JP3416580B2 - 固体撮像装置、これを用いたカメラ、および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置、これを用いたカメラ、および固体撮像装置の製造方法Info
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置、お
よびこれを用いたカメラに関するものであり、また、固
体撮像装置の製造方法に関するものである。本発明は、
特に、固体撮像素子とレンズブロックとの位置合わせの
高精度化に関するものである。
よびこれを用いたカメラに関するものであり、また、固
体撮像装置の製造方法に関するものである。本発明は、
特に、固体撮像素子とレンズブロックとの位置合わせの
高精度化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光電変換機能を有する固体撮像素子は、
予め配線を形成したパッケージに固定され、固体撮像装
置として使用される。パッケージは、通常、セラミック
シートを用いて作製される。ここでは、一例として、３
枚のセラミックシートを用いてパッケージを作製する方
法を説明する。
予め配線を形成したパッケージに固定され、固体撮像装
置として使用される。パッケージは、通常、セラミック
シートを用いて作製される。ここでは、一例として、３
枚のセラミックシートを用いてパッケージを作製する方
法を説明する。
【０００３】まず、図１３に示すように、焼成前の各セ
ラミックシート（セラミックグリーンシート）に、予め
所定の貫通孔やプリント配線を形成する。ここでは、最
上層となるセラミックグリーンシート１１１および中間
層となるセラミックグリーンシート１１２を打ち抜い
て、固体撮像素子を配置するための開口部１１４，１１
５を形成する。中間層となるシート１１２の表面には、
プリント配線１１６を形成する。また、これらのシート
１１１，１１２と、固体撮像素子の台座として最下層に
配置されるセラミックグリーンシート１１３とを打ち抜
いて、貫通孔１１７，１１８，１１９，１２０，１２
１，１２２を形成する。これら断面円形の貫通孔は、各
シート面上に網目状に配置される仮想的な分割線１２
４，１２５，１２６に沿って配置される。これらの貫通
孔は、コーナーにおける欠けを防止するために（貫通孔
１１７，１１９，１２１）、またはプリント配線に接続
するアウターリードを設けるために（貫通孔１１８，１
２０，１２２）に形成される。
ラミックシート（セラミックグリーンシート）に、予め
所定の貫通孔やプリント配線を形成する。ここでは、最
上層となるセラミックグリーンシート１１１および中間
層となるセラミックグリーンシート１１２を打ち抜い
て、固体撮像素子を配置するための開口部１１４，１１
５を形成する。中間層となるシート１１２の表面には、
プリント配線１１６を形成する。また、これらのシート
１１１，１１２と、固体撮像素子の台座として最下層に
配置されるセラミックグリーンシート１１３とを打ち抜
いて、貫通孔１１７，１１８，１１９，１２０，１２
１，１２２を形成する。これら断面円形の貫通孔は、各
シート面上に網目状に配置される仮想的な分割線１２
４，１２５，１２６に沿って配置される。これらの貫通
孔は、コーナーにおける欠けを防止するために（貫通孔
１１７，１１９，１２１）、またはプリント配線に接続
するアウターリードを設けるために（貫通孔１１８，１
２０，１２２）に形成される。
【０００４】次いで、３枚のセラミックシートを、各シ
ートの分割線が積層方向について一致するように積層す
る。図１４に示すように、この積層体１３０には、後に
行う分割を容易にするために、分割線に沿って破線状の
切り込み１２７が形成される。さらに、この積層体は焼
成され、焼成後に分割線に沿って分割（ブレーキング）
される。こうして作製された各個片が固体撮像素子を収
納するパッケージとなる。
ートの分割線が積層方向について一致するように積層す
る。図１４に示すように、この積層体１３０には、後に
行う分割を容易にするために、分割線に沿って破線状の
切り込み１２７が形成される。さらに、この積層体は焼
成され、焼成後に分割線に沿って分割（ブレーキング）
される。こうして作製された各個片が固体撮像素子を収
納するパッケージとなる。
【０００５】ところで、固体撮像装置を用いたカメラで
は、レンズブロックと固体撮像素子とを所定の位置に合
わせて固定することが光学特性を確保する上で重要とな
る。レンズの光軸と固体撮像素子の（設計上の）光軸と
が一致しないと、感度ムラによるシェーディングなどに
より特性が劣化するからである。通常、レンズブロック
は固体撮像装置のパッケージを基準として位置合わせさ
れる。このため、固体撮像素子を取り付けるときのパッ
ケージの位置決めと、レンズブロックを位置合わせする
ときのパッケージの位置決めとをともに精度よく行う必
要がある。
は、レンズブロックと固体撮像素子とを所定の位置に合
わせて固定することが光学特性を確保する上で重要とな
る。レンズの光軸と固体撮像素子の（設計上の）光軸と
が一致しないと、感度ムラによるシェーディングなどに
より特性が劣化するからである。通常、レンズブロック
は固体撮像装置のパッケージを基準として位置合わせさ
れる。このため、固体撮像素子を取り付けるときのパッ
ケージの位置決めと、レンズブロックを位置合わせする
ときのパッケージの位置決めとをともに精度よく行う必
要がある。
【０００６】従来、パッケージの位置決めは、例えば図
１６に示す方法により行われてきた。この方法では、Ｌ
字状の位置決め治具１５１に押しつけられてパッケージ
１０２が位置決めされる。ここでは、パッケージ１０２
は、コーナーを介して隣接する側端部１０３，１０４全
体を基準として位置決めされ、この状態で固体撮像素子
１０１が固定される。また、上記位置決め治具と同様の
Ｌ字状固定部を形成したレンズブロックに対しても、上
記と同様にパッケージが押しつけられて位置決めされ、
固体撮像装置とレンズブロックとが位置合わせされる。
１６に示す方法により行われてきた。この方法では、Ｌ
字状の位置決め治具１５１に押しつけられてパッケージ
１０２が位置決めされる。ここでは、パッケージ１０２
は、コーナーを介して隣接する側端部１０３，１０４全
体を基準として位置決めされ、この状態で固体撮像素子
１０１が固定される。また、上記位置決め治具と同様の
Ｌ字状固定部を形成したレンズブロックに対しても、上
記と同様にパッケージが押しつけられて位置決めされ、
固体撮像装置とレンズブロックとが位置合わせされる。
【０００７】また、特開平１０−３２６８８６号公報に
は、図１７(Ａ)(Ｂ)に示すように、位置決め用の切り欠
きとして、略Ｖ字状のパイロット部１３５と、略コ字状
のガイド部１３６とをパッケージ１３２に形成した固体
撮像装置が開示されている。図１８に示すように、この
固体撮像装置は、パイロット部１３５およびガイド部１
３６に、それぞれ位置決め用のパイロットピン１３７お
よびガイドピン１３８が挿入され、ガイドピン１３８を
ガイド部１３６により導きながら、パイロットピン１３
７にパイロット部１３５を押しつけて位置決めされる。
固体撮像装置の回転は、ガイドピン１３８により押さえ
られている。
は、図１７(Ａ)(Ｂ)に示すように、位置決め用の切り欠
きとして、略Ｖ字状のパイロット部１３５と、略コ字状
のガイド部１３６とをパッケージ１３２に形成した固体
撮像装置が開示されている。図１８に示すように、この
固体撮像装置は、パイロット部１３５およびガイド部１
３６に、それぞれ位置決め用のパイロットピン１３７お
よびガイドピン１３８が挿入され、ガイドピン１３８を
ガイド部１３６により導きながら、パイロットピン１３
７にパイロット部１３５を押しつけて位置決めされる。
固体撮像装置の回転は、ガイドピン１３８により押さえ
られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】固体撮像装置用パッケ
ージは、上記で説明したように、セラミック焼成体をブ
レーキングして作製される。このため、分割線に沿って
正確に切り分けることは困難であり、図１５に示すよう
に、パッケージの側端部にいわゆる「バリ」１２８が生
成する場合があった。そして、この「バリ」による側端
部の突起が、図１６に示したような位置決め治具を用い
て行われるパッケージの位置決めの精度を損なう要因と
なっていた。
ージは、上記で説明したように、セラミック焼成体をブ
レーキングして作製される。このため、分割線に沿って
正確に切り分けることは困難であり、図１５に示すよう
に、パッケージの側端部にいわゆる「バリ」１２８が生
成する場合があった。そして、この「バリ」による側端
部の突起が、図１６に示したような位置決め治具を用い
て行われるパッケージの位置決めの精度を損なう要因と
なっていた。
【０００９】図１７に示したような位置決め用ピンを用
いる位置決め方法では、パッケージ側端部の突起は位置
決めの精度に影響しない。しかし、互いに対向する一対
の側端部に位置決め用のピンを挿入するための切り欠き
部１３５，１３６を形成する必要があるため、パッケー
ジが小型化できない。また、ガイドピンを挿入するため
に必要となるガイド部１３６におけるクリアランスによ
り、ガイドピンによる回転防止を十分に行うことができ
ない。
いる位置決め方法では、パッケージ側端部の突起は位置
決めの精度に影響しない。しかし、互いに対向する一対
の側端部に位置決め用のピンを挿入するための切り欠き
部１３５，１３６を形成する必要があるため、パッケー
ジが小型化できない。また、ガイドピンを挿入するため
に必要となるガイド部１３６におけるクリアランスによ
り、ガイドピンによる回転防止を十分に行うことができ
ない。
【００１０】そこで、本発明は、小型化しても精度よく
位置決めできるパッケージを用いた固体撮像装置を提供
することを目的とする。また、固体撮像素子とレンズブ
ロックとが精度よく位置合わせされた固体撮像装置を用
いたカメラを提供することを目的とする。さらに、本発
明は、上記固体撮像装置の製造方法を提供することを目
的とする。
位置決めできるパッケージを用いた固体撮像装置を提供
することを目的とする。また、固体撮像素子とレンズブ
ロックとが精度よく位置合わせされた固体撮像装置を用
いたカメラを提供することを目的とする。さらに、本発
明は、上記固体撮像装置の製造方法を提供することを目
的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の固体撮像装置は、少なくとも２枚のセラミ
ックグリーンシートを積層し、焼成して得たセラミック
焼成体を分割して製造した平面視で外形が矩形のパッケ
ージと、固体撮像素子とを備え、前記パッケージが、前
記固体撮像素子から信号を伝達する導体パターンを表面
に形成したパターン形成用部材と、前記固体撮像素子を
囲む開口部を有し、前記パターン形成用部材の上方に配
置される枠部材とを含む固体撮像装置であって、前記パ
ッケージが、アウターリードを形成しない第１側端部と
アウターリードを形成する第２側端部とを有し、 前記パ
ッケージの各コーナーに平面視でＬ字状の切り欠き部
が、前記パッケージにおける各第１側端部に平面視でコ
字状の切り欠き部がそれぞれ形成され、前記Ｌ字状の切
り欠き部および前記コ字状の切り欠き部のそれぞれが平
面視で直線である基準端面を含む端面により画され、前
記Ｌ字状の切り欠き部の基準端面が前記第２側端部に平
行であり、前記コ字状の切り欠き部の基準端面が前記第
１側端部に平行であることを特徴とする。
に、本発明の固体撮像装置は、少なくとも２枚のセラミ
ックグリーンシートを積層し、焼成して得たセラミック
焼成体を分割して製造した平面視で外形が矩形のパッケ
ージと、固体撮像素子とを備え、前記パッケージが、前
記固体撮像素子から信号を伝達する導体パターンを表面
に形成したパターン形成用部材と、前記固体撮像素子を
囲む開口部を有し、前記パターン形成用部材の上方に配
置される枠部材とを含む固体撮像装置であって、前記パ
ッケージが、アウターリードを形成しない第１側端部と
アウターリードを形成する第２側端部とを有し、 前記パ
ッケージの各コーナーに平面視でＬ字状の切り欠き部
が、前記パッケージにおける各第１側端部に平面視でコ
字状の切り欠き部がそれぞれ形成され、前記Ｌ字状の切
り欠き部および前記コ字状の切り欠き部のそれぞれが平
面視で直線である基準端面を含む端面により画され、前
記Ｌ字状の切り欠き部の基準端面が前記第２側端部に平
行であり、前記コ字状の切り欠き部の基準端面が前記第
１側端部に平行であることを特徴とする。
【００１２】この固体撮像装置は、小型化しても精度よ
く位置決めできるものとなる。基準端面は、パターン形
成用部材により構成されていることが好ましい。なお、
上記両部材は焼成などにより一体化していてもよい。
く位置決めできるものとなる。基準端面は、パターン形
成用部材により構成されていることが好ましい。なお、
上記両部材は焼成などにより一体化していてもよい。
【００１３】また、本発明の第１の固体撮像装置の製造
方法は、上記固体撮像装置の製造方法であって、少なく
とも２枚のセラミックグリーンシートを準備し、平面視
により観察して前記シートに網目状に配置される仮想分
割線の交点および前記交点の間の前記仮想分割線上に、
断面が矩形の貫通孔を、前記矩形の頂点が前記仮想分割
線から外れるように前記シートに形成する工程と、前記
仮想分割線が積層方向において一致するように前記セラ
ミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程
と、前記積層体を焼成してセラミック焼成体を得る工程
と、前記セラミック焼成体を前記仮想分割線に沿って分
割することにより、平面視で外形が矩形のパッケージで
あって、各コーナーに平面視でＬ字状の切り欠き部が、
アウターリードを形成しない各側端部に平面視でコ字状
の切り欠き部が、前記貫通孔からそれぞれ形成されたパ
ッケージを複数個得る工程とを含むことを特徴とする。
方法は、上記固体撮像装置の製造方法であって、少なく
とも２枚のセラミックグリーンシートを準備し、平面視
により観察して前記シートに網目状に配置される仮想分
割線の交点および前記交点の間の前記仮想分割線上に、
断面が矩形の貫通孔を、前記矩形の頂点が前記仮想分割
線から外れるように前記シートに形成する工程と、前記
仮想分割線が積層方向において一致するように前記セラ
ミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程
と、前記積層体を焼成してセラミック焼成体を得る工程
と、前記セラミック焼成体を前記仮想分割線に沿って分
割することにより、平面視で外形が矩形のパッケージで
あって、各コーナーに平面視でＬ字状の切り欠き部が、
アウターリードを形成しない各側端部に平面視でコ字状
の切り欠き部が、前記貫通孔からそれぞれ形成されたパ
ッケージを複数個得る工程とを含むことを特徴とする。
【００１４】また、本発明の第２の固体撮像装置の製造
方法は、平面視で外形が矩形であってコーナーおよびア
ウターリードを形成しない側端部を切り欠いて形成した
第１および第２の基準端面を備えたパッケージを、前記
第１および第２の基準端面に沿って各々当接する第１お
よび第２の突出部を備えた位置決め治具と押しつけ部材
とを用い、前記第１および第２の基準端面に沿って前記
第１および第２の突出部が各々当接するように、前記押
しつけ部材により、前記パッケージを基準面上を滑らせ
て前記位置決め部材に押しつけ、前記基準端面以外の端
面が前記位置決め治具に接触していない状態で前記パッ
ケージを位置決めし、前記パッケージに固体撮像素子を
固定することを特徴とする。この場合、パッケージを上
面側から見たときに、第１および第２の基準端面と第１
および第２の突出部との当接面が、実質的に、直線およ
び弧から選ばれる少なくとも一方からなることが好まし
い。
方法は、平面視で外形が矩形であってコーナーおよびア
ウターリードを形成しない側端部を切り欠いて形成した
第１および第２の基準端面を備えたパッケージを、前記
第１および第２の基準端面に沿って各々当接する第１お
よび第２の突出部を備えた位置決め治具と押しつけ部材
とを用い、前記第１および第２の基準端面に沿って前記
第１および第２の突出部が各々当接するように、前記押
しつけ部材により、前記パッケージを基準面上を滑らせ
て前記位置決め部材に押しつけ、前記基準端面以外の端
面が前記位置決め治具に接触していない状態で前記パッ
ケージを位置決めし、前記パッケージに固体撮像素子を
固定することを特徴とする。この場合、パッケージを上
面側から見たときに、第１および第２の基準端面と第１
および第２の突出部との当接面が、実質的に、直線およ
び弧から選ばれる少なくとも一方からなることが好まし
い。
【００１５】なお、本明細書において、パッケージの上
面とは固体撮像素子が固定される面をいう。
面とは固体撮像素子が固定される面をいう。
【００１６】本発明の固体撮像装置を用いたカメラは、
上記記載の本発明の固体撮像装置と、前記Ｌ字状の切り
欠き部の基準端面および前記コ字状の切り欠き部の基準
端面に沿って当接する突出部と、前記固体撮像装置が有
する固体撮像素子に外部光を集光するレンズとを有する
レンズブロックとを備え、前記基準端面に沿って前記突
出部を当接させた状態で、前記固体撮像装置と前記レン
ズブロックとが位置合わせされていることを特徴とす
る。
上記記載の本発明の固体撮像装置と、前記Ｌ字状の切り
欠き部の基準端面および前記コ字状の切り欠き部の基準
端面に沿って当接する突出部と、前記固体撮像装置が有
する固体撮像素子に外部光を集光するレンズとを有する
レンズブロックとを備え、前記基準端面に沿って前記突
出部を当接させた状態で、前記固体撮像装置と前記レン
ズブロックとが位置合わせされていることを特徴とす
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面を参照して説明する。まず、図１を参照して、
本発明の固体撮像装置の製造方法の一形態について説明
する。ここでは、３枚のセラミックシートの積層体から
パッケージを作製する方法について説明する。まず、３
枚のセラミックグリーンシート１１，１２，１３に、そ
れぞれ、所定の貫通孔やプリント配線を形成する。
態を図面を参照して説明する。まず、図１を参照して、
本発明の固体撮像装置の製造方法の一形態について説明
する。ここでは、３枚のセラミックシートの積層体から
パッケージを作製する方法について説明する。まず、３
枚のセラミックグリーンシート１１，１２，１３に、そ
れぞれ、所定の貫通孔やプリント配線を形成する。
【００１８】最上層となる第１のセラミックグリーンシ
ート１１、および中間層となる第２のセラミックグリー
ンシート１２には、固体撮像素子を内部に配置するため
の開口部１４，１５がそれぞれ打ち抜かれる。第２のシ
ート１２の開口部１５は、焼成後に、使用する固体撮像
素子の外形形状とほぼ同じ形状（固定の際のクリアラン
スを見込んで素子の外形形状よりもやや大きい形状）と
なるように形成される。一方、第１のシート１１に形成
される開口部１４は、第２のシートの表面に形成される
導体パターン１６が露出するように、開口部１５よりも
やや大きく形成される。
ート１１、および中間層となる第２のセラミックグリー
ンシート１２には、固体撮像素子を内部に配置するため
の開口部１４，１５がそれぞれ打ち抜かれる。第２のシ
ート１２の開口部１５は、焼成後に、使用する固体撮像
素子の外形形状とほぼ同じ形状（固定の際のクリアラン
スを見込んで素子の外形形状よりもやや大きい形状）と
なるように形成される。一方、第１のシート１１に形成
される開口部１４は、第２のシートの表面に形成される
導体パターン１６が露出するように、開口部１５よりも
やや大きく形成される。
【００１９】これら第１および第２のシート１１，１
２、および最下層となる第３のセラミックグリーンシー
ト１３には、各シートに網目状に配置される分割線２
４，２５，２６に沿って、所定の形状およびパターンと
なるように貫通孔が形成される。なお、分割線２４，２
５，２６は、説明の都合上図示されているが、仮想的な
パターンであって、現実には表出しない。
２、および最下層となる第３のセラミックグリーンシー
ト１３には、各シートに網目状に配置される分割線２
４，２５，２６に沿って、所定の形状およびパターンと
なるように貫通孔が形成される。なお、分割線２４，２
５，２６は、説明の都合上図示されているが、仮想的な
パターンであって、現実には表出しない。
【００２０】パッケージにアウターリードを形成するた
めの貫通孔１８，２０，２２の形状は、従来と同様、断
面が円形であってもよい。これらの貫通孔１８，２０，
２２は、仮想線上を一方向（図示水平方向）に配列する
ように形成される。
めの貫通孔１８，２０，２２の形状は、従来と同様、断
面が円形であってもよい。これらの貫通孔１８，２０，
２２は、仮想線上を一方向（図示水平方向）に配列する
ように形成される。
【００２１】網目状の分割線２４，２５，２６の交点に
は、断面が矩形の貫通孔１７，１９，２１が形成され
る。これらの貫通孔１７，１９，２１は、分割線が矩形
の長辺および短辺の中点を通過するように配置される。
また、交点の間の分割線上にも断面が矩形の貫通孔３
１，３２，３３が形成される。これらの貫通孔３１，３
２，３３は、仮想線上を一方向（図示垂直方向）に配列
し、分割線が対向する辺の中点を通過するように形成さ
れる。なお、上記貫通孔の形成は、所定形状の金型を用
いてシートを打ち抜いて行えばよい。
は、断面が矩形の貫通孔１７，１９，２１が形成され
る。これらの貫通孔１７，１９，２１は、分割線が矩形
の長辺および短辺の中点を通過するように配置される。
また、交点の間の分割線上にも断面が矩形の貫通孔３
１，３２，３３が形成される。これらの貫通孔３１，３
２，３３は、仮想線上を一方向（図示垂直方向）に配列
し、分割線が対向する辺の中点を通過するように形成さ
れる。なお、上記貫通孔の形成は、所定形状の金型を用
いてシートを打ち抜いて行えばよい。
【００２２】上記各貫通孔１７，１９，２１，３１，３
２，３３は、対応する位置関係にあっても、必ずしも大
きさが同一でなくてもよい。各孔の大きさの好ましい関
係については後述する。
２，３３は、対応する位置関係にあっても、必ずしも大
きさが同一でなくてもよい。各孔の大きさの好ましい関
係については後述する。
【００２３】さらに、第２のシート１２の表面への導体
ペーストの印刷によるプリント配線１６の形成など所定
の工程を行った後、第１〜第３のシート１１，１２，１
３を各シートの分割線２４，２５，２６が積層方向で一
致するように積層する。こうして得た積層体は、図１４
を参照して上記で説明したように、分割線に沿って切り
込みが入れられた後に焼成される。焼成されたセラミッ
ク積層体は、切り込みを利用しながら、各分割線に沿っ
て個片にブレーキングされる。こうして、同一形状を有
する複数個のセラミックパッケージが作製される。
ペーストの印刷によるプリント配線１６の形成など所定
の工程を行った後、第１〜第３のシート１１，１２，１
３を各シートの分割線２４，２５，２６が積層方向で一
致するように積層する。こうして得た積層体は、図１４
を参照して上記で説明したように、分割線に沿って切り
込みが入れられた後に焼成される。焼成されたセラミッ
ク積層体は、切り込みを利用しながら、各分割線に沿っ
て個片にブレーキングされる。こうして、同一形状を有
する複数個のセラミックパッケージが作製される。
【００２４】なお、上記では、３枚のセラミックグリー
ンシートを用いたパッケージの製造方法について説明し
たが、本発明はこれに限ることなく、２枚以下または４
枚以上のシートを用いたパッケージの製造にも適用が可
能である。
ンシートを用いたパッケージの製造方法について説明し
たが、本発明はこれに限ることなく、２枚以下または４
枚以上のシートを用いたパッケージの製造にも適用が可
能である。
【００２５】上記では、第１のセラミックグリーンシー
ト１１が固体撮像素子を囲む枠部材であり、第２のセラ
ミックグリーンシート１２が固体撮像素子から受光信号
を外部へと伝達するための導体パターンを形成したパタ
ーン形成用部材であり、第３のセラミックグリーンシー
トが固体撮像素子を固定する表面を提供するベース部材
となっている。しかし、例えば２枚のシートを用いてパ
ッケージを作製する場合には、パターン形成用部材に固
体撮像素子を固定してベース部材を兼用させてもよい。
また例えば、１枚のシートのみを用いてパッケージを作
製する場合には、パターン形成用部材とベース部材とを
兼用するセラミックシートを作製し、このシートよりも
外形が小さい樹脂枠をシート表面に固定して枠部材とし
ても構わない。
ト１１が固体撮像素子を囲む枠部材であり、第２のセラ
ミックグリーンシート１２が固体撮像素子から受光信号
を外部へと伝達するための導体パターンを形成したパタ
ーン形成用部材であり、第３のセラミックグリーンシー
トが固体撮像素子を固定する表面を提供するベース部材
となっている。しかし、例えば２枚のシートを用いてパ
ッケージを作製する場合には、パターン形成用部材に固
体撮像素子を固定してベース部材を兼用させてもよい。
また例えば、１枚のシートのみを用いてパッケージを作
製する場合には、パターン形成用部材とベース部材とを
兼用するセラミックシートを作製し、このシートよりも
外形が小さい樹脂枠をシート表面に固定して枠部材とし
ても構わない。
【００２６】上記と同様の方法により製造されるパッケ
ージの一形態を図２に示す。パッケージ２は、平面視
（パッケージ上面側からの観察；図２(Ａ)）で外形が略
矩形であり、上面中央に固体撮像素子を設置するための
凹部１０を有している。また、各コーナーには平面視Ｌ
字状の切り欠き部（後退部）３が形成されている。ま
た、アウターリードを形成しない側端部（以下「短側
部」という；これに対し、アウターリードを形成する側
端部を以下「長側部」という）にも平面視コ字状の切り
欠き部（後退部）４が形成されている。このように、パ
ッケージ側端部の切り欠き部は、平面視で、略Ｌ字状ま
たは略コ字状であることが好ましい。
ージの一形態を図２に示す。パッケージ２は、平面視
（パッケージ上面側からの観察；図２(Ａ)）で外形が略
矩形であり、上面中央に固体撮像素子を設置するための
凹部１０を有している。また、各コーナーには平面視Ｌ
字状の切り欠き部（後退部）３が形成されている。ま
た、アウターリードを形成しない側端部（以下「短側
部」という；これに対し、アウターリードを形成する側
端部を以下「長側部」という）にも平面視コ字状の切り
欠き部（後退部）４が形成されている。このように、パ
ッケージ側端部の切り欠き部は、平面視で、略Ｌ字状ま
たは略コ字状であることが好ましい。
【００２７】これらの切り欠き部３，４の端面は、セラ
ミックグリーンシートに貫通孔を形成するときに生成し
たものであって、セラミック焼成体をブレーキングする
ときに生成したものではない。したがって、切り欠き部
３，４には、「バリ」が存在せず、焼成体をブレーキン
グする際の不確実性に伴う寸法誤差は排除されている。
ミックグリーンシートに貫通孔を形成するときに生成し
たものであって、セラミック焼成体をブレーキングする
ときに生成したものではない。したがって、切り欠き部
３，４には、「バリ」が存在せず、焼成体をブレーキン
グする際の不確実性に伴う寸法誤差は排除されている。
【００２８】平面図（図２(Ａ)）とともに、正面図（図
２(Ｂ)）および側面図（図２(Ｃ)）を参照すれば明らか
なように、切り欠き部３，４の端面には、段差が形成さ
れている。これら切り欠き部では、パターン形成用部材
である第２のシートの端面が他のシートの端面よりもや
やパッケージの外方側へと突出している。外側にやや張
り出した端面は、外部部材と当接する際の基準端面５，
６となる。図示した形態のように、基準端面は導体パタ
ーンを形成するシートにより構成することが好ましい。
図１に示した各貫通孔は、切り欠き部における基準端面
の形成を考慮して、その形状を調整することが好まし
い。
２(Ｂ)）および側面図（図２(Ｃ)）を参照すれば明らか
なように、切り欠き部３，４の端面には、段差が形成さ
れている。これら切り欠き部では、パターン形成用部材
である第２のシートの端面が他のシートの端面よりもや
やパッケージの外方側へと突出している。外側にやや張
り出した端面は、外部部材と当接する際の基準端面５，
６となる。図示した形態のように、基準端面は導体パタ
ーンを形成するシートにより構成することが好ましい。
図１に示した各貫通孔は、切り欠き部における基準端面
の形成を考慮して、その形状を調整することが好まし
い。
【００２９】なお、パッケージの長側部には、従来と同
様、平面視半円状の切り欠き部とアウターリード７とが
形成されている。アウターリードを形成するスペースを
確保するため、外部部材との位置決めに用いる切り欠き
部３，４は、パッケージの短側部またはコーナーに設け
ることが好ましい。
様、平面視半円状の切り欠き部とアウターリード７とが
形成されている。アウターリードを形成するスペースを
確保するため、外部部材との位置決めに用いる切り欠き
部３，４は、パッケージの短側部またはコーナーに設け
ることが好ましい。
【００３０】次に、図３を参照して、上記パッケージ２
に固体撮像素子１を固定する方法について説明する。パ
ッケージ２は、位置決め用の突出部５２，５３，５４を
備え、所定の位置に配置された位置決め治具５１に押し
つけられて位置決めされる。図３に示すように、パッケ
ージ２は、切り欠き部の基準端面５，６のみが位置決め
治具５１と接触することにより、位置決めされている。
すなわち、水平方向（図示Ｈ方向）については、短側部
の切り欠き部の基準端面５が突起部５４に沿って当接
し、垂直方向（図示Ｖ方向）については、コーナーの切
り欠き部の基準端面６が突起部５２，５３に沿って当接
することにより、それぞれ各方向についてのパッケージ
の位置を規制している。なお、図３では、突起部５２，
５３，５４を用いて位置決めする形態について説明した
が、これに限らず、例えば２つの突起部５３，５４（あ
るいは突起部５２，５４）のみで位置決めしてもよい。
また、各突起部および基準端面は、ともにパッケージと
位置決め治具とが安定して位置決めできる長さを有する
ことが好ましい。パッケージ２には、平面視で、互いに
隣接する２つの側端部と平行な直線部分５，６（換言す
れば互いに直交する直線部分）が切り欠き部３，４に形
成されていることが好ましい。
に固体撮像素子１を固定する方法について説明する。パ
ッケージ２は、位置決め用の突出部５２，５３，５４を
備え、所定の位置に配置された位置決め治具５１に押し
つけられて位置決めされる。図３に示すように、パッケ
ージ２は、切り欠き部の基準端面５，６のみが位置決め
治具５１と接触することにより、位置決めされている。
すなわち、水平方向（図示Ｈ方向）については、短側部
の切り欠き部の基準端面５が突起部５４に沿って当接
し、垂直方向（図示Ｖ方向）については、コーナーの切
り欠き部の基準端面６が突起部５２，５３に沿って当接
することにより、それぞれ各方向についてのパッケージ
の位置を規制している。なお、図３では、突起部５２，
５３，５４を用いて位置決めする形態について説明した
が、これに限らず、例えば２つの突起部５３，５４（あ
るいは突起部５２，５４）のみで位置決めしてもよい。
また、各突起部および基準端面は、ともにパッケージと
位置決め治具とが安定して位置決めできる長さを有する
ことが好ましい。パッケージ２には、平面視で、互いに
隣接する２つの側端部と平行な直線部分５，６（換言す
れば互いに直交する直線部分）が切り欠き部３，４に形
成されていることが好ましい。
【００３１】図３に示した位置決め形態では、パッケー
ジの切り欠き部以外の端面は、位置決め治具に接触して
いない。このため、切り欠き部以外の側端部に「バリ」
に伴う寸法誤差が生じていても、位置決めの精度が影響
されることはない。特に、図示した形態では、各切り欠
き部においても、所定のシート（ここでは第２のシー
ト）から構成された基準端面５，６以外の端面は、位置
決め治具と接触せずに位置決めが行われている。
ジの切り欠き部以外の端面は、位置決め治具に接触して
いない。このため、切り欠き部以外の側端部に「バリ」
に伴う寸法誤差が生じていても、位置決めの精度が影響
されることはない。特に、図示した形態では、各切り欠
き部においても、所定のシート（ここでは第２のシー
ト）から構成された基準端面５，６以外の端面は、位置
決め治具と接触せずに位置決めが行われている。
【００３２】上記方法による位置決めは、ピン立て治具
に立設した２本のピンを用いて行う位置決めとは異な
り、パッケージのごく単純な移動により実施できる。パ
ッケージは、Ｈ方向およびＶ方向への動きを兼ねる方向
５５に沿って移動させて位置決め治具に当接させれば足
りる。この位置決めは、図４に示したように、パッケー
ジを押しつけ部材６０により基準面上を滑らせて行うこ
とができる。このような単純な動作によるパッケージの
正確な位置決めは、固体撮像素子を搭載する際の精度向
上と効率化に極めて有利である。
に立設した２本のピンを用いて行う位置決めとは異な
り、パッケージのごく単純な移動により実施できる。パ
ッケージは、Ｈ方向およびＶ方向への動きを兼ねる方向
５５に沿って移動させて位置決め治具に当接させれば足
りる。この位置決めは、図４に示したように、パッケー
ジを押しつけ部材６０により基準面上を滑らせて行うこ
とができる。このような単純な動作によるパッケージの
正確な位置決めは、固体撮像素子を搭載する際の精度向
上と効率化に極めて有利である。
【００３３】上記のように、本発明の固体撮像装置用パ
ッケージの切り欠き部には、平面視により直線として観
察される端面が少なくとも２つ準備される。このパッケ
ージは、少なくとも２つの面で位置決め治具の突出部に
沿って位置決めされることにより、回転運動も防止さ
れ、精度よく位置決めできる。
ッケージの切り欠き部には、平面視により直線として観
察される端面が少なくとも２つ準備される。このパッケ
ージは、少なくとも２つの面で位置決め治具の突出部に
沿って位置決めされることにより、回転運動も防止さ
れ、精度よく位置決めできる。
【００３４】位置決め治具には、平面視で切り欠き部の
直線部分に沿って当接する直線部分を有し、切り欠き部
以外のパッケージの側端部が位置決め治具に接触しない
ように突出させた突出部を設けることが好ましい。突出
部の個数に特に制限はないが、突出部には、パッケージ
の切り欠き部と当接する直線部分が少なくとも２つ準備
されていることが好ましい。
直線部分に沿って当接する直線部分を有し、切り欠き部
以外のパッケージの側端部が位置決め治具に接触しない
ように突出させた突出部を設けることが好ましい。突出
部の個数に特に制限はないが、突出部には、パッケージ
の切り欠き部と当接する直線部分が少なくとも２つ準備
されていることが好ましい。
【００３５】また、パッケージと位置決め治具との当接
面の少なくとも２つは、平面視で互いに略直交する直線
部分となっていることが好ましい。
面の少なくとも２つは、平面視で互いに略直交する直線
部分となっていることが好ましい。
【００３６】こうしてパッケージ２が位置決めされた状
態で、固体撮像素子１がパッケージの上面の凹部に固定
される。さらに、固体撮像素子１と導電パターンとを接
続するインナーリード（図示省略）の接続、ガラス板８
による素子の封着など所定の工程を経て、図５に示す固
体撮像装置が作製される。
態で、固体撮像素子１がパッケージの上面の凹部に固定
される。さらに、固体撮像素子１と導電パターンとを接
続するインナーリード（図示省略）の接続、ガラス板８
による素子の封着など所定の工程を経て、図５に示す固
体撮像装置が作製される。
【００３７】本発明における固体撮像装置のパッケージ
の位置決めの形態は、上記に限られない。例えば、図６
および図７に示すように、コーナーの切り欠き部４３に
平面視Ｌ字状の基準端面４７を設け、この互いに直交す
る２つの面からなる基準端面４７を、位置決め治具５６
の突出部５８のコーナーに沿わせてパッケージ４２を位
置決めしてもよい。この場合も、図示したように、その
他の突出部５７，５９を併用することにより、合計２以
上の切り欠き部４３，４４の端面４５，４７による位置
決めとすることが好ましいが、コーナーの基準端面４７
とこれに対応する突出部５８とによってのみ位置決めし
てもよい。このように、本発明は、コーナーの切り欠き
部のみを用いてパッケージを位置決めする形態を包含す
る。
の位置決めの形態は、上記に限られない。例えば、図６
および図７に示すように、コーナーの切り欠き部４３に
平面視Ｌ字状の基準端面４７を設け、この互いに直交す
る２つの面からなる基準端面４７を、位置決め治具５６
の突出部５８のコーナーに沿わせてパッケージ４２を位
置決めしてもよい。この場合も、図示したように、その
他の突出部５７，５９を併用することにより、合計２以
上の切り欠き部４３，４４の端面４５，４７による位置
決めとすることが好ましいが、コーナーの基準端面４７
とこれに対応する突出部５８とによってのみ位置決めし
てもよい。このように、本発明は、コーナーの切り欠き
部のみを用いてパッケージを位置決めする形態を包含す
る。
【００３８】また、例えば、図８に示すように、コーナ
ーにＬ字状の切り欠き部８４を形成するとともに、短側
部には平面視台形の領域を除去して切り欠き部８３を形
成してもよい。このパッケージ８２は、両切り欠き部８
３，８４に沿って当接する突出部を有する位置決め治具
を用いて位置決めすることができる。このように、位置
決めの形態では、切り欠き部は、矩形に限られない。
ーにＬ字状の切り欠き部８４を形成するとともに、短側
部には平面視台形の領域を除去して切り欠き部８３を形
成してもよい。このパッケージ８２は、両切り欠き部８
３，８４に沿って当接する突出部を有する位置決め治具
を用いて位置決めすることができる。このように、位置
決めの形態では、切り欠き部は、矩形に限られない。
【００３９】他方、パッケージの側端部に形成した一つ
の切り欠き部を用いて、このパッケージを位置決めする
形態では、図９（Ａ）に示すように、短側部に形成した
略Ｖ字形の切り欠き部９３により、２つの基準端面９
４，９６が形成されたパッケージ９２が用いられる。こ
のパッケージ９２は、図９（Ｂ）に示すように、切り欠
き部９３に沿って当接する（切り欠き部に嵌合する）突
出部９９を備えた位置決め治具５９を用いて位置決めさ
れる。パッケージの側端部に平面視Ｖ字状の切り欠き部
を形成することは、上記特開平１０−３２６８８６号公
報にも開示されている。
の切り欠き部を用いて、このパッケージを位置決めする
形態では、図９（Ａ）に示すように、短側部に形成した
略Ｖ字形の切り欠き部９３により、２つの基準端面９
４，９６が形成されたパッケージ９２が用いられる。こ
のパッケージ９２は、図９（Ｂ）に示すように、切り欠
き部９３に沿って当接する（切り欠き部に嵌合する）突
出部９９を備えた位置決め治具５９を用いて位置決めさ
れる。パッケージの側端部に平面視Ｖ字状の切り欠き部
を形成することは、上記特開平１０−３２６８８６号公
報にも開示されている。
【００４０】ただし、２以上の切り欠き部を用いて位置
決めする場合はこれに限らず、例えば、短側部に形成し
た平面視で略半円状の切り欠き部と、コーナーに形成し
た平面視で略１／４円状の切り欠き部とを用い、これら
切り欠き部の形状に沿って当接する突出部を備えた位置
決め治具を用いて、上記と同様にパッケージの位置決め
を行ってもよい。このように、本発明の位置決めの形態
は、２以上の切り欠き部と位置決め治具の突出部とを当
接させる場合は、その当接部分が平面視で直線を含まな
い形状であってもよい。このような当接部は、弧から構
成されることが好ましい。
決めする場合はこれに限らず、例えば、短側部に形成し
た平面視で略半円状の切り欠き部と、コーナーに形成し
た平面視で略１／４円状の切り欠き部とを用い、これら
切り欠き部の形状に沿って当接する突出部を備えた位置
決め治具を用いて、上記と同様にパッケージの位置決め
を行ってもよい。このように、本発明の位置決めの形態
は、２以上の切り欠き部と位置決め治具の突出部とを当
接させる場合は、その当接部分が平面視で直線を含まな
い形状であってもよい。このような当接部は、弧から構
成されることが好ましい。
【００４１】図１０に示すように、固体撮像装置６２
は、レンズブロック６１と位置合わせされ、配線基板６
３上に接着剤６４などにより固定されて、カメラとして
使用される。以下、固体撮像装置とレンズブロックとの
位置合わせの好ましい形態について説明する。
は、レンズブロック６１と位置合わせされ、配線基板６
３上に接着剤６４などにより固定されて、カメラとして
使用される。以下、固体撮像装置とレンズブロックとの
位置合わせの好ましい形態について説明する。
【００４２】レンズブロックと固体撮像装置との位置合
わせは、パッケージの切り欠き部を用いて行うことがで
きる。この場合は、図１１に示すように、レンズブロッ
ク６１の固定面６５に、突出部７２，７３，７４を形成
することが好ましい。これらの突出部の配置および形状
は、固体撮像素子の固定のために用いた位置決め治具と
同様に、パッケージの切り欠き部に応じて定めればよ
い。
わせは、パッケージの切り欠き部を用いて行うことがで
きる。この場合は、図１１に示すように、レンズブロッ
ク６１の固定面６５に、突出部７２，７３，７４を形成
することが好ましい。これらの突出部の配置および形状
は、固体撮像素子の固定のために用いた位置決め治具と
同様に、パッケージの切り欠き部に応じて定めればよ
い。
【００４３】位置決め治具に代えてレンズブロックを用
いる点を除いては、パッケージの位置決めは、上記で説
明した方法と同様である。こうして、例えば図１２に示
すように、固体撮像装置６２の切り欠き部の基準端面５
４に沿って、レンズブロック６１の突出部７４が当接
し、同様に他の切り欠き部と突出部７２，７３とがそれ
ぞれ当接して、レンズブロック６１と固体撮像装置６２
とが位置合わせされる。この場合も、パッケージの側端
部に「バリ」による突出が生じていたとしても、レンズ
ブロックと固体撮像装置との間のクリアランス７５によ
り、位置合わせの精度の低下は防止できる。
いる点を除いては、パッケージの位置決めは、上記で説
明した方法と同様である。こうして、例えば図１２に示
すように、固体撮像装置６２の切り欠き部の基準端面５
４に沿って、レンズブロック６１の突出部７４が当接
し、同様に他の切り欠き部と突出部７２，７３とがそれ
ぞれ当接して、レンズブロック６１と固体撮像装置６２
とが位置合わせされる。この場合も、パッケージの側端
部に「バリ」による突出が生じていたとしても、レンズ
ブロックと固体撮像装置との間のクリアランス７５によ
り、位置合わせの精度の低下は防止できる。
【００４４】上記に説明したように、パッケージに精度
よく固体撮像素子を固定し、このパッケージとレンズブ
ロックとを精度よく固定すれば、外部光６７を集光する
レンズ６６の光軸７６と固体撮像素子の設計上の光軸と
の不一致を防止することができる。
よく固体撮像素子を固定し、このパッケージとレンズブ
ロックとを精度よく固定すれば、外部光６７を集光する
レンズ６６の光軸７６と固体撮像素子の設計上の光軸と
の不一致を防止することができる。
【００４５】レンズブロックと固体撮像装置との位置合
わせの方法は、上記に限ることなく、パッケージの位置
決め方法として上記で説明したすべての方法を適用する
ことが可能である。また、パッケージの位置決めに用い
た位置決め治具に対してレンズブロックを位置決めして
から固定してもよいし、位置決め治具を用いてパッケー
ジとともに位置決めした他の部材（例えば配線基板）に
対してレンズブロックを位置決めしても構わない。な
お、本発明の固体撮像装置に用いるパッケージの形状
は、受光素子、発光素子のような光学部品にも適用が可
能である。
わせの方法は、上記に限ることなく、パッケージの位置
決め方法として上記で説明したすべての方法を適用する
ことが可能である。また、パッケージの位置決めに用い
た位置決め治具に対してレンズブロックを位置決めして
から固定してもよいし、位置決め治具を用いてパッケー
ジとともに位置決めした他の部材（例えば配線基板）に
対してレンズブロックを位置決めしても構わない。な
お、本発明の固体撮像装置に用いるパッケージの形状
は、受光素子、発光素子のような光学部品にも適用が可
能である。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型化しても固体撮像素子を精度よく位置決めできるパ
ッケージを用いた固体撮像装置を提供できる。また、こ
の固体撮像装置とレンズブロックとが精度よく位置合わ
せされ、シェーディングなどの特性劣化が抑制された、
固体撮像装置を用いたカメラを提供できる。
小型化しても固体撮像素子を精度よく位置決めできるパ
ッケージを用いた固体撮像装置を提供できる。また、こ
の固体撮像装置とレンズブロックとが精度よく位置合わ
せされ、シェーディングなどの特性劣化が抑制された、
固体撮像装置を用いたカメラを提供できる。
【図１】 本発明の固体撮像装置に用いるセラミックシ
ートの加工の例について説明するためのシートの平面図
である。
ートの加工の例について説明するためのシートの平面図
である。
【図２】 本発明の固体撮像装置に用いるパッケージの
一形態の平面図（Ａ）、正面図（Ｂ）、および側面図
（Ｃ）である。
一形態の平面図（Ａ）、正面図（Ｂ）、および側面図
（Ｃ）である。
【図３】 本発明におけるパッケージの位置決め方法の
一形態を説明するための平面図である。
一形態を説明するための平面図である。
【図４】 本発明におけるパッケージの位置決め方法の
一形態を説明するための斜視図である。
一形態を説明するための斜視図である。
【図５】 本発明の固体撮像装置の一形態の平面図
（Ａ）、正面図（Ｂ）、および側面図（Ｃ）である。
（Ａ）、正面図（Ｂ）、および側面図（Ｃ）である。
【図６】 本発明の固体撮像装置の別の一形態の平面図
である。
である。
【図７】 本発明におけるパッケージの位置決め方法の
別の一形態を説明するための平面図である。
別の一形態を説明するための平面図である。
【図８】 本発明の固体撮像装置に用いるパッケージの
別の一形態を示す平面図である。
別の一形態を示す平面図である。
【図９】 固体撮像装置に用いるパッケージのまた別の
一形態（Ａ）およびこのパッケージを用いた位置決め形
態の例（Ｂ）を示す平面図である。
一形態（Ａ）およびこのパッケージを用いた位置決め形
態の例（Ｂ）を示す平面図である。
【図１０】 本発明の固体撮像装置を用いたカメラの構
成例を示す斜視図である。
成例を示す斜視図である。
【図１１】 本発明のカメラに用いたレンズブロックの
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図１２】 本発明の固体撮像装置を用いたカメラの一
形態の断面図である。
形態の断面図である。
【図１３】 従来の固体撮像装置に用いるセラミックシ
ートの加工の例について説明するためのシートの平面図
である。
ートの加工の例について説明するためのシートの平面図
である。
【図１４】 従来の固体撮像装置に用いるセラミック積
層体の断面図である。
層体の断面図である。
【図１５】 図１４に示すセラミック積層体を分割した
ときに生じる、いわゆる「バリ」の発生を説明するため
の断面図である。
ときに生じる、いわゆる「バリ」の発生を説明するため
の断面図である。
【図１６】 従来のパッケージの位置決め方法の例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図１７】 従来の固体撮像装置の例を示す平面図
（Ａ）、および正面図（Ｂ）である。
（Ａ）、および正面図（Ｂ）である。
【図１８】 図１７に示した固体撮像装置を用いた位置
決め方法を示す平面図である。
決め方法を示す平面図である。
１ 固体撮像素子
２，４２，８２，９２ パッケージ
３，４，４３，４４、８３，８４，９３ 切り欠き部
（後退部） ５，６，４５，４７，９４，９６ 基準端面 ７ アウターリード ８ （封着用）ガラス板 ９ パッケージ側端部 １０ パッケージ上面の凹部 １１，１２，１３ セラミックグリーンシート １４，１５ 開口部 １７，１８，１９，２０，２１，２２ 貫通孔 ２４，２５，２６ （仮想）分割線 ５１，５６，５９ 位置決め治具 ５２，５３，５４，５７，５８，５９，９９ 突出部 ５５，９５ 押しつけ方向 ６０ 押し付け治具 ６１ レンズブロック ６２ 固体撮像装置 ６３ 配線基板 ６５ 固定面 ６６ レンズ ７２，７３，７４ 突出部
（後退部） ５，６，４５，４７，９４，９６ 基準端面 ７ アウターリード ８ （封着用）ガラス板 ９ パッケージ側端部 １０ パッケージ上面の凹部 １１，１２，１３ セラミックグリーンシート １４，１５ 開口部 １７，１８，１９，２０，２１，２２ 貫通孔 ２４，２５，２６ （仮想）分割線 ５１，５６，５９ 位置決め治具 ５２，５３，５４，５７，５８，５９，９９ 突出部 ５５，９５ 押しつけ方向 ６０ 押し付け治具 ６１ レンズブロック ６２ 固体撮像装置 ６３ 配線基板 ６５ 固定面 ６６ レンズ ７２，７３，７４ 突出部
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 23/04
H01L 27/14 - 27/148
H04N 5/335
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも２枚のセラミックグリーンシ
ートを積層し、焼成して得たセラミック焼成体を分割し
て製造した平面視で外形が矩形のパッケージと、固体撮
像素子とを備え、前記パッケージが、前記固体撮像素子
から信号を伝達する導体パターンを表面に形成したパタ
ーン形成用部材と、前記固体撮像素子を囲む開口部を有
し、前記パターン形成用部材の上方に配置される枠部材
とを含む固体撮像装置であって、 前記パッケージが、アウターリードを形成しない第１側
端部とアウターリードを形成する第２側端部とを有し、 前記パッケージの各コーナーに平面視でＬ字状の切り欠
き部が、前記パッケージにおける各第１側端部に平面視
でコ字状の切り欠き部がそれぞれ形成され、前記Ｌ字状
の切り欠き部および前記コ字状の切り欠き部のそれぞれ
が平面視で直線である基準端面を含む端面により画さ
れ、前記Ｌ字状の切り欠き部の基準端面が前記第２側端
部に平行であり、前記コ字状の切り欠き部の基準端面が
前記第１側端部に平行であることを特徴とする固体撮像
装置。 - 【請求項２】 前記基準端面が、前記パターン形成用部
材により構成されている請求項１に記載の固体撮像装
置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の固体撮像装置
の製造方法であって、少なくとも２枚のセラミックグリ
ーンシートを準備し、平面視により観察して前記シート
に網目状に配置される仮想分割線の交点および前記交点
の間の前記仮想分割線上に、断面が矩形の貫通孔を、前
記矩形の頂点が前記仮想分割線から外れるように前記シ
ートに形成する工程と、前記仮想分割線が積層方向にお
いて一致するように前記セラミックグリーンシートを積
層して積層体を形成する工程と、前記積層体を焼成して
セラミック焼成体を得る工程と、前記セラミック焼成体
を前記仮想分割線に沿って分割することにより、平面視
で外形が矩形のパッケージであって、各コーナーに平面
視でＬ字状の切り欠き部が、アウターリードを形成 しな
い各側端部に平面視でコ字状の切り欠き部が、前記貫通
孔からそれぞれ形成されたパッケージを複数個得る工程
とを含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項４】 平面視で外形が矩形であって、コーナー
およびアウターリードを形成しない側端部を切り欠いて
形成した第１および第２の基準端面を備えたパッケージ
を、前記第１および第２の基準端面に沿って各々当接す
る第１および第２の突出部を備えた位置決め治具と押し
つけ部材とを用い、前記第１および第２の基準端面に沿
って前記第１および第２の突出部が各々当接するよう
に、前記押しつけ部材により、前記パッケージを基準面
上を滑らせて前記位置決め部材に押しつけ、前記基準端
面以外の端面が前記位置決め治具に接触していない状態
で前記パッケージを位置決めし、前記パッケージに固体
撮像素子を固定することを特徴とする固体撮像装置の製
造方法。 - 【請求項５】 請求項１または２に記載の固体撮像装置
と、前記Ｌ字状の切り欠き部の基準端面および前記コ字状の
切り欠き部の基準端面 に沿って当接する突出部と、前記
固体撮像装置が有する固体撮像素子に外部光を集光する
レンズとを有するレンズブロックとを備え、 前記基準端面に沿って前記突出部を当接させた状態で、
前記固体撮像装置と前記レンズブロックとが位置合わせ
されていることを特徴とする、固体撮像装置を用いたカ
メラ。
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| JP19960399A JP3416580B2 (ja) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | 固体撮像装置、これを用いたカメラ、および固体撮像装置の製造方法 |
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| JP19960399A JP3416580B2 (ja) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | 固体撮像装置、これを用いたカメラ、および固体撮像装置の製造方法 |
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1999
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2000
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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