JP3237473B2 - マスク制御装置 - Google Patents
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- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/3193—Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
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- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31919—Storing and outputting test patterns
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- G—PHYSICS
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- G01R31/31926—Routing signals to or from the device under test [DUT], e.g. switch matrix, pin multiplexing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、LSSD(Level Se
nsitive Scan Design )機能を持った集積回路等の測定
に利用できるマスク制御装置についてのものである。
nsitive Scan Design )機能を持った集積回路等の測定
に利用できるマスク制御装置についてのものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のマスク制御装置は、基本
的に図5に示すように構成されている。図5において、
アドレス発生器11はテストプログラムに従って実時間
でランダムパターン発生用、シリアルパターン発生用の
いずれかのアドレスを選択的に発生すると共に、いずれ
のパターンが動作中であるかを示すパターンモード信号
を発生する。
的に図5に示すように構成されている。図5において、
アドレス発生器11はテストプログラムに従って実時間
でランダムパターン発生用、シリアルパターン発生用の
いずれかのアドレスを選択的に発生すると共に、いずれ
のパターンが動作中であるかを示すパターンモード信号
を発生する。
【0003】ここで発生されたランダムパターン発生用
のアドレス(以下、ランダムアドレスと称する)は、n
個の期待波形出力用ランダムパターンメモリ121〜1
2n及びn個のマスク波形出力用ランダムパターンメモ
リ131〜13nに供給される。また、シリアルパター
ン発生用のアドレス(以下、シリアルアドレスと称す
る)は、m個の期待波形出力用シリアルパターンメモリ
141〜14m及びm個のマスク波形出力用シリアルパ
ターンメモリ151〜15mに供給される。一方、パタ
ーンモード信号はピンセレクタ16,17に供給され
る。
のアドレス(以下、ランダムアドレスと称する)は、n
個の期待波形出力用ランダムパターンメモリ121〜1
2n及びn個のマスク波形出力用ランダムパターンメモ
リ131〜13nに供給される。また、シリアルパター
ン発生用のアドレス(以下、シリアルアドレスと称す
る)は、m個の期待波形出力用シリアルパターンメモリ
141〜14m及びm個のマスク波形出力用シリアルパ
ターンメモリ151〜15mに供給される。一方、パタ
ーンモード信号はピンセレクタ16,17に供給され
る。
【0004】期待波形出力用ランダムパターンメモリ1
21〜12nには、それぞれランダムパターン用の期待
波形データがストアされている。マスク波形出力用ラン
ダムパターンメモリ131〜13nには、それぞれラン
ダムパターン用の判定結果のマスク波形データがストア
されている。
21〜12nには、それぞれランダムパターン用の期待
波形データがストアされている。マスク波形出力用ラン
ダムパターンメモリ131〜13nには、それぞれラン
ダムパターン用の判定結果のマスク波形データがストア
されている。
【0005】期待波形出力用シリアルパターンメモリ1
41〜14mには、それぞれシリアルパターン用の期待
波形データがストアされている。マスク波形出力用シリ
アルメモリ151〜15mには、それぞれシリアルパタ
ーン用の判定結果のマスク波形データがストアされてい
る。
41〜14mには、それぞれシリアルパターン用の期待
波形データがストアされている。マスク波形出力用シリ
アルメモリ151〜15mには、それぞれシリアルパタ
ーン用の判定結果のマスク波形データがストアされてい
る。
【0006】期待波形出力用シリアルパターンメモリ1
41〜14mより出力されるデータSO1〜SOmは、
ピンセレクタ16により、あらかじめプログラムされた
ピン(端子)に振り分けられる。また、マスク波形出力
用シリアルパターンメモリ151〜15mより出力され
るデータSM1〜SMmは、ピンセレクタ17により、
あらかじめプログラムされたピンに振り分けられる。
41〜14mより出力されるデータSO1〜SOmは、
ピンセレクタ16により、あらかじめプログラムされた
ピン(端子)に振り分けられる。また、マスク波形出力
用シリアルパターンメモリ151〜15mより出力され
るデータSM1〜SMmは、ピンセレクタ17により、
あらかじめプログラムされたピンに振り分けられる。
【0007】ここで、各ピンセレクタ16,17は、そ
れぞれパターンモード信号を入力し、そのパターンモー
ド信号がシリアルパターンモードのときのみmビットの
入力データをnビットのうちの所定ビットに振り分けて
出力する。また、ピンセレクタ16はシリアルモード動
作中にピン毎に切換信号を出力する機能を有している。
れぞれパターンモード信号を入力し、そのパターンモー
ド信号がシリアルパターンモードのときのみmビットの
入力データをnビットのうちの所定ビットに振り分けて
出力する。また、ピンセレクタ16はシリアルモード動
作中にピン毎に切換信号を出力する機能を有している。
【0008】次に、ピンセレクタ16の一例を図6に示
す。このピンセレクタ16は、第1ピンから第nピンそ
れぞれに対応するレジスタ群R1〜Rnを備える。これ
らのレジスタ群R1〜Rnは、それぞれ外部CPU(図
示せず)から与えられる選択データを保持するものであ
る。
す。このピンセレクタ16は、第1ピンから第nピンそ
れぞれに対応するレジスタ群R1〜Rnを備える。これ
らのレジスタ群R1〜Rnは、それぞれ外部CPU(図
示せず)から与えられる選択データを保持するものであ
る。
【0009】第i(i=1〜n)ピン用レジスタ群Ri
に保持されたm個の選択データは、それぞれ第iピン用
論理積ゲートANDi1〜ANDimに供給され、同時
に論理和ゲートORiに供給される。このORiの論理
和出力は第iピン用論理積ゲートANDi0に供給され
る。
に保持されたm個の選択データは、それぞれ第iピン用
論理積ゲートANDi1〜ANDimに供給され、同時
に論理和ゲートORiに供給される。このORiの論理
和出力は第iピン用論理積ゲートANDi0に供給され
る。
【0010】第iピン用論理積ゲートANDi1〜AN
Dimはそれぞれシリアルパターン波形データSO1〜
SOmを対応的に入力し、レジスタ群Riからの選択デ
ータに従って波形データを選択的に出力する。また、第
iピン用論理積ゲートANDi0はそれぞれパターンモ
ード信号を共通に入力し、論理和ゲートORiからの論
理和出力に応じてパターンモード信号をシリアルモード
切換信号として選択的に出力する。
Dimはそれぞれシリアルパターン波形データSO1〜
SOmを対応的に入力し、レジスタ群Riからの選択デ
ータに従って波形データを選択的に出力する。また、第
iピン用論理積ゲートANDi0はそれぞれパターンモ
ード信号を共通に入力し、論理和ゲートORiからの論
理和出力に応じてパターンモード信号をシリアルモード
切換信号として選択的に出力する。
【0011】なお、ピンセレクタ17は、図6の回路構
成からパターンモード信号のラインを削除した形にな
る。すなわち、判定結果のマスク波形データとは、期待
波形データとDUTからの出力の判定結果をマスクする
データであるため、期待波形データと判定結果のマスク
データとは対をなすものなので、ピンセレクタ16とピ
ンセレクタ17は、ほとんどの場合同じピンをセットす
る。よってピンセレクタ17には、ピン毎のシリアルモ
ード切換信号の出力機能が省略してある。
成からパターンモード信号のラインを削除した形にな
る。すなわち、判定結果のマスク波形データとは、期待
波形データとDUTからの出力の判定結果をマスクする
データであるため、期待波形データと判定結果のマスク
データとは対をなすものなので、ピンセレクタ16とピ
ンセレクタ17は、ほとんどの場合同じピンをセットす
る。よってピンセレクタ17には、ピン毎のシリアルモ
ード切換信号の出力機能が省略してある。
【0012】一方、期待波形出力用ランダムパターンメ
モリ121〜12nより出力されるランダムパターン期
待波形データPO1〜POnと、ピンセレクタ16より
出力されるピン毎のシリアルパターン期待波形データP
S1〜PSnは、それぞれセレクタ18の入力端子A,
Bに供給され、シリアル動作中に出力されるピン毎の切
換信号SP1〜SPnにより、出力端子Qより選択的に
導出される。このセレクタ18の出力はコンパレータ回
路20の入力端子Aに供給され、入力端子Bに供給され
るDUTからの出力データと比較判定される。
モリ121〜12nより出力されるランダムパターン期
待波形データPO1〜POnと、ピンセレクタ16より
出力されるピン毎のシリアルパターン期待波形データP
S1〜PSnは、それぞれセレクタ18の入力端子A,
Bに供給され、シリアル動作中に出力されるピン毎の切
換信号SP1〜SPnにより、出力端子Qより選択的に
導出される。このセレクタ18の出力はコンパレータ回
路20の入力端子Aに供給され、入力端子Bに供給され
るDUTからの出力データと比較判定される。
【0013】また、マスク波形出力用ランダムパターン
メモリ131〜13nより出力されるランダムパターン
マスク波形データPM1〜PMnとピンセレクタ17よ
り出力されるピン毎のシリアルパターンマスク波形デー
タPS1〜PSMnは、それぞれセレクタ19の入力端
子A,Bに供給され、セレクタ18と同様に、シリアル
動作中に出力されるピン毎の切換信号SP1〜SPnに
より、出力端子Qより選択的に導出される。
メモリ131〜13nより出力されるランダムパターン
マスク波形データPM1〜PMnとピンセレクタ17よ
り出力されるピン毎のシリアルパターンマスク波形デー
タPS1〜PSMnは、それぞれセレクタ19の入力端
子A,Bに供給され、セレクタ18と同様に、シリアル
動作中に出力されるピン毎の切換信号SP1〜SPnに
より、出力端子Qより選択的に導出される。
【0014】このセレクタ19の出力はマスク制御回路
21に供給される。このマスク制御回路21は、コンパ
レータ回路20より出力される判定結果をセレクタ19
から出力されるマスク波形データによりマスクして出力
する。
21に供給される。このマスク制御回路21は、コンパ
レータ回路20より出力される判定結果をセレクタ19
から出力されるマスク波形データによりマスクして出力
する。
【0015】以上のような構成において、LSSD機能
を含んだプログラムの記述例を図7に示して、その動作
を具体的に説明する。図7の例では、ランダムアドレス
が“3”アドレスをLSSD動作が終了するまで保持す
るものとしている(図9に示すアドレス発生器11の出
力参照)。
を含んだプログラムの記述例を図7に示して、その動作
を具体的に説明する。図7の例では、ランダムアドレス
が“3”アドレスをLSSD動作が終了するまで保持す
るものとしている(図9に示すアドレス発生器11の出
力参照)。
【0016】ここで、図7(a)は、ランダムアドレス
が“0”〜“4”のときのランダムパターン期待波形デ
ータ、ランダムパターンマスク波形データ、アドレス発
生制御コマンドのプログラム設定を示している。すなわ
ち、ランダムアドレスが“0”のとき「‘H’期待、マ
スクなし、制御なし」とし、“1”のとき「‘L’期
待、マスクなし、制御なし」とし、“2”のとき
「‘H’期待、マスク有り、制御なし」とし、“3”の
とき「‘L’期待、マスクなし、LSSD動作/シリア
ルスタートアドレス0〜3」とし、“4”のとき
「‘L’期待、マスクなし、終り」としている。
が“0”〜“4”のときのランダムパターン期待波形デ
ータ、ランダムパターンマスク波形データ、アドレス発
生制御コマンドのプログラム設定を示している。すなわ
ち、ランダムアドレスが“0”のとき「‘H’期待、マ
スクなし、制御なし」とし、“1”のとき「‘L’期
待、マスクなし、制御なし」とし、“2”のとき
「‘H’期待、マスク有り、制御なし」とし、“3”の
とき「‘L’期待、マスクなし、LSSD動作/シリア
ルスタートアドレス0〜3」とし、“4”のとき
「‘L’期待、マスクなし、終り」としている。
【0017】一方、図7(b)は、シリアルアドレスが
“0”〜“3”のときの期待波形用シリアルパターンデ
ータ、マスク波形用シリアルパターンデータのプログラ
ム設定を示している。すなわち、シリアルアドレスが
“0”のとき「‘H’期待、マスクなし」とし、“1”
のとき「‘L’期待、マスク有り」とし、“2”のとき
「‘L’期待、マスクなし」とし、“3”のとき
「‘H’期待、マスク有り」としている。
“0”〜“3”のときの期待波形用シリアルパターンデ
ータ、マスク波形用シリアルパターンデータのプログラ
ム設定を示している。すなわち、シリアルアドレスが
“0”のとき「‘H’期待、マスクなし」とし、“1”
のとき「‘L’期待、マスク有り」とし、“2”のとき
「‘L’期待、マスクなし」とし、“3”のとき
「‘H’期待、マスク有り」としている。
【0018】このとき、ランダムパターンメモリ121
〜12n,131〜13n、シリアルパターンメモリ1
41〜14m,151〜15mには、それぞれ図8に示
すようにデータがストアされる。
〜12n,131〜13n、シリアルパターンメモリ1
41〜14m,151〜15mには、それぞれ図8に示
すようにデータがストアされる。
【0019】また、mビットのシリアルパターン波形デ
ータをピン毎に振り分けるピンセレクタ16,17に、
例えば1ピンにシリアルパターン波形データが出力でき
るようにセットしておくものとする。
ータをピン毎に振り分けるピンセレクタ16,17に、
例えば1ピンにシリアルパターン波形データが出力でき
るようにセットしておくものとする。
【0020】ここで、シリアルパターン波形データの出
力段にピンセレクタ16,17を持つ理由について説明
する。シリアルパターン波形データSO1〜SOm,S
M1〜SMmとランダムパターン波形データPO1〜P
On,PM1〜PMnとは、必ずしも同じビット数存在
するとは限らず、その関係はほとんどの場合がm>nか
m<nになる。このため、プログラムによりmビットの
シリアルデータをnビットのどこに出力するかを設定す
る必要がある。ピンセレクタ16,17はそのビット選
択のために用いられている。
力段にピンセレクタ16,17を持つ理由について説明
する。シリアルパターン波形データSO1〜SOm,S
M1〜SMmとランダムパターン波形データPO1〜P
On,PM1〜PMnとは、必ずしも同じビット数存在
するとは限らず、その関係はほとんどの場合がm>nか
m<nになる。このため、プログラムによりmビットの
シリアルデータをnビットのどこに出力するかを設定す
る必要がある。ピンセレクタ16,17はそのビット選
択のために用いられている。
【0021】この後、アドレス発生器11からランダム
パターンメモリ121〜12n,131〜13n及びシ
リアルメモリ141〜14m,151〜15mに対し
て、実時間で図9に示すようなアドレス及びパターンモ
ード信号を出力すると、期待波形用出力用ランダムパタ
ーンメモリ121〜12nとマスク波形出力用ランダム
パターンメモリ131〜13nからセレクタ18,19
に向けて波形データが出力される。
パターンメモリ121〜12n,131〜13n及びシ
リアルメモリ141〜14m,151〜15mに対し
て、実時間で図9に示すようなアドレス及びパターンモ
ード信号を出力すると、期待波形用出力用ランダムパタ
ーンメモリ121〜12nとマスク波形出力用ランダム
パターンメモリ131〜13nからセレクタ18,19
に向けて波形データが出力される。
【0022】同様に、期待波形出力用シリアルパターン
メモリ141〜14mとマスク波形出力用シリアルメモ
リ151〜15mよりピンセレクタ16,17に向けて
波形データが出力されると、その出力はピンセレクタ1
6,17によりセットされたピンに出力され、セレクタ
18,19に向けてシリアル波形データPSO1〜PS
On、PSM1〜PSMn、SP1〜SPnが出力され
る。
メモリ141〜14mとマスク波形出力用シリアルメモ
リ151〜15mよりピンセレクタ16,17に向けて
波形データが出力されると、その出力はピンセレクタ1
6,17によりセットされたピンに出力され、セレクタ
18,19に向けてシリアル波形データPSO1〜PS
On、PSM1〜PSMn、SP1〜SPnが出力され
る。
【0023】そして、SP1〜SPn信号の作用によ
り、セレクタ18からはコンパレータ回路20に、セレ
クタ19からはマスク制御回路21に、シリアルモード
動作中は、シリアルパターン発生側の波形データ(PS
O、PSM)が出力され、それ以外の時は、ランダムパ
ターン発生側の波形データ(PO、PM)が出力され
る。
り、セレクタ18からはコンパレータ回路20に、セレ
クタ19からはマスク制御回路21に、シリアルモード
動作中は、シリアルパターン発生側の波形データ(PS
O、PSM)が出力され、それ以外の時は、ランダムパ
ターン発生側の波形データ(PO、PM)が出力され
る。
【0024】その後、コンパレータ回路20により、セ
レクタ18からの入力データはDUTからのデータと比
較され、コンパレータ回路20よりマスク制御回路21
へと出力される。また、セレクタ19の出力データの状
態により、マスク制御回路21は、コンパレータ回路2
0からの比較後のデータをマスクするか否かを決定し、
その判定データを出力する。
レクタ18からの入力データはDUTからのデータと比
較され、コンパレータ回路20よりマスク制御回路21
へと出力される。また、セレクタ19の出力データの状
態により、マスク制御回路21は、コンパレータ回路2
0からの比較後のデータをマスクするか否かを決定し、
その判定データを出力する。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のマスク制御装置では、シリアルパターン発生に3
系路のインターフェースを必要としており、構成の簡略
化が望まれている。この発明は、より少ないインターフ
ェ−スでシリアルパターン発生を実現し、かつランダム
パターン機能を利用して回路も簡略化したマスク制御装
置を提供することを目的とする。
従来のマスク制御装置では、シリアルパターン発生に3
系路のインターフェースを必要としており、構成の簡略
化が望まれている。この発明は、より少ないインターフ
ェ−スでシリアルパターン発生を実現し、かつランダム
パターン機能を利用して回路も簡略化したマスク制御装
置を提供することを目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
この発明に係るマスク制御装置は、テストプログラムに
従って、実時間でランダムパターンメモリ用アドレス、
シリアルパターンメモリ用アドレス及びランダム/シリ
アルパターンモード信号を発生するアドレス発生器(1
1)と、ランダムパターン用の期待波形データがストア
されている期待波形出力用ランダムパターンメモリ(1
21〜12n)と、ランダムパターン用の判定結果のマ
スク波形データがストアされているマスク波形出力用ラ
ンダムパターンメモリ(131〜13n)と、シリアル
パターン用の期待波形データがストアされている期待波
形出力用シリアルパターンメモリ(141〜14m)
と、シリアルパターン用の判定結果のマスク波形データ
がストアされているマスク波形出力用シリアルパターン
メモリ(151〜15m)と、前記期待波形出力用シリ
アルパターンメモリ(141〜14m)より出力される
データ(SO1〜SOm)をプログラムされたピンに振
り分ける第1のピンセレクタ(16)と、前記マスク波
形出力用シリアルパターンメモリ(151〜15m)よ
り出力されるデータ(SM1〜SMm)をプログラムさ
れたピンに振り分ける第2のピンセレクタ(17)と、
前記期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜
12n)より出力されるデータ(PO1〜POn)と前
記第1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎の
シリアルパターン期待データ(PSO1〜PSOn)と
をシリアル動作中に出力されるピン毎の切換信号(S1
〜Sn)により切り換えるセレクタ(18)と、このセ
レクタ(18)の出力と外部入力データを比較し判定す
るコンパレータ回路(20)と、前記第1のピンセレク
タ(16)より出力されるピン毎のシリアルモード切換
信号(SP1〜SPn)と前記第2のピンセレクタ(1
7)より出力されるピン毎のシリアルパターン判定結果
のマスク波形データ(PSM1〜PSMn)からシリア
ルパターン動作中に出力されるピン毎の切換信号(S1
〜Sn)を生成し、このピン毎の切換信号(S1〜S
n)に基づいてマスク波形出力用ランダムパターンメモ
リ(131〜13n)の出力(PM1〜PMn)を選択
的に通過させる論理演算回路(22〜24)と、この論
理演算回路(22〜24)の出力状態により前記コンパ
レータ回路(20)から出力される判定結果をマスクす
るマスク制御回路(21)とを具備して構成するように
した。
この発明に係るマスク制御装置は、テストプログラムに
従って、実時間でランダムパターンメモリ用アドレス、
シリアルパターンメモリ用アドレス及びランダム/シリ
アルパターンモード信号を発生するアドレス発生器(1
1)と、ランダムパターン用の期待波形データがストア
されている期待波形出力用ランダムパターンメモリ(1
21〜12n)と、ランダムパターン用の判定結果のマ
スク波形データがストアされているマスク波形出力用ラ
ンダムパターンメモリ(131〜13n)と、シリアル
パターン用の期待波形データがストアされている期待波
形出力用シリアルパターンメモリ(141〜14m)
と、シリアルパターン用の判定結果のマスク波形データ
がストアされているマスク波形出力用シリアルパターン
メモリ(151〜15m)と、前記期待波形出力用シリ
アルパターンメモリ(141〜14m)より出力される
データ(SO1〜SOm)をプログラムされたピンに振
り分ける第1のピンセレクタ(16)と、前記マスク波
形出力用シリアルパターンメモリ(151〜15m)よ
り出力されるデータ(SM1〜SMm)をプログラムさ
れたピンに振り分ける第2のピンセレクタ(17)と、
前記期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜
12n)より出力されるデータ(PO1〜POn)と前
記第1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎の
シリアルパターン期待データ(PSO1〜PSOn)と
をシリアル動作中に出力されるピン毎の切換信号(S1
〜Sn)により切り換えるセレクタ(18)と、このセ
レクタ(18)の出力と外部入力データを比較し判定す
るコンパレータ回路(20)と、前記第1のピンセレク
タ(16)より出力されるピン毎のシリアルモード切換
信号(SP1〜SPn)と前記第2のピンセレクタ(1
7)より出力されるピン毎のシリアルパターン判定結果
のマスク波形データ(PSM1〜PSMn)からシリア
ルパターン動作中に出力されるピン毎の切換信号(S1
〜Sn)を生成し、このピン毎の切換信号(S1〜S
n)に基づいてマスク波形出力用ランダムパターンメモ
リ(131〜13n)の出力(PM1〜PMn)を選択
的に通過させる論理演算回路(22〜24)と、この論
理演算回路(22〜24)の出力状態により前記コンパ
レータ回路(20)から出力される判定結果をマスクす
るマスク制御回路(21)とを具備して構成するように
した。
【0027】特に、論理演算回路(22〜24)は、第
1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎のシリ
アルモード切換信号(SP1〜SPn)と第2のピンセ
レクタ(17)より出力されるピン毎のシリアルパター
ン判定結果のマスク波形データ(PSM1〜PSMn)
との論理積を演算し、シリアルパターン動作中に出力さ
れるピン毎の切換信号(S1〜Sn)を出力する論理積
ゲート(22)と、この論理積ゲート(22)から出力
されるピン毎の切換信号(S1〜Sn)を反転する反転
ゲート(24)と、この反転ゲート(24)の出力によ
りマスク波形出力用ランダムパターンメモリ(131〜
13n)の出力(PM1〜PMn)を通過させるか否か
を制御する論理積ゲート(23)とを備え、第2の論理
積ゲート(23)の出力をマスク制御回路(21)に出
力するようにした。
1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎のシリ
アルモード切換信号(SP1〜SPn)と第2のピンセ
レクタ(17)より出力されるピン毎のシリアルパター
ン判定結果のマスク波形データ(PSM1〜PSMn)
との論理積を演算し、シリアルパターン動作中に出力さ
れるピン毎の切換信号(S1〜Sn)を出力する論理積
ゲート(22)と、この論理積ゲート(22)から出力
されるピン毎の切換信号(S1〜Sn)を反転する反転
ゲート(24)と、この反転ゲート(24)の出力によ
りマスク波形出力用ランダムパターンメモリ(131〜
13n)の出力(PM1〜PMn)を通過させるか否か
を制御する論理積ゲート(23)とを備え、第2の論理
積ゲート(23)の出力をマスク制御回路(21)に出
力するようにした。
【0028】また、前記マスク波形出力用ランダムパタ
ーンメモリ(131〜13n)のシリアルパターン動作
指定時のアドレスに対して「マスク有り」をストアして
おくようにした。
ーンメモリ(131〜13n)のシリアルパターン動作
指定時のアドレスに対して「マスク有り」をストアして
おくようにした。
【0029】
【作用】上記構成において、アドレス発生器(11)、
期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜12
n)、マスク波形出力用ランダムパターンメモリ(13
1〜13n)、期待波形出力用シリアルパターンメモリ
(141〜14m)、マスク波形出力用シリアルパター
ンメモリ(151〜15m)、ピンセレクタ(16,1
7)、セレクタ(18)、コンパレータ回路(20)、
マスク制御回路(21)は従来と同じ構成であり、この
発明が特徴とする点は、第2のピンセレクタ(17)の
出力(PSM1〜PSMn)と第1のピンセレクタ(1
6)の出力(SP1〜SPn)とを、論理積ゲート(2
2)で論理積演算することにより切換信号(S1〜S
n)を作り出し、この切換信号(S1〜Sn)を反転ゲ
ート(24)で反転し、この反転切換信号とマスク波形
出力用ランダムパターンメモリ(131〜13n)の出
力(PM1〜PMn)とを論理積ゲート(23)で論理
積演算し、その演算結果をマスク制御回路(21)に出
力してマスク制御を行うようにした点にある。
期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜12
n)、マスク波形出力用ランダムパターンメモリ(13
1〜13n)、期待波形出力用シリアルパターンメモリ
(141〜14m)、マスク波形出力用シリアルパター
ンメモリ(151〜15m)、ピンセレクタ(16,1
7)、セレクタ(18)、コンパレータ回路(20)、
マスク制御回路(21)は従来と同じ構成であり、この
発明が特徴とする点は、第2のピンセレクタ(17)の
出力(PSM1〜PSMn)と第1のピンセレクタ(1
6)の出力(SP1〜SPn)とを、論理積ゲート(2
2)で論理積演算することにより切換信号(S1〜S
n)を作り出し、この切換信号(S1〜Sn)を反転ゲ
ート(24)で反転し、この反転切換信号とマスク波形
出力用ランダムパターンメモリ(131〜13n)の出
力(PM1〜PMn)とを論理積ゲート(23)で論理
積演算し、その演算結果をマスク制御回路(21)に出
力してマスク制御を行うようにした点にある。
【0030】すなわち、第1のピンセレクタ(16)の
切換信号出力(SP1〜SPn)は第1の論理積ゲート
(22)に入力され、第2のピンセレクタ(17)の出
力(PSM1〜PSMn)の状態により制御される。ま
たその制御後の切換信号(S1〜Sn)は反転ゲート
(24)で反転されて第2の論理積ゲート(23)に入
力される。この第2の論理積ゲート(23)は、その反
転切換信号の入力状態によりマスク波形出力用ランダム
パターンメモリ(131〜13n)の出力(PM1〜P
Mn)を導出するか否かを決定する。
切換信号出力(SP1〜SPn)は第1の論理積ゲート
(22)に入力され、第2のピンセレクタ(17)の出
力(PSM1〜PSMn)の状態により制御される。ま
たその制御後の切換信号(S1〜Sn)は反転ゲート
(24)で反転されて第2の論理積ゲート(23)に入
力される。この第2の論理積ゲート(23)は、その反
転切換信号の入力状態によりマスク波形出力用ランダム
パターンメモリ(131〜13n)の出力(PM1〜P
Mn)を導出するか否かを決定する。
【0031】通常、シリアル動作を指定したランダムパ
ターンメモリ(131〜13n)のアドレスラインは、
シリアルパターン動作中には使用しないので、このアド
レスラインのマスク波形出力用ランダムパターンメモリ
(131〜13n)の内容を「マスクあり」にしておく
ことで、切換信号(S1〜Sn)の状態によりマスクデ
ータを生成出力することができる。つまり、ランダムパ
ターンメモリ(131〜13n)がシリアルパターン動
作中は一定アドレスを保持し出力が切り換えないことを
利用し、回路を簡素化を実現している。
ターンメモリ(131〜13n)のアドレスラインは、
シリアルパターン動作中には使用しないので、このアド
レスラインのマスク波形出力用ランダムパターンメモリ
(131〜13n)の内容を「マスクあり」にしておく
ことで、切換信号(S1〜Sn)の状態によりマスクデ
ータを生成出力することができる。つまり、ランダムパ
ターンメモリ(131〜13n)がシリアルパターン動
作中は一定アドレスを保持し出力が切り換えないことを
利用し、回路を簡素化を実現している。
【0032】
【実施例】以下、図1乃至図4を参照してこの発明の一
実施例を詳細に説明する。但し、図1において図5と同
一部分には同一符号を付して示し、重複する説明を省略
する。
実施例を詳細に説明する。但し、図1において図5と同
一部分には同一符号を付して示し、重複する説明を省略
する。
【0033】図1はこの発明に係るマスク制御装置の構
成を示すもので、この実施例において図5に示した従来
のマスク制御装置と異なる点は、ピンセレクタ17の出
力PSM1〜PSMnとピンセレクタ16の出力SP1
〜SPnとの論理積を演算する論理積ゲート22を備
え、この論理積ゲート22によりS1〜Sn信号を作り
出すようにした点と、図5のセレクタ19を、S1〜S
n信号の反転ゲート24と、マスク波形出力用ランダム
パターンメモリ131〜13nの出力PM1〜PMnと
反転ゲート24の出力との論理積を演算する論理積ゲー
ト23とに置き換えた点にある。
成を示すもので、この実施例において図5に示した従来
のマスク制御装置と異なる点は、ピンセレクタ17の出
力PSM1〜PSMnとピンセレクタ16の出力SP1
〜SPnとの論理積を演算する論理積ゲート22を備
え、この論理積ゲート22によりS1〜Sn信号を作り
出すようにした点と、図5のセレクタ19を、S1〜S
n信号の反転ゲート24と、マスク波形出力用ランダム
パターンメモリ131〜13nの出力PM1〜PMnと
反転ゲート24の出力との論理積を演算する論理積ゲー
ト23とに置き換えた点にある。
【0034】すなわち、ピンセレクタ16の出力SP1
〜SPnは論理積ゲート22に入力され、ピンセレクタ
17の出力PSM1〜PSMnの状態により制御され
る。また、その制御後の信号はS1〜Snとなり、論理
積ゲート22より出力され、反転ゲート24に入力され
る。
〜SPnは論理積ゲート22に入力され、ピンセレクタ
17の出力PSM1〜PSMnの状態により制御され
る。また、その制御後の信号はS1〜Snとなり、論理
積ゲート22より出力され、反転ゲート24に入力され
る。
【0035】さらに、反転ゲート24は入力されたS1
〜Sn信号を反転させ、論理積ゲート23に入力して、
その入力状態によりマスク波形出力用ランダムパターン
メモリ131〜13nの出力PM1〜PMnを論理積ゲ
ート23にPM1〜PMnの出力を出力するか否かを決
定する。
〜Sn信号を反転させ、論理積ゲート23に入力して、
その入力状態によりマスク波形出力用ランダムパターン
メモリ131〜13nの出力PM1〜PMnを論理積ゲ
ート23にPM1〜PMnの出力を出力するか否かを決
定する。
【0036】通常、シリアルモード動作に指定されたと
きのランダムパターンメモリ121〜12n,131〜
13nのアドレスラインは、シリアルモード動作中には
使用されていないので、このアドレスラインのマスク波
形出力用ランダムパターンメモリ131〜13nの出力
内容をマスク有りにしておけば、S1〜Sn信号の状態
によりマスク波形データを出力することができる。
きのランダムパターンメモリ121〜12n,131〜
13nのアドレスラインは、シリアルモード動作中には
使用されていないので、このアドレスラインのマスク波
形出力用ランダムパターンメモリ131〜13nの出力
内容をマスク有りにしておけば、S1〜Sn信号の状態
によりマスク波形データを出力することができる。
【0037】さらに、LSSD機能を含んだテストプロ
グラムの記述例を図2に示して、その動作を具体的に説
明する。
グラムの記述例を図2に示して、その動作を具体的に説
明する。
【0038】ここで、図2(a)は、ランダムアドレス
が“0”〜“4”のときのランダムパターン期待波形デ
ータ、ランダムパターンマスク波形データ、アドレス発
生制御コマンドのプログラム設定を示している。このテ
ストプログラムは、ランダムアドレスが“3”のとき
「マスク有り」となっている点以外、図7(a)に示し
たプログラムと同じである。
が“0”〜“4”のときのランダムパターン期待波形デ
ータ、ランダムパターンマスク波形データ、アドレス発
生制御コマンドのプログラム設定を示している。このテ
ストプログラムは、ランダムアドレスが“3”のとき
「マスク有り」となっている点以外、図7(a)に示し
たプログラムと同じである。
【0039】一方、図2(b)は、シリアルアドレスが
“0”〜“3”のときの期待波形用シリアルパターンデ
ータ、マスク波形用シリアルパターンデータのプログラ
ム設定を示している。この場合、図7(b)と同じであ
る。
“0”〜“3”のときの期待波形用シリアルパターンデ
ータ、マスク波形用シリアルパターンデータのプログラ
ム設定を示している。この場合、図7(b)と同じであ
る。
【0040】このとき、ランダムパターンメモリ121
〜12n,131〜13n、シリアルパターンメモリ1
41〜14m,151〜15mには、それぞれ図3に示
すようにデータがストアされる。図2(a)のプログラ
ムからわかるように、マスク波形出力用ランダムパター
ンメモリ131〜13nの“3”アドレスには「マスク
有り」がストアされ、その他のアドレスについては図8
の場合と同じである。
〜12n,131〜13n、シリアルパターンメモリ1
41〜14m,151〜15mには、それぞれ図3に示
すようにデータがストアされる。図2(a)のプログラ
ムからわかるように、マスク波形出力用ランダムパター
ンメモリ131〜13nの“3”アドレスには「マスク
有り」がストアされ、その他のアドレスについては図8
の場合と同じである。
【0041】いま、アドレス発生器11において、上記
テストプログラムに従って実時間でランダムアドレスま
たはシリアルアドレス及びパターンモード信号を発生し
たとする。このとき、アドレス発生器1は図4(a)〜
(c)に示すようなランダムアドレス、パターンモード
信号、シリアルアドレスを出力する。
テストプログラムに従って実時間でランダムアドレスま
たはシリアルアドレス及びパターンモード信号を発生し
たとする。このとき、アドレス発生器1は図4(a)〜
(c)に示すようなランダムアドレス、パターンモード
信号、シリアルアドレスを出力する。
【0042】さらに実時間で動作する時、各回路は従来
の技術で説明した内容通りに動作し、アドレス発生器1
1より発生されるアドレスにより図4(d)〜(h)に
示すようなタイミングの波形を出力する。
の技術で説明した内容通りに動作し、アドレス発生器1
1より発生されるアドレスにより図4(d)〜(h)に
示すようなタイミングの波形を出力する。
【0043】すなわち、アドレス発生器11は、実時間
で動作する時、図4(a),(c)に示すランダムアド
レス及びシリアルアドレスを各メモリ121〜12n,
131〜13n,141〜14m,151〜15mへ出
力する。そのアドレスを受けた各メモリはアドレスに従
って動作するが、特にマスク波形出力用ランダムパター
ンメモリ131〜13nはPM1〜PMn信号を論理積
ゲート23へ、図4(d)(第1ピンを代表して示して
いる)のように出力する。
で動作する時、図4(a),(c)に示すランダムアド
レス及びシリアルアドレスを各メモリ121〜12n,
131〜13n,141〜14m,151〜15mへ出
力する。そのアドレスを受けた各メモリはアドレスに従
って動作するが、特にマスク波形出力用ランダムパター
ンメモリ131〜13nはPM1〜PMn信号を論理積
ゲート23へ、図4(d)(第1ピンを代表して示して
いる)のように出力する。
【0044】また、同じようにマスク波形出力用シリア
ルパターンメモリ151〜15mも、図4(c)のシリ
アルアドレスに従って図4(e)(第1ビットを代表し
て示している)のように出力する。
ルパターンメモリ151〜15mも、図4(c)のシリ
アルアドレスに従って図4(e)(第1ビットを代表し
て示している)のように出力する。
【0045】後段のピンセレクタ17の動作は従来の技
術で述べた通りであり、本説明上では、あらかじめ第1
ピンに出力がでるようにセットされている。なお、従来
の技術で説明したように、期待波形データとマスク波形
データは対をなしているので、ピンセレクタ16も第1
ピンに出力がでるようにセットされている。
術で述べた通りであり、本説明上では、あらかじめ第1
ピンに出力がでるようにセットされている。なお、従来
の技術で説明したように、期待波形データとマスク波形
データは対をなしているので、ピンセレクタ16も第1
ピンに出力がでるようにセットされている。
【0046】よって、ピンセレクタ16からは、図4
(b)に示すアドレス発生器11からのパターンモード
信号にしたがい、図4(f)に示すSP信号(第1ピン
を代表して示す)が出力される。
(b)に示すアドレス発生器11からのパターンモード
信号にしたがい、図4(f)に示すSP信号(第1ピン
を代表して示す)が出力される。
【0047】また、ピンセレクタ17より図4(e)の
マスク波形出力用シリアルメモリ(第1ビット)のよう
な出力が、ピンセレクタ17の第1ピン用として出力さ
れ、この出力が、次段の論理積ケート22に加えられ、
この論理積ゲート22に入力されるピンセレクタ16の
出力SPを制御し、図4(g)に示すS信号(第1ピ
ン)のような波形として論理積ゲート22より出力され
る。
マスク波形出力用シリアルメモリ(第1ビット)のよう
な出力が、ピンセレクタ17の第1ピン用として出力さ
れ、この出力が、次段の論理積ケート22に加えられ、
この論理積ゲート22に入力されるピンセレクタ16の
出力SPを制御し、図4(g)に示すS信号(第1ピ
ン)のような波形として論理積ゲート22より出力され
る。
【0048】このS信号が反転ゲート22により反転さ
れて論理積ゲート23に加えられ、この論理積ゲート2
3を制御することにより、マスク波形出力用ランダムパ
ターンメモリ131〜13nの出力を論理積ゲート23
に出力するか否かを決定すると、図4(h)に示す論理
積ゲート23の出力のような波形が出力される。
れて論理積ゲート23に加えられ、この論理積ゲート2
3を制御することにより、マスク波形出力用ランダムパ
ターンメモリ131〜13nの出力を論理積ゲート23
に出力するか否かを決定すると、図4(h)に示す論理
積ゲート23の出力のような波形が出力される。
【0049】この論理積ゲート23の出力によりマスク
制御回路21を制御することで、DUTからの出力デー
タと期待波形データとの判定結果をマスクまたは判定出
力することができる。
制御回路21を制御することで、DUTからの出力デー
タと期待波形データとの判定結果をマスクまたは判定出
力することができる。
【0050】したがって、上記構成によるマスク制御装
置は、従来3経路のインターフェイスを必要としていた
シリアルパターン生成を2経路のインターフェースで実
現でき、かつランダムパターンの機能を利用することで
回路も簡略化ができる。
置は、従来3経路のインターフェイスを必要としていた
シリアルパターン生成を2経路のインターフェースで実
現でき、かつランダムパターンの機能を利用することで
回路も簡略化ができる。
【0051】なお、ここでは詳細を説明しないが、DU
Tへの出力側の回路(一般的にドライバ回路)について
は、ランダムパターンメモリ及びシリアルパターンメモ
リ共従来と同じである。
Tへの出力側の回路(一般的にドライバ回路)について
は、ランダムパターンメモリ及びシリアルパターンメモ
リ共従来と同じである。
【0052】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、よ
り少ないインターフェ−スでシリアルパターン発生を実
現し、かつランダムパターン機能を利用して回路も簡略
化したマスク制御装置を提供することができる。
り少ないインターフェ−スでシリアルパターン発生を実
現し、かつランダムパターン機能を利用して回路も簡略
化したマスク制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るマスク制御装置の一実施例の構
成を示すブロック回路図である。
成を示すブロック回路図である。
【図2】同実施例に用いられるプログラム例を示す図で
ある。
ある。
【図3】図2のプログラムを用いたときの各ランダムパ
ターンメモリ及びシリアルパターンメモリのストア状態
を示す図である。
ターンメモリ及びシリアルパターンメモリのストア状態
を示す図である。
【図4】同実施例の動作を説明するための各回路出力タ
イミング波形を示すタイミング図である。
イミング波形を示すタイミング図である。
【図5】従来のマスク制御装置の構成を示すブロック回
路図である。
路図である。
【図6】図5の従来例におけるピンセレクタの具体的な
構成を示すブロック回路図である。
構成を示すブロック回路図である。
【図7】図5の従来例におけるプログラム例を示す図で
ある。
ある。
【図8】図5の従来例において、図7のプログラムを用
いたときの各ランダムパターンメモリ及びシリアルパタ
ーンメモリのストア状態を示す図である。
いたときの各ランダムパターンメモリ及びシリアルパタ
ーンメモリのストア状態を示す図である。
【図9】図5の従来例において、アドレス発生器の出力
タイミング波形を示すタイミング図である。
タイミング波形を示すタイミング図である。
11 アドレス発生器 121〜12n 期待波形出力用ランダムパターンメモ
リ 131〜13n マスク波形出力用ランダムパターンメ
モリ 141〜14m 期待波形出力用シリアルパターンメモ
リ 151〜15m マスク波形出力用シリアルパターンメ
モリ 16,17 ピンセレクタ 18,19 セレクタ 20 コンパレータ回路(CMP) 21 マスク制御回路 22,23 論理積ゲート 24 反転ゲート R1〜Rn レジスタ群 AND10〜AND1m…ANDn0〜ANDnm 論
理積ゲート OR1〜ORn 論理和ゲート
リ 131〜13n マスク波形出力用ランダムパターンメ
モリ 141〜14m 期待波形出力用シリアルパターンメモ
リ 151〜15m マスク波形出力用シリアルパターンメ
モリ 16,17 ピンセレクタ 18,19 セレクタ 20 コンパレータ回路(CMP) 21 マスク制御回路 22,23 論理積ゲート 24 反転ゲート R1〜Rn レジスタ群 AND10〜AND1m…ANDn0〜ANDnm 論
理積ゲート OR1〜ORn 論理和ゲート
Claims (3)
- 【請求項1】 テストプログラムにしたがって、実時間
でランダムパターンメモリ用アドレス、シリアルパター
ンメモリ用アドレス及びランダム/シリアルパターンモ
ード信号を発生するアドレス発生器(11)と、 ランダムパターン用の期待波形データがストアされてい
る期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜12n)
と、 ランダムパターン用の判定結果のマスク波形データがス
トアされているマスク波形出力用ランダムパターンメモ
リ(131〜13n)と、 シリアルパターン用の期待波形データがストアされてい
る期待波形出力用シリアルパターンメモリ(141〜14m)
と、 シリアルパターン用の判定結果のマスク波形データがス
トアされているマスク波形出力用シリアルパターンメモ
リ(151〜15m)と、 前記期待波形出力用シリアルパターンメモリ(141〜14m)
より出力されるデータ(SO1〜SOm)をプログラムされたピ
ンに振り分ける第1のピンセレクタ(16)と、 前記マスク波形出力用シリアルパターンメモリ(151〜15
m)より出力されるデータ(SM1〜SMm)をプログラムされた
ピンに振り分ける第2のピンセレクタ(17)と、 前記期待波形出力用ランダムパターンメモリ(121〜12n)
より出力されるデータ(PO1〜POn)と前記第1のピンセレ
クタ(16)より出力されるピン毎のシリアルパターン期待
データ(PSO1 〜PSOn) とをシリアル動作中に出力される
ピン毎の切換信号(S1 〜Sn) により切り換えるセレクタ
(18)と、 このセレクタ(18)の出力と外部入力データを比較し判定
するコンパレータ回路(20)と、 前記第1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎のシ
リアルモード切換信号(SP1〜SPn)と前記第2のピンセレ
クタ(17)より出力されるピン毎のシリアルパターン判定
結果のマスク波形データ(PSM1 〜PSMn) からシリアルパ
ターン動作中に出力されるピン毎の切換信号(S1 〜Sn)
を生成し、このピン毎の切換信号(S1 〜Sn) に基づいて
マスク波形出力用ランダムパターンメモリ(131〜13n)の
出力(PM1〜PMn)を選択的に通過させる論理演算回路(22
〜24) と、 この論理演算回路(22 〜24) の出力状態により前記コン
パレータ回路(20)から出力される判定結果をマスクする
マスク制御回路(21)とを具備することを特徴とするマス
ク制御装置。 - 【請求項2】 前記論理演算回路(22 〜24) は、 前記第1のピンセレクタ(16)より出力されるピン毎のシ
リアルモード切換信号(SP1〜SPn)と前記第2のピンセレ
クタ(17)より出力されるピン毎のシリアルパターン判定
結果のマスク波形データ(PSM1 〜PSMn) との論理積を演
算し、シリアルパターン動作中に出力されるピン毎の切
換信号(S1 〜Sn) を出力する第1の論理積ゲート(22)
と、 この第1の論理積ゲート(22)から出力されるピン毎の切
換信号(S1 〜Sn) を反転する反転ゲート(24)と、 この反転ゲート(24)の出力によりマスク波形出力用ラン
ダムパターンメモリ(131〜13n)の出力(PM1〜PMn)を通過
させるか否かを制御する第2の論理積ゲート(23)とを備
え、前記第2の論理積ゲート(23)の出力を前記マスク制
御回路(21)に出力するようにしたことを特徴とする請求
項1記載のマスク制御装置。 - 【請求項3】 前記マスク波形出力用ランダムパターン
メモリ(131〜13n)のシリアルパターン動作指定時のアド
レスに対して「マスク有り」をストアしておくようにし
たことを特徴とする請求項1記載のマスク制御装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18644095A JP3237473B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | マスク制御装置 |
US08/668,228 US5668819A (en) | 1995-06-29 | 1996-06-21 | Mask control device for LSI tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18644095A JP3237473B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | マスク制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0915306A JPH0915306A (ja) | 1997-01-17 |
JP3237473B2 true JP3237473B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=16188490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100238933B1 (ko) * | 1996-01-12 | 2000-03-02 | 오우라 히로시 | 시험 패턴 발생기 |
US6032275A (en) * | 1996-01-12 | 2000-02-29 | Advantest Corp. | Test pattern generator |
JP3358492B2 (ja) * | 1997-04-25 | 2002-12-16 | 安藤電気株式会社 | 半導体試験装置 |
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- 1995-06-29 JP JP18644095A patent/JP3237473B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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---|---|
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