JPH0447512A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
する磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
の光磁気ディスクの開発が進められている。光磁気ディ
スクでは、通常、垂直磁化膜を使用し、レーザ光の照射
により昇温させて保磁力を低下させた状態で上記垂直磁
化膜に膜面と垂直な方向の外部磁場を印加することによ
り、磁化の向きを外部磁場の向きと一致させ、情報の記
録を行うようになっている。一方、再生時には、上記垂
直磁化膜にレーザ光を照射した際に、いわゆる磁気光学
効果により、磁化に向きに応じて、反射光の偏光面の回
転方向が相違する現象に基づいて、情報の検出が行われ
る。
方向の外部磁場を連続的に印加しながら、記録すべき情
報に応じてレーザ光の強度を変調する光変調方式と、一
定強度のレーザ光を照射しながら、記録すべき情報に応
じて外部磁場の向きを反転させる磁界変調方式とがある
。そして、記録済の情報を書き換える際に、旧情報を消
去することなく、新情報を直接記録するオーバーライド
を実現できる方式としては、上記の磁界変調方式が有力
視されている。
に、ディスクの回転速度又は磁界変調の周波数を上昇さ
せると、記録値区長をディスク上でのレーザ光のスポッ
ト径より小さい0.3μm程度まで縮小することができ
るが、その場合、第4図に模式的に示すように、記録ピ
ットド1・・・の形成する磁区が円弧状又は三日月状に
なることが知られている(第13回日本応用磁気学会学
術講演概要集(1989)、198頁参照)。
状になり、かつ、磁区長が短くなると、これをレーザ光
により再生する際に、レーザスポットが複数の記録ピッ
トドl・・・に跨がって照射されるので、個々の記録ビ
ット1の再生が行えなくなる問題がある。
的に記録ピットド1・・・の情報を再生することも考え
られる。ところが、その場合、記録ピットド1・・・が
円弧状であるため、再生時に隣接する記録ピットド1間
でクロストークが生じやすく、かつ、再生信号出力も低
下し、正確な再生は不可能である。
に、光アシスト磁気記録により記録媒体上にほぼ円弧状
の磁区をなして記録される情報の再生に使用する磁気ヘ
ッドであって、基材上に形成され、上記記録媒体上の磁
区の形状に対応してほぼ円弧状に湾曲した磁気的ギャッ
プ部を有する薄膜コアと、上記磁気的ギャップ部から薄
膜コアを介して導かれる磁束に基づいて記録媒体上の情
報の検出を行う磁気抵抗効果素子とを備えている構成で
ある。
にほぼ円弧状をなす湾曲部をエツチングにより形成した
後、基材上に上記湾曲部に対応した湾曲形状を有する磁
気的ギヤツブ部を備えた薄膜コアを形成するとともに、
上記磁気抵抗効果素子を薄膜により形成するようにする
ことが好適である。
磁区からの磁束が上記磁気的ギャップ部から磁気コアを
介して磁気抵抗効果素子に導かれ、この磁束の大きさに
応じて磁気抵抗効果素子の電気抵抗値が変化することに
基づいて、情報の再生が行われる。その場合、上記磁気
的ギヤ、ブ部が記録媒体上の磁区の形状に対応したほぼ
円弧状をなしているため、記録媒体上の隣接する複数の
磁区間でクロストークが生じることはなく、又、充分な
再生信号出力を得ることができるようになる。これによ
り、光アシスト磁気記録において、記録密度を高めた結
果、磁区がほぼ円弧状をなす場合にも、正確な再生が行
えるようになる。
はぼ円弧形状をなす記録媒体上の磁区に対応した形状の
湾曲部を基材上に形成した後、上記基材上に磁気的ギャ
ップ部を有する薄膜コアを形成するようにしたので、磁
気的ギャップ部は記録媒体上の磁区の形状に対応したほ
ぼ円弧状とすることができる。
る。
すれば、以下の通りである。
基板5と、基板5上に形成された記録媒体としての記録
膜6と、記録膜6を保護する保護膜7とを含むディスク
8に記録及び再生を行うものであって、対物レンズ9を
介して記録膜6にレーザ光10を照射する光ヘッドと、
浮上型磁気へラド11とを備えている。浮上型磁気ヘッ
ド11はサスペンション12により支持され、ディスク
8の回転に伴ってディスク8の表面から浮上しながら記
録及び再生を行うようになっている。
ープ2・2・・・とランド3・3・・・とが交互に形成
され、各ランド3に沿ってほぼ円弧状又は三日月状の磁
区をなす記録ピットド1・・・(第4図参照)が形成さ
れて情報の記録が行われるようになっている。
ク8上で滑走可能なスライダ13に磁気ヘッド本体14
を取り付けてなり、磁気ヘッド本体14は磁気抵抗効果
に基づいて情報の再生を行う再生ヘッド部15と、記録
用コイル36が巻回された記録用磁極部35とを備えて
いる。
) (b)に示すように、磁気コア16(基材)はNi
Znフェライト等からなり、この磁気コア16上にはフ
ロント側薄膜コア17とバック側薄膜コア18とが所定
の間隔を隔てて形成されている。フロント側薄膜コア1
7の前端部と磁気コア16との間には、非磁性材料から
なるギャップ層37により、第1図(b)の上下方向に
所定の幅を有する磁気的ギャップ部が設けられている。
16の間には、絶縁層20を介して磁気抵抗効果素子2
1が薄膜により形成され、この磁気抵抗効果素子21か
らシグナルリード22・22が後方に引き出されている
。更に、磁気抵抗効果素子21と磁気コア16との間に
は、上方から見てほぼコ字形をなすバイアスリード23
が絶縁層20を介して設けられている。
護層24が形成され、保護層24上には保護板25が接
着されている。
材としての役割を有する磁気コア16に、予めほぼ円弧
状の凸部26(湾曲部)が形成されることにより、フロ
ント側薄膜コア17の前端部と磁気コア16間の上記磁
気的ギャップ部(図示せず)は記録膜6上の記録ビット
1 (第4図参照)に対応したほぼ円弧状をなしている
。
の回転に伴ってスライダ13がディスク8の表面から浮
上する。この状態で、上記光ヘッドから記録膜6にレー
ザ光10を照射しながら、記録用磁極部35で発生され
る磁界を記録膜6に印加することにより、高記録密度で
ほぼ円弧状の記録ビソトト1・・・が記録膜6上に形成
される。
磁束が、再生ヘッド部15における磁気コア16とフロ
ント側薄膜コア17間のギャップ層37からフロント側
薄膜コア17を介して磁気抵抗効果素子21に導かれる
。磁気抵抗効果素子21はフロント側薄膜コア17から
の磁束の大きさに応じて電気抵抗値が変化するので、例
えば、シグナルリード22に定電流を流すことにより、
上記電気抵抗値の変化がシグナルリード22の両端間の
電圧の変化として検出され、これにより、記録ビット1
として記録された情報の検出が行われる。
ΔR,磁場の強さをHとすると、ΔR/RとHの間には
第21図に示すようにほぼ2次曲線で近似される関係が
あるが、磁気抵抗効果素子21の動作範囲を横軸方向の
原点近傍以外の領域に移動させるため、バイアスリード
23に電流を流すことにより、磁気抵抗効果素子21に
バイアス磁界が印加される。
15の製造方法について説明する。
すように、NiZnフェライト等からなる磁気コア16
を用意し、この磁気コア16の表面にほぼ円弧形状をな
すようにフォトレジスト膜27を形成する(第7図)。
る記録ビットlの幅とほぼ等しい値とする。
るイオンミリング等により磁気コア16にエツチングを
施すと、第8図の如く、磁気コア16の表面にほぼ円弧
状の凸部26が形成される。なお、凸部260代わりに
、はぼ円弧状の凹部を形成するようにしても良い。又、
本実施例では、凸部26を磁気コア16の全長に渡って
設けるようにしたが、凸部26は磁気コア16における
ディスク8に対向する部位近傍のみに設けるようにして
も良い。
t等からなる絶縁層20(例えば、膜厚1μm程度)を
スパッタリング等により形成する。
膜をE B (ELectron Beam)蒸着等で
形成した後、不要部位をリン酸、硝酸、酢酸等を用いた
湿式エツチング等で除去することにより、上方から見て
ほぼコ字形状をなすバイアスリード23を形成する(第
10図(a)〜(C))。
けて形成されるが、便宜上同一番号を付す)を形成(第
11図(a)(b)) した後、NiFe (Feが1
7.5重量%)の抵抗加熱蒸着及びリン酸、硝酸等によ
る湿式エツチング等により、はぼコ字形状をなすように
磁気抵抗効果素子21(膜厚は、例えば、0.02μm
以内程度)を形成する(第12図(a)〜(C))。
の磁区状態を安定化させるために、磁気抵抗効果素子2
1の両端部近傍上に積層させて湿式メツキ(無電界)等
によりCoP層28・28を形成する。更に、CoP層
28・28上にAlCu (Cu5%)のEB蒸着及び
湿式エツチング等によりシグナルリード22・22を形
成した後、再度、絶縁層20を形成する(第14図(a
)〜(C))。
側薄膜コア17の前端部及びバック側薄膜コア18の後
端部に対応する領域30・31 (同図(alに便宜上
ハツチングで示す)の絶縁層20をリアクティブイオン
エツチング等により除去する。
n、を堆積させること等により、例えば、0.1μm以
内程度の膜厚でギャップ層37を形成する。なお、領域
31に形成されたギャップ層は必要に応じて除去する。
のスパッタリング等によりフロント側薄膜コア17及び
ハック側薄膜コア18(例えば、膜厚5〜6μm程度)
を形成する。これにより、フロント側薄膜コア17の前
端部は上記のギャップ層37からなる磁気的ギャップ部
を介して磁気コア16と対向するとともに、フロント側
薄膜コア17の後端部及びハック側薄膜コア18の前端
部は、絶縁層20を介して磁気抵抗効果素子21の上方
に位置する。
6上でのレーザビームノ径程度(1,5μm以下)とさ
れる。一方、磁気抵抗効果素子26の幅りは実際には上
記のDよりかなり大きく、通常、数10〜数100μm
程度とされる。
ク側薄膜コア17・18上に5in2のスパッタリング
(厚み0.2〜0.3μm程度)及びP−CVD法(厚
み8μm程度)等により保護層24を形成する。その後
、第1図(a)にハンチングで示す領域32・32及び
33・33の保護層24をエツチング等により除去し、
シグナルリード22・22及びバイアスリード23の端
部を露出させ、これらの部位に外部との接続のためのワ
イヤボンディング等を行う。更に、保護層24上に例え
ば、0.1〜0.2μm程度の厚みの接着剤層を介して
保護板25を接着する。なお、上記の接着剤層がディス
ク8と対向する側の側面に漏洩しないように、保護層2
4の表面を充分平坦にしてから接着剤を塗布する。
予めコイル巻回用溝34・34を形成することにより形
成できるものであるが、第6図〜第16図(a)(b)
及び第1図(a)(b)では、簡単のため、記録用磁極
部35は図示していない。
ずつ形成するものとしたが、第6図の段階で磁気コア1
6を複数の再生ヘッド部15を同時に形成できる程度に
紙面と直交方向に長尺としておいて、第6図乃至第16
図(a)(b)及びそれに続く第1図(a)Cb)の工
程で複数の磁気ヘッド本体14を同時に形成しく第1図
(a)の左右方向に配列される)、形成後に分離するよ
うにしても良い。
ヘッド挿入溝42を形成する(第18図)。続いて、ヘ
ッド挿入溝42の両側にてレール形成溝43・43を形
成するとともに、スライダ材料41の裏面側にレール形
成溝43・43と直交する方向に延びるサスペンション
取付は溝44を形成する(第19図)。
ダ13が構成されると、第20図に示すように、スライ
ダ13のヘッド挿入溝42に磁気ヘッド本体14が挿入
されて、例えば150°C程度に加熱された樹脂等によ
り接着される。続いて、第5図の如く、スライダ13の
レール面45・45・・・が研削及びポリッシュされる
とともに、レール面45・45・・・における磁気ヘッ
ド本体14と反対側の端部近傍に、ディスク8とスライ
ダ13との間に空気を導入するための傾斜面46・46
・・・が形成される。
体14を別個に構成したが、スライダ13と磁気ヘッド
本体14の磁気コア16は一体に構成しても良い。
ク側薄膜コア17・18で磁気回路を構成したが、この
実施例では、第22図(a)〜(C)に示すように、基
板61上に形成した下部薄膜コア62と、フロント側上
部薄膜コア63及びバック側上部薄膜コア64とにより
磁気回路を構成している。下部薄膜コア62とフロント
側上部薄膜コア63との間には、ギャップ層65により
磁気的ギャップ部が設けられている。
面には、はぼ円弧状の凸部66(湾曲部)が形成され、
これにより、ギャップ層65は記録膜6上の記録ピット
ド1・・・(第4図参照)の形状に対応したほぼ円弧状
をなしている。
薄膜コア62との間には、絶縁層67を介して磁気抵抗
効果素子70が設けられ、磁気抵抗効果素子70と下部
薄膜コア62の間には、絶縁層67を介してバイアスリ
ード68が形成されている。又、フロント側及びハック
側上部薄膜コア63・64上には保護層7Iが形成され
、更に、保護層71上に保護板72が接着されている。
、この基板61に記録用磁極部を形成することかできる
。
、下部薄膜コア62が設けられる以外は第1実施例とほ
ぼ同様であるので、ここでは説明を省略する。
磁気記録により記録媒体上にほぼ円弧状の磁区をなして
記録される情報の再生に使用する磁気ヘッドであって、
基材上に形成され、上記記録媒体上の磁区の形状に対応
してほぼ円弧状に湾曲した磁気的ギャップ部を有する薄
膜コアと、上記磁気的ギャップ部から薄膜コアを介して
導かれる磁束に基づいて記録媒体上の情報の検出を行う
磁気抵抗効果素子とを備えている構成である。
的ギャップ部から磁気コアを介して磁気抵抗効果素子に
導かれ、この磁束の大きさに応して磁気抵抗効果素子の
電気抵抗値が変化することに基づいて、情報の再生が行
われるが、その際、上記磁気的ギャップ部が記録媒体上
の磁区の形状に対応したほぼ円弧状をなしているため、
記録媒体上の隣接する複数の磁区間でクロストークが生
じることはなく、又、充分な再生信号出力を得ることが
できるようになる。従って、光アシスト磁気記録におい
て、記録密度を高めた結果、磁区がほぼ円弧状をなす場
合にも、正確な再生が行えるようになる。
にほぼ円弧状をなす湾曲部をエツチングにより形成する
工程と、基材上に上記湾曲部に対応した湾曲形状を有す
る磁気的ギャップ部を備えた薄膜コアを形成する工程と
、上記磁気抵抗効果素子を薄膜により形成する工程とを
備えている。
区に対応した形状の湾曲部を基材上に形成した後、上記
基材上に磁気的ギャップ部を有する薄膜コアを形成する
ようにしたので、磁気的ギャップ部は記録媒体上の磁区
の形状に対応したほぼ円弧状とすることができる。
る。 第1図(a)は磁気ヘッド本体の概略平面図である。 同図(b)は同図(a)のL−L線に沿う概略断面図で
ある。 第2図は浮上型磁気ヘッドを備えた光磁気記録再生装置
の概略構成図である。 第3図はディスクの概略縦断面図である。 第4図は記録ビットの形状を示す説明図である。 第5図は浮上型磁気ヘッドの斜視図である。 第6図は磁気コアを示す概略正面図である。 第7図は磁気コアにフォトレジスト膜を形成する様子を
示す概略正面図である。 第8図はフォトレジスト膜を介してエツチングを施す様
子を示す概略正面図である。 第9図は絶縁層を形成する様子を示す概略正面図である
。 第10図(a)はバイアスリードを形成する様子を示す
概略平面図である。 同図(b)及び(C)はそれぞれ同図(a)のA−A線
及びB−E線に沿う概略断面図である。 第11図(a)は絶縁層を形成する様子を示す概略縦断
面図である。 同図(b)は同図(a)のC−C線に沿う概略断面図で
ある。 第12図(alは磁気抵抗効果素子を形成する様子を示
す概略平面図である。 同図(b)及び(C)はそれぞれ同図(a)のE−E線
及びF−F線に沿う概略断面図である。 第13図はCoP層を形成する様子を示す概略平面図で
ある。 第14図(a)はシグナルリードを形成する様子を示す
概略平面図である。 同図(b)及び(C)はそれぞれ同図(a)のG−G線
及び1−T線に沿う概略断面図である。 第15図(a)はエツチングを施す様子を示す概略平面
図である。 同図(b)は同図(a)のJ−J線に沿う概略断面図で
ある。 第16図(a)はフロント側及びへツク側上部コアを形
成する様子を示す概略平面図である。 同図Φ)は同図(a)のに−に線に沿う概略断面図であ
る。 第17図乃至第19回はそれぞれスライダの加工工程を
示す概略斜視図である。 第20図はスライダに磁気ヘッド本体を接着する様子を
示す斜視図である。 第21図は磁気抵抗効果素子に加わる磁場の強さと抵抗
変化の関係を示すグラフである。 第22図は本発明の他の実施例を示すものである。 第22図(a)は第2実施例における磁気ヘッド本体を
示す概略平面図である。 同図ら)は同図(a)のM−M線に沿う概略断面図であ
る。 同図(C)は磁気ヘッド本体を示す概略正面図である。 6は記録膜(記録媒体)、14は磁気ヘッド本体、15
は再生ヘッド部、16は磁気コア(基材)、17はフロ
ント側薄膜コア、21・70は磁気抵抗効果素子、26
・66は凸部(湾曲部)、37・65はギャップ層、6
1は基板(基材)、62は下部薄膜コア、63はフロン
ト側上部薄膜コア、64はへツク側上部薄膜コアである
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、光アシスト磁気記録により記録媒体上にほぼ円弧状
の磁区をなして記録される情報の再生に使用する磁気ヘ
ッドであって、 基材上に形成され、上記記録媒体上の磁区の形状に対応
してほぼ円弧状に湾曲した磁気的ギャップ部を有する薄
膜コアと、上記磁気的ギャップ部から薄膜コアを介して
導かれる磁束に基づいて記録媒体上の情報の検出を行う
磁気抵抗効果素子とを備えていることを特徴とする磁気
ヘッド。 2、上記基材上にほぼ円弧状をなす湾曲部をエッチング
により形成する工程と、湾曲部の形成された基材上に上
記湾曲部に対応した湾曲形状を有する磁気的ギャップ部
を備えた薄膜コアを形成する工程と、上記磁気抵抗効果
素子を薄膜により形成する工程とを有することを特徴と
する請求項第1項に記録の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2159552A JP2769025B2 (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2159552A JP2769025B2 (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0447512A true JPH0447512A (ja) | 1992-02-17 |
JP2769025B2 JP2769025B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=15696238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2159552A Expired - Lifetime JP2769025B2 (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2769025B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001065547A1 (fr) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Hitachi, Ltd. | Procede et dispositif d'enregistrement/lecture d'informations et support d'enregistrement d'informations |
WO2002011128A3 (en) * | 2000-07-28 | 2002-06-13 | Koninkl Philips Electronics Nv | Magnetic scanning system |
US7545595B2 (en) | 2002-08-09 | 2009-06-09 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic disk apparatus having an adjustable mechanism to compensate write or heat element for off-tracking position with yaw angle |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0298806A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-11 | Canon Inc | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP2159552A patent/JP2769025B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0298806A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-11 | Canon Inc | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
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US7688685B1 (en) | 2000-03-01 | 2010-03-30 | Hitachi, Ltd. | Magneto-optical recording device capable of changing the shapes of heating areas |
US8059497B2 (en) | 2000-03-01 | 2011-11-15 | Hitachi, Ltd. | Megneto-optical recording device capable of changing the shapes of heating areas |
WO2002011128A3 (en) * | 2000-07-28 | 2002-06-13 | Koninkl Philips Electronics Nv | Magnetic scanning system |
US7545595B2 (en) | 2002-08-09 | 2009-06-09 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic disk apparatus having an adjustable mechanism to compensate write or heat element for off-tracking position with yaw angle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2769025B2 (ja) | 1998-06-25 |
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