JPH0298806A - マルチトラック薄膜磁気ヘッド - Google Patents
マルチトラック薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0298806A JPH0298806A JP63250940A JP25094088A JPH0298806A JP H0298806 A JPH0298806 A JP H0298806A JP 63250940 A JP63250940 A JP 63250940A JP 25094088 A JP25094088 A JP 25094088A JP H0298806 A JPH0298806 A JP H0298806A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
-
- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/4886—Disposition of heads relative to rotating disc
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はマルチトラック薄lli磁気ヘッド、特に複数
の磁電/を磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形
成され、ヘッドの媒体摺動面が複数のトラックの配列方
向に関して曲面加工されるマルチトラック薄膜磁気ヘッ
ドに関するものである。
の磁電/を磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形
成され、ヘッドの媒体摺動面が複数のトラックの配列方
向に関して曲面加工されるマルチトラック薄膜磁気ヘッ
ドに関するものである。
[従来の技術]
薄11161気ヘッドは半導体ICなどの製造プロセス
と同様の薄膜堆積法、フォトリソグラフィ技術によって
製造され、小型軽量であり、また大量生産に適しており
、さらに多数の6n気ギヤツプを同一のヘッドチップ内
に集積したマルチトラックヘッドを構成するのも容易で
あるなどの優れた利点がある。
と同様の薄膜堆積法、フォトリソグラフィ技術によって
製造され、小型軽量であり、また大量生産に適しており
、さらに多数の6n気ギヤツプを同一のヘッドチップ内
に集積したマルチトラックヘッドを構成するのも容易で
あるなどの優れた利点がある。
最近では、オーディオ信号をデジタル信号に変換して磁
気記録再生を行なうデジタルオーディオテープ(DAT
と略称される)レコーダなどにおいては80μmピッチ
で20個以上の磁気ギャップを集積したマルチトラック
薄膜ヘッドの実用化が期待されている。また、コンピュ
ータシステム用の外部記憶装置として用いられる磁気テ
ープ装置では、18トラツクの薄膜磁気ヘッドが開発さ
れている。これらの磁気テープレコーダには、記録媒体
として幅0,15〜0.5インチの磁気テープが用いら
れる。第3図に従来技術による上記のようなテープレコ
ーダに使用されるマルチトラックの薄膜61気ヘツドの
構造を示す。
気記録再生を行なうデジタルオーディオテープ(DAT
と略称される)レコーダなどにおいては80μmピッチ
で20個以上の磁気ギャップを集積したマルチトラック
薄膜ヘッドの実用化が期待されている。また、コンピュ
ータシステム用の外部記憶装置として用いられる磁気テ
ープ装置では、18トラツクの薄膜磁気ヘッドが開発さ
れている。これらの磁気テープレコーダには、記録媒体
として幅0,15〜0.5インチの磁気テープが用いら
れる。第3図に従来技術による上記のようなテープレコ
ーダに使用されるマルチトラックの薄膜61気ヘツドの
構造を示す。
第3図ではn個の磁気ギャップを有するヘッドを示して
いるが、中央部分の構造の図示を省略している。第3図
において符号1はヘッドの基板であるが、この構造にお
いては磁性材から構成されている。符号El〜Enはn
個の1if1電/電6n変換素子(以下単に変換素子と
いう)で、基板1との間で磁気ギャップ3を構成する上
部磁気コア4と金属薄膜からなるフィル5によって構成
されている。基板1上の各電磁変換素子はセラミックな
どの材料から成る補強板(破線によって示す)に覆われ
ている。
いるが、中央部分の構造の図示を省略している。第3図
において符号1はヘッドの基板であるが、この構造にお
いては磁性材から構成されている。符号El〜Enはn
個の1if1電/電6n変換素子(以下単に変換素子と
いう)で、基板1との間で磁気ギャップ3を構成する上
部磁気コア4と金属薄膜からなるフィル5によって構成
されている。基板1上の各電磁変換素子はセラミックな
どの材料から成る補強板(破線によって示す)に覆われ
ている。
第3図において、基板1と上部磁気コア4の間に形成さ
れる磁気ギャップは図の上部の摺動画工0から符号6で
示すギャップデプス(深さ)を有する。第3図では摺動
面10は磁気テープと各変換素子E1〜Enの良好な接
触を得るために、図示のように素子の配列方向Y(トラ
ック幅方向)に関して直線状で、またテープの走行方向
X(またはX’)に関しては滑らかな、はぼ円筒面に成
形されている。
れる磁気ギャップは図の上部の摺動画工0から符号6で
示すギャップデプス(深さ)を有する。第3図では摺動
面10は磁気テープと各変換素子E1〜Enの良好な接
触を得るために、図示のように素子の配列方向Y(トラ
ック幅方向)に関して直線状で、またテープの走行方向
X(またはX’)に関しては滑らかな、はぼ円筒面に成
形されている。
変換素子は図示のようにY方向に関して一直線状に配列
されているため、ギャップデプス6は全素子で一定の深
さとなっている。
されているため、ギャップデプス6は全素子で一定の深
さとなっている。
一方、磁気記録媒体としてはテープのみならず、近年で
は円板状のフロッピーディスクなどの媒体が知られてお
り、マルチトラック薄膜ヘッドはこのような媒体ととも
に第4図のような構造で用いられる。
は円板状のフロッピーディスクなどの媒体が知られてお
り、マルチトラック薄膜ヘッドはこのような媒体ととも
に第4図のような構造で用いられる。
第4図は電子スチルカメラにおける2トラツクの薄膜磁
気ヘッドの構造を示している。第4図において符号7は
紙面に垂直な方向に2個の変換素子を配511シたマル
チトラック薄膜ヘッドで、符号Xの方向に回転駆動され
る磁気ディスク9に摺動して磁気記録再生を行なう。そ
の場合、磁気ヘッド7はバッド8とともに磁気ディスク
9を挟持した状態で磁気記録再生を行なう。
気ヘッドの構造を示している。第4図において符号7は
紙面に垂直な方向に2個の変換素子を配511シたマル
チトラック薄膜ヘッドで、符号Xの方向に回転駆動され
る磁気ディスク9に摺動して磁気記録再生を行なう。そ
の場合、磁気ヘッド7はバッド8とともに磁気ディスク
9を挟持した状態で磁気記録再生を行なう。
バッド8はbi!気ディスク9の回転ぶれを抑え、磁気
ディスク面の位置を規制するためのもので、6n気ヘツ
ド7との対向面が凹部8aとなっており、この凹部8a
内部に磁気ヘッド7の摺動面をわずかに突出させること
によって凹部8a内の空気圧およびbn気ディスク9の
弾性を利用して良好なヘッドタッチを得るように工夫さ
れている。第4図の磁気ヘッド7は第5図のような外形
を有する。
ディスク面の位置を規制するためのもので、6n気ヘツ
ド7との対向面が凹部8aとなっており、この凹部8a
内部に磁気ヘッド7の摺動面をわずかに突出させること
によって凹部8a内の空気圧およびbn気ディスク9の
弾性を利用して良好なヘッドタッチを得るように工夫さ
れている。第4図の磁気ヘッド7は第5図のような外形
を有する。
第5図において符号1は第3図と同様の基板で、この基
板1上には第3図とほぼ同様の構造を有する変換素子が
2トラツク分構成されている(不図示)。
板1上には第3図とほぼ同様の構造を有する変換素子が
2トラツク分構成されている(不図示)。
変換素子は補強板2によって覆われ、基板1と補強板2
の摺動面10はトラック幅方向Yおよび媒体の走行方向
Xの両方向に関して曲面、すなわち球面状に成形されて
いる。これは、磁気シートがトラック幅方向Yおよび走
行方向Xの両方向に関して変形するためである1通常、
第5図のヘッドの場合2トラツクの変換素子の中心線に
関してX、Y方向にそれぞれ対称な曲面を形成すること
によって、2つのトラックに関して良好で均一なヘッド
タッチを得ることができる。この曲面の半径はバッド8
の形状などにもよるが、一般に5〜20mm程度に設定
されることが多い。
の摺動面10はトラック幅方向Yおよび媒体の走行方向
Xの両方向に関して曲面、すなわち球面状に成形されて
いる。これは、磁気シートがトラック幅方向Yおよび走
行方向Xの両方向に関して変形するためである1通常、
第5図のヘッドの場合2トラツクの変換素子の中心線に
関してX、Y方向にそれぞれ対称な曲面を形成すること
によって、2つのトラックに関して良好で均一なヘッド
タッチを得ることができる。この曲面の半径はバッド8
の形状などにもよるが、一般に5〜20mm程度に設定
されることが多い。
[発明が解決しようとする課題]
第4図、第5図に示したような磁気ディスク用のマルチ
トラック薄膜ヘッドは2トラツク程度のものが多いが、
近年では電子スチールビデオカメラなどにおいては画像
の高品質化の要求が高まりつつあり、ヘッドの取り扱う
情報量が増大する傾向にある。また、当然記録再生信号
の伝送速度の高速化の要求も高まりつつある。このよう
な事情は画像処理装置に限定されず、コンピュータなど
の外部メモリとして装置が使用される場合も同様である
。
トラック薄膜ヘッドは2トラツク程度のものが多いが、
近年では電子スチールビデオカメラなどにおいては画像
の高品質化の要求が高まりつつあり、ヘッドの取り扱う
情報量が増大する傾向にある。また、当然記録再生信号
の伝送速度の高速化の要求も高まりつつある。このよう
な事情は画像処理装置に限定されず、コンピュータなど
の外部メモリとして装置が使用される場合も同様である
。
同時に取り扱える情報量を増加させるための−手段とし
ては、磁気ディスクを用いる装置においても第3図に示
したような構造によってチャンネル数を増大させること
が考えられる。
ては、磁気ディスクを用いる装置においても第3図に示
したような構造によってチャンネル数を増大させること
が考えられる。
ところが、第4図、第5図に示したように磁気ディスク
などの回転媒体を用いる場合には、摺動面のトラック幅
方向に関しても曲面を形成する必要があり、従ってトラ
ック数が従来の2トラック程度ではそれほど問題がない
が、それ以上のチャンネル数を確保する場合には次のよ
うな問題がある。
などの回転媒体を用いる場合には、摺動面のトラック幅
方向に関しても曲面を形成する必要があり、従ってトラ
ック数が従来の2トラック程度ではそれほど問題がない
が、それ以上のチャンネル数を確保する場合には次のよ
うな問題がある。
例えば、第3図に示すような多数(n)個の変換素子を
設け、第5図に示したようにトラック幅方向に関しても
曲面加工を行なうとすると、もし各変換素子E1〜En
を第3図同様に直線状に配置した場合、当然ギャップデ
プス6がヘッド中心部で大ぎく、端部に近づくほど小さ
くなってしまう。
設け、第5図に示したようにトラック幅方向に関しても
曲面加工を行なうとすると、もし各変換素子E1〜En
を第3図同様に直線状に配置した場合、当然ギャップデ
プス6がヘッド中心部で大ぎく、端部に近づくほど小さ
くなってしまう。
ギャップデプスの大小はヘッドの磁界発生効率や再生効
率を左右するため、中央部のトラックでは周辺部のトラ
ックより効率が低下するという問題を生じる。特に、薄
膜磁気ヘッドでは磁気コアの厚みが1μm以下〜数十μ
m程度と薄いので、良好なヘッド効率を確保するために
はギャップデプスは1μm以下から大きくても10μm
以下と短く、1μmオーダーあるいはサブミクロンオー
ダーの加工精度が要求され、その寸法差はわずかでもヘ
ッドの特性に大きく影響する。
率を左右するため、中央部のトラックでは周辺部のトラ
ックより効率が低下するという問題を生じる。特に、薄
膜磁気ヘッドでは磁気コアの厚みが1μm以下〜数十μ
m程度と薄いので、良好なヘッド効率を確保するために
はギャップデプスは1μm以下から大きくても10μm
以下と短く、1μmオーダーあるいはサブミクロンオー
ダーの加工精度が要求され、その寸法差はわずかでもヘ
ッドの特性に大きく影響する。
本発明の課題は以上の問題に鑑み、多数個の変換素子を
設けるマルチトラック薄11i 61気ヘツドにおいて
、磁気ディスクなどの回転媒体を用いる場合でもトラッ
ク幅方向にも摺動面に曲面構造を与えてヘッドタッチを
向上させ、しかも複数の変換素子に関して均一な記録再
生特性を付与できるようにすることである。
設けるマルチトラック薄11i 61気ヘツドにおいて
、磁気ディスクなどの回転媒体を用いる場合でもトラッ
ク幅方向にも摺動面に曲面構造を与えてヘッドタッチを
向上させ、しかも複数の変換素子に関して均一な記録再
生特性を付与できるようにすることである。
[課題を解決するための手段]
以上の課題を解決するために、本発明においては、複数
の[電/電磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形
成され、媒体摺動面が複数のトラックの配列方向に関し
て曲面加工されるマルチトラック薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記複数の磁電/電磁変換素子の基板上での各変換
素子のギャップ深さ方向に関する配置位置を前記摺動面
の曲面形状に応じて設定した構成を採用した。
の[電/電磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形
成され、媒体摺動面が複数のトラックの配列方向に関し
て曲面加工されるマルチトラック薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記複数の磁電/電磁変換素子の基板上での各変換
素子のギャップ深さ方向に関する配置位置を前記摺動面
の曲面形状に応じて設定した構成を採用した。
[作 用]
以上の構成によれば、各ia電/電硼変換素子のギャッ
プ深さ方向の位置がトラック幅方向の摺動面の曲面形状
に応じて設定されるため、各磁電/電磁変換素子に摺動
面形状に拘わらず所望のギャップ深さに関連した変換特
性を付与することができる。
プ深さ方向の位置がトラック幅方向の摺動面の曲面形状
に応じて設定されるため、各磁電/電磁変換素子に摺動
面形状に拘わらず所望のギャップ深さに関連した変換特
性を付与することができる。
[実施例コ
以下、図面に示す実施例に基づき、本発明の詳細な説明
する。
する。
第1図は本発明を採用した磁気ディスクなどの回転媒体
を用いるマルチトラック薄膜6il気ヘツドの構造を示
している。ここでは符号E1〜E4の4つの変換素子を
有する構造を示す。
を用いるマルチトラック薄膜6il気ヘツドの構造を示
している。ここでは符号E1〜E4の4つの変換素子を
有する構造を示す。
第1図において符号1はMn−Znフェライト、Nj−
Znフェライトなどの材質から成る磁性基板で、基板1
上には不図示の絶縁層を介して金属薄膜によるコイル5
、磁性基板1との間に磁気ギャップ3を有する上部磁気
コア4によって構成される変換素子E1〜E4が配置さ
れている。
Znフェライトなどの材質から成る磁性基板で、基板1
上には不図示の絶縁層を介して金属薄膜によるコイル5
、磁性基板1との間に磁気ギャップ3を有する上部磁気
コア4によって構成される変換素子E1〜E4が配置さ
れている。
各変換素子E1〜E4の構造は従来と全く同様であり、
公知の薄膜堆積法、フォトリソグラフィ、エツチング工
程によって形成される。ただし、変換素子E1〜E4の
基板1上での配置位置は、後述のように従来と異なる。
公知の薄膜堆積法、フォトリソグラフィ、エツチング工
程によって形成される。ただし、変換素子E1〜E4の
基板1上での配置位置は、後述のように従来と異なる。
第1図では図示していないが、基板1上には従来と同様
に5i02.Al103等の絶縁材による保護層が形成
される。
に5i02.Al103等の絶縁材による保護層が形成
される。
基板1および不図示の保護層の媒体摺動面は、ラッピン
グなどの工程によってほぼ楕円球面となるように構成さ
れる。すなわち、摺動面10はトラック幅方向Yおよび
媒体の摺動方向Xの両方向に関して曲面に成形される。
グなどの工程によってほぼ楕円球面となるように構成さ
れる。すなわち、摺動面10はトラック幅方向Yおよび
媒体の摺動方向Xの両方向に関して曲面に成形される。
変換素子E1〜E4の基板1上での配置位置は摺動面1
0の曲面に関連して、それぞれ図のZ方向(ギャップデ
プス方向)に関して異なった高さに設定される。例えば
磁気ディスクなどのフレキシブルな回転媒体を使用する
時、ここで望ましいY方向の摺動面10の円弧の半径と
して10mmを設定し、その曲率の中心を全素子の中心
線11上におくものとする。
0の曲面に関連して、それぞれ図のZ方向(ギャップデ
プス方向)に関して異なった高さに設定される。例えば
磁気ディスクなどのフレキシブルな回転媒体を使用する
時、ここで望ましいY方向の摺動面10の円弧の半径と
して10mmを設定し、その曲率の中心を全素子の中心
線11上におくものとする。
この時、各変換素子E1〜E4の配置ピッチが100μ
mである場合には中心側の2つの変換素子E2、R3は
2方向に関して同じ高さに設定し、両側の素子E1、R
4をZ方向に関して摺動面10からΔDだけ後退させた
位置に配置する。
mである場合には中心側の2つの変換素子E2、R3は
2方向に関して同じ高さに設定し、両側の素子E1、R
4をZ方向に関して摺動面10からΔDだけ後退させた
位置に配置する。
この後退量ΔDは、上記のY方向の曲面設定では1μm
とする。
とする。
このような構成によって、Y方向に関しても摺動面10
を曲面としても、従来のように周辺側の変換素子でギャ
ップデプスが減少することなく、全ての変換素子に関し
て均一な特性を有する優れたマルチトラック薄i磁気ヘ
ッドを提供できる。
を曲面としても、従来のように周辺側の変換素子でギャ
ップデプスが減少することなく、全ての変換素子に関し
て均一な特性を有する優れたマルチトラック薄i磁気ヘ
ッドを提供できる。
また、媒体の摺動方向Xに関しては従来と同様に曲面形
成を行ない、摺動面全体をほぼ球面形状とすることで良
好なヘッドタッチを得ることができ、磁電/電磁変換の
際のスペーシングロスを低減することができる。
成を行ない、摺動面全体をほぼ球面形状とすることで良
好なヘッドタッチを得ることができ、磁電/電磁変換の
際のスペーシングロスを低減することができる。
上記実施例では4つの変換素子を有する4トラックの磁
気ヘッドを例示したが、素子数が増えても第1図と同様
の構成を採用できる。例えば、前記と同様に摺動面のト
ラック幅方向の曲面半径が10mm、素子のピッチが1
00μmで素子数が6トラツクの場合、ヘッドの端部か
ら各変換素子をE1〜E6とすると、中央の2つの素子
E3、R4に続いてR2、R5を第1図の場合と同様に
1μmだけ2方向に後退させ、端部の素子E1、R6を
R2、R5よりもさらに2μmだけZ方向に後退させる
。このように、ヘッドの各変換素子をあらかじめ装填さ
れる摺動面を考慮して基板上に配置すれば、全ての変換
素子に関して均一な特性を有する優れた磁気ヘッドを構
成でき、マルチトラック化によって伝送情報量の増大お
よび伝送速度の高速化を図ることができる。
気ヘッドを例示したが、素子数が増えても第1図と同様
の構成を採用できる。例えば、前記と同様に摺動面のト
ラック幅方向の曲面半径が10mm、素子のピッチが1
00μmで素子数が6トラツクの場合、ヘッドの端部か
ら各変換素子をE1〜E6とすると、中央の2つの素子
E3、R4に続いてR2、R5を第1図の場合と同様に
1μmだけ2方向に後退させ、端部の素子E1、R6を
R2、R5よりもさらに2μmだけZ方向に後退させる
。このように、ヘッドの各変換素子をあらかじめ装填さ
れる摺動面を考慮して基板上に配置すれば、全ての変換
素子に関して均一な特性を有する優れた磁気ヘッドを構
成でき、マルチトラック化によって伝送情報量の増大お
よび伝送速度の高速化を図ることができる。
以上に示した実施例の構造を一般化すれば、摺動面の曲
率(曲面の半径)R1変換素子の配列ピッチWおよび素
子数がわかれば、素子数がい(つでも素子の基板上での
位置を決定できる。例えば、素子の配列方向(トラック
幅方向)に関して単純な半径Rの摺動面で素子の数が偶
数の時、ヘッドの中心線よりi番目の素子とi+1番目
の素子の移動量ΔDiは によって決定できる。
率(曲面の半径)R1変換素子の配列ピッチWおよび素
子数がわかれば、素子数がい(つでも素子の基板上での
位置を決定できる。例えば、素子の配列方向(トラック
幅方向)に関して単純な半径Rの摺動面で素子の数が偶
数の時、ヘッドの中心線よりi番目の素子とi+1番目
の素子の移動量ΔDiは によって決定できる。
次に、第2図に補強板形成後に摺動面を加工する時内部
に配置された変換素子の位置に関連して適切な摺動面形
状を示す。
に配置された変換素子の位置に関連して適切な摺動面形
状を示す。
第2図は3トラック分の変換素子E1〜E3を有する基
板の平面図を示している。第2図において端部の変換素
子E1、R3は、摺動面10の形状に合わせて中央の変
換素子E2よりもΔDだけ2方向に後退した位置に設け
られている。
板の平面図を示している。第2図において端部の変換素
子E1、R3は、摺動面10の形状に合わせて中央の変
換素子E2よりもΔDだけ2方向に後退した位置に設け
られている。
さらに、第2図では補強板形成後にY方向に曲面を形成
する場合、変換素子の上記の配置に適した摺動面加工を
行なうためにあらかじめ基板1の両端部に三角形状のギ
ャップデプスマーク12を形成する。このギャップデプ
スマーク12はコイル5の形成時に、コイル5と同一の
材料によって基板1上に図示のような三角形状に形成す
る。
する場合、変換素子の上記の配置に適した摺動面加工を
行なうためにあらかじめ基板1の両端部に三角形状のギ
ャップデプスマーク12を形成する。このギャップデプ
スマーク12はコイル5の形成時に、コイル5と同一の
材料によって基板1上に図示のような三角形状に形成す
る。
ギャップデプスマーク12は補強板形成後も摺動面10
から1.1′の幅を測定でとる。ギャップデプスマーク
の図示のような三角形状は、図示のように設定される。
から1.1′の幅を測定でとる。ギャップデプスマーク
の図示のような三角形状は、図示のように設定される。
中央の変換素子E2のギャップデプスをり、端部の変換
素子E1、R3のギャップデプスをD′とすると、図の
ギャップデプスマーク12の幅λ及び1′は所定の摺動
面形状においてD=D ’=1=a′となる様に各素子
及び各デプスマークを所定の後退量を見込んで配置構成
する。
素子E1、R3のギャップデプスをD′とすると、図の
ギャップデプスマーク12の幅λ及び1′は所定の摺動
面形状においてD=D ’=1=a′となる様に各素子
及び各デプスマークを所定の後退量を見込んで配置構成
する。
従って、以上のような構成によれば、摺動面10から視
認されるギャップデプスマーク12の幅u、u’が目的
のギャップデプスD%D′に等しくなるように研削加工
を行なえば、実際の変換素子の配置に適した摺動面の曲
面を与えることができる。
認されるギャップデプスマーク12の幅u、u’が目的
のギャップデプスD%D′に等しくなるように研削加工
を行なえば、実際の変換素子の配置に適した摺動面の曲
面を与えることができる。
一般に、記録媒体の摺動面積はヘッドおよび媒体間の空
気層の圧力に影響し、従ってヘッドおよび媒体間のスペ
ーシングを抑制して良好な変換特性を得るためには、摺
動面の面積を必要最小限に抑えることが有効である。こ
のため、摺動面には信号の記録再生を行なうために必要
以外のものには充分な面積を与えることができないのが
普通である。以上のようなギャップデプスマークによれ
ば、摺動面の面積を大きく増大させることなく、限られ
た面積内において実際のギャップデプスを摺動面曲率の
補正などを必要とせず、容易に精度よく測定できるとい
う効果がある。また、上記のギャップデプスマークはヘ
ッド両端位置の中央部から最も離れた位置に配置される
ため、摺動面の曲率の影響がその摺動面上で視認される
幅l、l′に与える影響が最も大きく、精度よくギャッ
プデプスの制御を行なえるという効果がある。
気層の圧力に影響し、従ってヘッドおよび媒体間のスペ
ーシングを抑制して良好な変換特性を得るためには、摺
動面の面積を必要最小限に抑えることが有効である。こ
のため、摺動面には信号の記録再生を行なうために必要
以外のものには充分な面積を与えることができないのが
普通である。以上のようなギャップデプスマークによれ
ば、摺動面の面積を大きく増大させることなく、限られ
た面積内において実際のギャップデプスを摺動面曲率の
補正などを必要とせず、容易に精度よく測定できるとい
う効果がある。また、上記のギャップデプスマークはヘ
ッド両端位置の中央部から最も離れた位置に配置される
ため、摺動面の曲率の影響がその摺動面上で視認される
幅l、l′に与える影響が最も大きく、精度よくギャッ
プデプスの制御を行なえるという効果がある。
なお、以上の実施例においてはギャップデプスマーク1
2はコイル5の形成時に同じ金属膜によって形成する構
造を例示したが、ギャップデプスマークは摺動面から視
認で仕ればどのような材質でもよく、ギャップ層、磁性
層などどのような材質から構成されていてもよい。また
、ギャップデプスマークはその視認される、あるいは光
学的な測定機構を介して測定される幅によってその時の
ギャップデプスの実際値が検出される構造を示したが、
ギャップデプスマークの電気的導通度や抵抗の変化、そ
の他の測定量の変化が実際のギャップデプスに対応して
変化するものであれば、どのような構造を用いてもよい
のはもちろんである。
2はコイル5の形成時に同じ金属膜によって形成する構
造を例示したが、ギャップデプスマークは摺動面から視
認で仕ればどのような材質でもよく、ギャップ層、磁性
層などどのような材質から構成されていてもよい。また
、ギャップデプスマークはその視認される、あるいは光
学的な測定機構を介して測定される幅によってその時の
ギャップデプスの実際値が検出される構造を示したが、
ギャップデプスマークの電気的導通度や抵抗の変化、そ
の他の測定量の変化が実際のギャップデプスに対応して
変化するものであれば、どのような構造を用いてもよい
のはもちろんである。
以上の各実施例では電61/磁電変換素子としてコイル
を使用した電磁誘導型の素子を例示したが、各変換素子
は磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)によって構
成することもできる。例えば、最近では磁気媒体の信号
を直接拾うことなく、前記実施例のような磁気信号を捕
捉するための磁気ギャップおよびヨークを設け、その電
路の途中にMR素子を配置して磁電/電磁変換を行なう
ヨーク型MRヘッドが知られている。このようなヨーク
型のMRヘッドでは、磁路の寸法差は各変換素子の効率
差に大きな影響を与えるため、前記実施例と同様に変換
素子を摺動面の形状に応じて配置することによって、各
トラックに関して均一な変換特性を有する優れた磁気ヘ
ッドを提供することができる。
を使用した電磁誘導型の素子を例示したが、各変換素子
は磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)によって構
成することもできる。例えば、最近では磁気媒体の信号
を直接拾うことなく、前記実施例のような磁気信号を捕
捉するための磁気ギャップおよびヨークを設け、その電
路の途中にMR素子を配置して磁電/電磁変換を行なう
ヨーク型MRヘッドが知られている。このようなヨーク
型のMRヘッドでは、磁路の寸法差は各変換素子の効率
差に大きな影響を与えるため、前記実施例と同様に変換
素子を摺動面の形状に応じて配置することによって、各
トラックに関して均一な変換特性を有する優れた磁気ヘ
ッドを提供することができる。
また、記録媒体垂直方向への磁化を記録再生するマルチ
トラック垂直磁気ヘッドにおいても、以上の実施例と同
様に、摺動面形状に応じて各トラックの素子(例えば主
磁極やコイル)を配置することにより、全トラックで良
好な変換特性を得ることができる。
トラック垂直磁気ヘッドにおいても、以上の実施例と同
様に、摺動面形状に応じて各トラックの素子(例えば主
磁極やコイル)を配置することにより、全トラックで良
好な変換特性を得ることができる。
[発明の効果]
以上から明らかなように、本発明によれば、複数の磁電
/電磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形成され
、媒体摺動面が複数のトラックの配列方向に関して曲面
加工されるマルチトラック薄IIK磁気ヘッドにおいて
、前記複数の磁電/電磁変換素子の基板上での各変換素
子のギャップ深さ方向に関する配置位置を前記摺動面の
曲面形状に応じて設定した構成を採用しているので、各
トラックに関して所望の変換特性を得られ、トラック幅
方向の摺動面の曲面形状によって回転媒体に関しても優
れたヘッドタッチ特性によりてスペーシングロスなく効
率のよい磁電/電磁変換が可能な優れたマルチトラック
薄膜磁気ヘッドを提供できる。
/電磁変換素子が基板上に薄膜形成法によって形成され
、媒体摺動面が複数のトラックの配列方向に関して曲面
加工されるマルチトラック薄IIK磁気ヘッドにおいて
、前記複数の磁電/電磁変換素子の基板上での各変換素
子のギャップ深さ方向に関する配置位置を前記摺動面の
曲面形状に応じて設定した構成を採用しているので、各
トラックに関して所望の変換特性を得られ、トラック幅
方向の摺動面の曲面形状によって回転媒体に関しても優
れたヘッドタッチ特性によりてスペーシングロスなく効
率のよい磁電/電磁変換が可能な優れたマルチトラック
薄膜磁気ヘッドを提供できる。
第1図は本発明を採用したマルチトラック薄膜磁気ヘッ
ドの構造を示した斜視図、第2図は本発明による異なる
マルチトラック薄膜磁気ヘッドの構造を示した平面図、
第3図以降は従来構造を説明するもので、第3図は従来
の磁気テープ用のマルチトラック薄@磁気ヘッドの構造
を示した斜視図、第4図は磁気ディスクを用いる場合の
磁気記録再生装置の構造を示した説明図、第5図は第4
図の磁気ヘッドの構造を示した斜視図である。 1・・・基板 2・・・補強板3・・・磁気
ギャップ 4・・・上部磁気コア5・・・コイル
6・・・ギヤップデブス7・・・磁気ヘッド
8・・・バッド9・・・磁気ディスク 10・・・
摺動画12・・・ギャップデプスマーク 4・・・・・・・・・二部石立5コ1 5・・・・ ・・・コイル
ドの構造を示した斜視図、第2図は本発明による異なる
マルチトラック薄膜磁気ヘッドの構造を示した平面図、
第3図以降は従来構造を説明するもので、第3図は従来
の磁気テープ用のマルチトラック薄@磁気ヘッドの構造
を示した斜視図、第4図は磁気ディスクを用いる場合の
磁気記録再生装置の構造を示した説明図、第5図は第4
図の磁気ヘッドの構造を示した斜視図である。 1・・・基板 2・・・補強板3・・・磁気
ギャップ 4・・・上部磁気コア5・・・コイル
6・・・ギヤップデブス7・・・磁気ヘッド
8・・・バッド9・・・磁気ディスク 10・・・
摺動画12・・・ギャップデプスマーク 4・・・・・・・・・二部石立5コ1 5・・・・ ・・・コイル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)複数の磁電/電磁変換素子が基板上に薄膜形成法に
よって形成され、ヘッドの媒体摺動面が複数のトラック
の配列方向に関して曲面加工されるマルチトラック薄膜
磁気ヘッドにおいて、前記複数の磁電/電磁変換素子の
基板上での各変換素子のギャップ深さ方向に関する配置
位置を前記摺動面の曲面形状に応じて設定したことを特
徴とするマルチトラック薄膜磁気ヘッド。 2)前記摺動面の曲面加工時に摺動面側から所定の特性
量を測定でき、その特性量がその摺動面形状における実
際の前記磁電/電磁変換素子のギャップ深さに対応する
ように前記基板上に設けられたギャップ深さ測定手段を
有することを特徴とする請求項(1)記載のマルチトラ
ック薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63250940A JPH0298806A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
US07/806,858 US5146378A (en) | 1988-10-06 | 1991-12-09 | Multi-track head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63250940A JPH0298806A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0298806A true JPH0298806A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17215273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63250940A Pending JPH0298806A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5146378A (ja) |
JP (1) | JPH0298806A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447512A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-17 | Sharp Corp | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
US11753106B2 (en) | 2017-02-10 | 2023-09-12 | Sram, Llc | Bicycle derailleur and connection |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2943579B2 (ja) * | 1992-10-20 | 1999-08-30 | 三菱電機株式会社 | 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド |
US5502528A (en) * | 1994-11-02 | 1996-03-26 | Eastman Kodak Company | Magnetics-on-film image area recording head and interface |
US5555043A (en) * | 1994-11-30 | 1996-09-10 | Eastman Kodak Company | Magnetics-on-film image area recording head and suspension system |
US5555044A (en) * | 1994-11-30 | 1996-09-10 | Eastman Kodak Company | Magnetics-on-film image area recording head suspension system |
US5519464A (en) * | 1994-11-30 | 1996-05-21 | Eastman Kodak Company | Magnetics-on-film image area recording head with film flattening emulsion side support |
US5684660A (en) * | 1995-02-17 | 1997-11-04 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film coil head assembly with protective planarizing cocoon structure |
US5678086A (en) * | 1996-07-22 | 1997-10-14 | Eastman Kodak Company | Patterned multi-track thin film heads for image area record/reproduce on magnetics-on-film |
DE69623410T2 (de) | 1995-11-13 | 2003-05-15 | Eastman Kodak Co., Rochester | Gemusterte Dünnfilm-Mehrspurköpfe für Filmbildbereichaufzeichnung/-wiedergabe auf eine magnetische Schicht |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3428800A1 (de) * | 1984-08-04 | 1986-02-13 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Duennschicht-magnetkopf |
JPS61102520A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-21 | Canon Inc | 磁気センサ−装置 |
EP0181263B1 (en) * | 1984-11-08 | 1992-01-29 | Digital Equipment Corporation | Narrow contour head assembly |
DE3776359D1 (en) * | 1986-02-13 | 1992-03-12 | Sony Corp | Duennschichtmagnetkopf. |
JPH0778857B2 (ja) * | 1987-10-02 | 1995-08-23 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気ヘッド |
JPH01116909A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-09 | Toshiba Corp | 磁気ヘッド |
JPH01179212A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-17 | Nakamichi Corp | 複合磁気ヘッドの製造方法 |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP63250940A patent/JPH0298806A/ja active Pending
-
1991
- 1991-12-09 US US07/806,858 patent/US5146378A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447512A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-17 | Sharp Corp | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
US11753106B2 (en) | 2017-02-10 | 2023-09-12 | Sram, Llc | Bicycle derailleur and connection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5146378A (en) | 1992-09-08 |
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