DE4336417C2

DE4336417C2 - Magnetkopf

Info

Publication number: DE4336417C2
Application number: DE4336417A
Authority: DE
Inventors: Naoshi Yamada; Hitoshi Ohta; Hiroshi Fukumoto; Naoya Tanaka; Yuichi Yoshida; Takuji Oda
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-10-20
Filing date: 1993-10-19
Publication date: 1999-10-21
Anticipated expiration: 2013-10-20
Also published as: DE4336417A1; GB2271880B; GB9321666D0; JPH06195625A; GB2271880A; US6236538B1; JP2943579B2; US5883760A

Description

Die Erfindung betrifft einen in einem magnetischen Aufzeichnungs-/Wiedergabegerät montierten Magnetkopf, wie einem Videokassettengerät, ein Tonbandgerät, und insbesondere einen Mehrkanal-Magnetkopf, der für ei nen Aufzeichnungs-/Widergabevorgang mit hoher Dichte geeignet ist, bei dem Daten gleichzeitig aufgezeich net/wiedergegeben werden.

Ein magnetisches Aufzeichnungsgerät wie ein digitales Videokassettengerät zur Aufzeichnung von Videosigna len mittels eines PCM(Pulscodemodulations)-Verfahrens oder ein hochwertiges Videokassettengerät zum Auf zeichnen hochwertiger Videosignale muß eine große Menge von Signalen aufzeichnen im Vergleich zu einem herkömmlichen Haushalts-Videokassettengerät oder ei nem digitalen Tonbandgerät. Daher müssen im Vergleich mit den genannten bekannten Geräten Breitbandsignale aufgezeichnet/wiedergegeben werden. Da ein Mehrspur- Aufzeichnungsverfahren für die Aufzeichnung/Wieder gabe der Breitbandsignale wirksam ist, wurde ein Mehrkanal-Magnetkopf vorgeschlagen. Um die Größe und das Gewicht des magnetischen Aufzeichnungsgeräts zu verringern und die Aufzeichnungskapazität zu vergrö ßern, muß die Spur enger gemacht werden und die rela tiv Geschwindigkeit zwischen dem magnetischen Auf zeichnungsmedium und dem Kopf muß herabgesetzt wer den. Jedoch führt die vorbeschriebene Struktur zu dem Problem, daß ein Wiedergabesignal mit einem ausrei chenden Rauschabstand nicht leicht erhalten werden kann. Daher wurde ein Magnetkopf mit einer Reihenpar allelwicklung und ein Aufzeichnungs/Wiedergabekopf vom Kombinationstyp vorgeschlagen, um ein Wiedergabe signal mit einem ausreichenden Rauschabstand zu er halten, selbst wenn die relative Geschwindigkeit nicht ausreichend hoch ist.

Der Mehrkanal-Magnetkopf wird eingeteilt in einen Magnetkopf, der ein einzelnes Kopfchip von einem Mehrfachblock-Typ aufweist, das an dessen Basis befe stigt ist, und einen Magnetkopf, bei dem eine Mehr zahl von Dünnschicht-Kopfchips auf demselben Substrat gebildet sind. Dieser Magnetkopf vom Dünnschichttyp ist vorteilhaft dahingehend, daß die Spuren enger gemacht und die relative Positionsgenauigkeit zwi schen den magnetischen Spalten verbessert werden kön nen. Der Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wurde of fenbart in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 4-186511, der japanischen Patent-Offenlegungs schrift Nr. 4-188414, der japanischen Patent-Offenle gungsschrift Nr. 2-179910, der japanischen Patent- Offenlegungsschrift Nr. 62-310013, der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 61-39914 und der japa nischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 58-94120. Der Mehrkanal-Magnetkopf vom Aufzeichnungs/Wiedergabe- Kombinationstyp wurde offenbart in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 2-94014.

Der bekannte Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wird eingeteilt in einen Typ, der in Fig. 45A gezeigt ist und ein magnetisches Kopfchip mit einer Mehrzahl von spiralförmigen Spulen aufweist, und einen Typ, der in Fig. 45B gezeigt ist und ein magnetisches Kopfchip mit einer wendelförmigen Spule aufweist. In den Fig. 45A und 45B sind ein Substrat 1, eine spiralförmige Spule 25, eine wendelförmige Spule 26 und ein magne tischer Kern 31 dargestellt. Das magnetische Kopfchip mit der spiralförmigen Spule hat den Vorteil, daß es leicht hergestellt und die Isolierung der Spule leicht realisiert werden können. Der Umstand, daß die Fläche vergrößert wird, wenn die Anzahl der Windungen erhöht wird, um ein zufriedenstellendes Wiedergabe ausgangssignal zu erhalten, erweitert jedoch in un erwünschter Weise die Intervalle zwischen den magne tischen Kopfchips zur Zeit der Integration einer Mehrzahl der magnetischen Kopfchips und daher ergibt sich das Problem, daß die Spuren nicht auf einfache Weise enger gemacht werden können.

Bei dem in Fig. 45B gezeigten magnetischen Kopfchip mit der wendelförmigen Spule kann die Verengung der Spur und die Erhöhung der Windungsanzahl leicht rea lisiert werden. Jedoch verhindert die begrenzte Größe des Magnetkopfes eine ausreichend große Anzahl von Windungen und daher besteht das Problem, daß der Rauschabstand im Wiedergabesignal herabgesetzt wird.

Weiterhin verhindert eine solche Struktur, bei der die Spule 26 und der magnetische Kern 31 integral durch ein lithographisches Verfahren gebildet werden, daß der magnetische Kern 31 zufriedenstellend dick gemacht werden kann während der Zeit der Bildung der Spule 26. In diesem Fall tritt ein Problem auf dahin gehend, daß die Aufzeichnungs-/Wiedergabewirkung nicht ohne weiteres verbessert werden kann.

Aus der US 47 43 988 ist ein Magnetkopf in Dünn schichttechnik bekannt, der ein nichtmagnetisches Substrat mit ausgeformten Rinnen oder Nuten aufweist, in die untere Spulenhälften abgeschieden sind. Auf das Substrat und die streifenförmige Leiter der unte ren Spulenhälfte ist eine isolierende Schicht aufge bracht, damit leitendes ferromagnetisches Material zur Bildung von unteren Kernhälften in den Rinnen ab geschieden werden kann, auf denen unter Zwischen schaltung einer weiteren isolierenden Schicht die oberen Spulenhälften gebildet sind. Die obere Spule wird von einer isolierenden Schicht eingehüllt, und eine den Spalt bildende Schicht wird auf das gesamte Substrat aufgebracht. Zwischen den oberen Spulenbe reichen und einer über der gesamten Anordnung vorge sehenen oberen Kernhälfte ist jeweils eine dicke Iso lationsschicht angeordnet.

Die vorliegende Erfindung ist darauf gerichtet, die vorgenannten Probleme zu überwinden, und demgemäß ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Mag netkopf zu schaffen, dessen Größe verringert wird und bei dem ein höherer Integrationsgrad erreicht wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer magnetischen Struktur als erläuternde Darstellung für die Erfindung,

Fig. 2 eine seitliche Querschnittsansicht der magnetischen Struktur nach Fig. 1,

Fig. 3 eine senkrechte Querschnittsansicht der magnetischen Struktur nach Fig. 1,

Fig. 4 eine teilweise geschnittene horizontale Querschnittsansicht der magnetischen Struktur nach Fig. 1,

Fig. 5 eine Draufsicht auf die magnetische Struktur nach Fig. 1,

Fig. 6 und Fig. 7 Draufsichten auf magnetische Strukturen als weitere erläuternde Darstellungen für die Erfindung,

Fig. 8 bis Fig. 11 seitliche Querschnittsansichten von magneti schen Strukturen als weitere erläuternde Dar stellungen für die Erfindung,

Fig. 12 eine Draufsicht auf die magnetische Struktur nach Fig. 11,

Fig. 13 eine perspektivische Ansicht eines magneti schen Kopfes nach einem ersten Ausführungs beispiel der Erfindung,

Fig. 14 eine perspektivische Ansicht eines Substrats und einer ersten leitenden Durchgangsanord nung des magnetischen Kopfes nach dem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 15 eine Draufsicht auf den magnetischen Kopf nach dem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 16 eine perspektivische Ansicht zur Illustration eines Verfahrens zur Bildung eines magneti schen Spalts nach dem ersten Ausführungsbei spiel,

Fig. 17 eine horizontale Querschnittsansicht eines magnetischen Kopfes nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 18 eine seitliche Querschnittsansicht des mag netischen Kopfes nach dem zweiten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 19 eine perspektivische Ansicht eines Substrats und einer ersten leitenden Durchgangsanordnung des magnetischen Kopfes nach einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 20A und Fig. 20B einen magnetischen Kopf nach einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung, worin Fig. 20A eine perspektivische Ansicht eines Substrats und einer ersten leitenden Durch gangsanordnung und Fig. 20B eine perspekti vische Ansicht eines Zustands, in welchem magnetisches Material eingeschlossen ist, darstellen,

Fig. 21 eine perspektivische Ansicht eines magneti schen Kopfes nach einem fünften Ausführungs beispiel der Erfindung,

Fig. 22 eine seitliche Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem fünften Ausführungs beispiel,

Fig. 23 eine vertikale Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem fünften Ausführungs beispiel,

Fig. 24 eine perspektivische Ansicht, die Kontaktlö cher zum Verbinden eines magnetischen Kerns des magnetischen Kopfes nach dem fünften Aus führungsbeispiel illustriert,

Fig. 25 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag netischen Kopfes nach einem sechsten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 26 eine perspektivische Ansicht eines magneti schen Kopfes nach einem siebenten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 27 eine perspektivische Ansicht eines Substrats für den magnetischen Kopf nach dem siebenten Ausführungsbeispiel,

Fig. 28 eine seitliche Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem siebenten Ausfüh rungsbeispiel,

Fig. 29 eine vertikale Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem siebenten Ausfüh rungsbeispiel,

Fig. 30 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag netischen Kopfes nach einem achten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 31 eine vertikale Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem achten Ausführungs beispiel,

Fig. 32 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag netischen Kopfes nach einem neunten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 33 eine vertikale Querschnittsansicht des magne tischen Kopfes nach dem neunten Ausführungs beispiel,

Fig. 34 eine teilweise geschnittene Draufsicht auf ein Teil eines magnetischen Kopfes nach der Erfindung,

Fig. 35A und Fig. 35B seitliche Querschnittsansichten eines Subs trats einer magnetischen Struktur nach der Erfindung,

Fig. 36 eine seitliche Querschnittsansicht eines Teils einer weiteren magnetischen Struktur nach der Erfindung,

Fig. 37 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur nach der Erfindung,

Fig. 38 eine seitliche Querschnittsansicht der magne tischen Struktur nach Fig. 37,

Fig. 39 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur nach der Erfindung,

Fig. 40 eine perspektivische Ansicht eines Substrats für die magnetische Struktur nach Fig. 39,

Fig. 41 eine seitliche Querschnittsansicht der magnetischen Struktur nach Fig. 39,

Fig. 42 eine horizontale Querschnittsansicht der magnetischen Struktur nach Fig. 39.

Fig. 43 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur nach der Erfindung,

Fig. 44 eine perspektivische Ansicht eines Substrats für die magnetische Struktur nach Fig. 43, und

Fig. 45A Fig. 45B perspektivische Ansichten eines wesentlichen Teils eines bekannten magnetischen Kopfes nach dem Stand der Technik.

Eine erläuternde Darstellung einer magnetischen Struktur, die lediglich zur Erläuterung der weiter unten beschriebenen Ausführungsbeispiele dient, wird nun beschrieben. Fig. 1 ist eine teilweise geschnit tene Ansicht einer magnetischen Struktur. Fig. 2 ist eine seitliche Querschnittsansicht, Fig. 3 ist eine vertikale Querschnittsansicht, Fig. 4 ist eine hori zontale Querschnittsansicht und Fig. 5 ist eine Draufsicht.

Die magnetische Struktur weist gemäß Fig. 1 ein Sub strat 1, erste leitende Durchgänge 21, zweite leiten de Durchgänge 22, magnetische Kerne 31, erste isolie rende Schichten 41 und zweite isolierende Schichten 42 auf. Die Struktur ist gemäß Fig. 2 in der Weise ausgebildet, daß eine wendelförmige Spule mit einer Reihenparallelwicklung, die aus den ersten und den zweiten leitenden Durchgängen 21 und 22 zusammenge setzt ist um den magnetischen Kern 31 gewunden ist, während die ersten und zweiten isolierenden Schichten 41 und 42 dazwischen liegen.

Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein Silizium-Einkristall-Substrat 1a und eine isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen aufweist, und das eine Ausnehmung 11 enthält. Die Ausnehmung 11 wird durch Seitenflächen 11a, 11b und eine Bodenflä che 11c gebildet, wobei die Seitenflächen 11a und 11b in Bezug auf eine obere Fläche 10 des Substrats schräg angeordnet sind. Die Bodenfläche 11c liegt im Wesentlichen parallel zur oberen Fläche 10 des Sub strats. Die in der Ausnehmung 11 gebildeten ersten leitenden Durchgänge 21 weisen eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen auf, die auf den Seitenflächen 11a, 11b und der Bodenfläche 11c gebil det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Die ersten isolierenden Schichten 41 werden zu dem Zweck gebildet, daß ein Kurzschluß der ersten leitenden Durchgänge 21 verhindert und die Wärmeabstrahlung von denselben vergrößert wird. Die ersten isolierenden Schichten 41 bestehen aus isolierendem Material wie SiO₂, und haben eine Dicke, die größer ist als die von jedem ersten leitenden Durchgänge 21. Da die Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 größer als die des ersten leitenden Durchgangs 21 ist, kann die Zulässigkeit des Positions- und Dimensionsfehlers der zweiten leitenden Durchgänge 22 und von Kontaktlöchern 23 während der Zeit der Bildung der zweiten leitenden Durchgänge 22 vergrößert werden. Als Folge hiervon kann die Isolation des magnetischen Kerns 31 leicht realisiert werden und die Herstel lungskosten können herabgesetzt werden. Der magneti sche Kern 31 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust, das in der Ausnehmung 11 ein geschlossen ist, um eine Dicke aufzuweisen, die ge ringer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11. Die zwei te isolierende Schicht 42 besteht aus isolierendem Material wie SiO₂ und ist zu dem Zweck gebildet, daß ein Kurzschluß in den zweiten leitenden Durchgängen 22 und leitenden Durchgängen 54, 55 und 56 verhindert wird und die Wärmeabstrahlung von denselben vergrö ßert wird. Die Kontaktlöcher 23 sind in den zweiten isolierenden Schichten 42 zu dem Zweck gebildet, daß die Verbindungen zwischen Endflächen 21a der ersten leitenden Durchgänge 21 und den zweiten leitenden Durchgängen 22 hergestellt werden. Die zweiten lei tenden Durchgänge 22 weisen eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen aus Aluminium oder Kupfer auf, wobei die zweiten leitenden Durch gänge 22 aufeinanderfolgend die Enden 21a der ersten leitenden Durchgänge durch die in den zweiten isolie renden Schichten 42 gebildeten Kontaktlöcher 23 ver binden.

Da wenigsten ein Teil 22a der zweiten leitenden Durchgänge 22, wie in Fig. 5 gezeigt, so gebildet ist, daß sie aufeinanderfolgend jedes andere Ende 21a der ersten leitenden Durchgänge verbinden, bildet der Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs 22 einen Reihenparallelwicklungs-Bereich. Daher werden eine erste wendelförmige Spule 25 vom Reihenparallelwick lungstyp und eine zweite Wicklung 56 mit einer rela tiv kleinen Anzahl von Windungen von den leitenden Durchgängen 21 und 22 gebildet. Als Folge kann elek trische Leistung individuell zu den beiden Spulen 25 und 26 geliefert werden, derart, daß die Leistung zu der ersten Spule 25 über die leitenden Durchgänge 54 und 55 und zu der zweiten Spule 26 durch die leiten den Durchgänge 56 und 57 zugeführt wird. Weiterhin können die Wiedergabesignale individuell von den bei den Spulen 25 und 26 abgenommen werden. Durch Vergrö ßerung eines Teils des ersten leitenden Durchgangs 21, der dem Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs 22 und der Querschnittsfläche des Teils 22a des zwei ten leitenden Durchgangs 22 entspricht, kann der zu lässige elektrische Strom für die zweite Spule 26 vergrößert werden. Als allgemeine Regel benötigt der Wiedergabevorgang eine Spule, die im Vergleich zum Aufzeichnungsvorgang eine größere Anzahl von Windun gen benötigt, während der Aufzeichnungsvorgang eine Spule benötigt, die im Vergleich zum Wiedergabevor gang einen leitenden Durchgang mit einer größeren Querschnittsfläche erfordert. Daher ermöglicht die Anordnung der beiden Spulen 25 und 26 als Wiedergabe- bzw. Aufzeichnungsspule die Bildung optimaler Spulen für die Wiedergabe und Aufzeichnung. Weiterhin kann ein Vorgang derart durchgeführt werden, daß Leistung zu der Aufzeichnungsspule zur Zeit eines Wiedergabe vorgangs geliefert wird, um ein magnetisches Wechsel feld zu erzeugen, das als Vorspannung zur Erhöhung der Empfindlichkeit beim Wiedergabevorgang dient. Weiterhin ermöglicht die Bildung der wendelförmigen Spule, daß eine Mehrzahl magnetischer Strukturen vom Reihenparallelwicklungs-Typ dicht angeordnet werden kann.

Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti schen Struktur wird nun beschrieben. Die Beschreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale, die sich von der erläuternden Darstellung nach den Fig. 1 bis 5 unterscheiden.

Obgleich das erste Ausführungsbeispiel in der Weise ausgebildet ist, daß wenigstens der Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs 22 aufeinanderfolgend jedes andere Ende 21a des ersten leitenden Durchgangs verbindet und wenigstens dieser Teil die Reihenparal lelwicklungs-Spule bildet, ist die Verbindungsmethode nicht hierauf begrenzt. Wenn beispielsweise die auf einanderfolgende Verbindung mit Intervallen von zwei Enden 21a des ersten leitenden Durchgangs hergestellt wird, können drei Spulen mit einer unterschiedlichen Anzahl von Windungen gebildet werden. Daher können die jeweiligen Spulen als optimale Spulen für die Verwendung zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Infor mationen und zur Erzeugung eines magnetischen Vor spannfeldes ausgebildet werden.

Die benachbarten Enden des ersten leitenden Durch gangs können, wie in den Draufsichten der Fig. 6 und 7 gezeigt, aufeinanderfolgend verbunden werden. Fig. 6 stellt den Fall dar, daß eine Spule 25 gebildet ist, während Fig. 7 den Fall darstellt, bei dem zwei Spulen 25 und 26 gebildet sind. Als Ergebnis der vor genannten Struktur kann die in Fig. 6 gezeigte Spule zum Beispiel als Induktivität verwendet werden, wäh rend die in Fig. 7 gezeigte Spule beispielsweise als Transformator verwendet werden kann.

Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti schen Struktur wird nun beschrieben. Fig. 8 enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Die Beschreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale, die gegen über der erläuternden Darstellung nach Fig. 2 unter schiedlich sind. In dieser Fig. 8 ist die erste iso lierende Schicht 41 eingeschlossen zum Ausfüllen der Ausnehmung 11, und der magnetische Kern 31 ist in ei ner von der ersten isolierenden Schicht 41 gebildeten Ausnehmung 45 eingeschlossen. Als Folge dieser Struk tur kann die Isolierung des magnetischen Kerns 31 durch die erste isolierende Schicht 41 sichergestellt werden. Daher können die Positions- und Dimensionsto leranzen der Kontaktlöcher 23 vergrößert werden, wo durch sich eine erhöhte Ausbeute ergibt. Als Folge hiervon können die Herstellungskosten gesenkt werden.

In Fig. 9 ist eine Ätzsperrschicht 46 aus Aluminium, Gold, Kupfer, Nickel, Titan oder dergleichen in der entsprechend Fig. 8 in der Ausnehmung 11 eingeschlos senen ersten isolierende Schicht 41 gebildet. Durch Vorsehen der Ätzsperrschicht 46 kann die Ausnehmung 45 durch einen Ätzvorgang genau hergestellt werden.

In Fig. 10, die eine seitliche Querschnittsansicht enthält, ist die erste isolierende Schicht 41 in gleicher Weise wie nach Fig. 2 als dünne Schicht auf dem ersten leitenden Durchgang 21 und dem Substrat 1 ausgebildet. Der magnetische Kern 31 weist einen rechteckigen Querschnitt in einem Teil der Ausnehmung 11 mit einem trapezförmigen Querschnitt auf, so daß er eine Dicke hat, die geringer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11. Weiterhin ist die zweite isolierende Schicht 42 im Unterschied zur Struktur nach Fig. 2 auf der ersten isolierenden Schicht 41 und dem magne tischen Kern 31 ausgebildet, um die Ausnehmung 11 auszufüllen. Als Folge dieser Struktur können die Po sitions- und Dimensionstoleranzen der Kontaktlöcher vergrößert werden. Daher können die Herstellungsko sten verringert werden.

Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti schen Struktur wird nun beschrieben. Fig. 11 zeigt eine seitliche Querschnittsansicht und Fig. 12 ent hält eine Draufsicht.

Die magnetische Struktur wird gemäß Fig. 1 dadurch gebildet, daß eine Mehrzahl von Strukturen integriert wird, von denen jede das Substrat 1, den ersten lei tenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den magnetischen Kern 31, die erste isolierende Schicht 41 und die zweite isolierende Schicht 42 auf weist, wobei eine wendelförmige Reihenparallelwick lungs-Spule aus dem ersten leitenden Durchgang 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22 so gebildet ist, daß sie um den magnetischen Kern 31 gewunden ist und die erste isolierende Schicht 41 und die zweite iso lierende Schicht 42 hierzwischen angeordnet sind.

Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein Einkristall-Silizium-Substrat 1a und eine isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen umfaßt und an seiner Oberfläche eine Mehrzahl von gratförmigen Vor sprüngen 12 aufweist. Die Bereiche zwischen den grat förmigen Vorsprüngen 12, d. h. die Bodenflächen 11c, sind flach ausgebildet. Weiterhin verlaufen die bei den Seitenflächen 11a und 11b eines gratförmigen Vor sprungs 12 diagonal in bezug auf den flachen Bereich 11c, und die beiden Seitenflächen 11a, 11b und die Bodenfläche 11c bilden die Ausnehmung 11. Der in der Ausnehmung 11 angeordnete erste leitende Durchgang 21 weist eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen auf, die auf den Seitenflächen 11a, 11b und der Bodenfläche 11c ausgebildet sind und aus Alu minium, Kupfer oder dergleichen bestehen. Der magne tische Kern 31 ist aus magnetischem Material wie Permalloy, Sendust oder dergleichen hergestellt und in der Ausnehmung 11 eingeschlossen, so daß seine Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Da die mehreren magnetischen Kerne 31 durch die Vor sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind, kann ein Übersprechen verhindert werden. Obgleich die Strukturen der erste isolierenden Schichten 41, der zweiten isolierenden Schichten 42, der Kontaktlöcher 23 und der leitenden Durchgänge 54 und 55 dieselben sind wie beim ersten Ausführungsbeispiel, sind die von den zweiten leitenden Durchgängen 22 und den er sten leitenden Durchgängen 21 gebildeten Spulen nicht auf eine Struktur vom Reihenparallelwicklungs-Typ beschränkt. Es kann eine Einzelwindungsstruktur ver wendet werden, wie in Fig. 12 gezeigt ist. Die Ein zelwindungsstruktur kann beispielsweise als Indukti vität verwendet werden, während die in Fig. 7 gezeig te Wicklungsstruktur als Transformator eingesetzt werden kann. Eine Wicklungsstruktur gemäß Fig. 5 kann als magnetischer Aufzeichnungs/Wiedergabekopf verwen det werden.

Durch Bildung der Vorsprünge 12 auf dem Substrat 1 mit jeweils den diagonalen Seitenflächen können die mehreren magnetischen Strukturen integral ausgebildet werden. Weiterhin können die benachbarten magneti schen Kerne 31 sicher voneinander getrennt werden. Zusätzlich kann die wendelförmige Spule sicher herge stellt werden, selbst wenn der magnetische Kern eine große Dicke hat, wodurch eine magnetische Struktur geschaffen wird, die in der Lage ist, gleichzeitig die Anforderungen hinsichtlich der Erhöhung der Win dungszahl der Spule, eines dickeren magnetischen Kerns und einer dichten Anordnung zu erfüllen.

Erstes Ausführungsbeispiel

Ein erstes Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes nach der Erfindung wird nun beschrieben. Fig. 13 enthält eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen Kopf gemäß einem siebenten Ausführungsbeispiel illu striert. Fig. 14 enthält eine perspektivische An sicht, die ein Substrat und einen ersten leitenden Durchgang des magnetischen Kopfes darstellt, Fig. 15 ist eine Draufsicht und Fig. 16 ist eine perspektivi sche Ansicht, die das Verfahren zur Bildung magneti scher Spalte illustriert.

Der magnetische Kopf gemäß diesem Ausführungsbeispiel enthält, wie in den Fig. 13 und 14 gezeigt ist, das Substrat 1, erste und zweite leitende Durchgänge 21, 22, die magnetischen Kerne 31 sowie die erste und die zweite isolierende Schicht 41 und 42. Ob gleich die Fig. 13 bis 16 zum besseren Verständnis einen magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen, ist die Struktur selbstverständlich nicht auf zwei Kanäle beschränkt.

Wie in Fig. 14 gezeigt ist, ist das Substrat 1 ein isolierendes Substrat, das das Einkristall-Silizium- Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen umfaßt, und an dessen Oberfläche mehrere Vorsprünge gebildet sind. Die Vorsprünge wer den durch abwechselnde lange Vorsprünge 15 und kurze Vorsprünge 16 gebildet. Die Seitenflächen 11a, 11b eines lan gen Vorsprungs 15 und die Seitenflächen eines kurzen Vorsprungs 16 verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich. Die Seitenflächen 11a, 11b der langen Vor sprünge 15, die Seitenflächen der kurzen Vorsprünge 16 und der flache Bereich 17 bilden die Ausnehmung 11. Die ersten leitenden Durchgänge 21 umfassen eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen der langen Vorsprünge, den Seitenflächen der kurzen Vorsprünge 16 und dem fla chen Bereich 17 gebildet sind und aus Aluminium, Kup fer oder dergleichen bestehen, wobei die ersten lei tenden Durchgänge 21 in zwei Gruppen aufgeteilt sind, die auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 gebildet sind. Der magnetische Kern 31 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und ist in der Vertiefung 11 mit einer Dicke, die gerin ger ist als die Höhen der Vorsprünge 15 und 16, ein geschlossen. Der magnetische Kern 31 bildet einen geschlossenen magnetischen Durchgang auf der der Gleitfläche eines magnetischen Aufzeichnungsmediums 91 gegenüberliegenden Seite. Die benachbarten magne tischen Kern 31 sind durch den langen Vorsprung 15 voneinander getrennt. Ein magnetischer Spalt 32 aus nichtmagnetischem Material wie SiO₂ ist von der Gleitfläche des magnetischen Aufzeichnungsmediums 91 zum kurzen Vorsprung 16 hin gebildet. Zwei Spulen 27 und 28 sind, wie in Fig. 15 gezeigt ist, von den er sten und zweiten leitenden Durchgängen 21 und 22 auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 gebildet, wobei die beiden Spulen durch einen leitenden Durch gang 52 miteinander verbunden sind. Durch diese Ver bindung der beiden Spulen 27 und 28 wird das externe induktive Magnetfeld durch die beiden Spulen 27 und 28 aufgehoben. Daher kann ein Einfluß eines externen magnetischen Feldes, das Rauschen verursacht, be trächtlich verhindert werden. Elektrodenanschlüsse 51 sind durch leitende Durchgänge 54 und 57 mit den Spu len verbunden. Durch Vergrößerung der Fläche für je den der Elektrodenanschlüsse 51 kann die Verbindung mit einer (nicht gezeigten) externen elektrischen Schaltung oder dergleichen leicht hergestellt werden.

Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel verhindert eine Verlängerung der Intervalle zwischen den magnetischen Köpfen selbst dann, wenn die Anzahl der Windungen der Spule vergrößert wird. Weiterhin können die benachbarten magnetischen Kerne 31 durch die lange Vorsprünge 15 sicher voneinander getrennt werden. Zusätzlich kann jeder der ersten leitenden Durchgänge und der zweiten leitenden Durchgänge si cher miteinander verbunden werden, da der erste lei tende Durchgang 21 in einer schrägen Fläche verläuft.

Ein Beispiel für ein Verfahren zur Herstellung des magnetischen Kopfes nach diesem Ausführungsbeispiel wird nun beschrieben. Eine (100)-oberflächenorien tierte Siliziumscheibe wird zur Bildung der Vorsprün ge 15 und 16 einem anisotropen Ätzvorgang unterwor fen. Da die Seitenflächen der so gebildeten Vorsprün ge 15 und 16 der (111)-Ebene eines Silizium-Einkri stalls entsprechen, sind die Seitenflächen schräge Flächen mit einem Winkel von etwa 55° gegenüber dem flachen Bereich 17. Nachdem die Vorsprünge 15 und 16 gebildet sind, wird die Siliziumscheibe oxidiert oder isolierendes Material wie SiO₂ wird aufgebracht, so daß das isolierende Substrat 1 entsteht. Dann wird das leitende Material wie Aluminium oder Kupfer auf dem Substrat 1 aufgebracht, beispielsweise durch Gal vanisieren oder Aufdampfen oder dergleichen, und dann wird ein Muster des leitenden Materials durch Anwen dung eines sogenannten lithographischen Verfahrens hergestellt, so daß der erste leitende Durchgang 21 gebildet wird. Da die Seitenflächen der Vorsprünge 15 und 16 schräg sind, sind die Aufbringung eines Foto lacks auf die Seitenflächen und deren Belichtung mög lich. Dann wird das isolierende Material wie SiO₂ durch ein Verfahren wie Aufdampfen oder dergleichen aufgebracht, so daß die erste isolierende Schicht 41 gebildet wird. Dann wird das magnetische Material wie Sendust oder Permalloy mit einer Dicke, die größer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11 durch ein Verfah ren wie Aufdampfen aufgebracht, wie in Fig. 16 ge zeigt ist, so daß die magnetischen Kerne 31a gebildet werden. Dann wird ein Ätzvorgang durchgeführt, indem Gebrauch von der Bestrahlung mit fokussierten Ionen strahlen wie Gallium gemacht wird, oder es wird ein Laser-unterstütztes Ätzen durchgeführt, so daß die Seitenflächen 37 jedes der magnetischen Kerne 31a in dem Teil, in welchem der magnetische Spalt 32 gebil det wird, entfernt werden, so daß flache Ebenen mit jeweils einem vorbestimmten Azimuthwinkel entstehen. Dann wird das nichtmagnetische Material auf die so gebildete flache Ebene aufgebracht mit einer dem ma gnetischen Spalt entsprechenden Dicke, so daß die magnetischen Spalte 32 gebildet werden. Dann wird das magnetische Material wie Sendust oder Permalloy in dem Bereich, in dem der magnetische Kern 31a nicht gebildet ist, durch ein Verfahren wie Galvanisieren oder Aufdampfen derart aufgebracht, daß es eine Dicke hat, die größer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11.

Dann wird die Oberfläche des magnetischen Materials beispielsweise durch eine mechanische Bearbeitungs vorrichtung geschliffen, so daß es eine Dicke erhält, die gleich der oder geringer als die Tiefe der Aus nehmung 11 ist, so daß die magnetischen Kerne 31 ge bildet werden. Als Folge hiervon sind die benachbar ten magnetischen Kerne 31 sicher durch die langen Vorsprünge 15 voneinander getrennt und die Endflächen 21a der ersten leitenden Durchgänge 21 erscheinen außen. Dann werden die zweiten isolierenden Schichten 42 auf der gesamten Oberfläche aufgebracht, die ge schliffen wird, um eine flache Fläche zu erhalten, und dann werden die Kontaktlöcher 23 in den isolie renden Schichten 42 über den Endflächen 21a der er sten leitenden Durchgänge beispielsweise durch ein lithographisches Verfahren hergestellt. Dann wird das leitende Material wie Aluminium oder Kupfer zum Bei spiel durch Galvanisieren oder Aufdampfen auf den zweiten isolierenden Schichten 42 und in den Kontakt löchern 23 niedergeschlagen, so daß der leitende Film hergestellt wird. Der leitende Film erhält dann durch ein lithographisches Verfahren ein Muster, so daß die zweiten leitenden Durchgänge 22, die leitenden Durch gänge 52, 54 und 57 sowie die Elektrodenanschlüsse 51 gebildet werden.

Obgleich die in Fig. 13 gezeigten Elektrodenanschlüs se 51 in einer Zickzack-Form angeordnet sind, ist das Aufbringungsverfahren nicht auf die Zickzack-Ausbil dung beschränkt. Wenn jeder der magnetischen Kerne 31 eine geschichtete Struktur aus magnetischem Material und nichtmagnetischem Material aufweist, können die Wirbelstromverluste reduziert und dadurch die magne tische Permeabilität verbessert werden.

Zweites Ausführungsbeispiel

Ein zweites Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop fes wird nun beschrieben. Die Be schreibung erfolgt nur in bezug auf gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel unterschiedliche Merk male. Fig. 17 ist eine horizontale Querschnittsan sicht, die einen magnetischen Kopf mit zwei Kanälen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel darstellt. Fig. 18 enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Wie in Fig. 18 dargestellt ist, ist jede Ausnehmung 45 mit rechteckigem Querschnitt in der ersten isolierenden Schicht 41 ausgebildet, die in der Ausnehmung 11 mit trapezförmigem Querschnitt eingeschlossen ist. Der magnetische Kern 31 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und ist so in der Ausneh mung 45 mit dem rechteckigen Querschnitt eingeschlos sen, daß seine Dicke geringer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11. Als Folge dieser Struktur können die Positions- und Dimensionstoleranzen der Kontaktlöcher 23 vergrößert und demgemäß die Herstellungskosten verringert werden. Weiterhin können die magnetischen Kerne benachbarter Kanäle sicher voneinander getrennt werden und dadurch wird das Übersprechen herabge setzt.

Drittes Ausführungsbeispiel

Ein drittes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop fes wird nun beschrieben. Die Be schreibung anhand der Fig. 19 erfolgt nur hinsicht lich solcher Merkmale, die gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. Das vorher gehende erste Ausführungsbeispiel ist gemäß den Fig. 14 und 16 so ausgebildet, daß der magnetische Spalt 32 durch nichtmagnetische Materialien herge stellt wird. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird jede der Endflächen der kurzen Vorsprünge 16 keilförmig ausgebildet und erstreckt sich über die ganze Länge der Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsme diums, so daß der magnetische Spalt 32 gebildet wird. Das Verfahren zur keilförmigen Ausgestaltung der End fläche des kurzen Vorsprungs 16 wird durch mechani sche Bearbeitung oder durch Ätzen durchgeführt. Durch Anwendung dieses Verfahrens kann der magnetische Spalt 32 während der Zeit der Bearbeitung des Sub strats 1 gebildet werden. Daher kann die Herstellung leicht durchgeführt werden.

Viertes Ausführungsbeispiel

Ein viertes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop fes wird nun beschrieben. Anhand der Fig. 15, 20A und 20B erfolgt die Beschreibung nur hinsichtlich solcher Merkmale, die gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind.

Obgleich das erste Ausführungsbeispiel in der Wei se ausgeführt ist, daß die langen Vorsprünge 15 und die kurzen Vorsprünge 16 einander abwechselnd auf der Oberfläche des Substrats 1 gebildet sind, ist die Ausgestaltung nicht hierauf beschränkt. Die Notwen digkeit liegt nur darin, daß die langen Vorsprünge 15 auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 ange ordnet sind. Beispielsweise ist die Ausgestaltung in den Fig. 20A und 20B dergestalt, daß zwei fortlau fende lange Vorsprünge 15 auf der Oberfläche des Sub strats 1 zwischen den kurzen Vorsprüngen 16 gebildet sind. Die durch die schrägen Flächen der angrenzenden langen Vorsprünge 15 und den flachen Bereich 18 zwi schen den langen Vorsprüngen 15 gebildete Ausnehmung ist mit dem magnetischen Material wie Permalloy oder Sendust gefüllt, mit einer Dicke, die geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 15, so daß die magneti sche Schicht 33 gebildet wird. Die so ausgebildete Struktur ist in der Lage, die benachbarten magneti schen Kerne 31 durch den Vorsprung 15 voneinander zu trennen. Weiterhin dient die magnetische Schicht 33 als eine magnetische Abschirmung. Daher entsteht ein magnetischer Kopf, in welchem das Übersprechen her abgesetzt werden kann.

Die Breite des langen Vorsprungs 15 und die des kur zen Vorsprungs 16 brauchen selbstverständlich nicht gleich zu sein. Wenn die Breite des kurzen Vorsprungs 16 groß ist, wird der Abstand zwischen den Spulen 27 und 28 auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 gemäß Fig. 15 verlängert. In diesem Fall kann der gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich verrin gert werden.

Fünftes Ausführungsbeispiel

Ein fünftes Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes wird nun beschrieben. Fig. 21 enthält eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen Kopf entsprechend dem fünften Ausführungsbeispiel darstellt. Fig. 22 enthält eine seitliche Quer schnittsansicht und Fig. 23 eine vertikale Quer schnittsansicht. Fig. 24 enthält eine perspektivische Ansicht, die Kontaktlöcher für die Verbindung der magnetischen Kerne des magnetischen Kopfes illustriert.

Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel weist gemäß Fig. 21 und 22 das Substrat 1, den er sten leitenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang 22, erste magnetische Kerne 35, einen drit ten leitenden Durchgang 61, einen vierten leitenden Durchgang 62, einen zweiten magnetischen Kern 36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42, die dritte isolierende Schicht 43, die vierte isolierende Schicht 44 und die Elektrodenanschlüsse 51 auf. Ob gleich die Fig. 21 bis 24 zum besseren Verständnis die Struktur des magnetischen Kopfes für zwei Kanäle darstellen, bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel selbstverständlich auf einen allgemeinen Mehrkanal- Magnetkopf.

Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat mit dem Einkristall-Silizium-Substrat 1a und der isolierenden Schicht 1b beispielsweise aus SiO₂, und es hat eine Mehrzahl von auf seiner Oberfläche gebildeten Vor sprüngen 12. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist als flacher Bereich 13 ausgebildet. Die beiden Sei tenflächen 11a und 11b des Vorsprungs 12 verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich 13, und die Seitenflächen 11a, 11b sowie der flache Bereich 13 bilden die Ausnehmung 11. Der erste leitende Durch gang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und lei tenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen 11a, 11b und der Bodenfläche 13 gebildet sind und aus Alu minium oder Kupfer bestehen. Der erste magnetische Kern 35 besteht aus magnetischen Materialien wie Per malloy oder Sendust und ist in der Ausnehmung 11 ein geschlossen, so daß seine Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Da die mehreren ersten magne tischen Kerne 35 durch die Vorsprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind, kann ein Übersprechen ver hindert werden. Der zweite leitende Durchgang 22 um faßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf der zweiten isolierenden Schicht 42 gebildet sind und aus Aluminium oder Kupfer beste hen, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufein anderfolgend mit den Enden des ersten leitenden Durchgangs 21 über die Kontaktlöcher 23 verbunden ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und die zwei ten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Mehrzahl von integrierten ersten Spulen, die um den ersten magne tischen Kern 35 gewunden sind. Die Stromversorgung und der Empfang des Wiedergabesignals zu bzw. von der ersten Spule erfolgt über den Elektrodenanschluß 51a. Der magnetische Spalt 32 ist auf dem zweiten leiten den Durchgang 22, dem leitenden Durchgang 24 und dem ersten magnetischen Kern 35 gebildet. Der magnetische Spalt 32 besteht aus nichtmagnetischen Materialien und ist zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 gebildet.

Wie in Fig. 24 gezeigt ist, sind ein Kontaktloch 63 zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten leitenden Durchgang 22 und dem vierten leitenden Durchgang 62 und ein Kontaktloch 64 zur Herstellung der Verbindung zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 in der Schicht, die aus dem nichtmagnetischem Material zur Bildung des magnetischen Spaltes 32 besteht, und in der fünften isolierenden Schicht angeordnet. Der vierte leitende Durchgang 62 weist eine Mehrzahl von parallelen leitenden Durchgängen aus Aluminium oder Kupfer auf, und der vierte leitende Durchgang 62 ist aufeinanderfolgend mit den Enden der dritten leiten den Durchgänge 61 über die Kontaktlöcher 65 in der vierten isolierenden Schicht 44 verbunden. Der zweite magnetische Kern 36 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und hat schräge Seitenflä chen, wobei er so ausgebildet ist, daß er nicht das Ende des vierten leitenden Durchgangs 62 erreicht. Eine dritte isolierende Schicht 43 ist zumindest auf den Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns 36 gebildet. Der dritte leitende Durchgang 61 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns 36 gebildet sind, wobei die dritte isolierende Schicht 43 hierzwischen angeordnet ist. Jede von einer Mehr zahl von zweiten Spulen ist integral durch den drit ten leitenden Durchgang 61 und den vierten leitenden Durchgang gebildet und um den zweiten magnetischen Kern 36 gewunden. Die Stromzuführung und der Empfang des Wiedergabesignals zu bzw. von der zweiten Spule erfolgt über den Elektrodenanschluß 51b. Da die erste Spule und die zweiten Spulen über das Kontaktloch 63 miteinander in Reihe verbunden sind, können die Stromzuführung und der Empfang des Wiedergabesignals über die Elektrodenanschlüsse 51a und 51b durchge führt werden. Der erste magnetische Kern 35 und der zweite magnetische Kern 36 sind durch den magneti schen Spalt 32 benachbart der Gleitfläche des magne tischen Aufzeichnungsmediums voneinander getrennt, während sie auf der der Gleitfläche des magnetischen Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite über das Kontaktloch miteinander verbunden sind. Als Folge der so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer Kopf gebildet werden, dessen Reihenparallelwicklung leicht realisiert werden kann, dessen Abstände beträchtlich verkürzt werden können und bei dem die Genauigkeit der magnetischen Spaltlänge und der relativen Posi tion verbessert werden kann.

Bei dem vorbeschriebenen fünften Ausführungsbeispiel ist die Anordnung derart, daß die fünfte isolierende Schicht 45 das Kontaktloch 63 zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten leitenden Durchgang 22 und dem vierten leitenden Durchgang 62 und das Kontaktloch 64 zur Herstellung der Verbindung zwi schen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 enthält. Die fünfte iso lierende Schicht 45 kann das Kontaktloch 63 zur Herstel lung der Verbindung zwischen dem zweiten leitenden Durchgang 22 und dem vierten leitenden Durchgang 62 nicht enthalten, und daher sind die erste Spule und die durch die fünfte isolierende Schicht 45 von dieser getrennte zweite Spule nicht miteinander verbunden. Als Alternative hierzu sind Elektrodenanschlüsse wei terhin auf der zweiten isolierenden Schicht 42 und der fünften isolierenden Schicht 45 für die erste und die zweite Spule angeordnet. Da die Verbindung der ersten Spule und der zweiten Spule über das Kontakt loch 63 nicht hergestellt werden muß, kann die Zuver lässigkeit erhöht werden.

Sechstes Ausführungsbeispiel

Ein sechstes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop fes wird nun beschrieben. Die Be schreibung erfolgt unter Bezug auf Fig. 25 nur hin sichtlich solcher Merkmale, die unterschiedlich ge genüber dem fünften Ausführungsbeispiel sind.

In diesem Ausführungsbeispiel ist bei dem magneti schen Kopf gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel wei terhin ein zweites Substrat 2 vorgesehen. Das zweite Substrat 2 ist beispielsweise dadurch gebildet, daß entsprechend dem ersten Substrat eine isolierende Schicht 2b aus einem isolierenden Material wie SiO₂ auf ein Einkristall-Silizium-Substrat 2a aufgebracht ist. Das zweite Substrat 2 gibt die Möglichkeit, daß die benachbarten zweiten magnetischen Kerne 36 sicher voneinander getrennt sind, so daß das Übersprechen verhindert werden kann. Weiterhin können die zweiten magnetischen Kerne 36 und der dritte leitende Durch gang 61 geschützt werden.

Siebentes Ausführungsbeispiel

Fig. 26 enthält eine perspektivische Ansicht, die einen magnetischen Kopf nach einem siebenten Ausführungsbeispiel darstellt, Fig. 27 enthält eine perspektivische Ansicht, die ein Substrat des magnetischen Kopfes nach diesem Ausfüh rungsbeispiel darstellt, Fig. 28 enthält eine seitli che Querschnittsansicht des magnetischen Kopfes und Fig. 29 enthält eine vertikale Querschnittsansicht.

Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel weist gemäß Fig. 28 das Substrat 1, den ersten lei tenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten magnetischen Kern 35, den dritten lei tenden Durchgang 61, den vierten leitenden Durchgang 62, den zweiten magnetischen Kern 36, den magneti schen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42, die dritte isolierende Schicht 43 und die vierte isolierende Schicht 44 auf. Obgleich die Fig. 26 bis 29 zum leichteren Verständ nis den magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen, bezieht sich die Struktur selbstverständlich allge mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.

Wie Fig. 27 zeigt, ist das Substrat 1 ein isolieren des Substrat, das das Einkristall-Silizium-Substrat 1a und isolierende Schichten 1b und 1c aus SiO₂ um faßt, wobei das Substrat 1 mehrere gratförmige Vor sprünge 12 auf den beiden vertikalen Oberflächen an entsprechenden Positionen besitzt. Der Raum zwischen den gratförmigen Vorsprüngen ist als flacher Bereich 13 ausgebildet. Die beiden Seitenflächen des gratför migen Vorsprungs 12 verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich 13. Die beiden Seitenflächen des gratförmigen Vorsprungs 12 und der flache Bereich 13 bilden die Ausnehmung. Die Länge des flachen Bereichs 13 ist kürzer als die des gratförmigen Vorsprungs 12. Weiterhin sind eine vordere Endfläche 93 und eine hintere Endfläche 94 gegenüber Endflächen 91 und 92 der Vorsprünge zurückgesetzt. Wie in Fig. 28 gezeigt ist, bildet eine Mehrzahl von parallelen und leiten den Durchgängen auf den beiden Seitenflächen der gratförmigen Vorsprünge 12 und den Bodenflächen 13, die aus Aluminium oder Kupfer bestehen, den ersten leitenden Durchgang 21 auf der oberen Fläche des Sub strats 1. Weiterhin ist ein dritter leitender Durch gang 61 in der unteren Fläche des Substrats 1 ausge bildet. Der auf der oberen Fläche des Substrats 1 gebildete erste magnetische Kern 35 und der auf der unteren Fläche desselben gebildete zweite magnetische Kern 36 bestehen aus magnetischem Material wie Per malloy oder Sendust und sind eingeschlossen, so daß ihre Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Wie in Fig. 29 gezeigt ist, sind der erste magne tische Kern 35 und der zweite magnetische Kern 36 benachbart der Gleitfläche 91 des magnetischen Auf zeichnungsmediums durch den magnetischen Spalt 32 voneinander getrennt, während sie auf der der Gleit fläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums ent gegengesetzten Seite 92 miteinander verbunden sind. Der magnetische Spalt 32 besteht aus nichtmagneti schem Material und ist angrenzend an die Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magneti schen Kern 36 ausgebildet. Da die mehreren ersten magnetischen Kerne 35 und die zweiten magnetische Kerne 36 durch die Vorsprünge 12 vollständig vonein ander getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert werden. Das Kontaktloch 23 ist in der zweiten isolie renden Schicht 42 ausgebildet zur Herstellung der Verbindung zwischen einem Ende des ersten leitenden Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22. Das Kontaktloch 65 ist in der vierten isolierenden Schicht 44 ausgebildet zur Herstellung der Verbindung zwischen dem Ende des dritten leitenden Durchgangs 61 und dem vierten leitenden Durchgang 62. Der zweite leitende Durchgang 22 und der vierte leitende Durch gang 62 werden durch parallele und leitende Durchgän ge aus Aluminium oder Kupfer gebildet, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 über die Kontaktlöcher 23 verbunden ist. Der vierte leitende Durchgang 62 ist aufeinanderfolgend mit den Enden der dritten leitenden Durchgänge 61 über die Kontaktlö cher 65 verbunden. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden mehre re integrierte erste Spulen, die um den ersten magne tischen Kern 35 gewunden sind. Die dritten leitenden Durchgänge 61 und die vierten leitenden Durchgänge 62 bilden mehrere integrierte zweite Spulen, die um den zweiten magnetischen Kern 36 gewunden sind. Als Folge dieser Struktur kann der Abstand zwischen der ersten Spule und der zweiten Spule verlängert werden. Daher kann der gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich vermindert werden. Weiterhin ein magnetischer Kopf gebildet werden, bei dem die Reihenparallelwicklung leicht realisiert werden kann, die Abstände beträcht lich verkürzt werden können und die Genauigkeit der magnetischen Spaltlänge und der relativen Position verbessert werden kann.

Achtes Ausführungsbeispiel

Fig. 30 enthält eine seitliche Querschnittsansicht, die den magnetischen Kopf nach einem achten Ausführungsbeispiel dar stellt, und Fig. 33 enthält eine vertikale Quer schnittsansicht.

Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern 36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich die Fig. 30 und 31 zum leichteren Verständnis die Struktur eines magnetischen Kopfes für zwei Kanäle darstellen, bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel selbstver ständlich allgemein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.

Das Substrat ist ein isolierendes Substrat, das das Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen umfaßt, und auf seiner Oberfläche ist eine Mehrzahl von Vorsprüngen 12 gebildet. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist als flacher Bereich 13 ausgestaltet. Die beiden Sei tenflächen des Vorsprungs 12 verlaufen schräg in be zug auf den flachen Bereich 13, wobei die beiden Sei tenflächen der Vorsprünge 12 und der flachen Bereich 13 die Ausnehmung 11 bilden. Der erste leitende Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä chen der Vorsprünge 12 und der Bodenfläche 13 gebil det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Der erste magnetische Kern 35 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und ist in der Ausnehmung 11 eingeschlossen mit einer Dicke, die geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Das die mehreren ersten magnetischen Kerne 35 durch die Vor sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert werden. Das Kontakt loch 23 ist in der zweiten isolierenden Schicht 42 ausgebildet für die Herstellung der Verbindung zwi schen dem Ende des ersten leitenden Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22. Der zweite lei tende Durchgang 22 umfaßt eine Mehrzahl von paralle len und leitenden Durchgängen, die auf der zweiten isolierenden Schicht 42 gebildet sind und aus Alumi nium oder Kupfer bestehen, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 durch die Kontaktlö cher 23 verbunden ist. Die ersten leitenden Durchgän ge 21 und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden mehrere integrierte Spulen, die um den ersten magne tischen Kern 35 gewunden sind. Der zweite magnetische Kern 36 besteht aus magnetischem Material wie Permal loy oder Sendust. Der magnetische Spalt 32 aus nicht magnetischem Material ist an einer an die Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden Stelle zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 ausgebildet. Der zweite magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magne tischen Kern 35 auf der der Gleitfläche 91 des magne tischen Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite durch das magnetische Material verbunden. Die dritte isolierende Schicht 43 ist zwischen dem leitenden Durchgang, zum Beispiel dem zweiten leitenden Durch gang 22, und dem zweiten magnetischen Kern vorgese hen, so daß das Auftreten eines Kurzschlusses in dem leitenden Durchgang, beispielsweise dem zweiten lei tenden Durchgang 22, verhindert wird und die Wärme abstrahlung von demselben vergrößert wird. Als Ergeb nis der so ausgebildeten Struktur kann ein magneti scher Kopf gebildet werden, bei dem die Reihenparal lelwicklung leicht realisiert werden kann, die Ab stände beträchtlich verkürzt werden können und die Genauigkeit der magnetischen Spaltlänge und der rela tiven Position verbessert werden kann.

Neuntes Ausführungsbeispiel

Fig. 32 enthält eine seitliche Querschnittsansicht die den magnetischen Kopf entsprechend einem neunten Ausführungsbeispiel darstellt, und Fig. 33 enthält eine vertikale Querschnittsansicht.

Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern 36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich Fig. 32 zum leichteren Verständnis die Struktur des magneti schen Kopfes für zwei Kanäle wiedergibt, bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel selbstverständlich allge mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.

Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das das Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen umfaßt, und es ist mit einer Mehrzahl von auf seiner Oberfläche ge bildeten Vorsprüngen 12 versehen. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist als flacher Bereich 13 ausge bildet. Die beiden Seitenflächen des Vorsprungs 12 verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich 13, wobei die beiden Seitenflächen der Vorsprünge 12 und der flache Bereich 13 die Ausnehmung 11 bilden. Auf der Bodenfläche 13 der Ausnehmung 11 befindet sich der zweite magnetische Kern 36 aus magnetischem Mate rial wie Permalloy oder Sendust. Der erste leitende Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä chen des Vorsprungs 12 und der dritten isolierenden Schicht 43 gebildet sind und aus Aluminium oder Kup fer bestehen. Der erste magnetische Kern 35 besteht aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und ist derart in der Ausnehmung 11 eingeschlossen, daß seine Dicke geringer ist als die Höhe des Vor sprungs 12. Da die mehreren ersten magnetischen Kerne 35 durch die Vorsprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert wer den. Der zweite leitende Durchgang 22 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf der zweiten isolierenden Schicht 42 gebildet sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 ver bunden ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Spu le, die um den ersten magnetischen Kern 35 gewunden ist. Der magnetische Spalt 32 aus dem nichtmagneti schen Material ist an einer an die Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden Posi tion zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 gebildet. Der zweite magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magnetischen Kern 31 auf der der Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite durch das magnetische Material verbunden. Als ein Ergebnis der so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer Kopf gebildet werden, in welchem eine Reihenparallel wicklung leicht realisiert werden kann, die Abstände beträchtlich verkürzt werden können und die Genauig keit der magnetischen Spaltlänge und der relativen Position verbessert werden kann.

Ob gleich jedes der vorhergehenden Ausführungsbeispiele so wiedergegeben ist, daß das Substrat 1 ein isolie rendes Substrat ist, das das Einkristall-Silizium- Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO₂ oder dergleichen umfaßt, kann das Substrat 1a aus einem Material wie Metall, Glas oder Harz hergestellt sein. Das Material der isolierenden Schicht 1b ist nicht auf SiO₂ beschränkt.

Das Substrat kann aus isolierendem Material bestehen wie Saphir, Glas, Keramik oder einem Metalloxid. In diesem Fall kann die isolierende Schicht 1b weggelas sen werden und die Isolation zwischen dem Substrat und dem zweiten leitenden Durchgang 22 kann stets aufrechterhalten werden. Weiterhin kann eine ausge zeichnete Wärmeleitfähigkeit erhalten werden, wodurch sich eine ausgezeichnete Wärmeabstrahlungswirkung ergibt. Weiterhin wird durch den Verzicht auf die isolierende Schicht 1b der Herstellungsprozeß verein facht, so daß die Herstellungskosten verringert wer den können.

Bei jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele werden die Kontaktlöcher, von denen jedes in der zweiten isolierenden Schicht zur Herstellung der Ver bindung zwischen der Endfläche 21a des ersten leiten den Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22 gebildet ist, jeweils in den Verbindungsbereichen zwischen den Endflächen 21a des ersten leitenden Durchgangs und den Enden des zweiten leitenden Durch gangs 22 gebildet. In Fig. 34 stellt ein Kontaktloch 23 die Verbindungen der in derselben Linie angeordneten Verbindungsbereiche dar. Als Folge dieser Struktur können die Positions- und Dimensionstoleranzen des Kontaktlochs 23 zur Zeit der Bildung des Kontaktlochs 23 vergrößert werden. Daher kann die Verbindung zwischen dem ersten leitenden Durchgang 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22 sicher hergestellt und die Herstellungskosten können verringert werden.

Die Vorsprünge 12, 15 und 16 und die Bodenfläche der Ausnehmung 11 auf dem Substrat sind nicht auf die flachen Oberflächen beschränkt, die in jedem der vor hergehenden Ausführungsbeispiele gezeigt sind. Bei spielsweise können gekrümmte Oberflächen mit schrägen Oberflächen wie in Fig. 35A gezeigt verwendet werden, um eine gleiche Wirkung zu erhalten. Eine andere, in Fig. 35B gezeigte Struktur kann verwendet werden, bei der Seitenflächen 11a, 11b sowie die Bodenflächen 11c und 13c gekrümmt sind. In diesem Fall ist es bevor zugt, daß das Substrat 1 aus einem nichtkristallinen Material wie Glas oder Harz besteht.

In jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele wurde die Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 oder die der dritten isolierenden Schicht 43 so gewählt, daß sie größer ist als die Dicke des ersten leitenden Durchgangs 21 und die des dritten leitenden Durch gangs 62. Die Dicke kann geringer sein als die des ersten leitenden Durchgangs 21 und die des dritten leitenden Durchgangs 62, um eine magnetische Struktur und einen magnetischen Kopf zu schaffen, mit denen gleiche Wirkungen wie bei jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele erhalten werden.

In einer anderen Ausführungsform nach Fig. 36 ist die magnetische Schicht 1c aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust unterhalb der isolierenden Schicht 1b des Substrats 1 gebildet. Da die magneti sche Schicht 1c als eine magnetische Abschirmung dient, kann das Übersprechen zwischen den Kanälen verhindert werden.

In einer weiteren Ausführungsform wird beispielsweise eine Schutzschicht aus isolierendem Material wie Glas oder Harz auf dem zweiten leitenden Durchgang 22 oder dem vierten leitenden Durchgang 62 gebildet. Die Schutzschicht schützt die Oberfläche des magnetischen Kopfes vor der Umgebung, und daher kann die Zuverläs sigkeit verbessert werden.

Fig. 37 enthält eine teilweise geschnittene perspek tivische Ansicht und eines Ausschnittes aus einer ma gnetischen Struktur. Fig. 38 enthält eine seitliche Querschnittsansicht.

Im Gegensatz zu vorherigen Ausführungsbeispielen, bei denen der erste leitende Durchgang 21 durch die bei den Seitenflächen der Ausnehmung 11 und die Bodenflä che gebildet ist, reicht gemäß Fig. 37 und 38 der erste leitende Durchgang 21a bis zur oberen Fläche 10 des Substrats 1. Weiterhin ist der zweite leitende Durchgang 22 mit dem auf der oberen Fläche 10 des Substrats 1 gebildeten Teil des leitenden Durchgangs 21a verbunden. Als Folge hiervon kann die Position des Kontaktlochs auf der zweiten isolierenden Schicht 42 über der oberen Fläche 10 des Substrats liegen. Durch Positionierung des Kontaktlochs 23 über der oberen Fläche 10 des Substrats kann die Isolierung des ersten leitenden Durchgangs 21 und des zweiten leitenden Durchgangs 22 gegenüber dem magnetischen Kern 31 sicher hergestellt werden. Weiterhin können die Positions- und Dimensionstoleranzen des Kontakt lochs 23 vergrößert werden, wodurch die Herstellungs kosten verringert werden.

Fig. 39 ist eine perspektivische Ansicht, die die ma gnetische Struktur teilweise geschnitten darstellt, Fig. 40 enthält eine perspektivische Ansicht, die ein Teil eines Substrats der magnetischen Struktur dar stellt, Fig. 41 enthält eine seitliche Querschnitts ansicht und Fig. 42 eine horizontale Querschnittsan sicht eines Teils der magnetischen Struktur.

Dabei ist eine Ausnehmung, das heißt ein Nutenbereich 17' in der oberen Fläche 10 des Substrats 1 gebildet. Eine Mehrzahl von Nutenbereichen 17' ist parallel verlaufend an die schräge Fläche der Ausnehmung 11 des Substrats angrenzend zu der oberen Fläche 10 des Substrats ausgebildet. Der erste leitende Durchgang 21 bedeckt den Nutenbereich 17' in der oberen Fläche des Substrats, die beiden Seitenflächen und die Bo denfläche der Ausnehmung 11. Der erste leitende Durchgang 21 und der zweite leitende Durchgang 22 sind durch das auf dem Nutenbereich 17' gebildete Kontaktloch 23 in der zweiten isolierenden Schicht 42 miteinander verbunden. Als Folge dieser Struktur kön nen der erste leitende Durchgang 21 und der zweite leitende Durchgang 22 sicher gegenüber dem magneti schen Kern 31 isoliert werden. Weiterhin können die Positions- und Dimensionstoleranzen des Kontaktlochs vergrößert werden, wodurch die Herstellungskosten verringert werden können. Weiterhin können die mehre ren ersten leitenden Durchgänge 21 auf der Oberfläche 10 des Substrats durch die Nutenbereiche 17' sicher gegeneinander isoliert werden.

Fig. 43 enthält eine perspektivische Ansicht eines Teils einer magnetischen Struktur, teilweise ge schnitten, und Fig. 44 eine perspektivische Ansicht eines Teils des Substrats der magnetischen Struktur nach einer weiteren Ausführungsform.

Gemäß Fig. 44 wird ein Nutenbereich 18 von den beiden Seitenflächen und der Bodenfläche der Ausnehmung 11 gebildet. Es sind mehrere Nutenbereiche 18' parallel in der Längsrichtung der Ausnehmung ausgebildet. Der erste leitende Durchgang 21 ist in dem Nutenbereich 18' ausgebildet, wie in Fig. 43 gezeigt ist. Daher können die ersten leitenden Durchgänge sicher gegen einander isoliert werden. Die Dicke des ersten lei tenden Durchgangs 21 ist im Wesentlichen gleich der Tiefe des Nutenbereichs 18'. Als Folge hiervon stel len die Bodenfläche und die beiden Seitenflächen der Ausnehmung 11 flache Oberflächen dar, nachdem der er ste leitende Durchgang 21 gebildet ist, so daß Erhe bungen und Löcher, die beim ersten Ausführungsbei spiel auftreten, vermieden werden. Als Folge hiervon weisen die in der Ausnehmung 11 gebildete erste iso lierende Schicht 41 und der der Ausnehmung im Sub strat zugewandte magnetische Kern 31 flache Oberflä chen auf, nachdem der erste leitende Durchgang 21 ge bildet ist. Als Folge dieser Struktur können Erhebun gen und Vertiefungen, die beim ersten Ausführungsbei spiel auftreten, bei dem magnetischen Kern 31 vermie den werden. Daher kann der Verlust des durch den ma gnetischen Kern hindurchgehenden Magnetischen Flusses verringert werden, wodurch ein magnetischer Kern mit einem ausgezeichneten magnetischen Wirkungsgrad er halten wird.

Claims

1. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je weils schrägen Seitenflächen angeordnet ist,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge unterschiedliche Längen auf weisen und in der Weise angeordnet sind, daß sich längere Vorsprünge (15) beidseitig von kur zen Vorsprüngen (16) befinden, daß ein magneti scher Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material in dem magnetischen Kern (31) auf der der Gleit fläche (91) auf einem magnetischen Aufzeich nungsträger benachbarten Seite gebildet ist,
wobei der magnetische Kern (31) durch die langen Vorsprünge (15) getrennt ist, derart, daß eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.

2. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je weils schrägen Seitenflächen angeordnet ist,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern (35) auf der der Gleitflä che auf einem magnetischen Aufzeichnungsmedium benachbarten Seite und auf der zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zur Bildung eines ma gnetischen Spaltes (32),
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (62), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, die auf der nichtmagnetischen iso lierenden Schicht (32) gebildet sind,
eine dritte isolierende Schicht (44) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (62),
einen weiteren magnetischen Kern (36) aus magne tischem Material, der so auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht und der dritten iso lierenden Schicht (44) angeordnet ist, daß er gratförmige Vorsprünge mit jeweils geneigten Oberflächen bildet,
eine vierte isolierende Schicht (43) auf den beiden Seitenflächen und der oberen Fläche des weiteren magnetischen Kerns (36), und
eine auf der vierten isolierenden Schicht (43) angeordnete vierte leitende Durchgangsanordnung (61) zum Bilden wendelförmiger Spulen durch auf einanderfolgendes Verbinden der Enden der drit ten leitenden Durchgangsanordnung (62), wobei eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips inte griert gebildet ist.

3. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je weils schrägen Seitenflächen angeordnet sind,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (61) aus einer Mehrzahl von Durchgängen,
eine dritte isolierende Schicht (43) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (61),
einen weiteren magnetischen Kern (36),
eine vierte isolierende Schicht (44) auf dem weiteren magnetischen Kern (36),
eine auf der vierten isolierenden Schicht (44) gebildeten vierten leitenden Durchgangsanordnung (62), um die Enden der dritten leitenden Durch gangsanordnung (61) zur Bildung einer wendelför migen Spule aufeinanderfolgend zu verbinden,
wobei das Substrat (1) an im wesentlichen den selben Positionen auf seiner oberen und unteren Fläche die Vorsprünge (12) und Bodenflächen (13) aufweist und die Länge der Bodenflächen (13) kürzer als die der Vorsprünge (12) ist, von de nen jede Endflächen (91, 92) hat, die gegenüber den Endflächen (93, 94) der Bodenflächen (13) herausragen, wobei die erste leitende Durch gangsanordnung (21) und der eine magnetische Kern (35) auf der oberen Fläche des Substrats (1) und die dritte leitende Durchgangsanordnung (61) in entsprechender Weise wie die erste Durchgangsanordnung (21) und der weitere Kern (36) auf der unteren Fläche des Substrats gebil det sind, wobei die magnetischen Kerne (35, 36) aus magnetischem Material bestehen, das in den Raum von den oberen Flächen der ersten (41) und dritten (43) isolierenden Schicht zu den beiden über die beiden Endflächen (93, 94) der Boden fläche (13) vorstehenden Endflächen (91, 92) des Vorsprunges (12) eingefüllt ist, und wobei ein magnetischer Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material zwischen den magnetischen Kernen (35, 36) auf der an die Gleitfläche auf einem magne tischen Aufzeichnungsmedium angrenzenden Seite ausgebildet ist.

4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß die erste leitende Durchgangsanordnung (21) von der Bodenfläche ei ner nutenförmigen Ausnehmung zu den Seitenflä chen und der oberen Fläche (10) derselben gebil det ist.

5. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß die erste leitende Durchgangsanordnung (21) von einer in der oberen Fläche (10) einer nutenförmigen Ausnehmung (11) gebildeten Ausnehmung (17') zu den Seitenflächen (11a, 11b) und der Bodenfläche derselben gebil det ist.

6. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da durch gekennzeichnet, daß die erste leitende Durchgangsanordnung (21) zumindest in einem Nu tenbereich (18'), der sich von der Bodenfläche (11c) zu den Seitenflächen (11a, 11b) der nuten förmigen Ausnehmung (11) erstreckt, ausgebildet ist.