JP3430081B2 - 吸着ペン - Google Patents
吸着ペンInfo
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- JP3430081B2 JP3430081B2 JP29108199A JP29108199A JP3430081B2 JP 3430081 B2 JP3430081 B2 JP 3430081B2 JP 29108199 A JP29108199 A JP 29108199A JP 29108199 A JP29108199 A JP 29108199A JP 3430081 B2 JP3430081 B2 JP 3430081B2
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
- B25B11/007—Vacuum work holders portable, e.g. handheld
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程においてウエハ、またはウエハをペレット状に切断
したもの、或いはペレットを封止したＩＣパッケージ等
をハンドリングするために用いる吸着ペンに関するもの
である。 【０００２】 【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、ウエ
ハ、またはウエハをペレット状に切断したもの、或いは
ペレットを封止したＩＣパッケージ等をハンドリングす
るために吸着ペンが用いられている。 【０００３】従来例に係る吸着ペン（特開平６−１６３
６７２号公報参照）は図５に示すように、吸着口２１に
通路２２を介して連通するシリンダ２３と、ピストン２
４とを有している。 【０００４】ピストン２４は引張スプリング２５により
常時引張られる方向に付勢されており、ピストン２４が
引張りスプリング２５の引張り力で移動すると、シリン
ダ２３内に真空状態が生じるようになっている。 【０００５】ピストン２４のピストンロッド２６には、
ピストン２４を押し下げるハンドル２７と、押し下げた
状態に保つ爪２８ａと、爪２８ａに係止する爪２８ｂを
有しピストン２４の動きを規制するレバー２９，３０と
からなる制止ラチェット機構が設けられている。 【０００６】図５に示す従来例では、制止ラチェット機
構の押ボタン３１を押釦すると、交互に爪の係止、係止
解除を繰返し、ラチェットが歩進するようになってい
る。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら図５に示
す従来例では、シリンダ２３内に真空状態を作るために
ハンドル２７を押したり、解除したりするために吸着ペ
ンをもったまま、さらに親指または人差し指等で押ボタ
ン３１を押す必要があり、吸着ペンを持つという動作と
押ボタン３１を押すという動作とを片手または両手で同
時に行わなければならたいため、その操作性が悪いとい
う問題がある。 【０００８】この操作性が悪いという問題は、吸着する
対象物であるウエハ、またはウエハをペレット状に切断
したもの、或いはペレットを封止したＩＣパッケージ等
（以下、、吸着する対象物をワークという）の吸着ミ
ス、解除ミスにつながり、ワークを落下させ、その結
果、ワークを破損してしまうという不具合を発生させる
重大な欠陥につながっている。 【０００９】本発明の目的は、操作性を向上させ、その
操作性の向上により、ワーク破損を回避可能とした吸着
ペンを提供することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る吸着ペンは、吸着パッドとノック機構
とを有する吸着ペンであって、吸着パッドは、弁の閉弁
によりワークを吸着し、弁の開弁によりワークを解除す
るものであり、ノック機構は、回転ロック部、ロック動
作部および操作杆を有し、前記吸着パッドの基部はノズ
ルに固定され、ノズルは弁座を有し、ノズルにはシリン
ダが取り付けられ、シリンダにはロック動作部が固定さ
れており、前記操作杆は、吸着パッドを弾性変形させて
ワークに押当てるものであって、円筒状の形状を有し、
内周部にキーを備え、先端に弁が固定された弁棒を、操
作杆の円筒の内部に固定されたコイルスプリングにより
付勢して、回転ロック部を押すように保持するととも
に、シリンダ外周に設けられたスプリングによりノズル
から離間する方向に付勢されているものであり、 回転ロ
ック部とロック動作部は、操作杆の円筒の内部に位置
し、それぞれ爪部を有する円筒状の形状であり、各円筒
内の穴部に弁棒を通し、各爪部の外周には操作杆のキー
に対応してキー溝が設けられたものであり、 ロック動作
部の爪部のキー溝には操作杆のキーを常に嵌合させてお
くことにより、回転ロック部とロック動作部の円筒の外
周およびシリンダの外周で操作杆が長さ方向にのみ変位
するようにガイドし、操作杆の動作に同期して回転ロッ
ク部およびロック動作部の爪部の爪が噛合する位置と、
両爪部の爪が離れる位置とに位置変更するものであり、
吸着パッドがワークを吸着しているときは、回転ロック
部の爪部が操作杆のキー端縁に乗上げて両爪部の爪が離
れる位置にあって、スプリングにより操作杆及び回転ロ
ック部を介して弁棒が付勢されて、弁がノズルに取り付
けられた弁座に着座し、ワークを解除しているときは、
操作杆のキーが回転ロック部の爪部のキー溝に嵌合し、
両爪部の爪が噛合する位置にあって、弁棒がコイルスプ
リングにより付勢されて弁が弁座から離座しているもの
である。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。 【００１３】図１は、本発明の一実施形態に係る吸着ペ
ンを示す断面図、図２（ａ）は、本発明の一実施形態に
係る吸着ペンを分解して示す図、（ｂ）は、図２（ａ）
に示す操作杆を示すＡ−Ａ線断面図である。 【００１４】図に示す本発明の一実施形態に係る吸着ペ
ンは、吸着パッド１とノック機構５とを有しており、吸
着パッド１は弁６の閉弁によりワーク１４を吸着し、弁
６の開弁によりワーク１４を解除するものであり、ノッ
ク機構５は、吸着パッド１をワーク１４に押当てて弁６
を閉弁し、再度押当てて弁６を開弁するように構成した
ものである。 【００１５】具体的に説明すると、吸着パッド１は図１
に示すように、その基部がノズル２の鍔部２ｂに係止さ
れて吸着パッド１の先端側が漏斗状に開口しており、屈
曲部１ａで弾性変形することにより漏斗状吸着パッド１
の内容積が変化するようになっている。 【００１６】また吸着パッド１とノズル２には、吸着パ
ッド１内を大気側に開放する真空通路２ａが設けられて
おり、真空通路３には鍔弁座３が設けられている。さら
に吸着パッド１の漏斗状開口縁がワーク１４で閉塞され
た際（図４参照）に吸着パッド１内と大気との間を連
通、遮断する弁６が弁棒６ａに支持されて弁座３に開閉
可能に設けられている（図３及び図４参照）。 【００１７】ノック機構５は、吸着パッド１をワーク１
４に押当てて弁６を閉弁し（図４参照）、再度押当てて
前記弁を開弁する（図３参照）ようになっており、ノッ
ク機構５は、回転ロック部８及びロック動作部７と、操
作杆９とを有している。操作杆９は、吸着パッド１を弾
性変形させてワーク１４に押当てるようになっており、
回転ロック部８とロック動作部７は、弁６を開閉する弁
棒６ａをそれぞれの内部で通過させ、操作杆９の動作に
同期して相互の爪８ａ，７ａが噛合する位置（図３参
照）と、相互の爪８ａ，７ａが離れる位置（図４参照）
とに位置変更して、弁棒６ａを変位させることにより弁
６を開閉するようになっている。 【００１８】具体的に説明すると、ノズル２にはシリン
ダ４が取付けられ、シリンダ４に操作杆９が外装され、
操作杆９とノズル２との間がスプリング１２により連結
され、かつ操作杆９は、スプリング１２によりノズル２
から離間する方向（図１の上方）に付勢されている。し
たがって、吸着パッド１をワークにあてがい、操作杆９
をスプリング１２のバネ力に抗してノズル２側に下降さ
せると、スプリング１２が圧縮され、そのバネ力で吸着
パッド１がワークに押付けられて、吸着パッド１が弾性
変形するようになっている。 【００１９】ロック動作部７は、その軸部７ｂがシリン
ダ４内に嵌合固定されており、その円筒部７ｃの端縁に
は爪７ａが設けられ、円筒部７ｃの周面にはキー溝７ｄ
が設けられている。一方、操作杆９の内壁にはキー９ａ
が操作杆９の移動方向に沿って設けられており、操作杆
９のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌合し
て、操作杆９の回転が規制されている。 【００２０】回転ロック部８は、ロック動作部７の円筒
部７ｃ内に摺動可能に差込まれる軸部８ｂを有し、軸部
８ｂにはロック動作部７の円筒部７ｃに対向する円筒部
８ｃが設けられており、円筒部８ｃの端縁にはロック動
作部円筒部７ｃの爪７ａに噛合する爪８ａが設けられ、
円筒部８ｃの周面にはキー溝８ｄが設けられている。 【００２１】また弁６の弁棒６ａは、弁座３及びシリン
ダ４内を通過してロック動作部７及び回転ロック部８側
に延びており、回転ロック部８から突出た弁棒６ａの先
端側にはバネ座６ｃが設けられ、操作杆９に取付けたコ
イルスプリング１３のバネ力をバネ座６ｃに受けてい
る。また弁棒６ａは、回転ロック部８から突出た部分の
径が太くなって段差部６ｄが形成され、その段差部６ｄ
を回転ロック部８に係止してコイルスプリング１３のバ
ネ力を回転ロック部８に付与している。 【００２２】次に本発明の一実施形態に係る吸着ペンに
よりワーク１４を取扱う際の動作を説明する。 【００２３】本発明の一実施形態に係る吸着ペンにより
ワーク１４を吸着する場合には、図３に示すように回転
ロック部８のキー溝８ｄが操作杆９のキー９ａに嵌合す
るため、回転ロック部８は、コイルスプリング１３のバ
ネ力を受けて操作杆９のキー９ａをガイドとして爪８ａ
がロック動作部７の爪７ａに接触する位置まで下降す
る。この場合、弁棒６ａは、回転ロック部８が下降する
のに伴ってコイルスプリング１３のバネ力を受けて下方
に変位するため、弁６は弁棒６ａにより弁座３から引下
げられて離座し、真空通路２が開口されて吸着パッド１
内が大気に開放されている。 【００２４】上述した状態で吸着ペンの吸着パッド１を
ワーク１４にあてがい、操作杆９をスプリング１２のバ
ネ力に抗してノズル２側に下降させると、スプリング１
２が圧縮され、そのバネ力で吸着パッド１がワークに押
付けられて、吸着パッド１が弾性変形する。この場合、
操作杆９のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌
合して、操作杆９の回転が規制される。 【００２５】さらに回転ロック部８の爪８ａがロック動
作部７の爪７ａに噛合して回転ロック部８の下降が規制
されているため、操作杆９をスプリング１２のバネ力に
抗してノズル２側に下降させると、操作杆９のキー９ａ
は、ロック動作部７のキー溝７ｄをガイドとして下降し
て、回転ロック部８のキー溝８ｄから外れる。 【００２６】操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキ
ー溝８ｄから外れると、回転ロック部８は回転方向にフ
リーとなり、回転ロック部８はコイルスプリング１３の
下方向の力を受けて操作杆９とともに更に下降し、回転
ロック部８の爪８ａがロック動作部７の爪７ａにあたる
と回転ロック部８はロック動作部７の爪７ａの爪の形状
にガイドされて回転しながら下降し、回転ロック部８の
爪８ａがロック動作部７の爪７ａに噛合すると回転ロッ
ク部８の回転が止まる。この状態で回転ロック部８の爪
８ａは操作杆９のキー９ａの端部上に乗上げる。 【００２７】この状態において図４に示すように操作杆
９への外力を解除すると、スプリング１２により操作杆
９が押し上げられる。この場合、回転ロック部８の爪８
ａは操作杆９のキー９ａの端部上に乗上げているため、
操作杆９がスプリング１２により上昇するのに伴って回
転ロック部８が引上げられる。回転ロック部８が引上げ
られると、弁棒６ａが回転ロック部８により引き上げら
れて、弁６が弁座３に着座し、真空通路２ａが弁６によ
り閉塞されるため、吸着パッド１内が大気から遮断され
て真空状態となり、図４に示すようにワーク１４を吸着
パッド１に吸着する。この状態でワーク１４を必要な作
業場所に搬送する。 【００２８】ワーク１４を開放するには、ワーク１４を
作業台上に載置し、吸着パッド１を再度変形させて内部
の容量を縮小させつつ、再度スプリング１２を圧縮して
操作杆９をノズル２側に下降させる。 【００２９】操作杆９をスプリング１２のバネ力に抗し
てノズル２側に下降させると、スプリング１２が圧縮さ
れ、そのバネ力で吸着パッド１がワークに押付けられ
て、吸着パッド１が弾性変形する。この場合、操作杆９
のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌合して、
操作杆９の回転が規制される。 【００３０】操作杆９が下降すると、回転ロック部８は
コイルスプリング１３の下方向の力を受けて操作杆９と
ともに下降し、回転ロック部８の爪８ａがロック動作部
７の爪７ａにあたると回転ロック部８はロック動作部７
の爪７ａの爪の形状にガイドされて回転しながら下降
し、回転ロック部８の爪８ａがロック動作部７の爪７ａ
に噛合すると回転ロック部８の回転が止まる。この状態
で操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキー溝８ａに
差込み可能となり、操作杆９を更に下降させると、回転
ロック部８のキー溝８ｄに操作杆９のキー９ａが差込ま
れる。 【００３１】操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキ
ー溝８ｄに差込まれた状態において図３に示すように、
操作杆９への外力を解除すると、スプリング１２により
操作杆９が押し上げられる。この場合、回転ロック部８
のキー溝８ｄが操作杆９のキー９ａに差込まれるため、
操作杆９がスプリング１２により上昇するのに伴って回
転ロック部８はコイルスプリング１３のバネ力を下方に
向けて受けるため、回転ロック部８の爪８ａがロック動
作部７の爪７ａに噛合する。この場合、弁棒６ａが回転
ロック部８により引き上げられることがないため、図３
に示すように弁６が弁座３に引き離され、真空通路２ａ
が開放されるため、吸着パッド１内が大気状態となり、
ワーク１４が吸着パッド１から切離される。 【００３２】図３と図４に示す動作を繰返して行うこと
により、ワーク１４の吸着及び解除の作業を行う。 【００３３】なお、本発明の実施形態では、吸着パッド
１の変形により吸着パッド１内を真空状態にしたが、吸
着パッド１内を真空引き装置により真空に引いてもよい
ものである。 【００３４】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ノ
ック機構を利用してワークの吸着とワークの解除とを順
次切替えて行うように構成したため、吸着ペンの吸着パ
ッドをワークに押し当てる以外に何の操作を行うことな
く、ワークの吸着及び解除をワンタッチで行うことがで
き、その操作性を向上させることができる。 【００３５】したがって、従来のように吸着ペンをもっ
たまま親指または人差し指等で押ボタンを押す必要がな
く、吸着ペンをもったままワークの吸着及び解除を行う
ことができ、吸着ミスまたは解除ミスをなくして、ワー
クの落下を防止することができる。
工程においてウエハ、またはウエハをペレット状に切断
したもの、或いはペレットを封止したＩＣパッケージ等
をハンドリングするために用いる吸着ペンに関するもの
である。 【０００２】 【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、ウエ
ハ、またはウエハをペレット状に切断したもの、或いは
ペレットを封止したＩＣパッケージ等をハンドリングす
るために吸着ペンが用いられている。 【０００３】従来例に係る吸着ペン（特開平６−１６３
６７２号公報参照）は図５に示すように、吸着口２１に
通路２２を介して連通するシリンダ２３と、ピストン２
４とを有している。 【０００４】ピストン２４は引張スプリング２５により
常時引張られる方向に付勢されており、ピストン２４が
引張りスプリング２５の引張り力で移動すると、シリン
ダ２３内に真空状態が生じるようになっている。 【０００５】ピストン２４のピストンロッド２６には、
ピストン２４を押し下げるハンドル２７と、押し下げた
状態に保つ爪２８ａと、爪２８ａに係止する爪２８ｂを
有しピストン２４の動きを規制するレバー２９，３０と
からなる制止ラチェット機構が設けられている。 【０００６】図５に示す従来例では、制止ラチェット機
構の押ボタン３１を押釦すると、交互に爪の係止、係止
解除を繰返し、ラチェットが歩進するようになってい
る。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら図５に示
す従来例では、シリンダ２３内に真空状態を作るために
ハンドル２７を押したり、解除したりするために吸着ペ
ンをもったまま、さらに親指または人差し指等で押ボタ
ン３１を押す必要があり、吸着ペンを持つという動作と
押ボタン３１を押すという動作とを片手または両手で同
時に行わなければならたいため、その操作性が悪いとい
う問題がある。 【０００８】この操作性が悪いという問題は、吸着する
対象物であるウエハ、またはウエハをペレット状に切断
したもの、或いはペレットを封止したＩＣパッケージ等
（以下、、吸着する対象物をワークという）の吸着ミ
ス、解除ミスにつながり、ワークを落下させ、その結
果、ワークを破損してしまうという不具合を発生させる
重大な欠陥につながっている。 【０００９】本発明の目的は、操作性を向上させ、その
操作性の向上により、ワーク破損を回避可能とした吸着
ペンを提供することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る吸着ペンは、吸着パッドとノック機構
とを有する吸着ペンであって、吸着パッドは、弁の閉弁
によりワークを吸着し、弁の開弁によりワークを解除す
るものであり、ノック機構は、回転ロック部、ロック動
作部および操作杆を有し、前記吸着パッドの基部はノズ
ルに固定され、ノズルは弁座を有し、ノズルにはシリン
ダが取り付けられ、シリンダにはロック動作部が固定さ
れており、前記操作杆は、吸着パッドを弾性変形させて
ワークに押当てるものであって、円筒状の形状を有し、
内周部にキーを備え、先端に弁が固定された弁棒を、操
作杆の円筒の内部に固定されたコイルスプリングにより
付勢して、回転ロック部を押すように保持するととも
に、シリンダ外周に設けられたスプリングによりノズル
から離間する方向に付勢されているものであり、 回転ロ
ック部とロック動作部は、操作杆の円筒の内部に位置
し、それぞれ爪部を有する円筒状の形状であり、各円筒
内の穴部に弁棒を通し、各爪部の外周には操作杆のキー
に対応してキー溝が設けられたものであり、 ロック動作
部の爪部のキー溝には操作杆のキーを常に嵌合させてお
くことにより、回転ロック部とロック動作部の円筒の外
周およびシリンダの外周で操作杆が長さ方向にのみ変位
するようにガイドし、操作杆の動作に同期して回転ロッ
ク部およびロック動作部の爪部の爪が噛合する位置と、
両爪部の爪が離れる位置とに位置変更するものであり、
吸着パッドがワークを吸着しているときは、回転ロック
部の爪部が操作杆のキー端縁に乗上げて両爪部の爪が離
れる位置にあって、スプリングにより操作杆及び回転ロ
ック部を介して弁棒が付勢されて、弁がノズルに取り付
けられた弁座に着座し、ワークを解除しているときは、
操作杆のキーが回転ロック部の爪部のキー溝に嵌合し、
両爪部の爪が噛合する位置にあって、弁棒がコイルスプ
リングにより付勢されて弁が弁座から離座しているもの
である。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。 【００１３】図１は、本発明の一実施形態に係る吸着ペ
ンを示す断面図、図２（ａ）は、本発明の一実施形態に
係る吸着ペンを分解して示す図、（ｂ）は、図２（ａ）
に示す操作杆を示すＡ−Ａ線断面図である。 【００１４】図に示す本発明の一実施形態に係る吸着ペ
ンは、吸着パッド１とノック機構５とを有しており、吸
着パッド１は弁６の閉弁によりワーク１４を吸着し、弁
６の開弁によりワーク１４を解除するものであり、ノッ
ク機構５は、吸着パッド１をワーク１４に押当てて弁６
を閉弁し、再度押当てて弁６を開弁するように構成した
ものである。 【００１５】具体的に説明すると、吸着パッド１は図１
に示すように、その基部がノズル２の鍔部２ｂに係止さ
れて吸着パッド１の先端側が漏斗状に開口しており、屈
曲部１ａで弾性変形することにより漏斗状吸着パッド１
の内容積が変化するようになっている。 【００１６】また吸着パッド１とノズル２には、吸着パ
ッド１内を大気側に開放する真空通路２ａが設けられて
おり、真空通路３には鍔弁座３が設けられている。さら
に吸着パッド１の漏斗状開口縁がワーク１４で閉塞され
た際（図４参照）に吸着パッド１内と大気との間を連
通、遮断する弁６が弁棒６ａに支持されて弁座３に開閉
可能に設けられている（図３及び図４参照）。 【００１７】ノック機構５は、吸着パッド１をワーク１
４に押当てて弁６を閉弁し（図４参照）、再度押当てて
前記弁を開弁する（図３参照）ようになっており、ノッ
ク機構５は、回転ロック部８及びロック動作部７と、操
作杆９とを有している。操作杆９は、吸着パッド１を弾
性変形させてワーク１４に押当てるようになっており、
回転ロック部８とロック動作部７は、弁６を開閉する弁
棒６ａをそれぞれの内部で通過させ、操作杆９の動作に
同期して相互の爪８ａ，７ａが噛合する位置（図３参
照）と、相互の爪８ａ，７ａが離れる位置（図４参照）
とに位置変更して、弁棒６ａを変位させることにより弁
６を開閉するようになっている。 【００１８】具体的に説明すると、ノズル２にはシリン
ダ４が取付けられ、シリンダ４に操作杆９が外装され、
操作杆９とノズル２との間がスプリング１２により連結
され、かつ操作杆９は、スプリング１２によりノズル２
から離間する方向（図１の上方）に付勢されている。し
たがって、吸着パッド１をワークにあてがい、操作杆９
をスプリング１２のバネ力に抗してノズル２側に下降さ
せると、スプリング１２が圧縮され、そのバネ力で吸着
パッド１がワークに押付けられて、吸着パッド１が弾性
変形するようになっている。 【００１９】ロック動作部７は、その軸部７ｂがシリン
ダ４内に嵌合固定されており、その円筒部７ｃの端縁に
は爪７ａが設けられ、円筒部７ｃの周面にはキー溝７ｄ
が設けられている。一方、操作杆９の内壁にはキー９ａ
が操作杆９の移動方向に沿って設けられており、操作杆
９のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌合し
て、操作杆９の回転が規制されている。 【００２０】回転ロック部８は、ロック動作部７の円筒
部７ｃ内に摺動可能に差込まれる軸部８ｂを有し、軸部
８ｂにはロック動作部７の円筒部７ｃに対向する円筒部
８ｃが設けられており、円筒部８ｃの端縁にはロック動
作部円筒部７ｃの爪７ａに噛合する爪８ａが設けられ、
円筒部８ｃの周面にはキー溝８ｄが設けられている。 【００２１】また弁６の弁棒６ａは、弁座３及びシリン
ダ４内を通過してロック動作部７及び回転ロック部８側
に延びており、回転ロック部８から突出た弁棒６ａの先
端側にはバネ座６ｃが設けられ、操作杆９に取付けたコ
イルスプリング１３のバネ力をバネ座６ｃに受けてい
る。また弁棒６ａは、回転ロック部８から突出た部分の
径が太くなって段差部６ｄが形成され、その段差部６ｄ
を回転ロック部８に係止してコイルスプリング１３のバ
ネ力を回転ロック部８に付与している。 【００２２】次に本発明の一実施形態に係る吸着ペンに
よりワーク１４を取扱う際の動作を説明する。 【００２３】本発明の一実施形態に係る吸着ペンにより
ワーク１４を吸着する場合には、図３に示すように回転
ロック部８のキー溝８ｄが操作杆９のキー９ａに嵌合す
るため、回転ロック部８は、コイルスプリング１３のバ
ネ力を受けて操作杆９のキー９ａをガイドとして爪８ａ
がロック動作部７の爪７ａに接触する位置まで下降す
る。この場合、弁棒６ａは、回転ロック部８が下降する
のに伴ってコイルスプリング１３のバネ力を受けて下方
に変位するため、弁６は弁棒６ａにより弁座３から引下
げられて離座し、真空通路２が開口されて吸着パッド１
内が大気に開放されている。 【００２４】上述した状態で吸着ペンの吸着パッド１を
ワーク１４にあてがい、操作杆９をスプリング１２のバ
ネ力に抗してノズル２側に下降させると、スプリング１
２が圧縮され、そのバネ力で吸着パッド１がワークに押
付けられて、吸着パッド１が弾性変形する。この場合、
操作杆９のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌
合して、操作杆９の回転が規制される。 【００２５】さらに回転ロック部８の爪８ａがロック動
作部７の爪７ａに噛合して回転ロック部８の下降が規制
されているため、操作杆９をスプリング１２のバネ力に
抗してノズル２側に下降させると、操作杆９のキー９ａ
は、ロック動作部７のキー溝７ｄをガイドとして下降し
て、回転ロック部８のキー溝８ｄから外れる。 【００２６】操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキ
ー溝８ｄから外れると、回転ロック部８は回転方向にフ
リーとなり、回転ロック部８はコイルスプリング１３の
下方向の力を受けて操作杆９とともに更に下降し、回転
ロック部８の爪８ａがロック動作部７の爪７ａにあたる
と回転ロック部８はロック動作部７の爪７ａの爪の形状
にガイドされて回転しながら下降し、回転ロック部８の
爪８ａがロック動作部７の爪７ａに噛合すると回転ロッ
ク部８の回転が止まる。この状態で回転ロック部８の爪
８ａは操作杆９のキー９ａの端部上に乗上げる。 【００２７】この状態において図４に示すように操作杆
９への外力を解除すると、スプリング１２により操作杆
９が押し上げられる。この場合、回転ロック部８の爪８
ａは操作杆９のキー９ａの端部上に乗上げているため、
操作杆９がスプリング１２により上昇するのに伴って回
転ロック部８が引上げられる。回転ロック部８が引上げ
られると、弁棒６ａが回転ロック部８により引き上げら
れて、弁６が弁座３に着座し、真空通路２ａが弁６によ
り閉塞されるため、吸着パッド１内が大気から遮断され
て真空状態となり、図４に示すようにワーク１４を吸着
パッド１に吸着する。この状態でワーク１４を必要な作
業場所に搬送する。 【００２８】ワーク１４を開放するには、ワーク１４を
作業台上に載置し、吸着パッド１を再度変形させて内部
の容量を縮小させつつ、再度スプリング１２を圧縮して
操作杆９をノズル２側に下降させる。 【００２９】操作杆９をスプリング１２のバネ力に抗し
てノズル２側に下降させると、スプリング１２が圧縮さ
れ、そのバネ力で吸着パッド１がワークに押付けられ
て、吸着パッド１が弾性変形する。この場合、操作杆９
のキー９ａがロック動作部７のキー溝７ｄに嵌合して、
操作杆９の回転が規制される。 【００３０】操作杆９が下降すると、回転ロック部８は
コイルスプリング１３の下方向の力を受けて操作杆９と
ともに下降し、回転ロック部８の爪８ａがロック動作部
７の爪７ａにあたると回転ロック部８はロック動作部７
の爪７ａの爪の形状にガイドされて回転しながら下降
し、回転ロック部８の爪８ａがロック動作部７の爪７ａ
に噛合すると回転ロック部８の回転が止まる。この状態
で操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキー溝８ａに
差込み可能となり、操作杆９を更に下降させると、回転
ロック部８のキー溝８ｄに操作杆９のキー９ａが差込ま
れる。 【００３１】操作杆９のキー９ａが回転ロック部８のキ
ー溝８ｄに差込まれた状態において図３に示すように、
操作杆９への外力を解除すると、スプリング１２により
操作杆９が押し上げられる。この場合、回転ロック部８
のキー溝８ｄが操作杆９のキー９ａに差込まれるため、
操作杆９がスプリング１２により上昇するのに伴って回
転ロック部８はコイルスプリング１３のバネ力を下方に
向けて受けるため、回転ロック部８の爪８ａがロック動
作部７の爪７ａに噛合する。この場合、弁棒６ａが回転
ロック部８により引き上げられることがないため、図３
に示すように弁６が弁座３に引き離され、真空通路２ａ
が開放されるため、吸着パッド１内が大気状態となり、
ワーク１４が吸着パッド１から切離される。 【００３２】図３と図４に示す動作を繰返して行うこと
により、ワーク１４の吸着及び解除の作業を行う。 【００３３】なお、本発明の実施形態では、吸着パッド
１の変形により吸着パッド１内を真空状態にしたが、吸
着パッド１内を真空引き装置により真空に引いてもよい
ものである。 【００３４】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ノ
ック機構を利用してワークの吸着とワークの解除とを順
次切替えて行うように構成したため、吸着ペンの吸着パ
ッドをワークに押し当てる以外に何の操作を行うことな
く、ワークの吸着及び解除をワンタッチで行うことがで
き、その操作性を向上させることができる。 【００３５】したがって、従来のように吸着ペンをもっ
たまま親指または人差し指等で押ボタンを押す必要がな
く、吸着ペンをもったままワークの吸着及び解除を行う
ことができ、吸着ミスまたは解除ミスをなくして、ワー
クの落下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る吸着ペンを示す断面
図である。 【図２】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る吸着ペン
を分解して示す図、（ｂ）は、図２（ａ）に示す操作杆
を示すＡ−Ａ線断面図である。 【図３】本発明の一実施形態に係る吸着ペンの動作を示
す図であって、ワークの解除状態を示す断面図である。 【図４】本発明の一実施形態に係る吸着ペンの動作を示
す図であって、ワークの吸着状態を示す断面図である。 【図５】従来例に係る吸着ペンを示す断面図である。 【符号の説明】 １ 吸着パッド ２ ノズル ３ 弁座 ４ シリンダ ５ ノック機構 ６ 弁 ６ａ 弁棒 ７ ロック動作部 ８ 回転ロック部 ９ 操作杆
図である。 【図２】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る吸着ペン
を分解して示す図、（ｂ）は、図２（ａ）に示す操作杆
を示すＡ−Ａ線断面図である。 【図３】本発明の一実施形態に係る吸着ペンの動作を示
す図であって、ワークの解除状態を示す断面図である。 【図４】本発明の一実施形態に係る吸着ペンの動作を示
す図であって、ワークの吸着状態を示す断面図である。 【図５】従来例に係る吸着ペンを示す断面図である。 【符号の説明】 １ 吸着パッド ２ ノズル ３ 弁座 ４ シリンダ ５ ノック機構 ６ 弁 ６ａ 弁棒 ７ ロック動作部 ８ 回転ロック部 ９ 操作杆
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B25J 15/06
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 吸着パッドとノック機構とを有する吸着
ペンであって、吸 着パッドは、弁の閉弁によりワークを吸着し、弁の開
弁によりワークを解除するものであり、ノ ック機構は、回転ロック部、ロック動作部および操作
杆を有し、前記吸着パッドの基部はノズルに固定され、ノズルは弁
座を有し、ノズルにはシリンダが取り付けられ、シリン
ダにはロック動作部が固定されており、 前記操作杆は、吸着パッドを弾性変形させてワークに押
当てるものであって、円筒状の形状を有し、内周部にキ
ーを備え、先端に弁が固定された弁棒を、操作杆の円筒
の内部に固定されたコイルスプリングにより付勢して、
回転ロック部を押すように保持するとともに、シリンダ
外周に設けられたスプリングによりノズルから離間する
方向に付勢されているものであり、 回 転ロック部とロック動作部は、操作杆の円筒の内部に
位置し、それぞれ爪部を有する円筒状の形状であり、各
円筒内の穴部に弁棒を通し、各爪部の外周には操作杆の
キーに対応してキー溝が設けられたものであり、 ロック動作部の爪部のキー溝には操作杆のキーを常に嵌
合させておくことにより、回転ロック部とロック動作部
の円筒の外周およびシリンダの外周で操作杆が長さ方向
にのみ変位するようにガイドし、操作杆の動作に同期し
て回転ロック部およびロック動作部との爪部の爪が噛合
する位置と、両爪部の爪が離れる位置とに位置変更する
ものであり、 吸 着パッドがワークを吸着しているときは、回転ロック
部の爪部が操作杆のキー端縁に乗上げて相互の爪が離れ
る位置にあって、スプリングにより操作杆及び回転ロッ
ク部を介して弁棒が付勢されて、弁がノズルに取り付け
られた弁座に着座し、 ワークを解除しているときは、操作杆のキーが回転ロッ
ク部の爪部のキー溝に嵌合し、両爪部の爪が噛合する位
置にあって、弁棒がコイルスプリングにより付勢されて
弁が弁座から離座しているものであることを特徴とする
吸着ペン。
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