KR20010050978A - 동작성이 개선된 흡착 펜 - Google Patents

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KR20010050978A
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Abstract

본 발명의 목적은 물품(article)을 흡착 및 배출하는 흡착 펜(pen)을 제공하는 것으로서, 바디와, 상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형이 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 적어도 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 포함하고, 상기 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와, 상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과, 상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가할 때에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크(knock) 메커니즘을 포함하고 있다.

Description

동작성이 개선된 흡착 펜{Adsorption pen improved in operability}
본 발명은 흡착 펜(pen)에 관한 것으로서, 특히, 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지를 조절하는 동작성이 개선된 흡착 펜에 관한 것이다.
여러 반도체 장치의 제조 공정에서, 흡착 펜은 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지를 조절하는데 사용된다. 일본국 특개평6-163672호 공보에서, 이하와 같은 구조를 갖는 종래의 흡착 펜이 개시되어 있다. 도 1은 상기 공보에 개시된 종래의 흡착 펜의 단면도이다. 상기 종래의 흡착 펜은 바디(300)와 상기 바디(300)로부터 연장된 헤드(400)를 구비한다. 상기 헤드(400)는 흡착될 객체와 접촉하고 있는 흡착부(21)를 구비하고 있다. 상기 바디(300)는 상기 헤드(400) 내의 통로로부터 흡착부(21)까지 접속된 실린더(23)를 구비하고 있다. 상기 실린더(23)는 피스톤(24)과, 피드톤 로드(26)와, 수축 스프링(25)을 구비하고 있다. 상기 피스톤(24)의 제1의 면(face)은 상기 통로(22)와 상기 흡착부(21)를 향하고 있고, 상기 피스톤(24)의 제2의 면은 상기 피스톤 로드(26)와 접속되어 있다. 상기 수축 스프링(25)은 상기 피스톤(24)의 제2의 면에 고정된 제1의 엔드(end) 및 상기 실린더(23)의 저부 엔드에 고정된 제2의 엔드를 구비하고 있다. 상기 수축 스프링(25)은 상기 피스톤(24)을 상기 실린더(23)의 저부 엔드를 향해 힘을 가하는 수축력을 제공한다. 상기 바디(300)는 한 쌍의 래칫 스토퍼(28a), 한 쌍의 레버(29) 및 단일의 푸시 버튼(31)을 포함하는 래칫 스토퍼 메커니즘을 또한 포함한다. 상기 래칫 스토퍼(28a) 각각은 상기 피스톤 로드(26)에 평행인 복수의 래칫으로 이루어져 있다. 상기 래칫 스토퍼(28a) 각각은 상기 래칫 스토퍼(28a)가 상기 피스톤(24)에 고정된 상기 피스톤 로드(26)에 대한 커플링 운동을 하도록 상기 피스톤(24)에 고정된 상기 피스톤 로드(26)에 접속되어 있다. 상기 레버(29) 각각은 푸시 버튼(31)에 접속된 제1의 엔드와, 푸시 버튼(31)이 눌려지지 않는 경우에 래칫 스토퍼(28a)의 복수의 래칫의 어느 하나와 연동되는 래칫(28b)을 구비하는 제2의 엔드를 구비하여, 수축 스프링(25)이 실린더(23)의 저부 엔드를 향해 피스톤(24)에 힘을 가하는 수축력을 계속 제공하더라도, 레버(29)의 래칫(28b)과 래칫 스토퍼(28a)의 연동으로 인해 실린더(23)의 저부를 향하는 실린더(24)에 고정된 피스톤 로드(26)의 이동을 중단시킨다. 푸시버튼(31)이 눌려지면, 레버(29)의 래칫(28b)은 래칫 스토퍼(28a)의 래칫으로부터 풀려, 수축 스프링(25)에 의한 수축력에 의해 피스톤(24)에 고정된 피스톤 로드(26)가 실린더(23)의 저부를 향해 이동하도록 하여, 실린더(23)의 내벽과 피스톤(24)의 제1의 면(face)에 의해 구획된 원통형의 내부 공간이 형성되고, 따라서, 흡착부(21), 통로(22) 및 원통형 내부 공간은 진공상태가 된다. 푸시 버튼(31)을 한번 누르면, 레버(29)와 접속된 래칫(28a)으로부터 래칫 스토퍼(28a)의 래칫의 하나가 풀려지고, 그에 따라, 수축 스프링(25)에 의한 수축력에 의해 피스톤 로드(26)와 피스톤(24)을 실린더(23)의 저부 엔드를 향해 이동시키지만 그 후에 자동적으로 래칫 스토퍼(28a)의 다음의 래칫 하나가 레버(29)에 접속된 래칫(28b)과 연동되고, 그에 따라, 피스톤 로드(26)와 피스톤(24)의 이동을 정지시킨다. 또한, 바디(300)는 흡착 펜을 조절하는 저부에 핸들(27)을 구비하고 있다.
종래의 흡착 펜은 이하의 관점에서 양호하지 못하다. 즉, 사용자가 핸들을 잡고 또한 푸시 버튼(31)을 눌러 종래의 흡착 펜을 동작시킬 필요성이 있다. 상기와 같은 이유로, 종래의 흡착 펜은 동작성이 불량하다. 상기와 같은 동작성에 있어서의 단점은 흡착시에 종래의 흡착 펜의 오동작을 야기하여 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 구비한 IC 패키지와 같은 흡착되는 대상을 풀어 놓는다. 상기 대상은 이후에 물품(work)이라고 한다. 일단 종래의 흡착펜이 흡착시에 오동작하여 가공물을 배출하면 물품은 떨어져 파괴될 수 있다.
전술한 것을 고려하여, 전술한 문제로부터 신규의 흡착 펜을 개발할 필요성이 대두되었다.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제로부터 신규의 흡착 펜(pen)을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 동적성이 편리한 신규의 흡착 펜을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 물품을 흡착 및 배출하는 흡착 펜(pen)은 바디와, 상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형이 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 적어도 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 포함하고, 상기 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와, 상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과, 상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가할 때에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 포함하고 있다.
본 발명의 제1의 특징에 따른 물품을 흡착 및 배출하는 흡착기구는, 접촉 헤드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉되는 접촉 헤드와, 상기 접촉 헤드와 결합된 바디와, 상기 접촉 헤드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록, 상기 물품을 향해 상기 바디로 미는힘(pushing force)을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘으로부터 자유롭게 하는 양쪽 모두의 동작중에는 대기압으로부터 상기 내부 공간의 내압을 감소시키고 또한 상기 접촉 헤드가 상기 물품을 흡착하도록 상기 바디에 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는 상기 내부 공간의 상기 내압을 대기압으로 되돌리는 상기 흡착 기구 내에 설치된 압력 조절기를 포함하고 있다.
상기에서, 상기 흡착기구가 펜(pen)의 형상으로 되어 있으면 양호하다.
또한, 상기 접촉 헤드는 상기 내부 공간의 체적을 감소키도록 변형 가능하여 상기 물품을 향해 상기 바디로의 상기 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 상기 내압을 감소시키는 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 적어도 구비하는 흡착 패드를 구비하면 양호하다.
또한, 상기 압력 조절기는 상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과, 상기 접촉 헤드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는, 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 헤드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는, 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 더 포함하면 양호하다.
또한, 상기 밸브 메커니즘은 상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와, 상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와, 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하도록, 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되고 상기 밸브와 경계를 이루는 밸브 로드를 더 포함하면 양호하다.
또한, 상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비하는 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고, 상기 노크 메커니즘은, 상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으며, 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비하고 있는 회전 록 부재와, 상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하고 있는 록 동작 부재와, 상기 접촉 헤드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 접촉 헤드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와, 상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 더 포함하면 양호하다.
상기 흡착기구는 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지 중의 어느 하나에 해당하는 물품을 흡착 및 배출하는데 사용될 수 있고 상기 흡착기구는 전술한 구조와 동일한 구조를 갖고 있다.
본 발명의 제2의 특징에 따른 물품을 흡착 및 배출하는 흡착기구에 있어서, 바디와, 상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 적어도 포함하고, 상기 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하는 물품과 밀접하게 접하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와, 상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록, 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘으로부터 자유롭게 하는 두 동작 중에는, 대기압으로부터 상기 내부 공간의 상기 내압을 감소시키고, 또한 상기 흡착 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는, 상기 내부 공간의 상기 내부 공간의 상기 내압을 대기압으로 되돌리는 상기 흡착 기구내에 설치된 압력 조절기를 포함하고 있다.
상기 흡착기구가 펜의 형상으로 되면 양호하다.
또한, 상기 압력 조절기는 상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과, 상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘의 재 인가시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 더 포함하면 양호하다.
또한, 상기 밸브 메커니즘은 상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와, 상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와, 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고, 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하게 하도록, 상기 밸브와 경계를 이루며 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되는 밸브 로드를 더 포함하면 양호하다.
또한, 상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비한 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고, 상기 노크 메커니즘은, 상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으면서 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비한 회전 록 부재와, 상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하는 록 동작 부재와, 상기 흡착 패드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 흡착 패드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와, 상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록, 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 포함하면 양호하다.
본 발명의 제3의 특징에 따른 물품을 흡착 및 배출하는 흡착 펜(pen)에 있어서, 바디와, 상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형이 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 적어도 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 포함하고, 상기 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와, 상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과, 상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가할 때에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 더 포함하고 있다.
또한, 상기 밸브 메커니즘은 상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와, 상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와, 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고, 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하게 하도록, 상기 밸브와 경계를 이루며 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되는 밸브 로드를 더 포함하면 양호하다.
또한, 상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비한 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고, 상기 노크 메커니즘은, 상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으면서 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비하고 있으면서, 상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 받아들이는 복수의 제1의 키 그루브와 적어도 제1의 래칫을 포함하는 회전 록 부재와, 상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하는 록 동작 부재와, 상기 흡착 패드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 흡착 패드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와, 상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와, 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 포함하면 양호하다.
도 1은 종래의 흡착 펜을 도시하는 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 양호한 실시예에 따른 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도.
도 3의 a는 도 2의 신규의 흡착 펜의 분해된 부품을 도시하는 단면도이고, 도 3의 b는 도 3의 a에 도시된 신규의 흡착 펜의 일부로서 원통형의 동작 밀폐부재를 도시하는 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 신규의 흡착 펜의 동작을 설명하기 위해 가공물을 배출하는 배출상태에 놓인 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도.
도 5는 도 2에 도시된 신규의 흡착 펜의 동작을 설명하기 위해 가공물을 흡착하는 흡착상태에 있는 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도.
본 발명에 따른 제1의 실시예는 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 기술될 것이다. 도 2는 본 발명에 따른 양호한 실시예의 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도이다. 도 3의 a는 도 2의 신규의 흡착 펜의 분해된 부품을 도시하는 단면도이고, 도 3의 b는 도 3의 a에 도시된 신규의 흡착 펜의 일부로서 원통형의 동작 밀폐부재를 도시하는 단면도이다. 도 4는 도 2에 도시된 신규의 흡착 펜의 동작을 설명하기 위해 가공물을 배출하는 배출상태에 놓인 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도이다. 도 5는 도 2에 도시된 신규의 흡착 펜의 동작을 설명하기 위해 가공물을 흡착하는 흡착상태에 있는 신규의 흡착 펜을 도시하는 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 신규의 흡착 펜은 바디(100) 및 헤드(200)를 포함한다. 상기 바디(100)는 노크 메커니즘(5)을 포함한다. 상기 헤드(200)는 흡착패드(1)와 밸브(6)를 포함한다. 상기 밸브(6)가 폐쇄상태에 놓여지는 경우에는 흡착패드(1)는 물품을 흡착한다. 밸브(6)가 개방상태에 놓여지는 경우에는 흡착패드(1)는 물품을 배출한다. 노크 메커니즘(5)은 노크 로드(6a)를 통해 밸브(6)까지 접속되어 있다. 먼저, 흡착패드(1)가 물품과 단단히 접촉하여 물품을 밀고, 노크 메커니즘(5)이 밸브(6)를 개방상태로 놓고 흡착패드(1)가 상기 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 감소하도록 변형된 후 물품을 향해 바디(100)에 인가된 외력은 계속되지 않고, 노크 메커니즘(5)은 밸브(6)를 폐쇄상태로 놓으며 또한 흡착패드(1)가 상기 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 증가시키도록 원래의 형태로 복귀하고, 그에 따라 흡착패드(1)의 내압을 감소시키고, 흡착패드(1)는 물품을 흡착하게 된다. 또한, 흡착패드(1)가 다시 물품을 밀면 노크 메커니즘(5)이 밸브(6)를 개방상태로 놓고, 흡착패드(1)의 내압이 대기압으로 복귀하여 흡착패드(1)가 물품을 배출한다. 즉, 물품을 향해 흡착 펜(pen)을 미는 동작과 흡착 펜을 자유롭게 하는 동작을 교대로 함으로써 노크 메커니즘(5)이 상기 폐쇄상태와 개방상태 사이에서 밸브(6)를 스위칭하여 흡착패드(1)가 물품을 흡착 및 배출하도록 한다.
신규의 흡착 펜의 구조에 관한 상세한 기술이 이루어 질 것이다. 헤드(200)는 흡착패드(1)와 노즐(2)을 포함하고, 상기 노즐(2)은 노크 메커니즘(5)을 포함하는 바디의 제1의 엔드(end)에 고정된 베이스부(base portion)의 기능을 하고, 흡착패드(1)는 상기 노즐(2)에 의해 지지되어 물품과 직접 접촉하게 된다. 상기 흡착패드(1)는 물품과 직접 접촉하게 되는 원뿔형으로 퍼진(conically-spread) 접촉부 및 노즐(2)에 흡착패드(1)를 고정하도록 노즐(2)의 방사상으로 확장된 림(rim)(2b)과 단단히 연동하는 베이스부를 포함할 뿐만 아니라 상기 베이스부와 상기 원뿔형으로 퍼진 접촉부 사이의 굽힘 및 수축 가능한 탄성부를 포함하고 있다. 흡착패드(1)가 물품과 단단히 접하게 되어 물품을 미는 경우에는 흡착패드(1)의 굽힘 및 수축 가능한 탄성부(1a)는 탄성적으로 변형되어 구부러지며 수축되어 흡착패드(1)의 내부 체적을 감소시킨다. 바디(100)의 내부 공간은 패시지(2a)를 통해 헤드의 내부 공간까지 접속되어 있고, 밸브 로드(6a)는 패시지(2a)를 통해 연장된다. 시트(3)는 패시지(2a)의 제1의 엔드에 제공되어 있고, 시트(3)는 밸브 로드(6a)가 연장되는 통로인 개구를 포함한다. 만일, 밸브(6)가 시트(3)와 단단히 접촉하게 된다면, 밸브(6)는 폐쇄상태로 놓여지고, 흡착패드(1)의 내부 공간은 노크 메커니즘(5)을 포함하는 바디(100)의 내부 공간에 접속되는 패시지(2a)로부터 분리된다. 만일, 밸브(6)가 시트(3)로부터 분리된다면, 밸브(6)는 개방상태로 놓여지고, 흡착패드(1)의 내부 공간은 노크 메커니즘(5)을 포함하는 바디(100)의 내부 공간에 접속되어 있는 패시지(2a)로 접속된다.
전술한 바와 같이, 먼저, 흡착패드(1)가 물품과 단단히 접촉하게 되어 물품을 밀고, 노크 메커니즘(5)은 밸브(6)를 개방상태로 놓고 흡착패드(1)는 상기 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형되고, 그 후, 물품을 향해 바디(100)에 인가된 외력은 중지되고, 노크 메커니즘(5)은 밸브(6)를 폐쇄상태가 되게 하고 또한 흡착패드(1)는 상기 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 증가시키도록 원래의 형태로 복귀하고, 그에 따라, 흡착패드(1)의 내압을 감소시키고, 흡착패드(1)는 물품을 흡착한다. 또한, 만일 흡착패드(1)가 다시 물품을 밀면, 노크 메커니즘(5)은 밸브(6)를 개방상태가 되게 하고, 흡착패드(1)의 내압은 대기압으로 복귀하고, 그에 따라, 흡착패드(1)는 물품을 배출한다. 즉, 물품을 향해 흡착 펜을 미는 동작과 흡착 펜을 자유롭게 하는 동작을 교대로 함으로써 노크 메커니즘(5)은 폐쇄상태와 개방상태의 사이에서 밸브(6)를 스위칭하여 흡착패드(1)가 물품을 흡착 및 배출하도록 한다. 바디(100)는 노즐(2)과 원통형의 밀페부재(9) 사이의 실린더 헤드(4) 주위에 연장되는 제1의 코일 스프링 부재(12) 뿐만 아니라 실린더 헤드(4)에 결합된 원통형의 밀폐부재(9)와 노즐(2)에 고정된 실린더 헤드(4)를 포함한다. 상기 제1의 코일 스프링 부재(12)는 노즐(2)과 원통형 밀페부재(9) 양쪽 모두에 인가된 탄성력을 제공하고, 상기 원통형 밀폐부재(9)는 노즐(2)로부터 사이가 떨어진다. 만일, 흡착패드(1)가 물품과 단단히 접촉하고 원통형 밀폐부재(9)가 물품을 향해 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의해 스프링의 힘을 초과하는 과도한 힘으로 힘이 작용되면, 상기 제1의 코일 스프링 부재(12)는 압착되어 헤드(200)에 스프링력을 인가하고, 흡착패드(1)는 물품과 단단히 접촉하게 됨과 동시에 흡착패드(1)의 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부(1a)가 탄성변형되어 구부러지고 수축되어 흡착패드(1)의 내부 체적을 감소시킨다. 실린더 헤드(4) 및 원통형 밀폐부재(9)는 노크 메커니즘(5) 및 밸브 로드(6a)를 수납하는 내부 공간을 형성한다. 상기 밸브 로드(6a)는 밸브(6)와 경계를 이루는 제1의 엔드(end) 및 스프링 시트(6c)와 경계를 이루는 제2의 엔드를 포함한다. 스프링 시트(6c)와 바디(100)의 원통형 밀폐부재(9)의 저부 사이에서 연장되는 제2의 코일 스프링 부재(13)가 제공되어 있다. 밸브 로드(6a)는 원통형 밀폐부재(9)와 실린더 헤드(4)에 의해 형성된 내부 공간과 패시지(2a)의 중심축을 따라 뻗어있다. 상기 밸브 로드(6a)는 스프링 시트(6c)에 보다 근접한 얇은 부분과 두터운 부분을 포함하고, 밸브 로드(6a)의 상기 얇은 부분과 두터운 부분은 단차부(6d)에 의해 경계를 이루고 있다.
노크 메커니즘(5)은 원통형 밀폐부재(9)와 실린더 헤드(4)에 의해 형성된 내부 공간 내에 수납된 회전 록 메커니즘(8) 및 록 동작 메커니즘(7)을 포함한다. 록 동작 메커니즘(7)은 회전 록 메커니즘(8) 보다 실린더 헤드(4)에 보다 가깝게 위치한다. 회전 록 메커니즘(8) 및 록 동작 메커니즘(7)은 밸브 로드(6a)를 지지하여 흡착패드(1)의 물품을 향해 원통형 밀폐부재(9)의 밀기 동작과 동시에 작동함으로써 원통형 밀폐부재(9)와 실린더 헤드(4)의 중심축을 따라 밸브 로드(6a)를 배출하기 위해 함께 동작한다. 실린더 헤드(4)와 원통형 밀폐부재(9)의 중심축을 따른 상기 밸브 로드(6a)의 배출은 개방상태와 폐쇄상태 사이에서 밸브(6)를 스위칭한다. 록 동작 메커니즘(7)은 실린더 헤드(4)에 고정되고 실린더 헤드(4)의 내부 공간에 연동된 축부(7b)를 포함한다. 록 동작 메커니즘(7)은 원통형 밀폐부재(9)의 내부 공간에 수납된 원통형상부(7c)를 또한 포함한다. 원통형상부(7c)는 원주상의 외측벽을 포함하고, 상기 외측벽상에는 원통형 밀폐부재(9)의 축방향으로 뻗어있는 키 그루브(7d)가 형성되어 있다. 원통형 밀폐부재(9)는 원주상의 내측벽을 포함하고, 상기 내측벽상에는 내부 및 정반대로 돌출하며 원통형 밀폐부재(9)의 축방향으로 뻗어있는 키(9a)가 제공되어 있고, 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 록 동작 메커니즘(7)의 키 그루브(7d)와 연동이 이루어 지고, 그에 따라, 록 동작 메커니즘(7)과 원통형 밀폐부재(9) 사이의 상대적인 이동을 제한한다. 록 동작 메커니즘(7)은 원통형상부(7c)의 한 변에 래칫(7a)을 또한 포함하여 상기 래칫(7a)은 회전 록 메커니즘(8)을 향한다. 회전 록 메커니즘(8)은 록 동작 메커니즘(7)의 원통형상부(7c) 보다 직경이 작은 축부(8b)를 포함하여 상기 축부(8b)는 록 동작 메커니즘(7)의 원통형상부(7c)로 삽입되는 것이 허용된다. 상기 회전 록 메커니즘(8)은 원통형 밀폐부재(9)의 내부 공간에 수납된 원통형상부(8c)를 포함한다. 상기 원통형상부(8c)는 원주형상의 외측벽을 포함하고 상기 외측벽상에는 원통형 밀폐부재(9)의 축방향으로 뻗어있는 키 그루브(8d)가 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 원통형 밀폐부재(9)는 내부 및 정반대로 돌출하며 원통형 밀폐부재(9)의 축방향으로 뻗어있는 키(9a)가 상부에 제공되어 있는 원주형상의 내측벽을 포함하여 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)와 연동되고, 그에 따라, 회전 록 메커니즘(8)과 원통형 밀폐부재(9) 사이의 상대적인 이동을 제한한다. 회전 록 메커니즘(8)은 원통형상부(8c)의 한 변에 래칫(7a)을 또한 포함하여 상기 래칫(8a)은 록 동작 메커니즘(7)에 대면하고, 그에 따라, 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 록 동작 메커니즘(7)의 래칫(7a)과 연동되는 것이 허용된다.
전술한 신규의 흡착 펜의 동작이 자세히 기술될 것이다. 신규의 흡착 펜은 도 4에 도시된 바와 같이 물품을 흡착하도록 동작한다. 밸브 로드(6a)는 코일 스프링 부재(13)의 스프링력에 의해 록 동작 메커니즘(7)을 향해 힘을 받고, 밸브 로드(6a)의 단(step)(6d)은 록 동작 메커니즘(7)을 향해 회전 록 메커니즘(8)에 또한 힘을 가한다. 만일, 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)가 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)와 연동되지 않으면, 회전 록 메커니즘(8)은 스프링력이 회전 록 메커니즘(8)에 인가되더라도 록 동작 메커니즘(7)을 향해 이동되는 것이 저지된다. 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)가 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)와 연동되는 경우에, 회전 록 메커니즘(8)은 록 동작 메커니즘(7)을 향해 코일 스프링(13)에 의한 스프링력에 의해 이동이 허용되고, 록 동작 메커니즘(7)의 래칫(7a) 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)과 연동되고, 상기 키 그루브(8d)는 가이드로서 기능한다. 동시에, 밸브 로드(6a)는 록 동작 메커니즘(7)을 향해 배출되고, 밸브 로드(6a)에 고정된 밸브(6)는 밸브 시트(3)로부터 분리되거나 밸브(6)는 개방상태가 된다. 그 결과, 패시지(2a)는 흡착패드(1)의 내부 공간에 접속되게 된다. 패시지(2a) 및 흡착패드(1)의 내부 공간은 대기압을 갖는다.
원통형 밀폐부재(9)는 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의한 스프링력을 초과하는 힘으로 물품을 향해 힘이 인가되고, 제1의 코일 스프링 부재(12)는 헤드(200)로 스프링력을 인가하도록 압착되고, 흡착패드(1)는 물품과 단단히 접촉하게 되고, 동시에, 흡착패드(1)의 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부(1a)는 탄성변형되어 구부러지며 수축되어 흡착패드(1)의 내부 체적을 감소시킨다. 회전 록 메커니즘(8)이 래칫(8a)은 록 동작 메커니즘(7)의 래칫(7a)과 연동되므로, 헤드(200)를 향한 회전 록 메커니즘(8)의 이동은 저지된다. 이와 같은 이유로, 원통형 밀폐부재(9)가 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의한 스프링력을 초과하는 힘으로 물품을 향해 더욱 힘을 받으면, 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)를 따라 미끄러져서, 록 동작 메커니즘(7)의 키 그루브(7d)와 연동된다. 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)로부터 연동되지 않으므로, 회전 록 메커니즘(8)은 회전 이동이 자유롭게 된다. 제2의 코일 스프링 부재(13)는 원통형 밀폐부재(9)의 축방향 또는 밸브 로드(6a)를 따른 방향으로 인가된 스프링력 뿐만 아니라 원통형 밀폐부재(9)의 축방향의 주위의 회전력을 제공하기 때문에, 회전 록 메커니즘(8)은 제2의 코일 스프링 부재(13)에 의해 회전되도록 힘을 받고, 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)의 엣지상으로 나오게 된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 원통형 밀폐부재(9)에 대한 외력의 인가는 중지되고, 원통형 밀폐부재(9)는 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의한 스프링력에 의해 밀려 올려(push up)진다. 이때, 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 원통형 밀폐부재(9)의 래칫(9a)의 엣지상에 잔류한다. 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 록 동작 메커니즘(7)의 래칫(7a)으로부터 분리되고, 회전 록 메커니즘(8)은 원통형 밀폐부재(9)의 상향 이동과 더불어 위로 이동된다. 밸브 로드(6a)는 회전 록 메커니즘(8)에 고정되어 있으므로, 밸브(6)를 구비한 밸브 로드(6a)는 회전 록 메커니즘(8)의 상향 이동과 더불어 위로 이동되고, 밸브(6)는 밸브시트(3)와 단단히 접촉하게 되거나 밸브(6)가 폐쇄상태가 된다. 그 결과, 패시지(2a)는 흡착패드(1)의 내부 공간으로부터 밸브(6)에 의해 분리된다. 동시에, 탄성변형되어 구부러지고 수축되어 흡착패드(1)의 내부 체적을 감소시키는 흡착패드(1)의 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부(1a)는 원래의 형태로 복귀하여 대기압 또는 공기압의 주입이 없이 흡착패드(1)의 내부 체적을 증가시킨다. 그 결과, 흡착패드(1)의 내부 공간의 압력이 감소된다. 흡착패드(1)의 내구 공간의 감소된 압력으로 인해 흡착패드(1)가 물품을 단단히 흡착할 수 있다.
이어서, 흡착패드(1)로부터 물품을 어떻게 배출하는가에 대한 기술이 이루어 질 것이다. 원통형 밀폐부재(9)는 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의한 스프링력을 초과하는 힘으로 물품을 향해 다시 푸시되고, 그 후, 제1의 코일 스프링 부재(12)는 헤드(200)에 스프링력을 인가하도록 압착되고, 흡착패드(1)의 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부(1a)는 다시 탄성변형되어 구부러지며 수축되어 흡착패드(1)의 내부 체적을 다시 감소시킨다. 그 결과, 흡착패드(1)의 내압은 다시 증가된다. 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 록 동작 메커니즘(7)의 키 그루브(7d)와 연동되고, 그에 따라, 원통형 밀폐부재(9)의 회전 운동이 중지된다. 또한, 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)의 엣지로부터 비연동되고, 그에 따라, 회전 록 메커니즘(8)은 자유롭게 되어 원통형 밀폐부재(9)의 중심축 주위를 회전한다. 제2의 코일 스프링 부재(13)는 원통형 밀폐부재(9)가 축방향 또는 밸브 로드(6a)를 따른 방향으로 인가된 스프링력 뿐만 아니라 원통형 밀폐부재(9)의 축 주위의 회전력도 제공하므로, 회전 록 메커니즘(8)은 제2의 코일 스프링 부재(13)에 의해 회전되도록 힘을 받고, 그에 따라, 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)와 연동되게 된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 원통형 밀폐부재(9)에 대한 외력의 인가는 중단되고, 그에 따라, 원통형 밀폐부재(9)는 제1의 코일 스프링 부재(12)에 의한 스프링력에 의해 밀려 올라간다. 원통형 밀폐부재(9)의 키(9a)는 회전 록 메커니즘(8)의 키 그루브(8d)와 이미 연동되었고 회전 록 메커니즘(8)에는 제2의 코일 스프링 부재(13)에 의한 하향 스프링력이 인가되므로, 회전 록 메커니즘(8)의 래칫(8a)은 록 동작 메커니즘(7)의 래칫(7a)와 연동된다. 밸브 로드(6a)는 회전 록 메커니즘(8)에 고정되어 있으므로, 밸브(6)를 갖는 밸브 로드(6a)는 회전 록 메커니즘(8)의 움직임이 없이 함께 잔류하고, 그에 따라, 밸브(6)는 밸브 시트(3)로부터 분리되거나 밸브(6)는 개방상태로 놓여진다. 그 결과, 패시지(2a)는 흡착패드(1)의 내부 공간에 접속되게 되고, 흡착패드(1)의 내압은 대기압으로 복귀된다. 그 결과, 물품은 흡착패드(1)로부터 배출된다.
굽힘 및 수축이 가능한 탄성부(1a)의 변형을 이용하지 않고 진공을 형성하는 진공 형성 메커니즘이 변형예로서 제공될 수 있다.
전술한 본 발명은 전술한 바와 같은 효과를 제공한다. 흡착패드(1)가 물품과 단단히 접촉하게 되고 물품을 푸시하여, 노크 메카니즘(5)은 밸브(6)를 개방상태로 놓고, 흡착패드(1)는 변형도어 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 감소시키고, 이후, 물품을 향해 바디(100)에 인가된 외력은 중단되어 노크 메카니즘(5)은 밸브(6)를 폐쇄상태로 놓고 또한 흡착패드(1)는 원래의 형태로 복귀하여 흡착패드(1)의 내부 공간의 체적을 감소시키고 그에 따라 흡착패드(1)의 내부 공간을 감소시키고, 흡착패드(1)는 물품을 흡착한다. 또한, 흡착패드(1)는 물품을 다시 푸시하면, 노크 메카니즘(5)는 밸브(6)를 개방상태로 놓아 흡착패드(1)의 내압은 대기압으로 복귀하고, 흡착패드(1)는 물품을 배출한다. 즉, 물품을 향한 흡착 펜를 푸시하고 흡착 펜을 자유롭게 하는 단순한 동작으로 인해 노크 메카니즘(5) 개방상태와 폐쇄상태 사이에서 밸브(6)를 스위칭하도록 한다. 전술한 신규의 흡착 펜은 동작성이 개선되었다. 편리한 동작성이라는 상기 장점은 흡착시에 신규의 흡착 펜의 오작동을 야기하지 않아 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 구비한 IC 패키지와 같은 흡착될 물품을 배출하지 않는다. 즉, 신규의 흡착 펜은 흡착의 오작동 및 가공물의 배출이라는 오작동이 발생할 가능성이 없고 가공물을 떨어뜨리거나 파손한다는 것이 있을 수 없게 한다.
본 발명의 변형은 본 발명이 속하는 본 분야의 기술자에게는 자명할 것이고, 예시로 도시되고 기술된 실시예는 본 발명을 한정하는 것이 아니고, 따라서, 본 발명의 범위 및 본질내애 포함되는 모든 변형예는 청구항에 의해 포함될 수 있다.

Claims (17)

  1. 물품(article)을 흡착 및 배출하는 흡착기구(tool)에 있어서,
    접촉 헤드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉되는 접촉 헤드와,
    상기 접촉 헤드와 결합된 바디와,
    상기 접촉 헤드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록, 상기 물품을 향해 상기 바디로 미는힘(pushing force)을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘으로부터 자유롭게 하는 양쪽 모두의 동작중에는 대기압으로부터 상기 내부 공간의 내압을 감소시키고 또한 상기 접촉 헤드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디에 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는 상기 내부 공간의 상기 내압을 대기압으로 되돌리는 상기 흡착 기구 내에 설치된 압력 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡착기구는 펜(pen)의 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접촉 헤드는 상기 내부 공간의 체적을 감소키도록 변형 가능하여 상기 물품을 향해 상기 바디로의 상기 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 상기 내압을 감소시키는 변형 및 수축 가능한 탄성부를 적어도 구비하는 흡착 패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 압력 조절기는,
    상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과,
    상기 접촉 헤드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는, 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 헤드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는, 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘(knock mechanism)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 밸브 메커니즘은,
    상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와,
    상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와,
    상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하도록, 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되고 상기 밸브로 종결되는 밸브 로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비하는 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고,
    상기 노크 메커니즘은,
    상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으며, 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비하고 있는 회전 록(lock) 부재와,
    상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하고 있는 록 동작 부재와,
    상기 접촉 헤드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 접촉 헤드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와,
    상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  7. 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지 중의 어느 하나에 해당하는 물품을 흡착 및 배출하는 흡착기구에 있어서,
    상기 흡착기구는 제1항에서 청구된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  8. 물품을 흡착 및 배출하는 흡착기구에 있어서,
    바디와,
    상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 적어도 포함하고, 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하는 물품과 밀접하게 접하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와,
    상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록, 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘으로부터 자유롭게 하는 두 동작 중에는, 대기압으로부터 상기 내부 공간의 상기 내압을 감소시키고, 또한 상기 흡착 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가하는 때에는, 상기 내부 공간의 상기 내부 공간의 상기 내압을 대기압으로 되돌리는 상기 흡착 기구내에 설치된 압력 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  9. 제8항에 있어서,
    펜의 형상으로 된 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 압력 조절기는,
    상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과,
    상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘의 재 인가시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구
  11. 제10항에 있어서,
    상기 밸브 메커니즘은 상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와,
    상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와,
    상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고, 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하게 하도록, 상기 밸브와 경계를 이루며 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되는 밸브 로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비한 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고,
    상기 노크 메커니즘은, 상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으면서 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비한 회전 록 부재와,,
    상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하는 록 동작 부재와,
    상기 흡착 패드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 흡착 패드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와,
    상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록, 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  13. 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지 중의 어느 하나에 해당하는 물품을 흡착 및 배출하는 흡착기구에 있어서,
    상기 흡착기구는 제8항에 주장된 바와 같은 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 흡착기구.
  14. 물품을 흡착 및 배출하는 흡착 펜(pen)에 있어서,
    바디와,
    상기 내부 공간의 체적을 감소시키도록 변형이 가능하여 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘의 인가시에 상기 내부 공간의 내압을 감소시키는 적어도 굽힘 및 수축이 가능한 탄성부를 포함하고, 상기 흡착 패드와 상기 물품에 의해 정의된 내부 공간을 형성하기 위해 상기 물품과 밀접하게 접촉하고 있는 흡착 패드를 구비하고 상기 바디와 결합된 접촉 헤드와,
    상기 내부 공간이 상기 대기압으로부터 상기 밸브 메커니즘에 의해 분리되는 폐쇄상태와, 상기 내부 공간이 상기 대기압을 갖는 개방상태의 사이에서 상기 내부 공간을 스위칭하는 밸브 메커니즘과,
    상기 흡착 패드가 내부 공간의 감소된 내압에 기인하여 상기 물품을 흡착하도록 상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하고 그 후 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 두 동작시에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 폐쇄상태로 맞추고, 또한 상기 접촉 패드가 상기 물품을 배출하도록 상기 바디로의 상기 미는힘을 재 인가할 때에는 상기 밸브 메커니즘을 상기 개방상태로 맞추는 상기 밸브 메커니즘에 접속된 노크 메커니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 펜.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 밸브 메커니즘은 상기 내부 공간의 최내부에 제공된 밸브 시트와,
    상기 밸브 시트에 근접하게 제공된 밸브와,
    상기 물품을 향한 상기 바디로의 미는힘을 인가하는 때에는 상기 노크 메커니즘이 상기 밸브를 상기 밸브 시트로부터 분리시키고, 상기 바디를 상기 미는힘의 인가로부터 자유롭게 하는 때에는 상기 밸브를 상기 밸브 시트와 접촉하게 하도록, 상기 밸브와 경계를 이루며 상기 노크 메커니즘에 의해 지지되는 밸브 로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 펜.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 바디는 복수의 돌출 키를 구비한 내벽을 구비한 밀폐부재를 포함하고, 상기 밸브 로드는 상기 노크 메커니즘 뿐만 아니라 단차부를 포함하고,
    상기 노크 메커니즘은, 상기 밀페부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제1의 키 그루브와, 적어도 제1의 래칫을 구비하고 있으면서 상기 제1의 래칫을 향한 힘을 받아들이는 상기 밸브 로드의 상기 단차부와 맞물릴 수 있는 저부를 구비하고 있으면서, 상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 받아들이는 복수의 제1의 키 그루브와 적어도 제1의 래칫을 포함하는 회전 록 부재와,
    상기 밀폐부재의 상기 복수의 키를 수납하는 복수의 제2의 키 그루브와, 상기 회전 록 부재의 상기 제1의 래칫과 맞물리는 적어도 제2의 래칫을 구비하는 록 동작 부재와,
    상기 흡착 패드를 향한 반(anti) 평행 방향으로 상기 밀폐부재로의 제1의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재와 상기 흡착 패드 사이에 제공된 제1의 코일 스프링 부재와,
    상기 밸브 로드가 상기 밸브 로드의 상기 단차부를 통해 상기 제1의 래칫을 향해 힘을 받도록 상기 스프링 시트로의 제2의 스프링력을 인가하는 상기 밀폐부재의 저부와, 상기 밸브 로드의 스프링 시트 사이에 제공된 제2의 코일 스프링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 펜.
  17. 웨이퍼, 웨이퍼로부터 절단된 펠릿 및 밀봉된 펠릿을 갖는 IC 패키지 중의 어느 하나에 해당하는 물품을 흡착 및 배출하는 흡착 펜에 있어서,
    상기 흡착기구는 제14항에서 청구된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 흡착 펜.
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