JP2949125B2 - 光重合性混合物およびそれから調製される記録材料 - Google Patents

光重合性混合物およびそれから調製される記録材料

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JP2949125B2
JP2949125B2 JP3069267A JP6926791A JP2949125B2 JP 2949125 B2 JP2949125 B2 JP 2949125B2 JP 3069267 A JP3069267 A JP 3069267A JP 6926791 A JP6926791 A JP 6926791A JP 2949125 B2 JP2949125 B2 JP 2949125B2
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    • GPHYSICS
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S526/00Synthetic resins or natural rubbers -- part of the class 520 series
    • Y10S526/943Polymerization with metallocene catalysts

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、重合体結合剤、重合性化合物、
特にアクリル酸エステルまたはアルクアクリル酸エステ
ル(alkacrylic ester)、および光開始剤を組み合わせ
て含有する光重合性混合物に関する。
【0002】感光性を増大するために光開始剤と活性
剤、例えば、カルボニル含有開始剤と第三級アミンとの
或る組み合わせを含有する光重合性混合物は、既知であ
る。相乗作用を有するこの種の混合物は、例えば、米国
特許第3,759,807号明細書、第4,054,6
82号明細書および第4,071,424号明細書に記
載されている。低分子量アミンを含有するこれらの混合
物の不利は、アミンが容易にしみ出し、特に薄膜からし
み出す傾向があるので、混合物が貯蔵時に低い安定性を
有することである。
【0003】特願昭49−36614号で1974年4
月2日に出願の特開昭50−129214号公報は、重
合性化合物としてN,N,N′,N′−テトラヒドロキ
シアルキルアルキレンジアミンのテトラ(メタ)アクリ
ル酸エステルを含有する光重合性混合物を記載してい
る。4官能化合物は、架橋剤として役立つ。
【0004】更に、光還元性染料および還元剤、例え
ば、アミンの存在下で可視光線を照射することによって
エチレン性不飽和化合物の遊離基重合を開始すること
は、既知である(米国特許第3,097,096号明細
書)。しかしながら、これらの開始剤組み合わせは、大
抵の場合に、水溶液中または水溶性結合剤との組み合わ
せ中でのみ使用されている。光還元性染料と他の還元剤
とからなる開始剤組み合わせは、米国特許第3,59
7,343号明細書および第3,488,269号明細
書に記載されている。
【0005】開始剤として光還元性染料を排他的に含有
する光重合性混合物は、低い感光性のため、今までのと
ころ実用化されていない。特開昭54−151024号
公報は、可視光線、例えば、アルゴンレーザーに感受性
であるメロシアニン染料とトリハロメチル置換s−トリ
アジンとからなる開始剤組み合わせを含有する光重合性
混合物を記載している。しかしながら、可視レーザー光
に対するこれらの混合物の感度は、工業的応用のために
は十分ではない。
【0006】EP−A第287,817号明細書は、分
子中にウレタン基、第三級アミノ基および場合によって
尿素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、重合体結
合剤および光開始剤として光還元性染料と感放射線トリ
ハロメチル化合物とアクリジン、フェナジンまたはキノ
キサリン化合物とからなる組み合わせを含有する光重合
性混合物を記載している。
【0007】EP−A第321,826号明細書は、ウ
レタン基を含有しない以外は(メタ)アクリル酸エステ
ルを含有する同様の混合物を記載している。
【0008】米国特許第3,717,558号明細書
は、光重合性記録材料で使用するための亜族IIa〜VIII
aの元素のメタロセンとカルボニルクロリド基を含有す
る更に他の光開始剤との組み合わせを記載している。こ
れらの開始剤組み合わせは、酸素および加水分解に対し
て非常に感受性であるので、印刷版およびレジスト材料
を製造するのには余り好適ではない。更に他のメタロセ
ンおよび光混合物中での光開始剤としてのそれらの用途
は、EP−A第119,162号明細書および第12
2,223号明細書に記載されている。これらは、空気
に対して良好な抵抗性を有し且つ紫外線から可視光線ま
での範囲内でスペクトル感度を示すチタノセンである。
それらは、なかんずく、配位子としてシクロペンタジエ
ニル基およびフッ素化フェニル基を含有する。更に、E
P−A第242,330号明細書および第269,57
3号明細書は、チタノセンとヒドロキシ型またはアミノ
アセトフェノン型の液体光開始剤とからなる光開始剤混
合物を含有する光重合性混合物を記載している。これら
の材料においては、得ることができる感光性は、低エネ
ルギーを使用するのと同時に低コストアルゴンイオンレ
ーザーを使用して迅速に画像形成するには十分ではな
い。
【0009】従来の刊行物ではないより古い欧州特許出
願第89117004.5号明細書は、 (a)重合体結合剤、 (b)遊離基によって重合でき且つ少なくとも1個の重
合性基を含有する化合物、(c)光還元性染料、 (d)放射線によって開裂できるトリハロメチル化合
物、および (e)メタロセン化合物、特にチタノセンまたはジルコ
ノセンを含有する光重合性混合物を記載している。
【0010】使用されたメタロセンは、配位子として2
個の置換または非置換シクロペンタジエニル基および2
個の置換フェニル基を担持するものである。フェニル基
は、結合に対してo位に少なくとも1個のフッ素原子を
担持し且つ所望ならば更に他の置換基、例えば、Cl、
Br、アルキルまたはアルコキシ基を含有する。好まし
く且つ例において記載されている化合物は、ペンタフル
オロフェニル基を含有するものである。これらの混合物
は、極めて高い感光性を有する。しかしながら、貯蔵時
のそれらの安定性は、特に高温で限定される。
【0011】本発明の目的は、硬化状態で加工液に対し
て高い抵抗性を有する長時間運転印刷版およびフォトレ
ジストを製造するのに好適であり且つ近紫外線およびス
ペクトルの可視領域内での高い感光性により、そして良
好な熱貯蔵安定性により区別され且つ特に可視領域内で
のレーザービーム記録に好適である光重合性混合物を提
案することにある。
【0012】本発明によれば、必須成分として (a)重合体結合剤、 (b)遊離基によって重合でき且つ少なくとも1個の重
合性基を有する化合物、 (c)光還元性染料を含有する光重合性混合物が、提案
される。本発明に係る混合物は、 (d)ジシクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリ
フルオロフェニル)チタンまたはジシクロペンタジエニ
ルビス(2,4,6−トリフルオロフェニル)ジルコニ
ウムを更に含有する。
【0013】開始剤の成分として使用するメタロセン
は、それ自体既知であり且つ例えば、米国特許第4,5
90,287号明細書から光開始剤としても既知であ
る。チタン化合物が、好ましい。この種の化合物は、例
えば、EP−A第119,162号明細書および第12
2,223号明細書に記載されている。
【0014】シクロペンタジエニル基は、特に炭素数1
〜4のアルキル基、塩素原子、フェニルまたはシクロヘ
キシル基で置換でき、またはアルキレン基によって互い
に結合できる。シクロペンタジエニル基は、好ましくは
非置換であるか、アルキル基または塩素原子で置換され
ている。メタロセン化合物の%は、一般に混合物の不揮
発性部分に対して0.01〜10、好ましくは0.05
〜6重量%である。
【0015】本発明に係る混合物は、更に他の光開始剤
成分として光還元性染料を含有する。好適な染料は、特
にキサンテン、ベンゾキサンテン、ベンゾチオキサンテ
ン、チアジン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジ
ン染料である。
【0016】好適なキサンテンおよびチアジン染料は、
例えば、EP−A第287,817号明細書に記載され
ている。好適なベンゾキサンテンおよびベンゾチオキサ
ンテン染料は、DE−A第2,025,291号明細書
およびEP−A第321,828号明細書に記載されて
いる。
【0017】好適なポルフィリン染料の一例は、ヘマト
ポルフィリンであり且つ好適なアクリジン染料の一例
は、塩酸アクリフラビニウムクロリドである。
【0018】キサンテン染料の例は、エオシンB(C.
I.No. 45400)、エオシンJ(C.I.No. 45
380)、エオシンアルコール可溶物(C.I.453
86)、シアノシン(C.I.No. 45410)、ロー
ズベンガル、エリトロシン(C.I.No. 4543
0)、2,3,7−トリヒドロキシ−9−フェニルキサ
ンテン−6−オンおよびローダミン6G(C.I.No.
45160)である。
【0019】チアジン染料の例は、チオニン(C.I.
No. 52000)、アズレA(C.I.No. 5200
5)およびアズレC(C.I.No. 52002)であ
る。
【0020】ピロニン染料の例は、ピロニンB(C.
I.45010)およびピロニンGY(C.I.No. 4
5005)である。光還元性染料の量は、一般に混合物
の不揮発性部分に対して0.01〜10重量%、好まし
くは0.05〜4重量%である。
【0021】感光性を増大するために、本発明に係る混
合物は、好ましくは光分解によって開裂できるトリハロ
メチル基を有する化合物を追加的に含有する。これらの
化合物は、光重合性混合物用遊離基形成光開始剤として
それ自体既知である。特に、ハロゲンとして塩素および
臭素、特に塩素を含有する化合物は、この種の補助開始
剤として好適であることが立証された。トリハロメチル
基は、芳香族炭素環または複素環式環に直接またはスル
ー共役(through-conjugated)鎖を介して結合できる。
親構造中にトリアジン環を有する化合物(親構造は好ま
しくは2トリハロメチル基を担持する)、特にEP−A
第137,452号明細書、DE−A第2,718,2
59号明細書およびDE−A第2,243,621号明
細書に記載のものが、好ましい。これらの化合物は、近
紫外領域、約350〜400nmにおける光線を強く吸収
する。コピー光線のスペクトル領域内で吸収しないかわ
ずかにしか吸収しない補助開始剤、例えば、共鳴できる
より短い電子系を有する置換基または脂肪族置換基を含
有するトリハロメチルトリアジンも、好適である。より
短いUV波長領域内で吸収する異なる親構造を有する化
合物、例えば、フェニルトリハロメチルスルホンまたは
フェニルトリハロメチルケトン、例えば、フェニルトリ
ブロモメチルスルホンも、好適である。
【0022】これらのハロゲン化合物は、一般に混合物
の不揮発性成分に対して0.01〜10重量%、好まし
くは0.05〜4重量%の量で使用される。
【0023】本発明に係る混合物は、所望ならば、更に
他の開始剤成分としてアクリジン、フェナジンまたはキ
ノキサリン化合物を含有する。これらの化合物は、光開
始剤として既知であり且つDE−C第2,027,46
7号明細書および第2,039,861号明細書に記載
されている。これらの化合物は、混合物の感度、特に近
紫外領域内での混合物の感度を増大する。この種の化合
物の好適な代表例は、上記DE−C明細書に記載されて
いる。例は、9位で置換されているアクリジン、例え
ば、9−フェニル−、9−p−メトキシフェニル−また
は9−アセチルアミノアクリジン、または縮合芳香族環
を有するアクリジン誘導体、例えば、ベンゾ〔a〕アク
リジンである。好適なフェナジン誘導体は、例えば、
9,10−ジメチルベンゾ〔a〕フェナジンである。好
適なキノキサリン誘導体は、特に2,3−ジフェニル誘
導体(この2,3−ジフェニル誘導体は好ましくは2個
のフェニル基においてメトキシ基で更に置換されてい
る)である。一般に、アクリジン誘導体が、好ましい。
混合物中のこの成分の量は、0〜10重量%、好ましく
は0.05〜5重量%の範囲内である。スペクトルの可
視領域内の混合物の感度の更なる増大が望まれるなら
ば、この増大は、ジベンザールアセトンまたはクマリン
型の化合物を加えることによって達成できる。この添加
は、コピーのより高い解像度およびスペクトルの可視領
域から波長約600nmまでに対する混合物の連続増感を
生ずる。これらの化合物の好適な代表例は、4,4′−
二置換ジベンザールアセトン、例えば、ジエチルアミノ
−4′−メトキシジベンザールアセトン、またはクマリ
ン誘導体、例えば、3−アセチル−7−ジエチルアミノ
−、3−ベンズイミダゾリル−7−ジエチルアミノ−ま
たはカルボニル−ビス(7−ジエチルアミノクマリン)
である。この化合物の量は、混合物の不揮発性成分に対
して0〜10重量%、好ましくは0.05〜4重量%の
範囲内である。重合開始剤の合計量は、一般に0.05
〜20重量%、好ましくは0.1〜10重量%である。
【0024】本発明の目的で好適である重合性化合物
は、既知であり且つ例えば、米国特許第2,760,8
63号明細書および第3,060,023号明細書に記
載されている。
【0025】好ましい例は、二価または多価アルコール
のアクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、例
えば、エチレングリコールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールエタ
ン、トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトールお
よびジペンタエリトリトールのアクリレートおよびメタ
クリレートおよび多価脂環式アルコールまたはN置換ア
クリルアミドおよびメタクリルアミドのアクリレートお
よびメタクリレートである。モノ−またはジイソシアネ
ートと多価アルコールの部分エステルとの反応生成物
も、有利に使用される。この種の単量体は、DE−A第
2,064,079号明細書、第2,361,041号
明細書および第2,822,190号明細書に記載され
ている。
【0026】分子中に少なくとも1個の光酸化性基およ
び所望ならば少なくとも1個のウレタン基を含有する重
合性化合物が、特に好ましい。好適な光酸化性基は、特
にアミノ基、尿素基、チオ基(複素環式環の成分である
こともできる)、エノール基およびカルボキシル基(オ
レフィン二重結合との組み合わせ)である。この種の基
の例は、トリエタノールアミノ、トリフェニルアミノ、
チオ尿素、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、
アセチルアセトニル、N−フェニルグリシンおよびアス
コルビン酸基である。第一級、第二級および特に第三級
アミノ基を有する重合性化合物が、好ましい。
【0027】光酸化性基を含有する化合物の例は、式I
【0028】
【化1】 〔式中、Qは
【0029】
【化2】 Rはアルキル、ヒドロキシアルキルまたはアリール基で
あり、R5 およびR6 は各々水素原子、アルキル基また
はアルコキシアルキル基であり、R7 は水素原子、メチ
ルまたはエチル基であり、X1 は炭素数2〜12の飽和
炭化水素基であり、X2 は(c+1)価飽和炭化水素基
であり、そして5個までのメチレン基は酸素原子で置換
でき、D1 およびD2 は各々炭素数1〜5の飽和炭化水
素基であり、Eは炭素数2〜12の飽和炭化水素基、5
〜7環員の脂環式基(これは所望ならば環員として2個
までのN、OまたはS原子を含有できる)、炭素数6〜
12のアリーレン基または5または6環員の複素環式芳
香族基であり、aは0または1〜4の数であり、bは0
または1であり、cは1〜3の整数であり、mはQの原
子価に応じて2、3または4であり、nは1〜mの整数
であり、同じ定義のすべての記号は互いに同一または異
種であることが可能である〕のアクリル酸エステルおよ
びアルクアクリル酸エステルである。この式の化合物、
その製法および用途は、EP−A第287,818号明
細書に詳述されている。一般式Iの化合物において1個
よりも多い基Rまたは角括弧に記載の種類の1個よりも
多い基が中心の基Qに結合されているならば、これらの
基は、互いに異なることができる。
【0030】Qのすべての置換基が重合性基であり、即
ち、mがnである化合物は、一般に好ましい。一般に、
aは、1個以下の基において0であり、好ましくはすべ
ての基において0ではない。好ましくは、aは1であ
る。
【0031】Rがアルキルまたはヒドロキシアルキル基
であるならば、この基は、一般に2〜8個の炭素原子、
好ましくは2〜4個の炭素原子を有する。アリール基R
は、一般に1個または2個の環上、好ましくは1個の環
上で置換でき且つ炭素数5までのアルキルまたはアルコ
キシ基またはハロゲン原子で置換してもよい。
【0032】R5 およびR6 がアルキルまたはアルコキ
シアルキル基であるならば、1〜5個の炭素原子を含有
することができる。R7 は、好ましくは水素原子または
メチル基、特にメチル基である。
【0033】X1 は、好ましくは直鎖または分枝脂肪族
または脂環式基(好ましくは炭素数4〜10)である。
2 は、好ましくは2〜15個の炭素原子を有し、それ
らの5個までは酸素原子で置換できる。純粋な炭素鎖が
包含されるならば、炭素数2〜12、好ましくは2〜6
のものが、一般に使用される。また、X2 は、炭素数5
〜10の脂環式基、特にシクロヘキシレン基であること
ができる。D1 およびD2 は、同一または異種であるこ
とができ且つ2個の窒素原子と一緒に5〜10個の環
員、好ましくは6個の環員を有する飽和複素環式環を形
成する。
【0034】Eがアルキレン基であるならば、Eは、好
ましくは2〜6個の炭素原子を有し且つアリーレン基と
して好ましくはフェニレン基である。好ましい脂環式基
はシクロヘキシレン基であり、好ましい芳香族複素環式
物はNまたはSヘテロ原子および5または6個の環員を
有するものである。cの値は、好ましくは1である。
【0035】光酸化性基を含有する更に他の好適な化合
物は、式II
【0036】
【化3】 〔式中、Q、R、R5 、R6 、R7 、mおよびnは上記
意味を有し、Qは追加的に基
【0037】
【化4】 (式中、E′は式III
【0038】
【化5】 (式中、cは式Iと同様の意味を有する)の基である)
であることができ;a′およびb′は1〜4の整数であ
る〕の化合物である。
【0039】この式の化合物、その製法および用途は、
EP−A第316,706号明細書に詳述されている。
【0040】光酸化性基を有する更に他の好適な化合物
は、式IV
【0041】
【化6】 〔式中、Q′は
【0042】
【化7】 であり、X1 ′はCi 2iまたは
【0043】
【化8】 であり、D3 は炭素数4〜8の飽和炭化水素基(これは
窒素原子と一緒に5または6員環を形成)であり、Zは
水素原子または式
【0044】
【化9】 の基であり、iおよびkは1〜12の整数であり、n′
はQ′の原子価に応じて1、2または3であり、R7
1 、X2 、D1 、D2 、aおよびbは式Iで与えられ
た意味を有し、同じ定義のすべての記号は互いに同一ま
たは異種であることが可能であり且つ基Q上の少なくと
も1個の置換基中のaは0である〕のアクリル酸エステ
ルおよびアルクアクリル酸エステルである。
【0045】式IVの化合物のうち、尿素基に加えて少な
くとも1個のウレタン基を含有するものが、好ましい。
尿素基は、式
【0046】
【化10】 (式中、窒素上の原子価が非置換または置換炭化水素基
で飽和されている)の基であるとみなされる。しかしな
がら、窒素原子上の1原子価は、更に他のカルボキシア
ミド基(CONH)にも結合してビウレット構造を生ず
ることができる。
【0047】式IV中の記号aは、好ましくは0または1
である。iは、好ましくは2〜10の数である。
【0048】式IVの重合性化合物は、式Iの化合物と類
似に生成する。式IVの化合物およびその製法は、EP−
A第355,387号明細書に詳述されている。
【0049】光重合性フィルム中の重合性化合物の%
は、一般に不揮発性成分に対して約10〜80重量%、
好ましくは20〜60重量%である。
【0050】使用できる結合剤の例は、塩素化ポリエチ
レン、塩素化ポリプロピレン、ポリアルキル(メタ)ア
クリレート(アルキル基は、例えば、メチル、エチル、
n−ブチル、i−ブチル、n−ヘキシルまたは2−エチ
ルヘキシルである)、アルキル(メタ)アクリレートと
アクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチ
レン、ブタジエンなどの少なくとも1種の単量体との共
重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/アクリロニトリ
ル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン/ア
クリロニトリル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリビニル
アルコール、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル
/スチレン共重合体、アクリロニトリル/ブタジエン/
スチレン共重合体、ポリスチレン、ポリメチルスチレ
ン、ポリアミド(例えば、ナイロン−6)、ポリウレタ
ン、メチルセルロース、エチルセルロース、アセチルセ
ルロース、ポリビニルホルマールおよびポリビニルブチ
ラールである。
【0051】水不溶性であり、有機溶媒に可溶性であり
且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤
性である結合剤が、特に好適である。
【0052】カルボキシル含有結合剤、例えば、(メ
タ)アクリル酸および/またはそれらの不飽和同族体、
例えば、クロトン酸からなる共重合体、無水マレイン酸
またはそのモノエステルの共重合体、ヒドロキシル含有
重合体とジカルボン酸無水物との反応生成物およびそれ
らの混合物が、特に挙げられるべきである。
【0053】基を担持する重合体と酸性水素との反応生
成物(これは活性化イソシアネートと完全または部分的
に反応されている)、例えば、ヒドロキシル含有重合体
と脂肪族または芳香族スルホニルイソシアネートまたは
ホスフィニルイソシアネートとの反応生成物も、好適で
ある。
【0054】下記のものも好適である:ヒドロキシル含
有重合体、例えば、ヒドロキシルアルキル(メタ)アク
リレート共重合体、アリルアルコール共重合体、ビニル
アルコール共重合体、ポリウレタンまたはポリエステル
およびエポキシ樹脂(十分な数の遊離OH基を担持する
か水性アルカリ性溶液に可溶性であるような方式で変性
される限り)、または芳香族的に結合されたヒドロキシ
ル基を担持するこの種の重合体、例えば、縮合性カルボ
ニル化合物、特にホルムアルデヒド、アセトアルデヒド
またはアセトンとフェノール類との縮合物またはヒドロ
キシスチレン共重合体。最後に、(メタ)アクリルアミ
ドとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体も、使
用できる。
【0055】上記重合体は、分子量500〜200,0
00またはそれ以上、好ましくは1,000〜100,
000および酸価10〜250、好ましくは20〜20
0またはヒドロキシル価50〜750、好ましくは10
0〜500を有するならば、特に好適である。
【0056】下記の好ましいアルカリ可溶性結合剤が挙
げられる:(メタ)アクリル酸とアルキル(メタ)アク
リレート、(メタ)アクリロニトリルなどとの共重合
体、クロトン酸とアルキル(メタ)アクリレート、(メ
タ)アクリロニトリルなどとの共重合体、ビニル酢酸と
アルキル(メタ)アクリレートとの共重合体、無水マレ
イン酸と置換または非置換スチレンとの共重合体、不飽
和炭化水素、不飽和エーテルまたはエステル、無水マレ
イン酸共重合体のエステル化物、ヒドロキシル含有重合
体とジ−またはポリカルボン酸の無水物とのエステル化
物、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとアルキ
ル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロニトリルな
どとの共重合体、アリルアルコールと置換または非置換
スチレンとの共重合体、ビニルアルコールとアルキル
(メタ)アクリレートまたは他の重合性不飽和化合物と
の共重合体、ポリウレタン(それらが十分な数の遊離O
H基を有する限り)、エポキシ樹脂、ポリエステル、部
分加水分解酢酸ビニル共重合体、遊離OH基を有するポ
リビニルアセタール、ヒドロキシスチレンとアルキル
(メタ)アクリレートなどとの共重合体、フェノール/
ホルムアルデヒド樹脂、例えば、ノボラック。感光性フ
ィルム中の結合剤の量は、一般に20〜90重量%、好
ましくは40〜80重量%である。
【0057】所期用途および所望の性質に応じて、広範
囲の物質が光重合性フィルムに添加剤として存在でき
る。例は、単量体の熱重合を防止するための抑制剤、水
素供与体、染料、着色顔料および未着色顔料、発色剤、
指示薬、可塑剤および連鎖移動剤である。これらの成分
は、有利には開始プロセスに重要な化学線領域内での最
低の可能な吸収を有するような方式で選ばれる。
【0058】この説明の文脈で、化学線は、エネルギー
が少なくとも可視光線のものに対応するいかなる放射線
も意味すると理解される。特に、可視光線および長波紫
外線、また短波紫外線、レーザー放射線、電子およびX
線は、好適である。感光性は、約300nm〜700nmで
あり、かくて非常に広い範囲を包含する。光還元性染料
と光分解的に開裂できるハロゲン化合物とメタロセンと
の組み合わせは、相乗効果および光重合性混合物中での
活性、特に455nm以上でのスペクトルの長波領域内で
の光重合性混合物中での活性を有する開始剤系を与える
(これは既知の光開始剤組み合わせよりも優れてい
る)。本発明に従って使用する特定のメタロセン、特に
ジシクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリフルオ
ロフェニル)チタンは、驚異的なことに非常に高い感光
性に加えて、フィルムの非常に良好な熱安定性を生じさ
せる。
【0059】特に高い感光性は、光酸化性基を含有する
重合性化合物との組み合わせによって得られる。その他
の点では同一の光重合性混合物、例えば、EP−A第2
87,817号明細書に記載のものにおいて補助開始剤
として存在するアクリジン、フェナジンまたはキノキサ
リン化合物を上記メタロセン化合物と取り替えるか、上
記多核複素環式化合物に加えてのメタロセンの追加使用
と取り替えることによって、実質上より高い感光性の混
合物が得られる。本発明に係る混合物は、メタロセンを
含有する既知の開始剤組み合わせを含有する混合物と比
較してさえかなり高い感光性を示す。
【0060】本発明に係る材料の可能な応用は、凸版印
刷、オフセット印刷、イナグリオ(inaglio)印刷、スク
リーン印刷、レリーフコピー用印刷版の光機械的製版、
例えば、点字におけるテキスト、個々のコピー、染料画
像、顔料画像などの製造用記録層である。更に、混合物
は、エッチレジストの光機械的製造、例えば、名札、複
写回路の製作および化学ミリングのために使用すること
ができる。
【0061】本発明に係る混合物は、平版印刷版の製版
およびフォトレジスト技術のための記録層として特に重
要性を有する。本発明に係る記録材料に好適な支持体の
例は、アルミニウム、鋼、亜鉛、銅およびプラスチック
シート、例えば、ポリエチレンテレフタレートまたは酢
酸セルロース製のもの、およびスクリーン印刷支持体、
例えば、パーロン(Perlon)ガーゼである。多くの場合
に、支持体の表面の平版特性を改善するか複写層の化学
線領域内の支持体の反射を減少するために(ハレーショ
ン防止)層の接着を適当に調整する目的で、支持体の表
面を前処理(化学的にまたは機械的に)に付すことが有
利である。
【0062】感光材料は、既知の方法で調製し得る。か
くて、フィルム成分は、溶媒に取り上げ、溶液および分
散液は流し込み、吹付け、浸漬、ローラー塗などによっ
て所期の支持体に塗布し、次いで、乾燥することができ
る。本発明に係る記録材料の広いスペクトル感度のた
め、当業者に既知のすべての光源、例えば、管状ラン
プ、キセノンフラッシュランプ、金属ハライドをドープ
した水銀高圧ランプおよび炭素アークランプは、使用で
きる。更に、通例の投影/拡大装置において金属フィラ
メントランプの光への露光および通常の光球を使用して
の接触露光は、本発明に係る感光性混合物の場合に可能
である。レーザーの凝集光への露光も、可能である。本
発明の目的で好適であるレーザーは、適当なパワーのレ
ーザー、例えば、アルゴンイオン、クリプトンイオン、
染料、ヘリウム/カドミウムおよびヘリウム/ネオンレ
ーザー(特に250〜650nmを放出)である。レーザ
ービームは、所定のプログラム化ラインおよび/または
走査モードによって調整できる。
【0063】一般に、混合物を光重合時に実質上空気酸
素の効果に対して保護することが有利である。混合物を
薄い複写層の形態で適用する場合には、低い酸素透過性
を有する好適なトップフィルムを適用することが推奨さ
れる。このフィルムは、自立性であり且つ複写層を現像
する前に除去してもよい。この目的のためには、例え
ば、ポリエステルフィルムが、好適である。トップフィ
ルムは、現像液に可溶性である材料からも作ることがで
き、または現像時に少なくとも未硬化部分において除去
できる。
【0064】これに好適である材料の例は、ポリビニル
アルコール、ポリホスフェート、糖類などである。この
種のトップコートは、一般に、厚さ0.1〜10μm、
好ましくは1〜5μmを有する。材料の更なる加工は、
既知の方法で実施する。フィルムの架橋を改善するため
に、追加の加熱は、露光後に施すことができる。現像の
ためには、それらは、好適な現像液、例えば、有機溶媒
で処理するが、好ましくは弱アルカリ性水溶液で処理
し、そして層の未露光部は除去し、複写層の露光部は支
持体上に残る。現像液は、小さい部分(好ましくは5重
量%未満)の水混和性有機溶媒を含有することができ
る。現像液は、湿潤剤、染料、塩類および他の添加剤を
更に含有できる。
【0065】現像によって、光重合性層の未露光部と一
緒に全トップコートを除去する。
【0066】本発明の作動例を以下に与える。そこで、
gがcm3 に関連するように、重量部(pbw)は、容量
部(pbv)に関連する。%および量は、特に断らない
限り、重量単位である。例1〜6(比較例) 酸化物層3g/ m2 を有し且つポリビニルホスホン酸
の水溶液で前処理された電気化学的粗面化/陽極処理ア
ルミニウムを印刷版用支持体として使用した。支持体を
下記組成の溶液で被覆した。すべてのこれらの操作を赤
色光線下で実施した。
【0067】プロピレングリコールモノメチルエーテル
22pbw中のメチルエチルケトン中の、スチレンとメ
タクリル酸n−ヘキシルとメタクリル酸とからなり(1
0:60:30)且つ酸価190を有する三元共重合体
の22.3%濃度の溶液2.84pbw表1の単量体
1.49pbwエオシンアルコール可溶物(C.I.4
5386)0.04pbw2,4−ビス−トリクロロメ
チル−6−(4−スチリルフェニル)−s−トリアジン
0.03pbwおよびジシクロペンタジエニルビス(ペ
ンタフルオロフェニル)チタン0.01pbw。
【0068】混合物は、乾燥重量2.4〜2.8g/ m
2 が得られるような方式でスピン被覆することによって
塗布した。次いで、プレートを100℃において空気循
環乾燥オーブン中で乾燥した。次いで、プレートをポリ
ビニルアルコールの15%濃度の水溶液(残留アセチル
基12%、K値4)で被覆した。乾燥後、重量2.5〜
4g/ m2 を有するトップコートが、得られた。得られ
た印刷版を距離110cmにおいて13ステップ露光ウェ
ッジ下で濃度増分0.15で2kWの金属ハライドランプ
に露光した。可視光線における印刷版の感度を試験する
ために、透過エッジ455nmを有するショット製の3mm
厚のエッジフィルターと、灰色フィルターとして均一な
暗色化(濃度1.4)および有効なスペクトル範囲にわ
たって均一な吸収を有する銀フィルムとを露光ウェッジ
上に装着した。プレートを20秒間露光し、次いで、1
00℃で1分間加熱した。次いで、下記組成の現像液を
使用して、それらを現像した。
【0069】完全に脱イオンされた水4000pbw中
のメタケイ酸ナトリウム×9H2 O 120pbw、塩
化ストロンチウム2.13pbw、非イオン湿潤剤(コ
コナッツ脂肪アルコール/約8個のオキシエチレン単位
を有するポリオキシエチレンエーテル)1.2pbwお
よび消泡剤0.12pbw。
【0070】プレートを脂肪印刷インキで被覆した。表
2に与える完全に架橋されたウェッジステップが、得ら
れた。
【0071】表1 例No. 単量体 1 トリエタノールアミン1モルとメタクリル酸イソ
シアナトエチル3モルとの反応生成物 2 N,N′−ビス(β−ヒドロキシエチル)ピペリ
ジン1モルとメタクリル酸イソシアナトエチル2モルと
の反応生成物 3 トリエタノールアミン1モルとメタクリル酸グリ
シジル3モルとの反応生成物 4 2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチル2
モルとの反応生成物 5 ヘキサメチレンジイソシアネート1モルとメタク
リル酸2−ヒドロキシエチル1モルとトリエタノールア
ミン0.33モルとの反応生成物 6 トリメチロールエタントリアクリレート表2 例No. 灰色フィルター ウェッジステップ 1 あり 8〜9 2 あり 9 3 あり 7〜9 4 あり 6〜7 5 あり 7〜9 6 あり − 6 なし 3〜4 画像なし例7〜12 各々の場合に被覆重量2.5g/ m2 が得られるような
方式で、下記組成の溶液を例1に述べた支持体上に例1
と同じ条件下でスピン被覆した。
【0072】プロピレングリコールモノメチルエーテル
22pbw中の例1に述べた三元共重合体溶液2.84
pbw、表1の単量体1.49pbw、エオシンアルコ
ール可溶物(C.I.45386)0.04pbw、
2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−(4−スチ
リルフェニル)−s−トリアジン0.03pbwおよび
ジシクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリフルオ
ロフェニル)チタン0.01pbw。
【0073】ポリビニルアルコールからなるトップコー
トを適用した後、プレートを例1と同じ方法で20秒間
露光し、次いで、現像した。可視光線における印刷版の
感度を試験するために、透過エッジ455nmを有するシ
ョット製の3mm厚のエッジフィルターと、示すならば灰
色フィルターとして均一な暗色化(濃度1.1)を有す
る銀フィルムとを露光ウェッジ上に装着した。表3に表
示の完全架橋ウェッジステップが、得られた。
【0074】 表3 下記例No. か 例No. らの単量体 灰色フィルター ウェッジステップ 7 1 あり 9〜10 8 2 あり 9 9 3 あり 10〜11 10 4 あり 7〜8 11 5 あり 8 12 6 あり − 12 6 なし 3〜5 画像なし 例1〜12からの印刷版を使用して、貯蔵試験を80℃
において空気循環乾燥オーブン中で4時間にわたって行
った。露光および現像を上記のように4時間後に実施し
た。
【0075】下記結果が見出された。例1〜6は、アル
ミニウム支持体上に画像を与えなかった。例7〜12の
場合には、表4に表示の完全架橋ウェッジステップが見
出された。
【0076】 表4 下記例No. か 例No. らの単量体 灰色フィルター ウェッジステップ 7 1 あり 7〜8 8 2 あり 8 9 3 あり 9〜10 10 4 あり 5〜6 11 5 あり 6 12 6 あり − 12 6 なし 1〜3 画像なし 80℃で貯蔵した印刷版は、貯蔵時間4時間後にさえ1
00,000枚よりも多い完全な印刷物を与えた。例13 乾燥後に被覆重量15g/ m2 が得られるような方式
で、例7からのコーティング溶液を二軸配向された35
μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上にスピ
ン被覆した。次いで、フィルムを100℃において空気
循環乾燥オーブン中で3分間乾燥した。次いで、フィル
ムを115℃および1.5m/分で35μmの銅層が被
覆された絶縁プレートからなる清浄化支持体上に積層し
た。
【0077】原稿としてステップウェッジを使用して、
フィルムを例1に記載のようにエッジフィルター455
nm下で2kWの金属ハライドランプ(距離140cm)に3
0秒間露光し、フィルム除去後、吹付けプロセッサー中
で0.8%濃度の炭酸ナトリウム溶液で20秒間現像し
た。6個の完全架橋ウェッジステップが、得られた。架
橋フィルムは、プリント回路テクノロジーで普通である
塩化鉄(III)溶液に抵抗性であった。耐エッチング性
は、良好であった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 21/027 H01L 21/30 502R (72)発明者 ディーター、モール ドイツ連邦共和国ブーデンハイム、エア ウボナー、シュトラーセ、8 審査官 松島 裕美 (56)参考文献 特開 昭59−152396(JP,A) 特開 平3−239703(JP,A) 特開 昭63−221110(JP,A) 特開 昭61−151197(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/004 503 G03F 7/028 - 7/031 G03F 7/027 502 C08F 2/50

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】必須成分として (a)重合体結合剤、 (b)遊離基によって重合でき且つ少なくとも1個の重
    合性基を有する化合物および (c)光還元性染料を含有し且つ (d)ジシクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリ
    フルオロフェニル)チタンまたはジシクロペンタジエニ
    ルビス(2,4,6−トリフルオロフェニル)ジルコニ
    ウムを更に含有することを特徴とする光重合性混合物。
  2. 【請求項2】(e)放射線によって開裂できるトリハロ
    ゲノメチル化合物を追加的に含有する、請求項1に記載
    の混合物。
  3. 【請求項3】シクロペンタジエニル基の少なくとも1個
    が置換されている、請求項1に記載の混合物。
  4. 【請求項4】遊離基によって重合できる化合物が、光還
    元性染料の存在下で露光時に光酸化できる少なくとも1
    個の基を有するアクリル酸エステルまたはアルクアクリ
    ル酸エステルである、請求項1に記載の混合物。
  5. 【請求項5】光酸化性基が、アミノ、尿素、チオまたは
    エノール基である、請求項4に記載の混合物。
  6. 【請求項6】光還元性染料が、キサンテン、チアジン、
    ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料である、
    請求項1に記載の混合物。
  7. 【請求項7】放射線によって開裂できるトリハロゲノメ
    チル化合物が、少なくとも1個のトリハロゲノメチル基
    および所望ならば更に他の基によって置換されているs
    −トリアジンであるか、アリールトリハロゲノメチルス
    ルホンである、請求項1に記載の混合物。
  8. 【請求項8】光開始剤として活性であるアクリジン、フ
    ェナジンまたはキノキサリン化合物を光開始剤として更
    に含有する、請求項1に記載の混合物。
  9. 【請求項9】結合剤が、水不溶性であり且つ水性アルカ
    リ性溶液に可溶性である、請求項1に記載の混合物。
  10. 【請求項10】重合性化合物10〜80重量%、重合体
    結合剤20〜90重量%および混合物の不揮発性成分に
    対して0.05〜20重量%の、放射線によって活性化
    できる重合開始剤を含有する、請求項1に記載の混合
    物。
  11. 【請求項11】支持体および光重合性層を具備する光重
    合性記録材料であって、光重合性層は請求項1に記載の
    混合物からなることを特徴とする光重合性記録材料。
  12. 【請求項12】光重合性層上に、空気酸素に対して低透
    過性であり且つ光重合性層用現像液に可溶性である更に
    他の透明層を含有する、請求項11に記載の記録材料。
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