JP3479032B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ディジタル回路
とアナログ回路とを同一半導体基板上に形成したディジ
タル・アナログ混載型の半導体集積回路に関し、特にデ
ィジタル信号処理回路やA/Dコンバータを内蔵した微
小アナログ信号を扱うCMOS(相補型金属酸化膜半導
体)型固体撮像装置等のディジタル・アナログ混載型の半
導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の高集積化に伴って、シ
ステムを同一基板上に形成するシステムオンチップ化が
進められ、従来は別チップで実現することが多かったデ
ィジタル回路とアナログ回路とを同一基板上に形成する
ディジタル・アナログ混載型の半導体集積回路も使用さ
れるようになってきている。
【0003】このようなディジタル・アナログ混載型の
半導体集積回路においては、ディジタル回路が動作する
際に発生するディジタル雑音が、電源やグランドや基板
等を介してアナログ回路の動作に悪影響を与えることが
問題となっている。
【0004】これは、主に以下のような理由による。す
なわち、ディジタル回路には、高集積化および低消費電
力化のために、一般的にはCMOS回路が用いられてい
る。そして、このCMOS回路においては、その出力が
反転する際に負荷容量を充放電する充放電電流や、素子
内部で電源からグランドへ流れる貫通電流が、ごく短期
間だけ流れる。そのために、ディジタル回路内部ではク
ロックのレベルが変化した直後に大きな電源電流が流
れ、その後クロックのレベルが変化するまでは殆ど電流
は流れない。
【0005】このような急激な電源電流の変化によっ
て、電源電圧が変動したり、トランジスタの拡散層と半
導体基板との間に形成される接合容量がトランジスタの
動作に応じてチャージ/デスチャージされ、これらの変
動が半導体基板を介してアナログ回路の動作に悪影響を
及ぼし、ノイズとなって現れるのである。
【0006】図6は、ディジタル・アナログ混載型の半
導体集積回路として代表的な従来のA/Dコンバータ内
蔵CMOS型固体撮像装置のブロック図である。図中、
タイミングジェネレータ1は、センサ2を駆動する各種
のセンサ駆動パルスを発生すると同時に、A/Dコンバ
ータ3駆動用の基本クロックADCKをも発生する。このよ
うな集積回路の場合には、上述したように、A/Dコン
バータ3の動作によって発生するノイズ成分が、センサ
2の微小アナログ信号成分に混入する場合が多いのであ
る。
【0007】その場合の対策としては、例えば配線パタ
ーンやピン配置等を工夫する方法の他に、アナログ回路
とディジタル回路とを動作させるためのクロック信号の
位相を相対的にシフトさせる方法がある。ところが、ク
ロック位相をシフトさせようとしても、実際には装置内
部の配線抵抗や浮遊容量等によってクロック位相のシフ
ト量が変化するため、最適なクロック位相差を設計前に
予測することは非常に困難である。
【0008】そこで、このような問題に対処するため
に、特開平6‐283999号公報に開示されているよ
うな半導体集積回路装置が提案されている。この半導体
集積回路装置においては、予め、幾通りかのクロック位
相差を発生させるクロック位相差発生回路を用意してお
く。そして、試作段階で、正弦波発生器とスペクトルア
ナライザとを接続して、アナログ回路のノイズが最も少
なくなるクロック位相差を発生するクロック位相差発生
回路を選択する。そして、量産段階においては、正弦波
発生器とスペクトルアナライザとを外し、試作段階での
マスク構成に対して1枚のマスクのみを変更して、上記
選択されたクロック位相差発生回路のみを活性化させる
ように配線パターンを固定するのである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の半導体集積回路装置においては、以下のような問題
がある。すなわち、一旦あるクロック位相差発生回路を
選択してしまえば、製造段階において、そのクロック位
相差発生回路のみが活性化するように配線パターンを固
定してしまうため、その後クロック位相差が変更される
ことはないのである。ところが、集積回路を製造する過
程のうえで、当然ながらトランジスタ特性あるいは抵抗
値の製造バラツキ等が発生し、設計上では同じクロック
位相差発生回路であったとしても、必ずしも常に一定の
クロック位相差を発生するとは限らない。寧ろ、実際に
は同じクロック位相差を発生する方がまれである。
【0010】したがって、上述のような半導体集積回路
装置においては、必ずしも、常時、ノイズ成分が最も少
なくなるようなクロック位相差発生回路を選択している
ことにはならないのである。
【0011】そこで、この発明の目的は、トランジスタ
特性や抵抗値等に製造バラツキが発生しても、常にアナ
ログ回路のノイズ成分が最小になるようにディジタル回
路へのクロック位相を調整することができる半導体集積
回路を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、第1クロック信号に基づいて動作する
アナログ回路と,第1クロック信号と同じ周期の第2ク
ロック信号に基づいて動作するデジタル回路とが,同一
半導体基板上に形成された半導体集積回路において、上
記第1クロック信号および第2クロック信号の何れか一
方の位相を他方の位相に対して異なる値だけ相対的にシ
フトする複数の位相シフト回路と、上記アナログ回路で
発生するノイズ成分を測定するノイズ測定回路を上記半
導体基板上に備えたことを特徴としている。
【0013】上記構成によれば、夫々の位相シフト回路
が選択された際にアナログ回路で発生したノイズ成分を
ノイズ測定回路で測定することによって、上記ノイズ成
分を最小値にするような位相シフト回路を選定すること
が可能になる。したがって、製造段階で、各半導体集積
回路毎にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキが生じて
も、上記選定された位相シフト回路を固定的に選択する
ことによって、以後、上記アナログ回路で発生するノイ
ズ成分が最小に抑えられる。
【0014】また、この発明の半導体集積回路は、上記
複数の位相シフト回路を順次入れ換えて選択する選択制
御手段と、上記夫々の位相シフト回路が選択された際に
測定された上記ノイズ成分のうちの最小値を求め,上記
ノイズ成分が最小値を呈した際に選択されていた位相シ
フト回路のみを固定的に選択して位相シフト値を設定す
る位相シフト設定手段を上記半導体基板上に備えること
が望ましい。
【0015】上記構成によれば、選択制御手段および位
相シフト設定手段の動作によって、複数の位相シフト回
路の中から上記アナログ回路で発生するノイズ成分を最
小にする位相シフト回路が求められ、当該位相シフト回
路のみが固定的に選択されて以後の位相シフト値が設定
される。したがって、製造段階で、各半導体集積回路毎
にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキが生じても、以
後、上記アナログ回路で発生するノイズ成分が最小に抑
えられる。
【0016】また、この発明の半導体集積回路は、上記
位相シフト回路の個数をk(k:正の整数)個とし、上記
ノイズ測定回路を,上記位相シフト回路の個数kに対応
して上記ノイズ成分をk回の測定するように成すことが
望ましい。
【0017】上記構成によれば、上記複数の位相シフト
回路の順次選択と上記ノイズ成分の測定値読み出しと
を、同期させることが可能になる。したがって、上記位
相シフト回路の順次選択を行う選択制御手段によって、
上記ノイズ測定回路による測定結果の読み出しを制御す
ることが可能になる。
【0018】また、この発明の半導体集積回路は、電源
が投入されてから第1所定時間が経過すると上記選択制
御手段の動作を開始させる動作開始制御手段を備えるこ
とが望ましい。
【0019】上記構成によれば、上記複数の位相シフト
回路の順次選択が、動作開始制御手段によって、電源投
入後に安定動作になるための第1所定時間が経過した後
に開始される。したがって、上記アナログ回路で発生す
るノイズ成分を最小にする位相シフト回路が、安定して
選定される。
【0020】また、この発明の半導体集積回路は、上記
選択制御手段による上記位相シフト回路の順次選択が終
了してから第2所定時間を計時し、上記第2所定時間が
経過すると上記選択制御手段を動作させる計時手段を備
えて、上記位相シフト回路の順次選択を上記第2所定時
間の間隔で繰り返し行うことが望ましい。
【0021】上記構成によれば、上記ノイズ成分を最小
にする位相シフト値の設定が、第2所定時間の間隔で繰
り返し行われる。したがって、動作期間中に、温度上昇
や電源電圧の変動によって、上記電源が投入されて第1
所定時間が経過した際に設定された位相シフト値にずれ
が生じても、常に、上記アナログ回路で発生するノイズ
成分が最小に抑えられる。
【0022】また、この発明の半導体集積回路は、上記
アナログ回路を固体撮像素子アレイとし、上記ノイズ測
定回路によって測定されるノイズ成分を,上記固体撮像
素子アレイから出力される1水平有効期間中の遮光され
た領域の映像信号に重畳されたノイズ成分とし、上記選
択制御手段による上記位相シフト回路の順次選択を,垂
直期間に同期して行うことが望ましい。
【0023】上記構成によれば、垂直同期信号によって
上記選択制御手段が動作されて、位相シフト回路の順次
選択および遮光された領域の映像信号に重畳されたノイ
ズ成分の測定が行われる。そして、上記位相シフト設定
手段によって、上記ノイズ成分が最小になるように位相
シフト値が設定される。したがって、製造段階で、各半
導体集積回路毎にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキ
が生じても、以後、固体撮像素子アレイから出力される
映像信号に重畳されたノイズ成分が最小に抑えられる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。 <第1実施の形態>図1は、本実施の形態の半導体集積
回路におけるブロック図である。本半導体集積回路11
は、A/Dコンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置の集
積回路であり、タイミングジェネレータ12から出力さ
れるA/Dコンバータ14駆動用の基本クロック信号ADC
K1の位相をA/Dコンバータ14の出力信号に含まれる
ノイズ成分を最小化する位相にシフトしたクロック信号
ADCK2を発生するクロック発生回路13を内蔵してい
る。そして、タイミングジェネレータ12からのセンサ
駆動パルス信号(基本クロック信号ADCK1と同じ周期)に
従って駆動されるセンサ15の各固体撮像素子からのア
ナログ映像信号を、A/Dコンバータ14によってA/D
変換してディジタル映像信号を出力するのである。
【0025】すなわち、本実施の形態においては、上記
第1クロック信号をセンサ駆動パルス信号で構成し、上
記アナログ回路をセンサ15で構成し、上記第2クロッ
ク信号を基本クロック信号ADCK1で構成し、上記ディジ
タル回路をA/Dコンバータ14で構成するのである。
【0026】図3は、上記A/Dコンバータ14から出
力されるディジタル映像信号のタイミング図である。図
3(a)は、垂直同期パルス信号VDであり、1画面の期
間であるV期間を表すパルス信号である。尚、H期間は
1水平期間を表す。図3(b)は、A/Dコンバータ14か
らのディジタル映像信号を示す。このディジタル映像信
号には映像信号成分とブランキング信号成分とが含まれ
る。そのうち、映像信号成分の中には一般には遮光され
た領域の映像信号成分(以下、遮光映像信号成分と略称
する)が含まれているため、ノイズ成分の評価としては
この遮光映像信号成分のみを扱うのが適当である。図3
(c)は、ウインドウパルス信号WINDであり、通常の映像
信号成分におけるH期間の端に位置する遮光映像信号成
分を抜き出すための窓掛期間を設定する。ウインドウパ
ルス信号WINDによって抜き出だされた遮光映像信号成分
は本来一定値の筈であるが、実際にはノイズ成分が重畳
されて種々の値を持つ。
【0027】図2は、図1におけるクロック発生回路1
3の具体的構成の一例を示すブロック図である。このク
ロック発生回路13は、上記基本クロック信号ADCK1の
入力端子とクロック信号ADCK2の出力端子との間に並列
に接続された第1〜第kクロック位相差発生回路16〜
18と、kカウンタ19と、最大値保持回路20と、最
小値保持回路21と、第1〜第kレジスタ22〜24
と、比較回路25と、選択回路26で概略構成される。
また、最大値保持回路20と最小値保持回路21と減算
器30とで、ノイズ測定回路27を構成している。
【0028】上記構成のクロック発生回路13は、次の
ように動作する。先ず、電源が投入されると、スタート
回路28は、動作安定のために所定時間T1経過した後
にkカウンタ19の動作を開始させる。通常、所定時間
T1は、集積回路の設計内容にもよるが、数msecから数
百msecの程度に選ばれることが一般的である。kカウン
タ19は、k個の垂直同期パルスVDをカウントアップ
して終了する。その際に、例えば、2番目の垂直同期パ
ルスVDをカウントした場合には、第2クロック位相差
発生回路17とクロック信号ADCK2の出力端子との間に
介設された2番目のスイッチ29をオンして、第2クロ
ック位相差発生回路17を選択する。それと同時に、減
算器30と各レジスタ22〜24との間に介設されたス
イッチ群31の2番目のスイッチ32をオンして、減算
器30からの差分値E2を第2レジスタ23に書き込ま
せる。その場合に、減算器30には、ウインドウパルス
信号WINDのレベルが「H」の間だけオンするスイッチ33
によって取り込まれた上記遮光映像信号成分の最大値
(最大値保持回路20の保持内容)と最小値(最小値保持
回路21の保持内容)とが入力される。したがって、1
V期間中における遮光映像信号成分の最大値と最小値と
の差分値Eが、上記ノイズ成分として第2レジスタ23
に書き込まれるのである。ここで、「k」は、予め用意さ
れているクロック位相差発生回路16〜18の総数であ
り、先に述べた特開平6-283999号公報に種々の
回路が提案されている。
【0029】そして、1V期間の終了時には垂直同期パ
ルスVDによってkカウンタ19のカウント値がアップ
するので、次の1V期間は、第3クロック位相差発生回
路を選択すると同時に、最大値保持回路20および最小
値保持回路21の内容をリセットする。そして、ウイン
ドウパルス信号WINDに基づいて上記遮光映像信号成分の
みを取り込み、その最大値と最小値とを保持し、その差
分値E3を第3レジスタに書き込む。
【0030】以後、この動作が繰り返されて、kV期間
の終了時には、kカウンタ19からのカウント終了パル
スCFによって比較回路25および選択回路26の動作
が開始される。そして、比較回路25によって、差分値
E1〜Ekのうちの最小値(ノイズ成分が最小)を呈する差
分値Ejの番号j(=1,…,k)が求められて、選択回路
26に出力される。そうすると、選択回路26は、第1
〜第kクロック位相差発生回路16〜18とクロックAD
CK2の出力端子との間に介設されたk個のスイッチ群3
4のうちj番目のスイッチのみをオンし、他の総てのス
イッチをオフにして、第j位相差発生回路を常に選択す
るように動作するのである。
【0031】こうすることによって、製造上において各
A/Dコンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置毎にトラ
ンジスタ特性のバラツキや抵抗値のバラツキが生じて
も、各装置毎に、アナログ回路であるセンサ15からの
アナログ映像信号のノイズ成分を最小にする最適なクロ
ック位相差発生回路を選択できるのである。
【0032】すなわち、本実施の形態においては、上記
選択制御手段をkカウンタ19とスイッチ群34とで構
成し、上記位相シフト設定手段を比較回路25と選択回
路26とスイッチ群34とで構成し、上記動作開始制御
手段をスタート回路28で構成するのである。
【0033】上述したように、本実施の形態において
は、タイミングジェネレータ12からのA/Dコンバー
タ14用の基本クロック信号ADCK1の位相をシフトし
て、クロック信号ADCK2を発生するクロック発生回路1
3を内蔵する。
【0034】上記クロック発生回路13には、基本クロ
ック信号ADCK1の位相を異なる所定値だけシフトさせ
て、クロック信号ADCK2としてA/Dコンバータ14に供
給するk個のクロック位相差発生回路16〜18を設け
る。そして、電源が投入されると、kカウンタ19によ
って、k個のクロック位相差発生回路16〜18を順次
選択し、その都度A/Dコンバータ14からのディジタ
ル映像信号中の遮光映像信号成分の最大値と最小値との
差分値(ノイズ成分)Eを求めて第1〜第kレジスタ22
〜24に格納する。そして、比較回路25によって、k
個の差分値Eを比較して最小値の番号jを求め、選択回
路26によって、j番目のクロック位相差発生回路(す
なわち、A/Dコンバータ14の出力信号に含まれるノ
イズ成分を最小にするクロック位相差発生回路)のみを
固定的に選択するようにしている。
【0035】したがって、製造段階で、個々のA/Dコ
ンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置毎にトランジスタ
特性や抵抗値にバラツキが生じたとしても、各装置別
に、センサ15の出力信号に含まれるノイズ成分が最小
になるように基本クロック信号ADCK1の位相をシフトし
たクロック信号ADCK2をA/Dコンバータ14に供給でき
るのである。
【0036】<第2実施の形態>図1におけるクロック
発生回路13の構成は、図2に示す構成に限定されるも
のではない。本実施の形態は、クロック発生回路13の
他の回路構成に関するものである。
【0037】図4は、図1におけるクロック発生回路1
3の上記第1実施の形態とは異なる構成を示すブロック
図である。図4において、第1〜第kクロック位相差発
生回路41〜43,スイッチ群44,スタート回路45,
kカウンタ46,スイッチ47,スイッチ群51,第1〜
第kレジスタ52〜54,比較回路55および選択回路
56は、図2に示す上記第1実施の形態における第1〜
第kクロック位相差発生回路16〜18,スイッチ群3
4,スタート回路28,kカウンタ19,スイッチ33,ス
イッチ群31,第1〜第kレジスタ22〜24,比較回路
25および選択回路26と同じ構成を有している。
【0038】本実施の形態においては、上記A/Dコン
バータ14からのディジタル映像信号に含まれるノイズ
成分の測定を、ディジタル映像信号における上記遮光映
像信号成分の最大値と最小値との差ではなく、1V期間
における全遮光映像信号成分の分散σ2を算出すること
によって行う。
【0039】すなわち、本実施の形態においては、ノイ
ズ測定回路50をメモリ48とσ2値計算回路49とで
構成するのである。そして、メモリ48は、ウインドウ
パルス信号WINDのレベルが「H」の間だけオンするスイッ
チ47によって取り込まれた1V期間分の上記遮光映像
信号成分の総てを保持する。また、σ2値計算回路49
は、垂直同期信号VDをトリガとして1V期間分の上記
遮光映像信号成分の分散σ2を算出するのである。ここ
で、上記分散σ2値とは σ2=(2乗平均−平均値の2乗) を表している。
【0040】こうして算出された分散σ2は、上記第1
〜第kレジスタ52〜54のうちkカウンタ46によっ
て選択されたレジスタに書き込まれるのである。その後
は、上記第1実施の形態の場合と同様にして、第1〜第
kクロック位相差発生回路41〜43のうち最も発生す
るノイズ成分の少ないクロック位相差発生回路のみを固
定的に選択するのである。
【0041】<第3実施の形態>上記第2実施の形態の
ごとく、上記ノイズ成分の測定方法として種々の方法が
考えられる。しかしながら、クロック発生回路13の動
作期間においては、温度が上昇したりあるいは電源電圧
が変動したりする場合があり、その場合には上記第1,
第2実施の形態でもトランジスタ特性の変動が発生して
しまう。このように、必ずしも動作初期に選択したクロ
ック位相差発生回路が、最適なクロック位相差発生回路
であるとは限らない場合が生ずる。
【0042】本実施の形態は、このような場合に対処で
きるクロック発生回路に関するものである。上記第1,
第2実施の形態におけるクロック発生回路13の場合に
は、電源を投入して安定した後の初期状態のkV期間に
おいてのみ最適なクロック位相差発生回路を選択してい
る。これに対して、本実施の形態におけるクロック発生
回路の場合には、初期にkV期間において最適な位相差
発生回路を選択した後に、さらに所定期間(T2)後に再
びkV期間において最適な位相差発生回路を選択するの
である。
【0043】図5は、本実施の形態におけるクロック発
生回路61の回路構成を示す図である。図5において、
第1〜第kクロック位相差発生回路62〜64,スイッ
チ群65,スタート回路66,kカウンタ68,スイッチ
69,最大値保持回路70,最小値保持回路71,減算器
72,ノイズ測定回路73,スイッチ群74,第1〜第k
レジスタ75〜77,比較回路78および選択回路79
は、図2に示す上記第1実施の形態における第1〜第k
クロック位相差発生回路16〜18,スイッチ群34,ス
タート回路28,kカウンタ19,スイッチ33,最大値
保持回路20,最小値保持回路21,減算器30,ノイズ
測定回路27,スイッチ群31,第1〜第kレジスタ22
〜24,比較回路25及び選択回路26と同じ構成を有
している。
【0044】本実施の形態においては、所定期間T2が
経過するとkカウンタ68を動作させる上記計時手段と
してのタイマー回路67を備えている。そして、kV期
間の終了時にkカウンタ68から出力されるカウント終
了パルスCFによって、タイマー回路67をセットす
る。そうすると、上記所定期間T2が経過した後に再び
kカウンタ68が動作され、再度kV期間において最適
な位相差発生回路が選択される。以後、この動作が繰り
返されて、上記所定期間T2が経過する毎に最適な位相
差発生回路が選択されるのである。
【0045】ところで、通常、上記タイマー回路67の
所定時間T2はスタート回路66の所定時間T1に比べ
て十分長い。これは、温度上昇や電源電圧の変動が瞬時
におこることはあり得ないためである。
【0046】上述のように、本実施の形態においては、
初期にkV期間において最適な位相差発生回路を選択し
た後に、タイマー回路67によって、さらに所定期間T
2が経過する毎に最適なクロック位相差発生回路を選択
するようにしている。したがって、A/Dコンバータ内
蔵CMOS型固体撮像装置の動作期間中に、温度上昇や
電源電圧の変動によって、上記センサ駆動パルス信号に
対する基本クロック信号ADCK1の最適な位相のずれ量が
変化した場合でも、常にノイズ成分の少ないディジタル
映像信号を出力することが可能になるのである。
【0047】尚、上記各実施の形態においては、上記セ
ンサ15へのセンサ駆動パルス信号の位相に対するA/
Dコンバータ14への基本クロック信号ADCK1の位相を
シフトするようにしている。しかしながら、基本クロッ
ク信号ADCK1の位相に対するセンサ駆動パルス信号の位
相をシフトしても一向に構わない。
【0048】また、上記各実施の形態においては、A/
Dコンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置の場合を例に
挙げて説明したが、一般的なディジタル・アナログ混載
型の半導体集積回路であっても適用できるのは言うまで
もない。
【0049】
【発明の効果】以上より明らかなように、この発明のデ
ィジタル・アナログ混載型の半導体集積回路は、アナロ
グ回路用の第1クロック信号とデジタル回路用の第2ク
ロック信号との何れか一方の位相を相対的に異なる値だ
けシフトする複数の位相シフト回路と、上記アナログ回
路で発生するノイズ成分を測定するノイズ測定回路を、
上記アナログ回路及びデジタル回路と同一半導体基板上
に備えたので、各位相シフト回路を順次選択した際に発
生する上記ノイズ成分を測定することによって、上記ノ
イズ成分を最小にする位相シフト回路を選定することが
可能になる。
【0050】したがって、製造段階で、各半導体集積回
路毎にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキが生じて
も、上記選定された位相シフト回路を固定的に選択する
ことによって、以後、上記アナログ回路で発生するノイ
ズ成分を最小に抑えることができる。
【0051】また、この発明の半導体集積回路は、選択
制御手段によって上記複数の位相シフト回路を順次入れ
換えて選択し、位相シフト設定手段によって、上記ノイ
ズ成分を最小にする位相シフト回路のみを固定的に選択
して位相シフト値を設定すれば、製造段階で、各半導体
集積回路毎にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキが生
じても、上記位相シフト値を設定した後は、上記アナロ
グ回路で発生するノイズ成分を最小に抑えることができ
る。
【0052】また、この発明の半導体集積回路は、上記
位相シフト回路の個数をk(k:正の整数)個とし、上記
ノイズ測定回路によって上記ノイズ成分をk回測定する
ようにすれば、上記複数の位相シフト回路の順次選択と
上記ノイズ成分の測定値読み出しとを同期させることが
できる。したがって、上記位相シフト回路の順次選択を
行う選択制御手段によって、上記ノイズ測定回路による
測定結果の読み出しを制御することができる。
【0053】また、この発明の半導体集積回路は、電源
が投入されてから安定動作になるための第1所定時間が
経過すると上記選択制御手段の動作を開始させる動作開
始制御手段を備えれば、上記ノイズ成分を最小にする位
相シフト回路を安定して選定することができる。
【0054】また、この発明の半導体集積回路は、上記
選択制御手段による上記位相シフト回路の順次選択が終
了してから第2所定時間を計時して上記選択制御手段を
動作させる計時手段を備えて、上記位相シフト回路の順
次選択を上記第2所定時間の間隔で繰り返し行うように
すれば、動作期間中に、温度上昇や電源電圧の変動によ
って、上記電源投入後に設定された位相シフト値にずれ
が生じても、常に、上記アナログ回路で発生するノイズ
成分を最小に抑えることができる。
【0055】また、この発明の半導体集積回路は、上記
アナログ回路を固体撮像素子アレイとし、上記ノイズ成
分を上記固体撮像素子アレイから出力される1水平有効
期間中の遮光された領域の映像信号に重畳されたノイズ
成分とし、上記選択制御手段による上記位相シフト回路
の順次選択を垂直期間に同期して行えば、上記固体撮像
素子アレイからの映像信号に重畳されたノイズ成分を最
小にするように、上記位相シフト値を設定することがで
きる。
【0056】したがって、製造段階で、各半導体集積回
路毎にトランジスタ特性や抵抗値にバラツキが生じて
も、上記位相シフト値が設定された後は、固体撮像素子
アレイからの映像信号に重畳されたノイズ成分を最小に
抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の半導体集積回路としてのA/Dコ
ンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置におけるブロック
図である。
【図2】 図1におけるクロック発生回路の具体的なブ
ロック図である。
【図3】 図1におけるA/Dコンバータからのディジ
タル映像信号のタイミング図である。
【図4】 図2とは異なるクロック発生回路のブロック
図である。
【図5】 図2及び図4とは異なるクロック発生回路の
ブロック図である。
【図6】 従来のA/Dコンバータ内蔵CMOS型固体
撮像装置のブロック図である。
【符号の説明】
11…A/Dコンバータ内蔵CMOS型固体撮像装置、 12…タイミングジェネレータ、 13,61…クロック発生回路、 14…A/Dコンバータ、 15…センサ、 16〜18,41〜43,62〜64…第1〜第kクロッ
ク位相差発生回路、 19,46,68…kカウンタ、 20,70…最大値保持回路、 21,71…最小値保持回路、 22〜24,52〜54,75〜77…第1〜第kレジス
タ、 25,55,78…比較回路、 26,56,79…選択回路、 27,50,73…ノイズ測定回路、 28,45,66…スタート回路、 30,72…減算器、 31,34,44,51,65,74…スイッチ群、 33,47,69…スイッチ、 48…メモリ、 49…σ2値計算回路、 67…タイマー回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 27/14 A

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1クロック信号に基づいて動作するア
    ナログ回路と、第1クロック信号と同じ周期の第2クロ
    ック信号に基づいて動作するデジタル回路とが、同一半
    導体基板上に形成された半導体集積回路において、 上記第1クロック信号および第2クロック信号の何れか
    一方の位相を他方の位相に対して異なる値だけ相対的に
    シフトする複数の位相シフト回路と、 上記アナログ回路で発生するノイズ成分を測定するノイ
    ズ測定回路を上記半導体基板上に備えたことを特徴とす
    る半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体集積回路におい
    て、 上記複数の位相シフト回路を順次入れ換えて選択する選
    択制御手段と、 上記夫々の位相シフト回路が選択された際に測定された
    上記ノイズ成分のうちの最小値を求め、上記ノイズ成分
    が最小値を呈した際に選択されていた位相シフト回路の
    みを固定的に選択して位相シフト値を設定する位相シフ
    ト設定手段を上記半導体基板上に備えたことを特徴とす
    る半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の半導体集積回路におい
    て、 上記複数の位相シフト回路の個数はk(k:正の整数)個
    であり、 上記ノイズ測定回路は、上記位相シフト回路の個数kに
    対応して上記ノイズ成分をk回の測定するようになって
    いることを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項2または請求項3に記載の半導体
    集積回路において、 電源が投入されてから第1所定時間が経過すると上記選
    択制御手段の動作を開始させる動作開始制御手段を備え
    たことを特徴とする半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の半導体集積回路におい
    て、 上記選択制御手段による上記位相シフト回路の順次選択
    が終了してから第2所定時間を計時し、上記第2所定時
    間が経過すると上記選択制御手段を動作させる計時手段
    を備えて、 上記位相シフト回路の順次選択を上記第2所定時間の間
    隔で繰り返し行うことを特徴とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項2乃至請求項5の何れか一つに記
    載の半導体集積回路において、 上記アナログ回路は固体撮像素子アレイであり、 上記ノイズ測定回路によって測定されるノイズ成分は、
    上記固体撮像素子アレイから出力される1水平有効期間
    中の遮光された領域の映像信号に重畳されたノイズ成分
    であり、 上記選択制御手段による上記位相シフト回路の順次選択
    は、垂直期間に同期して行われることを特徴とする半導
    体集積回路。
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