラッチ2を有する書き込みラッチ回路26を設ける必要がある。したがって、チャネルホットエレクトロンタイプのフラッシュメモリの場合よりも上記書き込みラッチ回路26分だけレイアウト面積が増加するという問題がある。
【0019】
そこで、この発明の目的は、不良アドレス書き込み用のレイアウト面積の増加を抑制することができるFN−FNタイプの不揮発性半導体メモリ装置を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列されたメイン記憶回路と,電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列された冗長記憶回路を有して,上記メイン記憶回路に不良列線・不良行線または不良メモリセルが存在する場合には上記冗長記憶回路中の正常列線・正常行線または正常メモリセルで置換する冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置において、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成されると共に,上記不良列線・不良行線または不良メモリセルのアドレスデータが書き込まれる不良アドレス記憶回路と、上記不良アドレス記憶回路に上記アドレスデータを書き込む際には,データ線から入力された上記アドレスデータを一旦ラッチする一方,実際にデバイスとして動作させる際には,電源電圧立ち上げ時に,上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータをラッチするラッチ回路を備え、上記ラッチ回路は2つのインバータを単位として構成されており、上記ラッチ回路の各単位にラッチされたデータをリセットするリセット回路を備え、上記ラッチ回路の各単位を構成する2つのインバータの一方を構成するp型トランジスタへの電源を一時的にカットする電源カット手段を備えたことを特徴としている。
【0021】
上記構成によれば、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成された不良アドレス記憶回路に不良アドレスデータが書き込まれる場合には、ラッチ回路に、データ線から入力されたアドレスデータが一旦ラッチされる。一方、実際にデバイスとして動作させる際には、電源電圧立ち上げ時に、上記ラッチ回路に、上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータがラッチされる。こうして、上記ラッチ回路を所謂書き込みラッチ回路と不良アドレスラッチ回路として機能させることによって、従来の書き込みラッチ回路が削除されて不良アドレス設定回路のレイアウト面積が縮小される。
【0022】
さらに、上記ラッチ回路は、2つのインバータを単位とする簡単な構成によって実現される。そして、上記不良アドレス記憶回路に対する不良アドレスデータ書き込み時に上記ラッチ回路にラッチされた不良アドレスデータはリセット回路によってリセットされるため、電源電圧立ち上げ時には、不良アドレス記憶回路に書き込まれている不良アドレスデータが上記ラッチ回路に支承なくラッチされる。
【0023】
さらに、電源電圧立ち上げ時に上記ラッチ回路に不良アドレスデータをラッチする際に、上記不良アドレス記憶回路の各列線をプリチャージした後に、電源カット手段によって、上記ラッチ回路の各単位を構成する2つのインバータの一方を構成するp型トランジスタへの電源が一時的にカットされる。こうすることによって、上記各列線はフローティング状態の“H"レベルで固定される。したがって、上記不良アドレス設定回路を構成する浮遊ゲート電界効果トランジスタの能力が低いためにオン時に上記プリチャージされた列線の電荷を引くことができない場合でも、時間の経過と共に該等する列線の電圧レベルは確実に“L"になる。以後、上記電源カット手段の動作を停止させて上記一方のインバータへ電源を供給することによって、不良アドレスデータが確実に上記ラッチ回路にラッチされる。
【0024】
また、請求項2に係る発明は、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列されたメイン記憶回路と , 電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列された冗長記憶回路を有して , 上記メイン記憶回路に不良列線・不良行線または不良メモリセルが存在する場合には上記冗長記憶回路中の正常列線・正常行線または正常メモリセルで置換する冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置において、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成されると共に , 上記不良列線・不良行線または不良メモリセルのアドレスデータが書き込まれる不良アドレス記憶回路と、上記不良アドレス記憶回路に上記アドレスデータを書き込む際には , データ線から入力された上記アドレスデータを一旦ラッチする一方 , 実際にデバイスとして動作させる際には , 電源電圧立ち上げ時に , 上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータをラッチするラッチ回路を備え、上記メイン記憶回路・冗長記憶回路および不良アドレス記憶回路は,列線を互いに隣接する上記メモリセルで共用する仮想接地型メモリセルアレイであり、上記不良アドレス記憶回路における上記メモリセル列には,閾値電圧が所定値以上に高い消去状態を保ったセルが一つ置きに配置されており、上記不良アドレス記憶回路に上記不良アドレスデータを書き込む際に,上記メモリセル列における上記消去状態を保ったセル以外のセルに上記アドレスデータを書き込む不良アドレスデータ書き込み手段を備えたことを特徴としている。
【0025】
上記構成によれば、上記不良アドレス記憶回路が仮想接地型メモリセルアレイである不良アドレス設定回路において、上記ラッチ回路を書き込みラッチ回路と不良アドレスラッチ回路として機能させることによって従来の書き込みラッチ回路が削除され、上記不良アドレス設定回路のレイアウト面積が縮小される。その際に、上記不良アドレス記憶回路の上記メモリセル列には消去状態セルが一つ置きに配置されており、不良アドレスデータ書き込み手段による不良アドレスデータ書き込み時には、上記消去状態セル以外のセルに書き込むようにしている。したがって、上記不良アドレス記憶回路における消去状態セル以外のセルに書き込まれた不良アドレスデータによる隣接するデータ書き込みセルへの影響が、両データ書き込みセル間の消去セルの高い閾値電圧によって阻止される。こうして、上記不良アドレス設定回路に不良アドレスデータが正確に書き込まれる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
<第1実施の形態>
図1は、第1実施の形態の不揮発性半導体メモリ装置に搭載された不良アドレス設定回路の回路図である。本不良アドレス設定回路は、不揮発性半導体メモリセルアレイ41,ラッチ回路42,カラムデコータ43およびリセット回路44から概略構成される。尚、本実施の形態における不揮発性半導体メモリ装置は、FN−FNタイプのフラッシュメモリである。
【0027】
本実施の形態における不良アドレス設定回路の特徴は、図11に示す不良アドレス設定回路における書き込みラッチ回路の機能と不良アドレスラッチ回路の機能とを1つのラッチ回路42に持たせた点である。尚、ラッチ回路42を構成する個々のラッチ0,…は、不揮発性半導体メモリセルアレイ41を構成する個々のメモリセルM0,…に対応して設けられている。さらに、リセット回路44を構成する個々のトランジスタは、ラッチ回路42を構成する個々のラッチ0,…に対応して設けられている。
【0028】
以下、上記構成を有する不良アドレス設定回路の動作について説明する。本実施の形態においては、上記不揮発性半導体メモリセルアレイ41を構成する個々の、メモリセルM0,M1,M2,…の閾値は、最初0.5V付近に在るため、この閾値を高い状態にするためにメモリセルMを消去する。消去の手法としては、共通ソースおよびメモリセルMが形成されている基板に電圧Vns(例えば−8V)を印加し、各ビット線BLをオープン状態にし、ワード線WLに電圧Vpp(例えば10V)を印加する。こうして、チャネル層から電子をフローティングゲートに注入して閾値を4V以上に上昇させることによって行う。
【0029】
次に、不良アドレスデータを、以下のようにして不揮発性半導体メモリセルアレイ41に書き込む。最初に、上記ラッチ回路42に不良アドレスデータを以下のようにしてトランスファーする。すなわち、データ線45のレベルが“L"になり、信号bitsel0のレベルが“H"になってカラムデコーダ43のトランジスタ46がオンし、上記ラッチ回路42のラッチ0にレベル“L"がラッチされる。次に、データ線45のレベルが“H"になり、信号bitsel1のレベルが“H"になってトランジスタ47がオンし、ラッチ1にレベル“H"がラッチされる。次に、データ線45のレベルが“L"になり、信号bitsel2のレベルが“H"になってトランジスタ48がオンし、ラッチ2にレベル“L"がラッチされる。
【0030】
次に、不揮発性半導体メモリセルアレイ41のワード線WLの電圧がVnn(例えば−8V)になり、ラッチ回路42の信号hhprgの電圧がVpg(例えば5V)になり、信号rdpgenがVpps(例えば7V)になる。そうすると、ラッチ回路42のラッチ0およびラッチ2にはレベル“L"がラッチされているので、ビット線BL0,BL2には0Vの電圧が印加される。それによって、メモリセルM0,M2の閾値電圧は4V以上に保たれる。一方、ラッチ回路42のラッチ1にはレベル“H"がラッチされているので、ビット線BL1には5Vの電圧が印加される。それによって、メモリセルM1のドレインサイドでFNトンネル現象が発生し、電子がドレインサイドに引き抜かれて閾値電圧が1.5V以下に低下する。
【0031】
このようにして不良アドレスが設定された不良アドレス設定回路が実際にデバイスとして用いられる場合には、次のように動作する。先ず、電源電圧Vccの立ち上げシーケンスについて説明する。電源電圧立ち上げ時における各信号の電圧変化を図2に示す。時点t0において電源電圧Vcc(例えば3V)がオンすると、不揮発性半導体メモリセルアレイ41のワード線WL,信号rdpgenおよびリセット回路44の信号resetが立ち上がり、時点t1において電源電圧Vcc,ワード線WL,信号rdpgenおよび信号resetの電圧が3Vになる。こうして、信号resetの電圧が電源電圧Vccまで立ち上がることによって、各ラッチ0〜ラッチ2のインバータ49〜51の入力側が接地電位に引かれ、各ビット線BL0〜BL2の電位が“H"になる。こうして、各ビット線BL0〜BL2がプリチャージされる。そして、各ビット線BL0〜BL2のプリチャージが終了すると、時点t1において信号resetの電圧がレベル“L(=0V)"に戻される。
【0032】
一方、上記不揮発性半導体メモリセルアレイ41におけるワード線WLの電圧は電源電圧Vccになっているので、閾値が4V以上に保持されているメモリセルM0,M2はオフする。したがって、ビット線BL0,BL2の電圧はレベル“H"を保持し、この状態がラッチ回路42のラッチ0およびラッチ2にラッチされる。こうして、アドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"に設定される。これに対して、閾値が1.5V以下に低下しているメモリセルM1はオンする。したがって、ビット線BL1の電圧は“L"に低下し、この状態がラッチ回路42のラッチ1にラッチされる。こうして、アドレス信号rdadd1のレベルは“L"に設定される。こうして、不良アドレス「101」が設定されるのである。
【0033】
上述したように、本実施の形態においては、不良アドレス設定回路を、不揮発性半導体メモリセルアレイ41,ラッチ回路42,カラムデコータ43およびリセット回路44で構成する。そして、不良アドレスデータをラッチ回路42の夫々のラッチ0〜ラッチ2に電圧レベルとしてラッチする。そして、ラッチ回路42の夫々のラッチ0〜ラッチ2にラッチされた電圧レベルによって、メモリセルM0〜M2の閾値電圧を4V以上あるいは1.5V以下に設定する。こうして、不揮発性半導体メモリセルアレイ41に不良アドレスが書き込まれる。一方、上記不良アドレス設定回路の動作時には、ワード線WLの電圧が電源電圧Vccになると各メモリセルM0〜M2の閾値電圧に応じて(つまり、不良アドレスデータに応じて)ビット線BL0〜BL2の電圧レベルが設定され、ラッチ回路42の夫々のラッチ0〜ラッチ2にラッチされる。
【0034】
このように、本実施の形態においては、上記ラッチ回路42は、不揮発性半導体メモリセルアレイ41に不良アドレスを書き込む際には書き込みラッチ回路として機能する一方、動作時には不良アドレスラッチ回路として機能する。したがって、本実施の形態における不揮発性半導体メモリ装置においては、図11に示す従来のFN−FNタイプのフラッシュメモリにおける不良アドレス設定回路に比して、不良アドレス設定回路のレイアウト面積を縮小化できるのである。
【0035】
<第2実施の形態>
図3は、第2実施の形態における不良アドレス設定回路の回路図である。本不良アドレス設定回路は、不揮発性半導体メモリセルアレイ61,ラッチ回路62,カラムデコータ63およびリセット回路64から概略構成される。そして、不揮発性半導体メモリセルアレイ61およびカラムデコータ63は、第1実施の形態における不揮発性半導体メモリセルアレイ41およびカラムデコータ43と同じ構成を有して、同様に動作する。
【0036】
本実施の形態においては、ラッチ回路62の各ラッチ0,…を構成する2つのインバータ66,69のうち一方のインバータ65を構成するp−MOS(金属酸化膜半導体)トランジスタ66に対する電源の供給を、トランジスタ67によってオン・オフ可能にしている。さらに、n−MOSトランジスタ68を接地している。また、リセット回路64を構成すると共に、ラッチ回路62の各ラッチ0,…に対応する各トランジスタ70によって、各ビット線BLへの電源電圧の供給をオフ・オフするようにしている。
【0037】
第1実施の形態においては、上記メモリセルM0〜M2の能力が低くてビット線BL0〜BL2にチャージされた電荷を引くことができない、あるいは、メモリセルM0〜M2がラッチ回路42の各ラッチ0,…を反転させるだけの能力が無い等の理由から、レベル“L"をラッチできない場合がある。本実施の形態における不良アドレス設定回路は、上述の第1実施の形態における問題点を解決するものである。
【0038】
以下、本不良アドレス設定回路の動作について説明する。本実施の形態においても、先ず上記不揮発性半導体メモリセルアレイ61を構成する個々のメモリセルM0,M1,M2,…を消去して閾値を高い状態にする。消去の手法は第1実施の形態と同様であり、各メモリセルMの閾値を4V以上にする。
【0039】
次に、上記ラッチ回路62の各ラッチに不良アドレスデータ「101」をトランスファーする。その場合、ラッチ回路62における信号rdcamenのレベルを“L"にして各ラッチのp−MOSトランジスタ66を電源に接続し、リセット回路64における信号resetbのレベルを“H"として、第1実施の形態と同様にして不良アドレスデータをトランスファーする。その結果、ラッチ0およびラッチ2にレベル“L"がラッチされ、ラッチ1にレベル“H"がラッチされる。次に、第1実施の形態と同様にして、不揮発性半導体メモリセルアレイ61に不良アドレスデータを書き込む。その結果、メモリセルM0,M2の閾値電圧は4V以上に設定される一方、メモリセルM1の閾値電圧は1.5V以下に設定される。
【0040】
このようにして不良アドレスが設定された不良アドレス設定回路が実際にデバイスとして用いられる場合には、次のように動作する。先ず、電源電圧Vccの立ち上げシーケンスについて説明する。電源電圧立ち上げ時における各信号の電圧変化を図4に示す。時点t0において電源電圧Vccがオンすると、不揮発性半導体メモリセルアレイ61のワード線WL,信号rdpgenおよび信号rdcamenが立ち上がり、時点t1において電源電圧Vcc,ワード線WL,信号rdpgen及び信号rdcamenの電圧が3Vになる。この時点まで信号resetbのレベルは“L"であるために、全ビット線BLのレベルが“H"にプリチャージされる。そして、時点t1において、信号resetbのレベルは“H(=3V)"になる。このとき、信号rdcamenのレベルは“H"であるから全ビット線BLには電源からの供給はなく、フローティング状態の“H"レベルで固定される。
【0041】
したがって、もし、閾値電圧が1.5V以下と低いメモリセルM1の能力が小さい場合であっても、時間が経てばビット線BL1の電圧レベルは確実に“L"になるのである。また、閾値電圧が4V以上と高いメモリセルM0,M2に接続されたビット線BL0,BL2の電圧レベルは“H"に保たれる。そうした後、時点t2において信号rdcamenのレベルを“L"にして、ビット線BL1〜BL2の電圧レベル(つまり、不良アドレスデータ)をラッチ回路62に完全にラッチする。これによって、アドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"に設定される一方、アドレス信号rdadd1のレベルは“L"に設定されて、不良アドレス「101」が設定されるのである。
【0042】
本実施の形態においても、上記ラッチ回路62は、不揮発性半導体メモリセルアレイ61に不良アドレスを書き込む際には書き込みラッチ回路として機能する一方、動作時には不良アドレスラッチ回路として機能する。したがって、図11に示す従来のFN−FNタイプのフラッシュメモリにおける不良アドレス設定回路に比して、不良アドレス設定回路のレイアウト面積を縮小化できる。
【0043】
<第3実施の形態>
図5は、第3実施の形態における不良アドレス設定回路の回路図である。本不良アドレス設定回路は、不揮発性半導体メモリセルアレイ71,ラッチ回路72,カラムデコータ73およびリセット回路74に加えて、ビット線Vss印加回路75有している。そして、ラッチ回路72,カラムデコータ73およびリセット回路74は、第2実施の形態におけるラッチ回路62,カラムデコータ63およびリセット回路64と同じ構成を有して、同様に動作する。
【0044】
第1実施の形態および第2実施の形態は、共通ソースを有するNOR型の不揮発性半導体メモリセルアレイに対処したものである。これに対して、本実施の形態は、仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレイからなるFN−FNタイプのフラッシュメモリの場合の例である。仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレイ(以下、単にメモリセルアレイと言う)71は、ソース線とビット線とを共通化することによって、メモリセルアレイ71の面積の縮小化を図ったものである。
【0045】
仮想接地型のメモリセルアレイ71においては、周囲のメモリセルの閾値が低い場合には、隣接するメモリセルへの影響が大きくなるために正確な不良アドレスのラッチができない。そこで、本実施の形態においては、メモリセルアレイ71を構成するメモリセルMを交互に消去して、交互に閾値の高いメモリセルMを設ける。そして、消去していないメモリセルMに対して不良アドレスの個々のデータを書き込むのである。つまり、2個のメモリセルで1つの不良アドレスデータを保持するのである。図5においては、〇印で囲まれた各メモリセルM0,M2,M4,…に不良アドレスデータを書き込み、それ以外のメモリセルM1,M3,M5,…は消去状態にするのである。
【0046】
上記メモリセルアレイ71に不良アドレスデータを書き込む場合には、第1実施の形態の場合と同様に、先ず各メモリセルMの消去を行う。この消去は、ビット線Vss印加回路75の信号hnvssの電圧をVns(例えば−8V)にすると共に、信号rdvssのレベルを“H"にし、メモリセルMが形成されている基板に電圧Vnsを印加し、偶数番目のメモリセルM0,M2,M4,…をオープン状態にし、ワード線WLに電圧Vpp(例えば10V)を印加する。これによって、各メモリセルMのチャネル層から電子がフローティングゲートに注入されて、閾値が4V以上に高められる。
【0047】
こうして、各メモリセルMが消去されると、上記ラッチ回路72の各ラッチ0,…に不良アドレスデータをトランスファーする。その場合、上記ラッチ回路72の信号rdcamenのレベルを“L"にし、リセット回路74の信号resetbのレベルを“H"にした後、第1実施の形態と同様にして不良アドレスデータをトランスファーする。次に、メモリセルアレイ71への書き込みは、図5中〇印で囲まれたメモリセルM0,M2,M4,…における「n+」が付記されている側のビット線BL1,BL3,BL5,…に対して、ラッチ回路72の各ラッチ0,…にラッチされているレベルの電圧を供給することによって行われる。ここで、上記不良アドレスデータは「101」であるとすると、ラッチ回路72のラッチ0およびラッチ2にはレベル“L"がラッチされている。したがって、トランジスタ76,78は、ゲートにレベル“H"の電圧が印加されてオフし、ビット線BL1及びBL5の電圧は0Vとなる。その結果、上記メモリセルM0,M4の閾値電圧は4V以上に保たれる。一方、ラッチ1にはレベル“H"がラッチされている。したがって、トランジスタ77は、ゲートにレベル“L"の電圧が印加されてオンする。また、信号rdpgenのレベルは“H"であるから、ビット線BL3の電圧は信号hhprgの電圧(5V)となる。その結果、メモリセルM2のドレインサイドでFNトンネル現象が発生し、電子がドレイン側に引き抜かれて閾値電圧が1.5V以下に低下する。
【0048】
このようにして不良アドレスが設定された不良アドレス設定回路が実際にデバイスとして用いられる場合における電源電圧立ち上げ時の各信号の電圧変化を図6に示す。本実施の形態における電源電圧立ち上げシーケンスは、第2実施の形態における電源電圧立ち上げシーケンスと基本的に同じである。但し、本実施の形態においては、仮想接地型のメモリセルアレイ71を用いているので共通ソースはない。そこで、時点t0において電源電圧Vccがオンすると、ワード線WL,信号rdtrenおよび信号rdcamenに加えて信号rdvssも立ち上がり、時点t1においてビット線BL1,BL3,BL5,…の電圧が「3V」になるようにしている。その結果、閾値電圧が低いメモリセルM0,M4はオンし、アドレス信号rdadd0,rdadd2のレベルは“H"に設定される。一方、閾値電圧が高いメモリセルM2はオフし、アドレス信号rdadd1のレベルは“L"に設定される。こうして、不良アドレス「101」が設定されて、ラッチ回路72にラッチされるのである。
【0049】
本実施の形態においても、上記ラッチ回路72は、仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレイ71に不良アドレスを書き込む際には書き込みラッチ回路として機能する一方、動作時には不良アドレスラッチ回路として機能する。したがって、図11に示す従来のFN−FNタイプのフラッシュメモリにおける不良アドレス設定回路に比して、不良アドレス設定回路のレイアウト面積を縮小化できるのである。
【0050】
<第4実施の形態>
図7は、第4実施の形態における不良アドレス設定回路の回路図である。本実施の形態における不良アドレス設定回路も、第3実施の形態と同様に、仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレイからなるFN−FNタイプのフラッシュメモリの不良アドレス設定回路である。本不良アドレス設定回路は、仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレイ(以下、単にメモリセルアレイと言う)81,ラッチ回路82,カラムデコータ83,リセット回路84およびビット線Vss印加回路85を有している。
【0051】
第3実施の形態においては、上記ラッチ回路72にラッチされた不良アドレスデータ(つまり、ビット線BL0,BL2,BL4の電圧レベル)は、信号rdtrenをゲート信号とする閾値電圧Vthのn-MOSトランジスタを介して、上記アドレス信号rdadd0〜rdadd2として出力されている。したがって、アドレス信号rdadd0〜rdadd2の“H"レベルの電圧は、上記n-MOSトランジスタのゲート信号rdtrenの電圧3Vから閾値電圧Vthを引いた(3V−Vth)となる。したがって、出力されたアドレス信号rdadd0〜rdadd2をインバータ(図示せず)で受けた場合、このインバータを構成するp-MOSトランジスタ(通常、閾値電圧=−3V)を完全にオフさせることができず、直流パスが生ずることになる。その結果、上記インバータの部分で消費電流が多くなる可能性がある。
【0052】
このことを解決する方法の1つとして、信号rdtrenのレベル“H"時の電圧を5V以上にすることが考えられる。しかしながら、セットアップ時に信号rdtrenの電圧を5V以上にすることは容易ではない。そこで、本実施の形態では、第3実施の形態におけるメモリセルアレイ71,ラッチ回路72,カラムデコータ73,リセット回路74およびビット線Vss印加回路75の配置を換えることによって、上述の問題を解決している。
【0053】
すなわち、第3実施の形態においては、ラッチ回路72およびリセット回路74をメモリセルアレイ71のカラムデコーダ73側(つまり、図5における下側)に配置している。したがって、ラッチ回路72にラッチされた不良アドレスデータは、必然的に、リセット回路74とメモリセルアレイ71との間に設けられる上記n-MOSトランジスタを通過してアドレス信号rdadd0〜rdadd2として出力されることになる。これに対して、本実施の形態においては、ラッチ回路82およびリセット回路84を、メモリセルアレイ81に対してカラムデコーダ83とは反対側(つまり、図7における上側)に配置している。したがって、ラッチ回路82にラッチされた不良アドレスデータは、上記リセット回路84とメモリセルアレイ81との間に設けられる上記n-MOSトランジスタを通過することなくアドレス信号rdadd0〜rdadd2として出力されることになる。
【0054】
上述のように、本実施の形態の不良アドレス設定回路におけるメモリセルアレイ81,ラッチ回路82,カラムデコータ83,リセット回路84およびビット線Vss印加回路85は、第3実施の形態におけるメモリセルアレイ71,ラッチ回路72,カラムデコータ73,リセット回路74およびビット線Vss印加回路75とは配置が異なるものの構成は全く同じである。したがって、本実施の形態の不良アドレス設定回路による不良アドレスデータのラッチ回路82へのトランスファー動作およびメモリセルアレイ81への書き込み動作は第3実施の形態におけるトランスファー動作および書き込み動作と同じである。また、本実施の形態における電源電圧立ち上げ時の不良アドレスラッチシーケンスも、図6に示す第3実施の形態における不良アドレスラッチシーケンスと同じである。
【0055】
尚、本実施の形態においても、上記電源電圧立ち上げ時の不良アドレスラッチの際に、レベル“H"をラッチするラッチ回路82中のラッチ0およびラッチ2には、ビット線BL0,BL4上のn-MOSトランジスタ86,87を通って(3V−Vth)の電圧が供給される。ところが、ラッチ0およびラッチ2は、(3V−Vth)の“H"信号と“L"レベルの信号rdcamenとに基づいて電圧3V(=hhprg)をラッチする。したがって、本実施の形態の場合には、アドレス信号rdadd0,rdadd2として3Vの“H"信号を出力できるのである。
【0056】
尚、言うまでもないが、本実施の形態においても、上記ラッチ回路82は、仮想接地型の不揮発性半導体メモリセルアレ81に不良アドレスを書き込む際には書き込みラッチ回路として機能する一方、動作時には不良アドレスラッチ回路として機能する。したがって、図11に示す従来のFN−FNタイプのフラッシュメモリにおける不良アドレス設定回路に比して、不良アドレス設定回路のレイアウト面積を縮小化できる。
【0057】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項1に係る発明の不揮発性半導体メモリ装置は冗長機能を有し、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成された不良アドレス記憶回路に不良アドレスデータを書き込む際には、データ線から入力されたアドレスデータをラッチ回路に一旦ラッチする一方、実際にデバイスとして動作させる際には、電源電圧立ち上げ時に、上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータを上記ラッチ回路にラッチするので、上記ラッチ回路を従来の書き込みラッチ回路と不良アドレスラッチ回路として機能させることができる。したがって、従来の書き込みラッチ回路を削除することができ、不良アドレス設定回路のレイアウト面積を上記書き込みラッチ回路分だけ縮小化できる。すなわち、この発明によれば、冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置の高集積化を容易にでき、コスト競争力を高めることができる。
【0058】
さらに、上記ラッチ回路は2つのインバータを単位として構成したので、上記ラッチ回路を簡単な構成で実現できる。さらに、上記ラッチ回路の各単位にラッチされたデータをリセットするリセット回路を備えたので、上記不良アドレス記憶回路に対する不良アドレスデータ書き込み時に上記ラッチ回路にラッチされた不良アドレスデータを上記リセット回路によってリセットできる。したがって、電源電圧の立ち上げ時には、上記不良アドレス記憶回路に書き込まれている不良アドレスデータを上記ラッチ回路に支承なくラッチできる。
【0059】
さらに、上記ラッチ回路の各単位を構成する2つのインバータの一方を構成するp型トランジスタへの電源を、電源カット手段によって一時的にカットするので、電源電圧立ち上げ時に上記ラッチ回路に不良アドレスデータをラッチする際に、上記不良アドレス記憶回路の各列線をプリチャージした後に、電源カット手段によって上記ラッチ回路のインバータへの電源供給を一時的にカットすることができる。したがって、その場合、上記各列線はフローティング状態の“H"レベルで固定されることなり、上記不良アドレス設定回路を構成する浮遊ゲート電界効果トランジスタの能力が低いためにオン時に上記プリチャージされた列線の電荷を引くことができない場合でも、時間の経過と共に該等する列線の電圧レベルを確実に“L"にできる。すなわち、この発明によれば、上記不良アドレス設定回路を構成する浮遊ゲート電界効果トランジスタの能力が低い場合でも、不良アドレスデータを正確にラッチできる。
【0060】
また、請求項2に係る発明の不揮発性半導体メモリ装置における上記メイン記憶回路,冗長記憶回路および不良アドレス記憶回路は仮想接地型メモリセルアレイであり、上記不良アドレス記憶回路における上記メモリセル列には閾値電圧が所定値以上に高い消去セルを一つ置きに配置しており、上記不良アドレス記憶回路に上記不良アドレスデータを書き込む際には、不良アドレスデータ書き込み手段によって上記メモリセル列における消去状態セル以外のセルに上記アドレスデータを書き込むので、仮想接地型メモリセルアレイを不良アドレス設定回路として使用する場合において、上記消去状態以外のセルに書き込まれた不良アドレスデータによる隣接するデータ書き込みセルへの影響を、上記両非消去セル間の消去セルの高い閾値電圧によって阻止できる。したがって、上記不良アドレス設定回路に不良アドレスデータを正確に書き込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の不揮発性半導体メモリ装置に搭載された不良アドレス設定回路の回路図である。
【図2】図1に示す不良アドレス設定回路における電源電圧立ち上げ時における各信号の電圧変化を示す図である。
【図3】図1とは異なる不良アドレス設定回路の回路図である。
【図4】図3に示す不良アドレス設定回路における電源電圧立ち上げ時における各信号の電圧変化を示す図である。
【図5】図1および図3とは異なる不良アドレス設定回路の回路図である。
【図6】図5に示す不良アドレス設定回路における電源電圧立ち上げ時における各信号の電圧変化を示す図である。
【図7】図1,図3および図5とは異なる不良アドレス設定回路の回路図である。
【図8】従来のヒューズを用いた不良アドレス設定回路の回路図である。
【図9】チャネルホットエレクトロンタイプの不揮発性半導体メモリセルを用いた従来の不良アドレス設定回路の回路図である。
【図10】チャネルホットエレクトロンタイプの不揮発性半導体メモリセルにおける書き込み条件を示す図である。
【図11】FN−FNタイプの不揮発性半導体メモリセルを用いた従来の不良アドレス設定回路の回路図である。
【図12】FN−FNタイプの不揮発性半導体メモリセルにおける書き込み条件を示す図である。
【符号の説明】
41,61,71,81…不揮発性半導体メモリアレイ、
42,62,72,82…ラッチ回路、
43,63,73,83…カラムデコーダ、
44,64,74,84…リセット回路、
45…データ線、
75,85…ビット線Vss印加回路。
Claims (2)
- 電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列されたメイン記憶回路と、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列された冗長記憶回路を有して、上記メイン記憶回路に不良列線,不良行線または不良メモリセルが存在する場合には上記冗長記憶回路中の正常列線,正常行線または正常メモリセルで置換する冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置において、
電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成されると共に、上記不良列線,不良行線または不良メモリセルのアドレスデータが書き込まれる不良アドレス記憶回路と、
上記不良アドレス記憶回路に上記アドレスデータを書き込む際には、データ線から入力された上記アドレスデータを一旦ラッチする一方、実際にデバイスとして動作させる際には、電源電圧立ち上げ時に、上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータをラッチするラッチ回路を備え、
上記ラッチ回路は、2つのインバータを単位として構成されており、
上記ラッチ回路の各単位にラッチされたデータをリセットするリセット回路を備え、
上記ラッチ回路の各単位を構成する2つのインバータの一方を構成するp型トランジスタへの電源を一時的にカットする電源カット手段を備えた
ことを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。 - 電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列されたメイン記憶回路と、電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルがマトリックス状に配列された冗長記憶回路を有して、上記メイン記憶回路に不良列線 , 不良行線または不良メモリセルが存在する場合には上記冗長記憶回路中の正常列線 , 正常行線または正常メモリセルで置換する冗長機能を有する不揮発性半導体メモリ装置において、
電気的に書き込み消去が可能な浮遊ゲート電界効果トランジスタで成るメモリセルが配列されて構成されると共に、上記不良列線 , 不良行線または不良メモリセルのアドレスデータが書き込まれる不良アドレス記憶回路と、
上記不良アドレス記憶回路に上記アドレスデータを書き込む際には、データ線から入力された上記アドレスデータを一旦ラッチする一方、実際にデバイスとして動作させる際には、電源電圧立ち上げ時に、上記不良アドレス記憶回路に書き込まれているアドレスデータをラッチするラッチ回路を備え、
上記メイン記憶回路 , 冗長記憶回路および不良アドレス記憶回路は、列線を互いに隣接する上記メモリセルで共用する仮想接地型メモリセルアレイであり、
上記不良アドレス記憶回路における上記メモリセル列には、閾値電圧が所定値以上に高い消去状態を保ったセルが一つ置きに配置されており、
上記不良アドレス記憶回路に上記アドレスデータを書き込む際に、上記メモリセル列における上記消去状態を保ったセル以外のセルに上記アドレスデータを書き込む不良アドレスデータ書き込み手段を備えた
ことを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。
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