JP2943579B2 - 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド - Google Patents

磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気構造体、例えば
ビデオテープレコーダーやオーディオテープレコーダー
等の磁気記録再生装置に搭載される磁気ヘッドに係り、
特に多数のヘッドチップの並びに対して同時に記録や再
生を行う必要のある高密度記録再生に適した多チャンネ
ル磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】映像信号をＰＣＭ（パルスコード変調）
方式によって記録するディジタルＶＴＲや高品位の映像
信号を記録する高品位ＶＴＲなどの磁気記録装置では、
記録する信号量が従来の家庭用ＶＴＲやディジタルオー
ディオテープレコーダーに比べて飛躍的に増大するた
め、これらの従来の装置より広帯域の信号の記録再生が
必要である。広帯域信号の記録再生にはマルチトラック
記録方式が有効であるため、多チャンネル磁気ヘッドが
提案されている。また、磁気記録装置の小型軽量化や記
録容量の増大を図るためには狭トラック化したり、磁気
記録媒体とヘッド間の相対速度を小さくしたりする必要
があるが、このようにすると十分なＳ／Ｎ比の再生信号
を得るのが困難になってくる。そこで低速度でも十分な
Ｓ／Ｎ比の再生信号を得るために、磁気ヘッドのコイル
を多巻線化したものや、記録再生複合型ヘッド等が提案
されている。
【０００３】多チャンネル磁気ヘッドには、複数のバル
クタイプの単体ヘッドチップをベースに固定したもの
や、多数の薄膜ヘッドチップを同一基板上に形成したも
のなどがあるが、狭トラック化や各磁気ギャップ間の相
対位置精度の点で後者の薄膜タイプのものが有利であ
る。この多チャンネル薄膜磁気ヘッドは、特開平４−１
８６５１１、特開平４−１８８４１４号公報、特開平２
−１７９９１０号公報、特開６２−３１０１３号公報、
特開昭６１−３９９１４号公報、特開昭５８−９４１２
０号公報等に記載されている。また記録再生複合型の多
チャンネル磁気ヘッドは特開平２−９４０１４号公報等
に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の多チャンネル薄
膜磁気ヘッドには、図５１（ａ）に示すような多数のス
パイラル型コイルを有する磁気ヘッドチップで構成され
るものと、図５１（ｂ）に示すようなヘリカル型コイル
を有する磁気ヘッドチップで構成されるものがある。図
において、１は基板、２５はスパイラル型コイル、２６
はヘリカル型コイル、３１は磁性コアである。スパイラ
ル型コイルの磁気ヘッドチップは作製が容易でコイルの
絶縁を確保し易いという利点があるが、再生信号出力を
得るために多巻線化を図ると面積が大きくなるため、多
数集積する場合に磁気ヘッドチップ間隔が広くなり狭ト
ラック化が困難になるという問題がある。
【０００５】また、図５１（ｂ）に示したヘリカル型コ
イルの磁気ヘッドチップは狭トラック化と多巻線化が比
較的容易であるが、磁気ヘッドの大きさの制約等によっ
て充分な巻線数が得られず再生信号のＳ／Ｎ比が低下す
るという問題がある。さらにコイル２６と磁性コア３１
をリソグラフィ技術によって一体に形成するため、コイ
ル２６の形成を行うためには磁性コア３１をあまり厚く
することができず、記録再生効率の向上が難しいという
問題がある。
【０００６】さらに、磁気ヘッドチップのコイルと外部
の電気回路の接続を従来のように個々のコイル両端に設
けられた電極パッド等へのボンディングまたはコネクタ
等によって行うと、トラック数が例えば数十や数百を越
えるような多チャンネルの場合には接続本数が極めて多
くなるので信頼性が低下したり、接続ケーブルが太くな
りすぎて接続が困難になる等の問題がある。また、電極
パッドの大きさによって磁気ヘッドチップの間隔が制限
されるので、電極パッドの大きさ以下の間隔で磁気ヘッ
ドチップを配列することが困難になるという問題があ
る。
【０００７】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたものであり、小型・高集積化が図れる磁気
構造体および磁気ヘッドを提供しようとするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係る磁気構造体は、側面が斜面である溝状凹部を有しか
つ上記溝状凹部に連なる上面両側に凹部が設けられた基
板上に、上記上面凹部から上記溝状凹部の両側面と底面
にわたって形成された複数の導電路からなる第１導電路
と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
絶縁層と、上記溝状凹部に充填された磁性材からなる磁
性コアと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、
上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体と
なるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路と
を備えたものである。
【０００９】請求項２に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
ように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成され
たものである。
【００１０】請求項３に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板と、
隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底
面にわたって形成された複数の並行する導電路からなる
第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に積層
された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成
される溝状凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コ
アと、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア
上に形成された第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気
記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に積層されて
磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶
縁層上に形成された複数の並行する導電路からなる第３
導電路と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層
と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を
有する畝状凸部となるように積層された磁性材からなる
第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と上面に積
層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続し
てヘリカル型コイル体となるように上記第４絶縁層上に
形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチ
ップが一体に形成されたものである。
【００１１】請求項４に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、上面と下面の略等しい位置に側面が斜面である複数
の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸部の間に長
さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹
んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両面のそれぞ
れ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面
にわたってそれぞれ形成された複数の並行する導電路か
らなる上面側の第１導電路および下面側の第３導電路
と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層と、上記
第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記第１およ
び第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突出した凸
部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材からなる
上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性コアと、
上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁
性材料からなる磁気ギャップと、上記第１および第２磁
性コア上にそれぞれ積層された第２および第４絶縁層
と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル
体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電
路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように上記第４絶縁層下面に形成された第４
導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に形
成されたものである。
【００１２】請求項５に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項２ないし４の何れかに記載のものにおいて、
第１導電路は、基板の凸部の上面に設けられた凹部から
両斜面および底面にわたって形成されているものであ
る。
【００１３】請求項６に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項２ないし５の何れかに記載のものにおいて、
第１導電路は、少なくとも基板の凸部の底面から両斜面
にわたって設けられた溝部に形成されているものであ
る。
【００１４】請求項７に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
ように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成さ
れ、かつ上記基板上に電源ラインと、上記電源ラインと
上記磁気ヘッドチップの個々のコイル体との電気的な断
続を行う手段と、上記電気的断続を制御する手段とを上
記基板と一体に形成したものである。
【００１５】請求項８に記載の発明に係る磁気記録ヘッ
ドは、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝
状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部であ
るように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向か
い合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成され
た複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第
１導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、
隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填
された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気
記録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギ
ャップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、
上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に
形成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体とな
るように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを
備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて
複数個の磁気ヘッドチップを共通する基板上に形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒体摺動面側
の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向に曲面をな
し、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸であるもので
ある。
【００１６】
【作用】請求項１に記載の発明における磁気構造体は、
側面が斜面である溝状凹部を有しかつ上記溝状凹部に連
なる上面両側に凹部が設けられた基板上に、上記上面凹
部から上記溝状凹部の両側面と底面にわたって形成され
た複数の導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路
および上記基板上に積層された第１絶縁層と、上記溝状
凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路端を
順次接続してヘリカル型コイル体となるように上記第２
絶縁層上に形成された第２導電路とを備えたので、トラ
ック間隔を大きくすることなくコイルの多巻線化をはか
ることができ、磁性コアを厚くしても容易にコイルを形
成できる。さらに、共通する磁性コア上に巻線数が等し
いかまたは異なる複数のヘリカル型コイルを形成するこ
とができる。さらに、磁性コアを囲むヘリカル型コイル
を形成する際のコンタクトホールの位置決め誤差の許容
値を大きくすることができ、信頼性の向上と製造コスト
の低減が可能である。また、基板上面に形成された導電
路同士を凹部によって確実に分離し、絶縁を確保するこ
とができる。
【００１７】請求項２に記載の発明における磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
ように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成され
たので、配置の間隔を大きくすることなく多巻線のコイ
ルを形成することができ、磁性コアを厚くしても容易に
コイルを形成できる。また、複数チャンネル分一体に形
成するので、各磁気ギャップ間の相対位置を容易に高精
度化できる。
【００１８】請求項３に記載の発明における磁気ヘッド
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板と、
隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底
面にわたって形成された複数の並行する導電路からなる
第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に積層
された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成
される溝状凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コ
アと、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア
上に形成された第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気
記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に積層されて
磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶
縁層上に形成された複数の並行する導電路からなる第３
導電路と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層
と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を
有する畝状凸部となるように積層された磁性材からなる
第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と上面に積
層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続し
てヘリカル型コイル体となるように上記第４絶縁層上に
形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチ
ップが一体に形成されたので、多巻線化が容易であると
ともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよ
び相対位置精度の高い磁気ヘッドを提供することができ
る。
【００１９】請求項４に記載の発明における磁気ヘッド
は、上面と下面の略等しい位置に側面が斜面である複数
の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸部の間に長
さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹
んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両面のそれぞ
れ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面
にわたってそれぞれ形成された複数の並行する導電路か
らなる上面側の第１導電路および下面側の第３導電路
と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層と、上記
第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記第１およ
び第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突出した凸
部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材からなる
上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性コアと、
上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁
性材料からなる磁気ギャップと、上記第１および第２磁
性コア上にそれぞれ積層された第２および第４絶縁層
と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル
体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電
路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように上記第４絶縁層下面に形成された第４
導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に形
成されたので、基板の上面と下面にコイルを設けること
によって、複数チャンネルの磁気ヘッドのコイル間の距
離を大きくすることが可能であるので、コイル相互が及
ぼす影響を低減できる。さらに、多巻線化が容易である
とともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さお
よび相対位置精度の高い磁気ヘッドを提供することがで
きる。
【００２０】請求項５に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項２ないし４の何れかに記載のものにおいて、
第１導電路は、基板の凸部の上面に設けられた凹部から
両斜面および底面にわたって形成されているので、磁性
コアを囲むヘリカル型コイルを形成する際のコンタクト
ホールの位置決め誤差の許容値を大きくすることがで
き、信頼性の向上と製造コストの低減が可能である。ま
た、基板上面に形成された導電路同士を凹部によって確
実に分離し、絶縁を確保することができる。
【００２１】請求項６に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項２ないし５の何れかに記載のものにおいて、
第１導電路は、少なくとも基板の凸部の底面から両斜面
にわたって設けられた溝部に形成されているので、磁性
コアを凹部に凹凸無く形成することができ、磁束効率の
高い磁性コアが得られる。また、溝部によって凹部に形
成された導電路間の絶縁を確保することができる。
【００２２】請求項７に記載の発明における磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
よう に配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成さ
れ、かつ上記基板上に電源ラインと、上記電源ラインと
上記磁気ヘッドチップの個々のコイル体との電気的な断
続を行う手段と、上記電気的断続を制御する手段とを上
記基板と一体に形成したので、磁気ヘッドチップのコイ
ルと外部の電気回路の接続本数を大幅に低減することが
でき、さらにコイルと外部の電気回路の接続に電極パッ
ドを必要としないのでトラックピッチを小さくして記録
密度を高密度化できるとともに、信頼性が向上する。
【００２３】請求項８に記載の発明における磁気記録ヘ
ッドは、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の
畝状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部で
あるように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向
かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成さ
れた複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記
第１導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層
と、隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に
充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの
磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁
気ギャップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層
と、上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両
側に形成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体
となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路
とを備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離さ
れて複数個の磁気ヘッドチップを共通する基板上に形成
する磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒体摺動
面側の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向に曲面を
なし、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸であるの
で、磁気ヘッドに対する磁気記録媒体の密着性を良くす
ることができる。
【００２４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。 実施例１．本 発明による磁気構造体の一実施例である。図１はこの
発明の実施例１による磁気構造体を示す破断斜視図、図
２は横断面図、図３は縦断面図、図４は水平断面図、図
５は上面図である。
【００２５】本実施例の磁気構造体は、図１に示すよう
に、主として基板１、第１導電路２１、第２導電路２
２、磁性コア３１、第１絶縁層４１、第２絶縁層４２と
を有して構成されており、図２に示すように、磁性コア
３１のまわりに、第１導電路２１および第２導電路２２
からなる多重巻線のヘリカル型コイルが、第１絶縁層４
１および第２絶縁層４２を介して巻き付くように形成さ
れた構造となっている。
【００２６】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は凹部１１が設けられており、凹部１１は側面１１ａ、
１１ｂと底面１１ｃで形成されている。側面１１ａ、１
１ｂは基板上面１０に対して斜面となっており、底面１
１ｃは基板上面１０と略平行である。凹部１１に設けら
れた第１導電路２１は側面１１ａ、１１ｂおよび底面１
１ｃにわたって並行する複数のアルミニウムや銅等から
なる導電路によって形成されている。第１絶縁層４１は
第１導電路２１の短絡防止や放熱のために設けられたも
ので、ＳｉＯ2等の絶縁材からなり、厚さは第１導電路
２１の厚さより厚い。図３，４に示すように、第１絶縁
層４１の厚さが第１導電路２１よりも厚いため、第２導
電路２２の形成の際に、第２導電路２２とコンタクトホ
ール２３の位置および寸法誤差の許容値を大きくするこ
とができ、磁性コア３１との絶縁を確実に確保すること
ができるとともに製造コストを低減することができる。
磁性コア３１は凹部１１に凹部１１の深さ以下の厚さで
充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材である。
第２絶縁層４２はＳｉＯ2 等の絶縁材からなり、第２導
電路２２や導電路５４、５５、５６等の短絡防止や放熱
のために設けられている。コンタクトホール２３は第１
導電路２１の端面２１ａと第２導電路２２の接続用に第
２絶縁層４１に設けられている。第２導電路２２は第２
絶縁層４１上に並行する複数のアルミニウムや銅等から
なる導電路によって形成されており、第２絶縁層４２に
設けられたコンタクトホール２３によって第１導電路端
２１ａを順次接続する。
【００２７】この際に、図５に示すように、第２導電路
の少なくとも一部２２ａが第１導電路端２１ａを一つお
きに順次接続するように形成するので、第２導電路の一
部２２ａでは二重巻線となり、巻線数が多い第１ヘリカ
ル型コイル（以降、ヘリカル型コイルを単にコイルと称
する）２５と巻線数が少ない第２コイル２６が導電路２
１と導電路２２によって形成される。第１コイル２５へ
の導電路５４、５５と第２コイル２６への導電路５６、
５７によって２つのコイル２５、２６に別々に給電した
り、別々に再生信号を取り出したりすることが可能であ
る。また、第１導電路２１の第２導電路の一部２２ａに
対応する箇所と、第２導電路の一部２２ａの断面積を大
きくすれば第２コイル２６の許容電流を大きくすること
ができる。一般的には再生時には記録時よりも大きな巻
線数のコイルが要求され、記録時には再生時よりも大き
な導電路断面積のコイルが要求されるので、２つのコイ
ル２５、２６をそれぞれ再生用、記録用とすることで、
再生と記録にそれぞれ最適のコイルを形成することがで
きる。さらに、再生時に記録用コイルに給電してバイア
スとなる交流磁界を発生させて再生の高感度化をはかる
等の動作が可能になる。また、ヘリカル型コイルを形成
することによって、多数巻線の磁気構造体を多数密に配
置することができる。
【００２８】実施例２．本 発明による磁気構造体の他の実施例である。上記実施
例１との相違点に限って説明する。上記実施例１では、
第２導電路２２の少なくとも一部２２ａが第１導電路端
２１ａを一つおきに順次接続して、少なくとも一部が二
重巻線のコイルを形成していたが、接続方法は一つおき
に限定されない。例えば二つおきに第１導電路２１ａを
順次接続すると、巻線数の異なるコイルが３個形成でき
るので、それぞれのコイルを記録用、再生用、バイアス
磁界発生用の最適なコイルに形成することができる。ま
た、用途によっては図６、７に上面図で示すように、隣
の第１導電路端を順次接続してもよく、図６は１個のコ
イル２５を形成した場合、図７は２個のコイル２５、２
６を形成した場合を示している。このような構成とする
ことによって、例えば図６のものはインダクタ素子とし
て、図７のものはトランス素子として用いることができ
る。
【００２９】実施例３．本 発明による磁気構造体の他の実施例であり、図８にそ
の横断面図を示し、図２で示した上記実施例１との相違
点に限って説明する。本実施例では、第１絶縁層４１が
凹部１１を埋めるように充填されており、磁性コア３１
はこの第１絶縁層４１に設けられた凹部４５に充填され
ている。このように形成することによって、第１絶縁層
４１によって磁性コア３１との絶縁を確実にできるため
コンタクトホール２３の位置および寸法誤差の許容値を
大きくすることができ、歩留まりがよくなり製造コスト
を低減することができる。
【００３０】実施例４．本 発明による磁気構造体の他の実施例であり、図９にそ
の横断面図を示し、上記実施例１との相違点に限って説
明する。本実施例では、実施例３と同様に凹部１１に充
填された第１絶縁層４１の中にアルミニウム，金，銅，
ニッケル，チタン等からなるエッチングストップ層４６
を設けている。このように、エッチングストップ層４６
を設けることによって、凹部４５をエッチングによって
精度よく形成することが可能である。
【００３１】実施例５．本 発明における磁気構造体の他の実施例であり、図１０
にその横断面図を示し、上記実施例１との相違点に限っ
て説明する。本実施例では、第１絶縁層４１は図２で示
した実施例１の場合と同様に第１導電路２１および基板
１上に薄く層状に形成されており、磁性コア３１は断面
台形状の凹部１１の一部に断面長方形状で凹部１１の深
さ以下となるように形成されている。そして、第２絶縁
層４２が図２で示した例と異なって、第１絶縁層４１お
よび磁性コア３１上に凹部１１を埋めるように形成され
ている。このように構成することによって、コンタクト
ホール２３の位置および寸法誤差の許容値を大きくする
ことができ、製造コストを低減することができる。
【００３２】実施例６．本 発明による磁気構造体の他の実施例である。図１１は
実施例６による磁気構造体を示す横断面図、図１２は上
面図である。本実施例の磁気構造体は、図１１に示すよ
うに、主として基板１、第１導電路２１、第２導電路２
２、磁性コア３１、第１絶縁層４１、第２絶縁層４２と
を有して構成されており、磁性コア３１のまわりに、第
１導電路２１および第２導電路２２からなる多重巻線の
ヘリカル型コイルが、第１絶縁層４１および第２絶縁層
４２を介して巻き付くように形成された構造体が複数一
体に形成された構造となっている。
【００３３】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の畝状凸部１２設けられており、畝状凸部１２の
間すなわち底面１１ｃは平坦部となっている。また、畝
状凸部１２の両側面１１ａ、１１ｂは平坦部１１ｃに対
して斜面となっており、側面１１ａ、１１ｂおよび底面
１１ｃによって凹部１１が形成されている。凹部に設け
られた第１導電路２１は、側面１１ａ、１１ｂおよび底
面１１ｃにわたって並行する複数のアルミニウムや銅等
からなる導電路によって形成されている。磁性コア３１
は凹部１１に凸部１２の高さ以下となるように充填され
たパーマロイやセンダスト等の磁性材である。複数の磁
性コア３１は凸部１２によって完全に分離されるので、
クロストークを軽減できる。第１絶縁層４１、第２絶縁
層４２、コンタクトホール２３、導電路５４、５５の構
成は、上記実施例１と同じであるが、第２導電路２２と
第１導電路端２１によって形成されるコイルは多重巻線
構造を形成することに限定されず、図１２に示すように
単線の巻線構造でもよい。例えば、このような単線の巻
線構造の場合はインダクタ素子として使用でき、図７に
示したような巻線構造であればトランスとして使用でき
る。さらに、図５に示したような巻線構造であれば記録
再生用の磁気ヘッドとしての使用が可能である。
【００３４】このように基板１に側面が斜面である凸部
１２を設けることによって、複数の磁性構造体を一体に
形成できるとともに、磁性コア３１を隣同士確実に分離
できる。さらに、磁性コアが厚い場合でも確実にヘリカ
ル型コイルを形成することができるので、コイルの多巻
線化と磁性コアの厚膜化および配置の高密度化を同時に
満足する磁気構造体を提供することができる。
【００３５】実施例７．本 発明による磁気ヘッドの一実施例である。図１３は実
施例７による磁気ヘッドを示す斜視図、図１４は磁気ヘ
ッドの基板および第１導電路を示す斜視図、図１５は上
面図、図１６は磁気ギャップの形成工程を説明する斜視
図である。
【００３６】本実施例の磁気ヘッドは、図１３、１４に
示すように、主として基板１、第１導電路２１、第２導
電路２２、磁性コア３１、磁気ギャップ３２、第１絶縁
層４１、第２絶縁層４２を有して構成されている。な
お、図１３〜１６では理解を容易にする目的で２チャン
ネル分の磁気ヘッドの構造を示しているが、２チャンネ
ルに限定されないことは言うまでもない。
【００３７】図１４に示すように、基板１は単結晶シリ
コン基板１ａとＳｉＯ2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基
板で、基板１の表面には複数の凸部が設けられており、
長さが長い凸部１５と短い凸部１６がこの例では交互に
設けられている。長い凸部１５の側面と、短い凸部１６
の側面は、平坦部１７に対して斜面となっており、長い
凸部１５の側面と短い凸部１６の側面および平坦部１７
で凹部１１が形成されている。第１導電路２１は長い凸
部１５の側面と、短い凸部１６の側面および平坦部１７
にわたって並行する複数のアルミニウムや銅等からなる
導電路で、短い凸部１６の両側に２組形成される。磁性
コア３１は凸部１５、１６の高さ以下となるように凹部
１１に充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材
で、磁気記録媒体摺動面の反対側の面側では閉磁路とな
っており、隣同士は長い凸部１５で分離されている。磁
性コア３１の磁気記録媒体摺動面から短い凸部１６にか
けては、ＳｉＯ2 等の非磁性材からなる磁気ギャップ３
２が設けられている。図１５に示すように、第１導電路
２１および第２導電路２２によって、短い凸部１６の両
側に２つのコイル２７、２８が形成されるが、導電路５
２によって接続する。２つのコイル２７、２８を接続す
ることによって、外部誘導磁界が２つのコイル２７、２
８によって打消されるため、ノイズとなる外部からの磁
場の影響を小さくすることができる。電極パッド５１は
導電路５４、５７によってコイルに接続されており、面
積を大きくすることによって外部電気回路等（図示しな
い）との接続を容易にする。
【００３８】本実施例に示す磁気ヘッドによれば、コイ
ルの巻線数を大きくしても磁気ヘッドチップ間隔は大き
くならない。また、長い凸部１５によって磁性コア３１
が隣同士確実に分離され、さらに、磁性コア３１が厚く
なっても、第１導電路が斜面に形成されているので、第
１導電路と第２導電路は確実に接続できる。
【００３９】次に、本実施例による磁気ヘッドの製造方
法について一例を説明する。（１００）表面配向のシリ
コンウェーハに異方性エッチングを施して凸部１５、１
６を形成する。この時形成される凸部１５、１６の側面
はシリコン単結晶の（１１１面）に相当するので、平坦
部１７とは略５５度の角度を有する斜面となる。凸部１
５、１６を形成した後、シリコンウェーハの酸化あるい
はＳｉＯ2 等の絶縁材の堆積によって、絶縁基板１を形
成する。次に、基板１上にアルミニウムや銅等の導電性
材料をめっき、あるいは蒸着等の手段によって堆積させ
た後、この導電性材料にいわゆるリソグラフィー技術を
用いてパターニングを施し、第１導電路２１を形成す
る。この際、凸部１５、１６の側面は斜面となっている
ため、側面に対する感光性レジストの塗布および露光が
可能である。次に、ＳｉＯ2 等の絶縁材を蒸着あるいは
塗布等の方法によって堆積させて第１絶縁層４１を形成
する。次に、第１６図に示すように、センダストやパー
マロイ等の磁性材料をめっきあるいは蒸着等の方法によ
って凹部１１の深さ以上の厚みに堆積させて磁性コア３
１ａを形成する。次に、例えばガリウム等の集束イオン
ビーム照射によるエッチング、あるいはレーザーアシス
トエッチング等により、磁気ギャップ３２形成部の磁性
コア３１ａの側面３７を所望のアジマス角を有する平面
となるように除去加工した後、この平面上に磁気ギャッ
プ長に等しい厚みの非磁性材を堆積させて磁気ギャップ
３２を形成する。さらに、センダストやパーマロイ等の
磁性材をめっきあるいは蒸着等の方法によって、磁性コ
ア３１ａが形成されていない部分に、凹部１１の深さ以
上の厚みに堆積させる。次に、これら磁性材の厚さが凹
部１１の深さと同一、あるいはそれ以下となるよう機械
加工等の手段を用いて平面研磨して磁性コア３１を形成
する。この結果、長い凸部１５によって磁性コア３１は
隣同士確実に分離されるとともに、第１導電路２１の端
面２１ａが露出する。次に、平面研磨した面全体にわた
って第２絶縁層４２を堆積させた後、第１導電路端面２
１ａの上方の絶縁層４２に、コンタクトホール２３を例
えばリソグラフィー技術を用いて設ける。次に、第２絶
縁層４２およびコンタクトホール２３内にアルミニウム
や銅等の導電性材料をめっき、あるいは蒸着等の手段に
よって導電膜を堆積させた後、この導電膜にいわゆるリ
ソグラフィー技術を用いてパターニングを施して、第２
導電路２２、導電路５２、５４、５７および電極パッド
５１を形成する。
【００４０】なお、図１３では電極パッド５１を千鳥状
に配置して設けているが、配置方法は千鳥配置に限定さ
れない。また、磁性コア３１を磁性材と非磁性材の積層
構造にすると、渦電流損失が小さくなり、透磁率が向上
する。
【００４１】実施例８．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例で、上記実施例７
との相違点に限って説明する。図１７は実施例８による
磁気ヘッドの２チャンネル分の水平断面図、図１８は横
断面図である。図１８に示すように、断面台形状の凹部
１１に充填した第１絶縁層４１に断面長方形状の凹部４
５を設け、磁性コア３１はパーマロイやセンダスト等の
磁性材からなり、断面長方形状の凹部４５に凹部１１の
深さ以下となるように充填される。このように形成する
ことによって、コンタクトホール２３の位置および寸法
誤差の許容値を大きくすることができ、製造コストを低
減することができるとともに、隣接するチャンネルの磁
性コアとの分離が確実になるのでクロストークを低減で
きる。
【００４２】実施例９．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施
例７との相違点に限って図１９に基づいて説明する。上
記実施例７では、図１４、１６に示したように、磁気ギ
ャップ３２は磁性コア３１に設けられた非磁性材で形成
されている。本実施例では、短い凸部１６の端面を磁気
記録媒体摺動面９１にわたる楔型の形状に形成すること
によって磁気ギャップ３２を構成する。短い凸部１６の
端面を楔型形状に形成する方法には、例えば機械加工や
エッチング等がある。この方法によれば、磁気ギャップ
３２の形成が基板１の加工時に行えるため、製造が容易
になる。
【００４３】実施例１０．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施
例７との相違点に限って、図１５および図２０（ａ）
（ｂ）に基づいて説明する。上記実施例７では、基板１
の表面上には長い凸部１５と短い凸部１６が交互に設け
られているが、これに限るものではなく、少なくとも短
い凸部１６の両側が長い凸部１５であるように配置すれ
ばよい。例えば図２０に示した実施例では、基板１の表
面上には短い凸部１６の間に連続する２個の長い凸部１
５が設けられている。隣接する長い凸部１５の斜面とそ
の間の平坦部１８で構成される凹部にパーマロイやセン
ダスト等の磁性材が凸部１５の高さ以下で充填されて磁
性層３３を形成する。このような構成とした場合、隣合
う磁性コア３１が凸部１５で分離されるとともに、磁性
層３３が磁気シールドとして作用するため、クロストー
クが小さい磁気ヘッドを形成することができる。
【００４４】また、長い凸部１５と短い凸部１６の幅が
等しくなくてもよいことは言うまでもない。例えば、短
い凸部１６の幅が大きいと、図１５に示す短い凸部１６
の両側のコイル２７、２８の距離が大きくなり、コイル
相互が及ぼすの影響を軽減できる。
【００４５】実施例１１．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。図２１は
実施例１１による磁気ヘッドを示す斜視図、図２２は横
断面図、図２３は縦断面図である。図２４は磁気ヘッド
の磁性コア接続用コンタクトホールを示す斜視図であ
る。
【００４６】本実施例の磁気ヘッドは、図２１、２２に
示すように、主として基板１、第１導電路２１、第２導
電路２２、第１磁性コア３５、第３導電路６１、第４導
電路６２、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１
絶縁層４１、第２絶縁層４２、第３絶縁層４３、第４絶
縁層４４および電極パッド５１とを有して構成されてい
る。図２１〜２４では理解を容易にする目的で２チャン
ネル分の磁気ヘッドの構造を示しているが、実際には多
数チャンネルの磁気ヘッドに係わるものであることは言
うまでもない。
【００４７】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板であり、基板１の表
面には複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間
は平坦部１３となっている。凸部１２の両側面１１ａ、
１１ｂは平坦部１３に対して斜面となっており、側面１
１ａ、１１ｂおよび平坦部１３によって凹部１１が形成
されている。第１導電路２１は側面１１ａ、１１ｂおよ
び底面１３にわたって並行する複数のアルミニウムや銅
等からなる導電路によって形成されている。第１磁性コ
ア３５は凹部１１に凸部１２の高さ以下となるように充
填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材である。複
数の第１磁性コア３５は凸部１２によって完全に分離さ
れるので、クロストークを軽減できる。第２導電路２２
は第２絶縁層４２上に並行する複数のアルミニウムや銅
等からなる導電路によって形成されており、コンタクト
ホール２３によって第１導電路２１の端を順次接続す
る。第１導電路２１と第２導電路２２によって第１磁性
コア３５に巻き付くように第１コイルが複数一体に形成
される。第１コイルへの給電および再生信号の取り出し
は電極パッド５１ａによって行う。第２導電路２２、導
電路２４および第１磁性コア３５上に磁気ギャップ３２
を設ける。磁気ギャップ３２は第１磁性コア３５と第２
磁性コア３６の間に形成される非磁性材からなる。
【００４８】磁気ギャップ３２を形成する非磁性材から
なる層と第５絶縁層には、図２４に示すように、第２導
電路２２と第４導電路６２の接続用のコンタクトホール
６３と、第１磁性コア３５と第２磁性コア３６の接続用
のコンタクトホール６４を設ける。第４導電路６２は並
行する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によっ
て形成されており、第４絶縁層４４に設けられたコンタ
クトホール６５によって第３導電路６１の端を順次接続
する。第２磁性コア３６はパーマロイやセンダスト等の
磁性材からなり、側面が斜面であるとともに、第４導電
路６２の端までかからないように形成されている。少な
くとも第２磁性コア３６の側面および上面には第３絶縁
層４３が形成されいる。第３導電路６１は第３絶縁層４
３を介して第２磁性コア３６の側面および上面にまたが
って形成される並行する複数の導電路である。第３導電
路６１と第４導電路６２によって第２磁性コア３６に巻
き付くように第２コイルが複数一体に形成される。第２
コイルへの給電および再生信号の取り出しは電極パッド
５１ｂによって行う。第１コイルと第２コイルはコンタ
クトホール６３によって直列に接続されているので、電
極パッド５１ａと５１ｂによって給電および再生信号の
検出が可能である。第１磁性コア３５と第２磁性コア３
６は、図２３に示すように、磁気記録媒体摺動面側は磁
気ギャップ３２によって分離されており磁気記録媒体摺
動面の反対面ではコンタクトホールによって接合されて
いる。このように構成することによって、多巻線化が容
易であるとともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャッ
プ長さおよび相対位置精度の高い磁気ヘッドを形成する
ことができる。
【００４９】実施例１２．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施
例１１との相違点に限って図２４に基づいて説明する。
上記実施例１１では、第５絶縁層４５には、第２導電路
２２と第４導電路６２の接続用のコンタクトホール６３
と、第１磁性コア３５と第２磁性コア３６の接続用のコ
ンタクトホール６４を有している。本実施例では、第５
絶縁層４５には第２導電路２２と第４導電路接続用のコ
ンタクトホール６３は設けず、第１コイルと第２コイル
の第５絶縁層４５を介しての接続は行わない。その代わ
りに、第２絶縁層４２上と第５絶縁層４５上にさらに電
極パッドを設け、それぞれ第１、第２コイルと接続す
る。このような構成では、コンタクトホール６３による
第１コイルと第２コイルの接続が不要であるため、信頼
性が向上する。
【００５０】実施例１３．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施
例１１との相違点に限って図２５に基づいて説明する。
本実施例では、上記実施例１１の磁気ヘッドにさらに第
２基板２を設ける。第２基板２は第１基板と同様に例え
ば単結晶シリコン基板２ａにＳｉＯ2 等の絶縁材からな
る絶縁層２ｂを積層したものである。第２基板２によっ
て、第２磁性コア３６を隣同士確実に分離してクロスト
ークを低減できるとともに、第２磁性コア３６や第３導
電路６１等を保護することができる。
【００５１】実施例１４．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。図２６は
実施例１４による磁気ヘッドを示す斜視図、図２７はこ
の実施例に係わる磁気ヘッド用基板を示す斜視図、図２
８は磁気ヘッドの横断面図、図２９は縦断面図である。
【００５２】本実施例の磁気ヘッドは、図２８に示すよ
うに、主として基板１、第１導電路２１、第２導電路２
２、第１磁性コア３５、第３導電路６１、第４導電路６
２、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁層
４１、第２絶縁層４２、第３絶縁層４３、および第４絶
縁層４４を有して構成されている。図２６〜図２９では
理解を容易にする目的で２チャンネル分の磁気ヘッドの
構造を示しているが、実際には多数チャンネルの磁気ヘ
ッドに係わるものであることは言うまでもない。
【００５３】図２７に示すように、基板１は単結晶シリ
コン基板１ａとＳｉＯ2 等の絶縁層１ｂ、１ｃからなる
絶縁基板で、基板１の上面および下面の略等しい位置に
複数の畝状凸部１２が形成されており、畝状凸部１２の
間は平坦部１３となっている。畝状凸部１２の両側面は
平坦部１３に対して斜面となっており、畝状凸部１２の
両側面および平坦部１３によって凹部が形成されてい
る。平坦部１３の長さは畝状凸部１２よりも短く、しか
も、前側端面９３および後ろ側端面９４は凸部端面９１
および９２より凹んでいる。また、図２８に示すよう
に、畝状凸部１２の両側面および底面１３にわたって並
行して形成された複数のアルミニウムや銅等からなる導
電路によって基板１の上面側には第１導電路２１が形成
され、基板１の下面側には第３導電路６１が形成されて
いる。基板１の上面側の第１磁性コア３５および下面側
の第２磁性コア３６は凸部１２の高さ以下となるように
充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材で、第１
磁性コア３５と第２磁性コア３６は、図２９に示すよう
に、磁気記録媒体摺動面９１側には磁気ギャップ３２に
よって分離されており磁気記録媒体摺動面の反対面９２
では接合されている。磁気ギャップ３２は非磁性材から
なり、磁気記録媒体摺動面９１側の第１磁性コア３５と
第２磁性コア３６の間に形成される。複数の第１磁性コ
ア３５および第２磁性コア３６は凸部１２によって完全
に分離されるので、クロストークを軽減できる。コンタ
クトホール２３が第１導電路２１の端と第２導電路２２
の接続用に第２絶縁層４２に設けられており、コンタク
トホール６５が第３導電路６１の端と第４導電路６２の
接続用に第４絶縁層４４に設けられている。第２導電路
２２および第４導電路６２は並行する複数のアルミニウ
ムや銅等からなる導電路で、第２導電路２２は、コンタ
クトホール２３を介して第１導電路２１の端を順次接続
し、第４導電路６２はコンタクトホール６５を介して第
３導電路６１の端を順次接続する。第１導電路２１と第
２導電路２２によって第１磁性コア３５に巻き付くよう
に第１コイルが複数一体に形成され、第３導電路６１と
第４導電路６２によって第２磁性コア３６に巻き付くよ
うに第２コイルが複数一体に形成される。このように構
成することによって、第１および第２コイル間の距離を
大きくすることができるので、コイルが相互に及ぼす影
響を低減できる。さらに、多巻線化が容易であるととも
に配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相
対位置精度の高い磁気ヘッドを形成することができる。
【００５４】実施例１５．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。図３０は
実施例１５による磁気ヘッドを示す横断面図、図３１は
縦断面図である。
【００５５】本実施例の磁気ヘッドは、主として基板
１、第１導電路２１、第２導電路２２、第１磁性コア３
５、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁層
４１、第２絶縁層４２、および第３絶縁層４３を有して
構成されている。図３０および図３１では理解を容易に
する目的で２チャンネル分の磁気ヘッドの構造を示して
いるが、実際には多数チャンネルの磁気ヘッドに係わる
ものであることは言うまでもない。
【００５６】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間は平
坦部１３となっている。凸部１２の両側面は平坦部１３
に対して斜面となっており、凸部１２の両側面および平
坦部１３によって凹部１１が形成されている。第１導電
路２１は凸部１２の両側面および底面１３にわたって並
行する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によっ
て形成されている。第１磁性コア３５は凹部１１に凸部
１２の高さ以下となるように充填されたパーマロイやセ
ンダスト等の磁性材である。複数の第１磁性コア３５は
凸部１２によって完全に分離されるので、クロストーク
を低減できる。コンタクトホール２３は第１導電路２１
の端と第２導電路２２の接続用に第２絶縁層４２に設け
られている。第２導電路２２は第２絶縁層４２上に並行
する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって
形成されており、コンタクトホール２３によって第１導
電路の端を順次接続する。第１導電路２１と第２導電路
２２によって第１磁性コア３５に巻き付くようにコイル
が複数一体に形成される。第２磁性コア３６はパーマロ
イやセンダスト等の磁性材である。第１磁性コア３５と
第２磁性コア３６の間には、磁気記録媒体摺動面９１側
には非磁性材からなる磁気ギャップ３２が設けられてお
り、磁気記録媒体摺動面９１と反対側では磁性材によっ
て第２磁性コア３６が第１磁性コア３５に接続されてい
る。また、第２導電路２２などの導電路と第２磁性コア
の間には第３絶縁層４３が設けられており、第２導電路
２２などの導電路の短絡防止と放熱を行う。このように
構成することによって、多巻線化が容易であるとともに
配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対
位置精度の高い磁気ヘッドを形成することができる。
【００５７】実施例１６．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。図３２は
実施例１６による磁気ヘッドを示す横断面図、図３３は
縦断面図である。本実施例の磁気ヘッドは、主として基
板１、第１導電路２１、第２導電路２２、第１磁性コア
３５、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁
層４１、第２絶縁層４２、第３絶縁層４３を有して構成
されている。なお、図３２では理解を容易にする目的で
２チャンネル分の磁気ヘッドの構造を示しているが、実
際には多数チャンネルの磁気ヘッドに係わるものである
ことは言うまでもない。
【００５８】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間は平
坦部１３となっている。凸部１２の両側面は平坦部１３
に対して斜面となっており、凸部１２の側面および平坦
部１３によって凹部１１が形成されている。凹部底面１
３にはパーマロイやセンダストなどの磁性材からなる第
２磁性コア３６が設けられている。第１導電路２１は凸
部１２の側面および第３絶縁層４３にわたって並行する
複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって形成
されている。第１磁性コア３５は凹部１１に凸部１２の
高さ以下となるように充填されたパーマロイやセンダス
ト等の磁性材である。複数の第１磁性コア３５は凸部１
２によって完全に分離されるので、クロストークを低減
できる。第２導電路２２は第２絶縁層４１上に並行する
複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって形成
されており、第１導電路２１の端を順次接続する。第１
導電路２１と第２導電路２２によって第１磁性コア３５
に巻き付くようにコイルが形成される。第１磁性コア３
５と第２磁性コア３６の間には、磁気記録媒体摺動面９
１側には非磁性材からなる磁気ギャップ３２が設けられ
ており、磁気記録媒体摺動面と反対面では磁性材によっ
て第２磁性コア３６が第１磁性コア３５に接続されてい
る。このように構成することによって、多巻線化が容易
であるとともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ
長さおよび相対位置精度の高い磁気ヘッドを形成するこ
とができる。
【００５９】実施例１７．本 発明における他の実施例である。図１に基づいて説明
する。上記各実施例では、基板１は単結晶シリコン基板
１ａとＳｉＯ2 からなる絶縁層１ｂからなる絶縁基板で
あったが、基板１ａは金属、ガラス、樹脂などの材料で
もよく、基板１の絶縁層１ｂはＳｉＯ2 に限らない。ま
た、基板１は例えばサファイヤ、ガラス材、セラミッ
ク、あるいは金属酸化物等の絶縁材でもよい。この場合
には絶縁層１ｂは不要となり、基板と第２導電路２２の
絶縁は常に確保できることができる。また、熱伝導性に
優れるので放熱効果が高い。さらに、絶縁層１ｂを形成
する必要がなく、製造工程が簡略化でき、製造コストを
低減できる。
【００６０】実施例１８．本 発明における他の実施例であり、図３４に基づいて説
明する。上記各実施例では、第１導電路２１の端面２１
ａと第２導電路２２の接続用に第２絶縁層４１に形成さ
れるコンタクトホール２３は、第１導電路端面２１ａと
第２導電路端２２の接続箇所に個別に設けられている。
これに対して本実施例では、一つのコンタクトホール２
３によって同列にある接続箇所の接続を行う。このよう
な構造にすることで、コンタクトホール２３形成時にコ
ンタクトホール２３の位置および寸法誤差の許容値を大
きくすることができ、第１導電路２１と第２導電路２２
の確実な接続を可能にするとともに、製造コストを低減
できる。
【００６１】実施例１９．本 発明における他の実施例である。図３５（ａ）（ｂ）
に基づいて説明する。基板上に設けられる凸部１２、１
５、１６または凹部１１の底面は、上記各実施例で示し
たような平坦面に限るものではなく、例えば図３５
（ａ）に示すような傾斜を有する曲面でも同様の効果が
得られる。さらに、例えば図３５（ｂ）に示すように、
側面１１ａ、１１ｂ、底面１１ｃ、１３共に曲面であっ
てもよい。この場合は、基板１には上記実施例１７で述
べたようなガラスや樹脂等の非結晶材料を用いるとよ
い。
【００６２】実施例２０．本 発明における他の実施例である。上記各実施例では第
１絶縁層４１あるいは第３絶縁層４３の厚さをそれぞれ
第１導電路２１、第３導電路６２以上の厚さに形成した
場合について示したが、それぞれ第１導電路２１、第３
導電路６２以下の厚さに形成したものでも、上記各実施
例と同様の効果を有する磁気構造体および磁気ヘッドを
提供することができる。
【００６３】実施例２１．本 発明における他の実施例である。図３６に基づいて説
明する。基板１の絶縁層１ｂの下にパーマロイやセンダ
ストなどの磁性材からなる磁性層１ｃを設ける。磁性層
１ｃは磁気シールドとして作用するので、チャンネル間
のクロストークを低減できる。
【００６４】実施例２２．本 発明における他の実施例である。例えば図２８におい
て、第２導電路２２あるいは第４導電路６２の上にガラ
ス材、樹脂等の絶縁材からなる保護層を設ける。保護層
によって磁気ヘッドの表面が周囲の環境から保護され、
信頼性が向上する。
【００６５】実施例２３．本 発明による磁気構造体の他の実施例である。図１、２
で示した上記実施例１との相違点に限って説明する。図
３７は実施例２３による磁気構造体を示す破断斜視図、
図３８は横断面図である。
【００６６】上記実施例１では図１に示すように第１導
電路２１が基板凹部１１の両側面と底面に形成されてい
たが、本実施例では図３７、３８に示すように、加えて
基板１の上面１０まで第１導電路２１ａが形成されてい
る。また、第２導電路２２は基板１の上面１０に形成さ
れた第１導電路２１ａと接続される。よって、第２絶縁
層４２に形成されるコンタクトホール２３の位置を基板
上面１０上とすることができる。このように、コンタク
トホール２３の位置を基板上面１０上にすることで、第
１導電路２１および第２導電路２２と磁性コア３１の絶
縁を確実に確保でき、かつコンタクトホール２３の位置
および寸法誤差の許容値を大きくすることができるため
製造コストの低減が図れる。
【００６７】なお、本実施例２３では実施例１〜５に記
載したような１つの磁気構造体に適用した場合について
示したが、これを実施例６に記載したような同一基板上
に複数一体に設けた磁気構造体や、実施例７〜１６に記
載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様の効果が得
られることは言うまでもない。
【００６８】実施例２４．本 発明による磁気構造体の他の実施例である。上記実施
例１との相違点に限って説明する。図３９は実施例２４
による磁気構造体を一部破断して示す斜視図、図４０は
実施例２４に係わる磁気構造体用基板の斜視図、図４１
は磁気構造体の横断面図、図４２は水平断面図である。
【００６９】本実施例２４では基板１の上面１０に凹部
すなわち溝部１７を設けている。この溝部１７は基板上
面１０の基板凹部１１の斜面と隣接する位置に複数個が
並行して設けられている。実施例１では第１導電路２１
が凹部１１の側面と底面にしか形成されていないが、本
実施例２４では基板上面の溝部１７と凹部１１の両側面
と底面にわたって第１導電路２１が形成されている。こ
の第１導電路２１と第２導電路２２は溝部１７上に形成
された第２絶縁層４２のコンタクトホール２３を介して
接続される。このような構造にすることによって、第１
導電路２１および第２導電路２２と磁性コア３１の絶縁
を確実に確保でき、かつコンタクトホール２３の位置お
よび寸法誤差の許容値を大きくすることができるため製
造コストの低減が図れる。さらに、溝部１７によって基
板上面１０に複数形成された第１導電路２１間の絶縁を
確実に確保できる。
【００７０】なお、本実施例２４では実施例１〜５に記
載したような１つの磁気構造体に適用した場合について
示したが、これを実施例６に記載したような同一基板上
に複数一体に設けた磁気構造体や、実施例７〜１６に記
載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様の効果が得
られることは言うまでもない。
【００７１】実施例２５．本 発明による磁気構造体の他の実施例である。上記実施
例１との相違点に限って説明する。図４３は実施例２５
による磁気構造体を一部破断して示す斜視図、図４４は
実施例２５に係わる磁気構造体用基板を示す斜視図であ
る。
【００７２】本実施例２５では図４４に示すように、基
板１における凹部１１の両側面から底面にわたって溝部
１８を設けており、この溝部１８は凹部１１の長手方向
に複数個が並行して設けられている。本実施例２５では
図４３に示すように、この溝部１８に第１導電路２１が
形成されている。このため、第１導電路間の絶縁を確実
に確保することができる。また、第１導電路２１の厚さ
は溝部１８の深さと略等しく形成されている。よって、
第１導電路２１形成後の凹部１１の底面および両側面は
平面となり、上記実施例１のような凹凸がない。このた
め、第１導電路２１形成後に凹部１１に形成される第１
絶縁層４１および磁性コア３１の基板凹部と対向する面
も平面となる。このような構造にすれば、磁性コア３１
に上記実施例１のような凹凸がないために磁性コア内を
通る磁束損失が少なく、磁束効率のよい磁性コアが得ら
れる。
【００７３】なお、本実施例２５では実施例１〜５に記
載したような１つの磁気構造体に適用した場合について
示したが、これを実施例６に記載したような同一基板上
に複数一体に設けた磁気構造体や、実施例７〜１６に記
載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様の効果が得
られることは言うまでもない。
【００７４】さらに、上記実施例２５では図４４に示す
ように溝部１８が凹部１１の底面１１ｃから両側面１１
ａ、１１ｂにわたって設けられているが、上面にも設け
られていてもよいのは言うまでもない。
【００７５】実施例２６．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例であり、図４５は
実施例２６による磁気ヘッドを示す斜視図、図４６は実
施例２６に係わるスイッチング回路を示す説明図であ
る。磁性コア１０１、コイル１０２および磁気ギャップ
１０３からなる磁気ヘッドチップ１０４が共通する基板
１００に複数一体に形成されている。さらに、基板１０
０には、グランド線、＋ライン、および−ラインからな
る電源ライン１１０とスイッチング回路１２０が個々の
磁気ヘッドチップ１０４に対応して一体に形成されてい
る。スイッチング回路１２０は、図４６に示すように、
コイル１０２への電気的断続手段１２１と、隣接するス
イッチング回路と信号を授受する信号線１２２および１
２３と、上記電気的断続を制御する信号処理手段１２４
を有している。信号処理手段１２４は、信号線１２２を
介して入力された一方の隣のスイッチング回路からの特
定の信号に基づいて電気的断続手段１２１を動作させる
とともに、他方の隣のスイッチング回路に特定信号を送
る。このような回路を基板１００上に一体に形成するこ
とによって、磁気ヘッドチップ１０４の数が例えば数十
以上の多数になっても、磁気ヘッドと外部の電気回路
（図示しない）との接続本数は小数ですむ。さらに、電
極パッドが不要になるため、磁気ヘッドチップ１０４の
間隔を小さくできる。
【００７６】なお、基板１００に形成される電源ライン
１１０は図４６に示したようにグランド線を含む３本に
限定されるものではない。例えば、電源側からの出力に
応じてスイッチング回路により電気的断続手段を動作さ
せることにより、グランド線を含む２本の電源ラインで
も上記実施例２０と同様の効果が得られる。
【００７７】実施例２７．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例であり、図４７は
実施例２７に係わるスイッチング回路を示す説明図であ
る。磁性コア１０１、コイル１０２および磁気ギャップ
１０３からなる磁気ヘッドチップ１０４が共通する基板
１００に複数一体に形成されている。さらに、基板１０
０には、電源ラインと１１０と、アドレス線１１１とス
イッチング回路１２０が個々の磁気ヘッドチップ１０４
に対応して一体に形成されている。スイッチング回路１
２０は、図４７に示すように、コイル１０２への電気的
断続手段１２１と、信号処理手段１２４を有している。
信号処理回路１２４は、アドレス線１１１上の信号をデ
コードし、あらかじめ決められているアドレスと等しい
ときに電気的断続手段１２１を動作させる。このような
回路を基板１００上に一体に形成することによって、磁
気ヘッドチップ１０４の数が例えば数十以上の多数にな
っても、磁気ヘッドと外部の電気回路（図示しない）と
の接続本数は小数ですむ。さらに、電極パッドが不要に
なるため、磁気ヘッドチップ１０４の間隔を小さくでき
る。
【００７８】なお、基板１００に形成されるスイッチン
グ回路１２０は、磁気ヘッドチップ１０４個々に設ける
ことに限定されない。一つのスイッチング回路に複数の
電気的断続手段を設けて、スイッチング回路の数を磁気
ヘッドチップ数より少なくしても上記実施例２６、２７
と同様の効果が得られる。
【００７９】実施例２８．本 発明による磁気ヘッドの他の実施例である。実施例２
６〜２７では、電源ラインとスイッチング回路、または
信号増幅回路のどちらかを基板１００上に複数の磁気ヘ
ッドチップと一体に形成していたが、どちらか１方のみ
を形成することに限られない。例えば、電源ライン、ス
イッチング回路、および信号増幅回路の全てを併せて個
々の磁気ヘッドチップに対し形成しても同様の効果が得
られる。さらに、この場合、記録時には電源ラインとス
イッチング回路を、再生時には信号増幅回路を用いる等
の選択をすることにより、各磁気ヘッドチップに対して
記録および再生の両方の機能を持たせることができる。
また、電気的断続手段を設けることによって、磁気ヘッ
ドチップの個数よりもスイッチング回路、および信号増
幅回路の数を少なくすることができることは言うまでも
ない。
【００８０】実施例２９．本 発明におる磁気記録ヘッドの一実施例であり、図４８
は実施例２９による磁気記録ヘッドを示す斜視図、図４
９はその要部を拡大して示す斜視図である。磁性コア１
０１、コイル１０２および磁気ギャップ１０３からなる
磁気ヘッドチップ１０４が基板１００に複数一体に形成
されて、磁気ヘッド１０５を構成している。この磁気ヘ
ッドの磁気記録媒体摺動面９１側の形状は、磁気ヘッド
チップ１０４の並び方向に曲面（この例では円弧）をな
し、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向に凸である。さら
に、磁気ヘッドチップ１０４はそのコイル巻線方向（矢
印ａで示す）が上記円弧の法線方向（矢印Ｒで示す）と
一致するように、記録媒体摺動面にそって放射状に基板
１００上に形成されている。この磁気ヘッド１０５は、
磁気ヘッドチップ１０４の並び方向が磁気記録媒体走行
方向とθtrの角度をなすように、磁気ヘッド筐体１５０
に固定されている。また、磁気ヘッド筐体１５０の磁気
記録媒体摺動面１５４は磁気ヘッド１０５の磁気記録媒
体摺動面のなす曲率と略等しい曲率を有している。この
ように、磁気記録媒体摺動面を凸型の曲面にすること
で、磁気記録媒体と良好な接触状態を得ることができ
る。
【００８１】実施例３０．本 発明による磁気記録ヘッドの他の実施例であり、上記
実施例２９との相違点に限って図５０に基づいて説明す
る。基板１００上への磁気ヘッドチップ１０４の配置方
法は上記実施例２９に記載のものに限られない。本実施
例では磁気ヘッドチップ１０４を磁気記録媒体摺動面９
１の円弧にそって階段上に配置する。また、各磁気ヘッ
ドチップ１０４間でコイル１０２巻線方向が互いに平行
であるように配置する。このような配置の場合でも、上
記実施例２９と同様の効果が得られる。
【００８２】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、側面が斜面である溝状凹部を有しかつ上記溝状凹部
に連なる上面両側に凹部が設けられた基板上に、上記上
面凹部から上記溝状凹部の両側面と底面にわたって形成
された複数の導電路からなる第１導電路と、上記第１導
電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、上記
溝状凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように上記
第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備えたので、
トラック間隔を大きくすることなくコイルの多巻線化を
はかることができ、磁性コアを厚くしても容易にコイル
を形成できる。さらに、共通する磁性コア上に巻線数が
等しいかまたは異なる複数のヘリカル型コイルを形成す
ることができる。さらに、磁性コアを囲むヘリカル型コ
イルを形成する際のコンタクトホールの位置決め誤差の
許容値を大きくすることができ、信頼性の向上と製造コ
ストの低減が可能である。また、基板上面に形成された
導電路同士を凹部によって確実に分離し、絶縁を確保す
ることができる。
【００８３】また、請求項２の発明によれば、側面が斜
面であるとともに長さが異なる複数の畝状凸部を少なく
とも上記短い凸部の両側が長い凸部であるように配置し
た基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい合う斜面とこ
れらの斜面間の底面にわたって形成された複数の並行す
る導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および
上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣合う上記凸部
と上記底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材か
らなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面
側に形成された非磁性材からなる磁気ギャップと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続して上記短い凸部の両側に形成された第１
導電路が一個のヘリカル型コイル体となるように上記第
２絶縁層上に形成された第２導電路とを備え、上記磁性
コアが上記長い凸部によって分離されて複数個の磁気ヘ
ッドチップが同一基板上に一体に形成されたので、複数
チャンネルの磁気ヘッドの狭トラックピッチ化がはか
れ、記録密度を向上できる。さらに、隣合う磁性コアが
基板によって完全に分離され、コイルの多巻線化も容易
であるため、クロストークなどが低減でき、Ｓ／Ｎ比の
高い再生が可能である。なお、コイルの多巻線化によっ
て、記録媒体と磁気ヘッドの相対速度が小さくても十分
な再生出力を得ることができるので、ディジタルＶＴＲ
等の装置の小型化も可能である。また、複数チャンネル
の磁気ヘッドを共通する基板上に一体に形成するので、
生産性に優れるとともに、磁気ヘッドギャップの相対位
置を高精度化できる。
【００８４】また、請求項３の発明によれば、側面が斜
面である複数の畝状凸部を有する基板と、隣合う上記凸
部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成される溝状
凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コアと、上記
第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となる
ように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア上に形成さ
れた第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気記録媒体摺
動面側および上記第２導電路上に積層されて磁気ギャッ
プを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶縁層上に形
成された複数の並行する導電路からなる第３導電路と、
上記第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記非磁
性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を有する畝状凸
部となるように積層された磁性材からなる第２磁性コア
と、上記第２磁性コアの両側面と上面に積層された第４
絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型
コイル体となるように上記第４絶縁層上に形成された第
４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に
形成されたので、多巻線化が容易であるとともに配列間
隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対位置精
度の高い磁気ヘッドを提供することができる。
【００８５】また、請求項４の発明によれば、上面と下
面の略等しい位置に側面が斜面である複数の畝状凸部を
有するとともに、隣合う上記凸部の間に長さが上記凸部
より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹んだ底面を有
する基板と、上記基板の上下両面のそれぞれ隣合う凸部
の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたってそ
れぞれ形成された複数の並行する導電路からなる上面側
の第１導電路および下面側の第３導電路と、上記第１導
電路上に積層された第１絶縁層と、上記第３導電路上に
積層された第３絶縁層と、上記第１および第３絶縁層上
から上記底面部の両端面より突出した凸部の両端面にか
けてそれぞれ充填された磁性材からなる上面側の第１磁
性コアおよび下面側の第２磁性コアと、上記磁性コアの
磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材料からなる
磁気ギャップと、上記第１および第２磁性コア上にそれ
ぞれ積層された第２および第４絶縁層と、上記第１導電
路端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように上
記第２絶縁層上に形成された第２導電路と、上記第３導
電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように
上記第４絶縁層下面に形成された第４導電路とを備え、
複数個の磁気ヘッドチップが一体に形成されたので、基
板の上面と下面にコイルを設けることによって、複数チ
ャンネルの磁気ヘッドのコイル間の距離を大きくするこ
とが可能であるので、コイル相互が及ぼす影響を低減で
きる。さらに、多巻線化が容易であるとともに配列間隔
が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対位置精度
の高い磁気ヘッドを提供することができる。
【００８６】また、請求項５の発明によれば、請求項２
ないし４の何れかに記載のものにおいて、第１導電路
は、基板の凸部の上面に設けられた凹部から両斜面およ
び底面にわたって形成されているので、磁性コアを囲む
ヘリカル型コイルを形成する際のコンタクトホールの位
置決め誤差の許容値を大きくすることができ、信頼性の
向上と製造コストの低減が可能である。また、基板上面
に形成された導電路同士を凹部によって確実に分離し、
絶縁を確保することができる。
【００８７】また、請求項６の発明によれば、請求項２
ないし５の何れかに記載のものにおいて、第１導電路
は、少なくとも基板の凸部の底面から両斜面にわたって
設けられた溝部に形成されているので、磁性コアを凹部
に凹凸無く形成することができ、磁束効率の高い磁性コ
アが得られる。また、溝部によって凹部に形成された導
電路間の絶縁を確保することができる。
【００８８】また、請求項７の発明によれば、側面が斜
面であるとともに長さが異なる複数の畝状凸部を少なく
とも上記短い凸部の両側が長い凸部であるように配置し
た基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい合う斜面とこ
れらの斜面間の底面にわたって形成された複数の並行す
る導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および
上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣合う上記凸部
と上記底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材か
らなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面
側に形成された非磁性材からなる磁気ギャップと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続して上記短い凸部の両側に形成された第１
導電路が一個のヘリカル型コイル体となるように上記第
２絶縁層上に形成された第２導電路とを備え、上記磁性
コアが上記長い凸部によって分離されて複数個の磁気ヘ
ッドチップが同一基板上に一体に形成され、かつ上記基
板上に電源ラインと、上記電源ラインと上記磁気ヘッド
チップの個々のコイル体との電気的な断続を行う手段
と、上記電気的断続を制御する手段とを上記基板と一体
に形成したので、複数チャンネルの磁気ヘッドと外部の
電気回路との接続本数を大幅に低減でき、さらにコイル
と外部の電気回路の接続に電極パッドを必要としないの
でトラックピッチを小さくして記録密度を高密度化でき
るとともに、信頼性が向上する。
【００８９】また、請求項８の発明によれば、側面が斜
面であるとともに長さが異なる複数の畝状凸部を少なく
とも上記短い凸部の両側が長い凸部であるように配置し
た基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい合う斜面とこ
れらの斜面間の底面にわたって形成された複数の並行す
る導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および
上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣合う上記凸部
と上記底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材か
らなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面
側に形成された非磁性材からなる磁気ギャップと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続して上記短い凸部の両側に形成された第１
導電路が一個のヘリカル型コイル体となるように上記第
２絶縁層上に形成された第２導電路とを備え、上記磁性
コアが上記長い凸部によって分離されて複数個の磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に形成する磁気ヘッドにお
いて、上記基板の磁気記録媒体摺動面側の形状が上記磁
気ヘッドチップの並び方向に曲面をなし、かつ上記曲面
は磁気記録媒体方向へ凸であるので、磁気ヘッドに対す
る磁気記録媒体の密着性を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例１による磁気構造体を一部破断して示
す斜視図である。
【図２】 上記実施例１による磁気構造体を示す横断面
図である。
【図３】 上記実施例１による磁気構造体を示す縦断面
図である。
【図４】 上記実施例１による磁気構造体を一部破断し
て示す水平断面図である。
【図５】 上記実施例１による磁気構造体を示す平面図
である。
【図６】 実施例２による磁気構造体を示す上面図であ
る。
【図７】 実施例２による磁気構造体の他の例を示す上
面図である。
【図８】 実施例３による磁気構造体を示す横断面図で
ある。
【図９】 実施例４による磁気構造体を示す横断面図で
ある。
【図１０】 実施例５による磁気構造体を示す横断面図
である。
【図１１】 実施例６による磁気構造体を示す横断面図
である。
【図１２】 実施例６による磁気構造体を示す上面図で
ある。
【図１３】 実施例７による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図１４】 上記実施例７による磁気ヘッドの基板と第
１導電路を示す斜視図である。
【図１５】 上記実施例７による磁気ヘッドを示す平面
図である。
【図１６】 上記実施例７による磁気ギャップの形成工
程を説明する斜視図である。
【図１７】 実施例８による磁気ヘッドを一部破断して
示す水平断面図である。
【図１８】 上記実施例８による磁気ヘッドを示す横断
面図である。
【図１９】 実施例９による磁気ヘッドの基板と第１導
電路を示す斜視図である。
【図２０】 実施例１０による磁気ヘッドを示し、
（ａ）は基板と第１導電路を示す斜視図、（ｂ）は磁性
材を充填した様子を示す斜視図である。
【図２１】 実施例１１による磁気ヘッドを示す斜視図
である。
【図２２】 上記実施例１１による磁気ヘッドを示す横
断面図である。
【図２３】 上記実施例１１による磁気ヘッドを示す縦
断面図である。
【図２４】 上記実施例１１による磁気ヘッドの磁性コ
ア接続用コンタクトホールを示す斜視図である。
【図２５】 実施例１３による磁気ヘッドを示す横断面
図である。
【図２６】 実施例１４による磁気ヘッドを示す斜視図
である。
【図２７】 上記実施例１４に係わる磁気ヘッド用基板
を示す斜視図である。
【図２８】 上記実施例１４による磁気ヘッドを示す横
断面図である。
【図２９】 上記実施例１４による磁気ヘッドを示す縦
断面図である。
【図３０】 実施例１５による磁気ヘッドを示す横断面
図である。
【図３１】 上記実施例１５による磁気ヘッドを示す縦
断面図である。
【図３２】 実施例１６による磁気ヘッドを示す横断面
図である。
【図３３】 上記実施例１６による磁気ヘッドを示す縦
断面図である。
【図３４】 実施例１８による磁気ヘッドを一部破断し
て示す上面図である。
【図３５】 実施例１９による磁気構造体の要部を示す
横断面図である。
【図３６】 実施例２１による磁気構造体を示す横断面
図である。
【図３７】 実施例２３による磁気構造体を一部破断し
て示す斜視図である。
【図３８】 上記実施例２３による磁気構造体を示す横
断面図である。
【図３９】 実施例２４による磁気構造体を一部破断し
て示す斜視図である。
【図４０】 上記実施例２４に係わる磁気構造体用基板
を示す斜視図である。
【図４１】 上記実施例２４による磁気構造体を示す横
断面図である。
【図４２】 上記実施例２４による磁気構造体を示す水
平断面図である。
【図４３】 実施例２５による磁気構造体を一部破断し
て示す斜視図である。
【図４４】 上記実施例２５に係わる磁気構造体用基板
を示す斜視図である。
【図４５】 実施例２６による磁気ヘッドを示す斜視図
である。
【図４６】 上記実施例２６に係わるスイッチング回路
を示す説明図である。
【図４７】 実施例２７に係わるスイッチング回路を示
す説明図である。
【図４８】 実施例２９による磁気ヘッドを示す斜視図
である。
【図４９】 上記実施例２９による磁気ヘッドの要部を
拡大して示す斜視図である。
【図５０】 実施例３０による磁気ヘッドの要部を拡大
して示す斜視図である。
【図５１】 従来の磁気ヘッドの要部を拡大して示す斜
視図である。
【符号の説明】
１ 基板、 １１ 溝状凹部、 １１ａ 側面、 １１
ｂ 側面、 １１ｃ底面、 １２ 畝状凸部、 １３
基板平坦部、 １５ 長い凸部、 １６ 短い凸部、
２１ 第１導電路、 ２２ 第２導電路、 ２３ コン
タクトホール、 ３１ 磁性コア、 ３２ 磁気ギャッ
プ、 ３５ 第１磁性コア、 ３６第２磁性コア、 ４
１ 第１絶縁層、 ４２ 第２絶縁層、 ４３ 第３絶
縁層、 ４４ 第４絶縁層、 ５１ 電極パッド、 ５
２ 導電路、 ６１ 第３導電路、 ６２ 第４導電
路、 ９１ 記録媒体摺動面、 １００ 基板、 １０
１ 磁性コア、 １０２ コイル、 １０３ 磁気ギャ
ップ、 １０４ 磁気ヘッドチップ、 １０５ 磁気ヘ
ッド、 １１０ 電源ライン、 １２０ スイッチング
回路、 １２１ 電気的断続手段、 １２４ 信号処理
手段、 １５０磁気ヘッド筐体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 直也 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (72)発明者 吉田 云一 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 生産技術研究所内 (72)発明者 小田 拓嗣 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭50−147918（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−28307（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−84452（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−95216（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−132516（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/31

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 側面が斜面である溝状凹部を有しかつ上
    記溝状凹部に連なる上面両側に凹部が設けられた基板上
    に、上記上面凹部から上記溝状凹部の両側面と底面にわ
    たって形成された複数の導電路からなる第１導電路と、
    上記第１導電路および上記基板上に積層された第１絶縁
    層と、上記溝状凹部に充填された磁性材からなる磁性コ
    アと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記
    第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となる
    ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
    えたことを特徴とする磁気構造体。
  2. 【請求項２】 側面が斜面であるとともに長さが異なる
    複数の畝状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い
    凸部であるように配置した基板と、隣合う上記長短の凸
    部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
    形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
    と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
    絶縁層と、隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状
    凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材から
    なる磁気ギャップと、上記磁性コア上に積層された第２
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸
    部の両側に形成された第１導電路が一個のヘリカル型コ
    イル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２
    導電路とを備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって
    分離されて複数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一
    体に形成されたことを特徴とする磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】 側面が斜面である複数の畝状凸部を有す
    る基板と、隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの
    斜面間の底面にわたって形成された複数の並行する導電
    路からなる第１導電路と、上記第１導電路および上記基
    板上に積層された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記
    底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材からなる
    第１磁性コアと、上記第１導電路端を順次接続してヘリ
    カル型コイル体となるように第２絶縁層を介して上記第
    １磁性コア上に形成された第２導電路と、上記第１磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に
    積層されて磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上
    記非磁性絶縁層上に形成された複数の並行する導電路か
    らなる第３導電路と、上記第３導電路上に積層された第
    ３絶縁層と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上
    で斜面を有する畝状凸部となるように積層された磁性材
    からなる第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と
    上面に積層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順
    次接続してヘリカル型コイル体となるように上記第４絶
    縁層上に形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気
    ヘッドチップが一体に形成されたことを特徴とする磁気
    ヘッド。
  4. 【請求項４】 上面と下面の略等しい位置に側面が斜面
    である複数の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸
    部の間に長さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の
    端面より凹んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両
    面のそれぞれ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜
    面間の底面にわたってそれぞれ形成された複数の並行す
    る導電路からなる上面側の第１導電路および下面側の第
    ３導電路と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層
    と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記
    第１および第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突
    出した凸部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材
    からなる上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性
    コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成さ
    れた非磁性材料からなる磁気ギャップと、上記第１およ
    び第２磁性コア上にそれぞれ積層された第２および第４
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型
    コイル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第
    ２導電路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル
    型コイル体となるように上記第４絶縁層下面に形成され
    た第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一
    体に形成されたことを特徴とする磁気ヘッド。
  5. 【請求項５】 第１導電路は、基板の凸部の上面に設け
    られた凹部から両斜面および底面にわたって形成されて
    いる請求項２ないし４の何れかに記載の磁気ヘッド。
  6. 【請求項６】 第１導電路は、少なくとも基板の凸部の
    底面から両斜面にわたって設けられた溝部に形成されて
    いる請求項２ないし５の何れかに記載の磁気ヘッド。
  7. 【請求項７】 側面が斜面であるとともに長さが異なる
    複数の畝状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い
    凸部であるように配置した基板と、隣合う上記長短の凸
    部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
    形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
    と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
    絶縁層と、隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状
    凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材から
    なる磁気ギャップと、上記磁性コア上に積層された第２
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸
    部の両側に形成された第１導電路が一個のヘリカル型コ
    イル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２
    導電路とを備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって
    分離されて複数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一
    体に形成され、かつ上記基板上に電源ラインと、上記電
    源ラインと上記磁気ヘッドチップの個々のコイル体との
    電気的な断続を行う手段と、上記電気的断続を制御する
    手段とを上記基板と一体に形成したことを特徴とする磁
    気ヘッド。
  8. 【請求項８】 側面が斜面であるとともに長さが異なる
    複数の畝状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い
    凸部であるように配置した基板と、隣合う上記長短の凸
    部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
    形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
    と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
    絶縁層と、隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状
    凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材から
    なる磁気ギャップと、上記磁性コア上に積層された第２
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸
    部の両側に形成された第１導電路が一個のヘリカル型コ
    イル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２
    導電路とを備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって
    分離されて複数個の磁気ヘッドチップを共通する基板上
    に形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒
    体摺動面側の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向に
    曲面をなし、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸であ
    ることを特徴とする磁気記録ヘッド。
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