JP2003338012A - 磁気記録ヘッド装置、磁気再生ヘッド装置及び磁気ヘッド装置並びにこれらを用いたテープドライブ装置及びディスクドライブ装置 - Google Patents

磁気記録ヘッド装置、磁気再生ヘッド装置及び磁気ヘッド装置並びにこれらを用いたテープドライブ装置及びディスクドライブ装置

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JP2003338012A
JP2003338012A JP2002140556A JP2002140556A JP2003338012A JP 2003338012 A JP2003338012 A JP 2003338012A JP 2002140556 A JP2002140556 A JP 2002140556A JP 2002140556 A JP2002140556 A JP 2002140556A JP 2003338012 A JP2003338012 A JP 2003338012A
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head
magnetic recording
recording head
layer
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Tadashi Osue
匡 尾末
Yutaka Hayata
裕 早田
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッド素子のマルチ化による記録密度の
さらなる高密度化を図る。 【解決手段】 薄膜プロセスにより製造される磁気記録
ヘッド素子２８が２つの絶縁層２４、２４に挟まれて積
層された磁気記録ヘッド層２１を非磁性基板（非磁性材
料からなる基材）２２に複数積層すると共に、すべての
磁気記録ヘッド素子を上記積層方向に対してヘッド幅方
向にずらして形成した磁気記録ヘッド装置２０であっ
て、上記磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド
素子が所定のピッチで形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録ヘッド装
置、磁気再生ヘッド装置及び磁気ヘッド装置並びにこれ
らを用いたテープドライブ装置及びディスクドライブ装
置に関する。詳しくは、磁気ヘッド（磁気記録ヘッド及
び磁気再生ヘッドの両方を含む。以下同じ。）を複数配
置すること（以下、「磁気ヘッドのマルチ化」とい
う。）を容易にし、記録密度の高密度化を図る技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ヘッドにおいては、磁気記録
媒体の大容量化を図るために、更なる高密度記録が求め
られ、記録トラックのトラック幅を狭くすること（以
下、「狭幅化」という。）に適した磁気ヘッドが採用さ
れるようになってきている。
【０００３】また、磁気記録の大容量化、高密度化の実
現化のために複数のチャンネルを設けること（以下、
「多チャンネル化」という。）が望まれ、磁気ヘッドの
マルチ化が求められている。
【０００４】そして、磁気ヘッドのマルチ化した磁気ヘ
ッド装置としては、たとえば、１つのヘッド基板に磁気
シールド層、絶縁層などを介して磁気記録ヘッド素子又
は磁気再生ヘッド素子を複数積層して形成したものが本
出願人により提案されている。
【０００５】特願２００１−６７５０号で提案した磁気
ヘッド装置は、磁気記録ヘッド装置に関するもので、特
願２０００−３４８３７７号で提案した磁気ヘッド装置
は、磁気再生ヘッド装置に関するものである。
【０００６】いずれの磁気ヘッド装置も、単一の磁気ヘ
ッド素子を有する磁気記録ヘッド層又は磁気再生ヘッド
層を非磁性材料からなる基材に複数積層し、すべての磁
気ヘッド素子を積層方向に対してほぼ直交する方向（以
下、「ヘッド幅方向」という。）にずらして形成したも
のである。
【０００７】これにより、磁気ヘッドのマルチ化が可能
となり、かつ、ヘッド幅方向において各磁気ヘッドを近
接又はオーバーラップさせることができ、記録トラック
の狭幅化に対応することができる。
【０００８】ところで、近年、磁気記録媒体におけるチ
ャンネル数は、２チャンネル、４チャンネルに止まら
ず、数十チャンネル、例えば、４０チャンネルなどが求
められている。これは、例えば、情報記録の技術分野に
おいて、記録速度又は再生速度の更なる高速化が求めら
れており、記録媒体への記録に関してより多くのチャン
ネルを有することが必要となっているためである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな磁気記録ヘッド装置又は磁気再生ヘッド装置におい
て、例えば、４０チャンネルの磁気ヘッド装置を製造し
ようとした場合、磁気ヘッド素子を有する層、即ち、磁
気ヘッド層を４０層、積層しなければならないことにな
る。
【００１０】ところが、幾重にも磁気ヘッド層を積層し
ていった場合、各磁気ヘッド素子の幅方向における位置
精度誤差（アライメント誤差）により、下段の磁気ヘッ
ド素子と上段の磁気ヘッド素子とのヘッド幅方向におけ
る位置ずれが大きくなりすぎるという問題がある。
【００１１】即ち、例えば、１μmのヘッド幅の磁気ヘ
ッド素子を形成する場合、積層方向において隣接する２
つの磁気ヘッド素子のアライメント誤差は０．０５μm
くらいあると考えられる。
【００１２】これは、薄膜プロセスにより磁気ヘッド素
子を形成する場合、各層をマスクによりマスキングして
成膜（蒸着など）を行って形成するが、積層していく場
合の上記マスクの位置精度に限界があることに起因す
る。
【００１３】そして、例えば、上記１μmのヘッド幅の
磁気ヘッド素子で磁気ヘッド層を４０層積層した場合、
最下段と最上段の磁気ヘッド素子のずれは、最大で、 ０．０５μm×４０＝２μm となってしまい、磁気ヘッド素子幅（磁気記録ヘッド素
子の場合にはトラック幅でもある。）に対するずれの割
合が無視できないものとなる。
【００１４】そのため、磁気ヘッド層を幾重にも積層し
ていくには限界があり、従って、多チャンネル化、延い
ては、記録密度の高密度化にも限界があった。
【００１５】そこで、本発明は、磁気ヘッド素子のマル
チ化による記録密度のさらなる高密度化を図ることを課
題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明磁気記録ヘッド装置は、薄膜プロセスにより
製造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれ
て積層された磁気記録ヘッド層を非磁性材料からなる基
材に複数積層すると共に、すべての磁気記録ヘッド素子
を上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気記録ヘッド
装置であって、上記磁気記録ヘッド層には、複数の磁気
記録ヘッド素子が所定のピッチで形成されたものであ
る。
【００１７】また、本発明テープドライブ装置は、テー
プ状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気記録ヘッド
装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に沿っ
て走行させるテープ走行手段とを備えたテープドライブ
装置において、上記磁気記録ヘッド装置が、薄膜プロセ
スにより製造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層
に挟まれて積層された磁気記録ヘッド層を非磁性材料か
らなる基材に複数積層すると共に、すべての磁気記録ヘ
ッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気記
録ヘッド装置であって、上記磁気記録ヘッド層には、複
数の磁気記録ヘッド素子が所定のピッチで形成されたも
のである。
【００１８】したがって、本発明にあっては、各磁気記
録ヘッド層に複数の磁気記録ヘッド素子を所定のピッチ
で形成したので、積層数の整数倍（２以上の自然数）の
磁気記録ヘッド数を有する磁気記録ヘッド装置で記録ト
ラックの形成を行う。
【００１９】また、上記課題を解決するために、本発明
磁気再生ヘッド装置は、薄膜プロセスにより製造される
磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて
積層された磁気再生ヘッド層を非磁性材料からなる基材
に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素子を
上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気再生ヘッド装
置であって、上記磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再
生ヘッド素子が所定のピッチで形成されたものである。
【００２０】また、別の本発明テープドライブ装置は、
テープ状記録媒体に対して信号の再生を行う磁気再生ヘ
ッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に
沿って走行させるテープ走行手段とを備えたテープドラ
イブ装置において、上記磁気再生ヘッド装置が、薄膜プ
ロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２つの磁
気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッド層を
非磁性材料からなる基材に複数積層すると共に、すべて
の磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形
成した磁気再生ヘッド装置であって、上記磁気再生ヘッ
ド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチで
形成されたものである。
【００２１】したがって、本発明にあっては、各磁気再
生ヘッド層に複数の磁気再生ヘッド素子を所定のピッチ
で形成したので、積層数の整数倍（２以上の自然数）の
磁気再生ヘッド数を有する磁気再生ヘッド装置で記録ト
ラックの再生を行う。
【００２２】さらに、上記課題を解決するために、本発
明磁気ヘッド装置は、薄膜プロセスにより製造される磁
気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて積
層された磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスにより製造
される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて積
層された磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料からなる基
材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素子
を上記ヘッド幅方向にずらして形成し、また、すべての
磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成
した磁気ヘッド装置であって、各磁気再生ヘッド層に
は、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチで形成さ
れ、各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素
子が上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド素子
の形成ピッチと同じピッチで形成され、上記各磁気再生
ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とをヘッド幅方向に
おいてほぼ同じ位置に形成して対を為すようにしたもの
である。
【００２３】また、さらに別の本発明テープドライブ装
置は、テープ状記録媒体に対して信号の記録及び再生を
行う磁気ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の
走行経路に沿って走行させるテープ走行手段とを備えた
テープドライブ装置において、上記磁気ヘッド装置が、
薄膜プロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２
つの磁気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッ
ド層と、薄膜プロセスにより製造される磁気記録ヘッド
素子が２つの絶縁層に挟まれて積層された磁気記録ヘッ
ド層とを、非磁性材料からなる基材に複数積層すると共
に、すべての磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向に
ずらして形成し、また、すべての磁気記録ヘッド素子を
上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気ヘッド装置で
あって、各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッ
ド素子が所定のピッチで形成され、各磁気記録ヘッド層
には、複数の磁気記録ヘッド素子が上記磁気再生ヘッド
層における磁気再生ヘッド素子の形成ピッチと同じピッ
チで形成され、上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録
ヘッド素子とをヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形
成して対を為すようにしたものである。
【００２４】さらに、本発明ディスクドライブ装置は、
ディスク状記録媒体に対して信号の記録及び再生を行う
磁気ヘッド装置と、上記ディスク状記録媒体を回転させ
る回転駆動機構とを備えたディスクドライブ装置におい
て、上記磁気ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造さ
れる磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟ま
れて積層された磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスによ
り製造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟ま
れて積層された磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料から
なる基材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッ
ド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成し、また、す
べての磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらし
て形成した磁気ヘッド装置であって、各磁気再生ヘッド
層には、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチで形
成され、各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッ
ド素子が上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド
素子の形成ピッチと同じピッチで形成され、上記各磁気
再生ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とをヘッド幅方
向においてほぼ同じ位置に形成して対を為すようにした
ものである。
【００２５】したがって、本発明にあっては、各磁気ヘ
ッド層に複数の磁気再生ヘッド素子及び磁気記録ヘッド
素子を所定のピッチで形成したので、積層数の整数倍
（２以上の自然数）の磁気再生ヘッド数及び磁気記録ヘ
ッド数を有する磁気ヘッド装置で記録トラックの再生及
び形成を行う。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の詳細を添付図面
に示した各実施の形態に従って説明する。
【００２７】先ず、テープドライブ装置の概要を図１に
よって説明する。
【００２８】テープドライブ装置１は、回転ドラム装置
２と、テープカセット３からテープ状記録媒体４を引き
出すとともに、引き出したテープ状記録媒体４を上記回
転ドラム装置２に巻き付けて所定のテープパスを形成す
るガイドピン５、５、・・・と、テープカセット３のリ
ール６、６を支持するリール台７、７と、ピンチローラ
８と協動してテープ状記録媒体４を走行させるキャプス
タン軸９等を備える（図１参照）。
【００２９】回転ドラム装置２は、シャーシ１０に対し
て軸心がやや斜めに傾斜して配設され、テープカセット
３が装着されるとテープ状記録媒体４がテープカセット
３からガイドピン５、５、・・・により回転ドラム装置
２側に引き出され、回転ドラム装置２に巻き付けられる
とともに、テープ状記録媒体４がピンチローラ８とキャ
プスタン軸９とに狭持されてテープパスが形成される
（図１参照）。
【００３０】図１は、テープカセット３がテープドライ
ブ装置１に装着されてテープパスが形成された状態を概
略的に示すものである。
【００３１】テープパスが形成され、回転ドラム装置２
を回転させ、キャプスタン軸９を回転させると、テープ
状記録媒体４が一定速度で走行する。
【００３２】尚、上記した「ガイドピン５、ピンチロー
ラ８、キャプスタン軸９」などが、特許請求の範囲の請
求項９に記載した「テープ状記録媒体を所定の走行経路
に沿って走行させるテープ走行手段」に相当する。
【００３３】上記回転ドラム装置２は、シャーシ１０に
立設された固定軸１１と、該固定軸１１に対してベアリ
ング（図示は省略する。）を介して回転自在に支持され
た回転ドラム１２と、該回転ドラム１２の下側に配置さ
れ上記シャーシ１０に固着された固定ドラム１３を備
え、上記固定ドラム１３と回転ドラム１２とが所定の間
隙を挟んで対向されており、回転ドラム１２の下端縁に
は、全周で１箇所の切欠（図示は省略する。）が形成さ
れ、該切欠内に後述する磁気記録ヘッド装置２０、磁気
再生ヘッド装置４０又は磁気ヘッド装置６０が配置され
ている。
【００３４】図２乃至図５は、本発明の第１の実施の形
態を示すもので、８つの磁気記録ヘッド素子を有する磁
気記録ヘッド装置２０を回転ドラム装置２に設けたもの
である。
【００３５】図２は磁気記録ヘッド装置２０の概略を拡
大して示すものであり、テープ状記録媒体４と接する側
から見た正面図である。
【００３６】磁気記録ヘッド装置２０は、図２に示すよ
うに、４層の磁気記録ヘッド層２１、２１、・・・を下
部非磁性基板２２に順次積層し、最上段の磁気記録ヘッ
ド層２１の上に上部非磁性基板２３を積層して形成され
ている。
【００３７】各磁気記録ヘッド層２１は、２つの絶縁層
２４、２４と、これら絶縁層２４と２４との間に狭持さ
れた磁性膜層２５を有し、該磁性膜層２５にはその一部
が正面から見て上方へ突出した下部磁極２６が形成され
ると共に、該下部磁極２６の上方に所定の間隔を空けて
上部磁極２７が形成され、下部磁極２６と上部磁極２７
との間に所定の間隙（以下、「ギャップ」という。）Ｇ
が形成された磁気記録ヘッド素子２８が形成されている
（図２参照）。
【００３８】具体的には、磁気記録ヘッド素子２８は、
側方から見てＵ字状に形成されたコア２９にコイル３０
が巻回されてなり、該コア２９の先端部がそれぞれ上記
下部磁極２６と上部磁極２７になっている（図３参
照）。
【００３９】そして、上記コイル３０に電流を流すこと
により、下部磁極２６と上部磁極２７との間のギャップ
Ｇに磁界が発生し、該ギャップＧに接触して又は近接し
て走行するテープ状記録媒体４に記録トラックＴｒが形
成されることになる（図２参照）。
【００４０】そして、このような磁気記録ヘッド素子２
８は、例えば、その幅寸法（ヘッド幅Ｗ1）がほぼＷ1＝
１μｍに形成され、また、上記ギャップＧがＧ＝０．１
μｍに形成されている（図２参照）。
【００４１】下部非磁性基板２２及び上部非磁性基板２
３は、たとえば、アルチック（ＡｌＴｉｃ）から成り、
絶縁層２４、２４、・・・は、たとえば、アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）から成り、さらに、磁性膜層２５は高磁性体材
料から成り、高磁性体材料としては、たとえば、Ｎｉ−
Ｆｅ（パーマロイ）、Ｓｉ−Ａｌ−Ｆｅ（センダス
ト）、アモルファス鉄心材料（高透磁率薄帯）などが好
適である。
【００４２】１つの磁気記録ヘッド層２１には２つの磁
気記録ヘッド素子２８、２８がそのヘッド幅方向に所定
距離離間して配置され、これにより、当該磁気記録ヘッ
ド装置２０は全部で８個の磁気記録ヘッド素子２８、２
８、・・・を有する（図２参照）。
【００４３】また、上記積層方向において絶縁層２４を
介して隣接する２つの磁気記録ヘッド素子２８、２８
は、一層の絶縁層２４を共有しており、よって、磁気記
録ヘッド装置２０としては、下部非磁性基板２２−絶縁
層２４−磁性膜層２５−絶縁層２４−磁性膜層２５−絶
縁層２４−・・・−絶縁層２４−上部非磁性基板２３と
いうように、５つの絶縁層２４、２４、・・・と４つの
磁性膜層２５、２５、・・・とが交互に下部非磁性基板
２２と上部非磁性基板２３との間に積層されている（図
２参照）。
【００４４】このように積層された磁気記録ヘッド層２
１、２１、・・・における、各磁気記録ヘッド素子２
８、２８、・・・の位置関係は、積層方向に見て隣接す
る側の端部がほぼ一致するように形成されており、した
がって、積層された磁気記録ヘッド素子２８、２８、・
・・のヘッド幅方向に見た形成ピッチＰ1は磁気記録ヘ
ッド素子２８、２８、・・・の幅寸法（Ｗ1＝１μｍ）
とほぼ同じ（Ｐ1＝Ｗ1）に形成されている（図２参
照）。
【００４５】また、同一磁気記録ヘッド層２１内の２つ
の磁気記録ヘッド素子２８と２８との間の間隔ｗ1は、
ｗ1＝３μｍに形成されており、これにより、最上段の
磁気記録ヘッド層２１の左側の磁気記録ヘッド素子２８
と最下段の磁気記録ヘッド層２１の右側の磁気記録ヘッ
ド素子２８とが積層方向に見て重ならないでかつ端部同
士が積層方向に見て一致するように位置されている（図
２参照）。
【００４６】したがって、このように構成された磁気記
録ヘッド装置２０における８つの磁気記録ヘッド素子２
８、２８、・・・はそのすべてが積層方向に見て重なら
ないように位置されている。
【００４７】また、このような磁気記録ヘッド装置２０
は薄膜プロセスで製造され、積層方向において隣接する
２つの磁気記録ヘッド素子２８と２８とのアライメント
誤差を０．０５μｍとすると、最下段の磁気記録ヘッド
素子２８と最上段の磁気記録ヘッド素子２８との最大の
アライメント誤差は、 ４×０．０５μｍ＝０．２μｍ で済む。
【００４８】尚、同一の磁気記録ヘッド層２１における
磁気記録ヘッド素子２８、２８は同じマスクで形成され
るため、これら２つの磁気記録ヘッド素子２８、２８間
には、アライメント誤差はほとんど発生することがな
い。
【００４９】そのため、８つの磁気記録ヘッド素子２
８、２８、・・・のうち、アライメント誤差が問題とな
るのは、積層方向における磁気記録ヘッド素子２８、２
８、・・・だけであり、この第１の実施の形態にかかる
磁気記録ヘッド装置２０にあっては、上述のように、Ｗ
1＝１μｍ幅の磁気記録ヘッド素子２８に対するずれの
割合を２０％に抑えることができ、記録トラックＴｒ、
Ｔｒ、・・・を記録するのに支障のない範囲にすること
ができる。
【００５０】そして、チャンネル数を増やす場合には、
積層数を増やすのでなく、同一磁気記録ヘッド層２１内
に形成する磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・の数
を増やすことにより、各磁気記録ヘッド素子２８、２
８、・・・の位置精度を高くすることができ、これによ
り、従来よりも狭幅化した記録トラックＴｒの記録が可
能になり、かつ、従来よりもチャンネル数の多い、多チ
ャンネル化が可能になる。
【００５１】尚、上記磁気記録ヘッド素子２８のヘッド
幅Ｗ1に対するずれの割合の許容範囲を２０％とした
が、これはあくまで一例であって、その許容範囲が大き
い場合には、積層数を更に多くすることが可能であり、
逆に、許容範囲が狭い場合には、積層数を少なくすれば
よい。
【００５２】そして、このような磁気記録ヘッド装置２
０は、テープ状記録媒体４に対してスキャン（走査）す
る方向が上記積層方向と一致するように回転ドラム１２
に配設される（図４参照）。
【００５３】しかして、上記磁気記録ヘッド装置２０に
よれば、各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・の幅
寸法を小さく、かつ、各磁気記録ヘッド素子２８、２
８、・・・間のアライメント誤差を小さく形成すること
ができ、よって、狭幅化され高密度化された記録トラッ
クを記録することでき、磁気記録ヘッド装置２０の更に
多くのチャンネル数の多チャンネル化を実現することが
できる（図５参照）。
【００５４】また、上記第１の実施の形態にあっては、
積層した４つの磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・
は、これらのうち積層方向で隣接する２つの磁気記録ヘ
ッド素子２８と２８とがその間の絶縁層２４を共有した
ので、積層工程を１つ省略することができ、コストダウ
ンを図ることができる。
【００５５】上記第１の実施の形態において、４つの磁
気記録ヘッド素子２８、２８、・・・を積層した磁気記
録ヘッド装置２０について説明したが、その積層数はこ
れに限らず、２つ、３つでも可能であり、上記積層した
磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・間におけるアラ
イメント誤差が許容される範囲での積層が可能である。
【００５６】また、上記した磁気記録ヘッド装置２０
は、磁気記録ヘッド層２１、２１、・・・を上下の非磁
性基板２２、２３により狭持するように形成したものに
ついて説明したが、これは、テープ状記録媒体４の磁気
記録ヘッド装置として好適なものであり、ディスク状記
録媒体の磁気記録ヘッド装置として適用する場合には、
一枚の非磁性基板に上述したような絶縁層２４、２４、
・・・及び磁気記録ヘッド層２１、２１、・・・を積層
するようにすればよい。
【００５７】さらに、上記第１の実施の形態にあって
は、積層方向で隣接した磁気記録ヘッド素子２８と２８
の左端部と右端部とが一致するように形成したが、本発
明はこれに限らず、端部同士が重なる、いわゆる、オー
バーラップするようにしても良い。これにより、磁気記
録ヘッド素子２８のヘッド幅よりも狭い記録トラックの
形成が可能になる。尚、この場合、最上段の左側の磁気
記録ヘッド素子２８と最下段の右側の磁気記録ヘッド素
子２８とが積層方向に見て重ならず、両端部が一致又は
やや間隔を空けて配置するようにする。これは、最下段
側の磁気記録ヘッド素子２８、２８が先に記録し、その
後、上段側に配置された磁気記録ヘッド素子２８、２
８、・・・が順次記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・を形
成していくため、最下段の右側に位置する磁気記録ヘッ
ド素子２８によって形成された記録トラックＴｒの左側
端部が最上段の左側に位置する磁気記録ヘッド素子２８
によって形成された記録トラックＴｒの右側端部によっ
て重ね書きされないようにするためである。
【００５８】尚、上記第１の実施の形態にあっては、磁
気記録ヘッド層２１において、積層した４つの磁気記録
ヘッド素子２８、２８、・・・はこれらの間の絶縁層２
４を共有したが、本発明はこれに限らず、各磁気記録ヘ
ッド層２１毎に各別の絶縁層２４を形成するようにして
も良い。
【００５９】図６及び図７は本発明の第２の実施の形態
を示すもので、この第２の実施の形態にかかる磁気記録
ヘッド装置２０Ａは、上記第１の実施の形態にかかる磁
気記録ヘッド装置２０と比較して、８つの磁気記録ヘッ
ド素子を有する点では共通するが、同一膜層に形成され
る２つの磁気記録ヘッド素子と磁気記録ヘッド素子との
間の間隔が相違する。そこで、その相違する点について
主に説明し、他の部分については、上記第１の実施の形
態にかかる磁気記録ヘッド装置２０における同様な部分
に付した符号と同様の符号を付することによりその説明
を省略する。
【００６０】積層された磁気記録ヘッド層２１Ａ、２１
Ａ、・・・における、各磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２
８Ａ、・・・の位置関係は、積層方向に見て隣接する側
の端部がほぼ一致するように形成されており、したがっ
て、積層された磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・
・・のヘッド幅方向に見た形成ピッチＰ2は磁気記録ヘ
ッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・・の幅寸法（Ｗ2＝１μ
ｍ）とほぼ同じ（Ｐ2＝Ｗ2）に形成されている（図６参
照）。
【００６１】また、同一磁気記録ヘッド層２１Ａ内の２
つの磁気記録ヘッド素子２８Ａと２８Ａとの間の間隔ｗ
2は、ｗ2＝１１μｍに形成されている（図６参照）。
【００６２】即ち、図６で示すように、積層された８つ
の磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・・は、左側
４つの磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・・のグ
ループ（以下、「左側磁極グループ」という。）３５Ｌ
と右側４つの磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・
・のグループ（以下、「右側磁極グループ」という。）
３５Ｒとに分けられ、これら磁極グループ３５Ｌと３５
Ｒとの間の間隔ｇ2がｇ2＝８μｍになっており、２つの
磁極グループ３５Ｌ、３５Ｒとの間の間隔ｇ2には、２
つの磁極グループを配設できるスペースが空けられてい
る。
【００６３】これにより、磁気記録ヘッド装置２０Ａに
は、磁気記録ヘッド素子２８Ａが形成された左端側の部
位から右端側の部位までの幅ｂ2が４つの磁極グループ
を配設できるｂ2＝１６μｍに形成されている（図６参
照）。
【００６４】このように形成された磁気記録ヘッド装置
２０Ａは上記第１の実施の形態にかかる磁気記録ヘッド
装置２０と同様に、回転ドラム１２の切欠内に配置され
る。
【００６５】そして、回転ドラム１２が１回転すると、
各磁極グループ３５Ｌ、３５Ｒは記録トラックＴｒ、Ｔ
ｒ、・・・の幅方向において磁極グループ３５Ｒ、３５
Ｌの２つ分の幅、ずれた位置を走査するようになってい
る（図７参照）。
【００６６】これにより、磁気記録ヘッド装置２０Ａ
は、回転ドラム１２の３回転により記録トラックＴｒの
幅方向において隙間がない記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・
・・を形成することができる（図７参照）。
【００６７】そして、この第２の実施の形態にかかる磁
気記録ヘッド装置２０Ａにあっても、上記第１の実施の
形態にかかる磁気記録ヘッド装置２０と同様に、各磁気
記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・・の幅寸法を小さ
く、かつ、各磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・・
・間のアライメント誤差を小さく形成することができ、
よって、狭幅化され高密度化された記録トラックを記録
することでき、磁気記録ヘッド装置２０Ａの多チャンネ
ル化を実現することができる。
【００６８】図８乃至図１０は、本発明の第３の実施の
形態を示すもので、８つの磁気抵抗効果型薄膜ヘッド
（以下、「ＭＲヘッド」という。）を有する磁気再生ヘ
ッド装置に適用したものである。
【００６９】尚、この第３の実施の形態にかかる磁気再
生ヘッド装置４０のＭＲヘッドの配列は、上記第１の磁
気記録ヘッド装置２０における磁気記録ヘッド素子２
８、２８、・・・の配列とほぼ同じにされている。
【００７０】図８は磁気再生ヘッド装置４０の概略を拡
大して示すものであり、テープ状記録媒体４と接する側
から見た正面図である。
【００７１】磁気再生ヘッド装置４０は、図８に示すよ
うに、４層の磁気再生ヘッド層４１、４１、・・・を２
つの非磁性基板４２、４３及び絶縁層４４、４４で積層
方向から狭持して形成されている。
【００７２】具体的には、下部非磁性基板４２に絶縁層
４４を積層し、該絶縁層４４に上記複数の磁気再生ヘッ
ド層４１、４１、・・・を積層し、次に、絶縁層４４を
積層した後、上部非磁性基板４３を積層する（図８参
照）。
【００７３】また、各磁気再生ヘッド層４１は、２つの
磁気シールド層４５、４５と、これら２つの磁気シール
ド層４５と４５との間に狭持されたＭＲヘッド（請求項
に記載した磁気再生ヘッド素子に相当する。）４６と、
該ＭＲヘッド４６と同じ層でＭＲヘッド４６を左右から
挟むように位置されたハード膜４７、４７とから成る。
尚、ＭＲヘッド４６をその幅方向から狭持することによ
り、ハード膜４７は、ＭＲヘッド４６に対して水平バイ
アスを与える（図８参照）。
【００７４】また、各ＭＲヘッド４６は、下側から垂直
バイアス膜としてのＳＡＬ（soft adjacent layer）膜
４８、中間分離膜（絶縁膜）４９、磁気抵抗効果膜（Ｍ
Ｒエレメント）５０の順に積層して構成されている（図
８参照）。なお、ＭＲヘッド４６は薄膜プロセス技術に
より製造されるため、その幅寸法Ｗ3は、たとえば、Ｗ3
＝１μｍに形成することができる。
【００７５】磁気再生ヘッド層４１には２つのＭＲヘッ
ド４６、４６がそのヘッド幅方向に所定距離離間して配
置され、これにより、当該磁気再生ヘッド装置４０は全
部で８個のＭＲヘッド４６、４６、・・・を有する（図
８参照）。
【００７６】また、上記積層方向において磁気シールド
層４５を介して隣接する２つのＭＲヘッド４６、４６
は、一層の磁気シールド層４５を共有しており、よっ
て、磁気再生ヘッド装置４０としては、下部非磁性基板
４２−絶縁層４４−磁気シールド層４５−ＭＲヘッド４
６又はハード膜４７−磁気シールド層４５−ＭＲヘッド
４６又はハード膜４７−磁気シールド層４５−・・・−
磁気シールド層４５−絶縁層４４−上部非磁性基板４３
というように、５つの磁気シールド層４５、４５、・・
・と４つのＭＲヘッド４６又はハード膜４７とが交互に
積層されている（図８参照）。
【００７７】このように積層された磁気再生ヘッド層４
１、４１、・・・における、各ＭＲヘッド４６、４６、
・・・の位置関係は、積層方向に見て隣接する側の端部
がほぼ一致するように形成されており、したがって、積
層されたＭＲヘッド４６、４６・・・のヘッド幅方向に
見た形成ピッチＰ3はＭＲヘッド４６、４６、・・・の
幅寸法（Ｗ3＝１μｍ）とほぼ同じ（Ｐ3＝Ｗ3）に形成
されている。
【００７８】また、同一磁気再生ヘッド層４１内の２つ
のＭＲヘッド４６と４６との間の間隔ｗ3は、ｗ3＝３μ
ｍに形成されており、これにより、最上段の磁気再生ヘ
ッド層４１の左側のＭＲヘッド４６と最下段の磁気再生
ヘッド層４１の右側のＭＲヘッド４６とが積層方向に見
て重ならないでかつ端部同士が積層方向に見て一致する
ように位置されている（図８参照）。
【００７９】したがって、このように構成された磁気再
生ヘッド装置４０における８つのＭＲヘッド４６、４
６、・・・はそのすべてが積層方向に見て重ならないよ
うに位置されている。
【００８０】また、このような磁気再生ヘッド装置４０
は薄膜プロセスで製造され、積層方向において隣接する
２つのＭＲヘッド４６と４６とのアライメント誤差を
０．０５μｍとすると、最下段のＭＲヘッド４６と最上
段のＭＲヘッド４６との最大のアライメント誤差は、 ４×０．０５μｍ＝０．２μｍ で済む。
【００８１】尚、同じ層におけるＭＲヘッド４６、４６
は同じマスクで形成されるため、これら２つのＭＲヘッ
ド４６、４６間には、アライメント誤差はほとんど発生
することがない。
【００８２】そのため、８つのＭＲヘッド４６、４６、
・・・のうち、アライメント誤差が問題となるのは、積
層方向におけるＭＲヘッド４６、４６、・・・だけであ
り、この第３の実施の形態にかかる磁気再生ヘッド装置
４０にあっては、上述のように、Ｗ3＝１μｍ幅のＭＲ
ヘッド４６に対するずれの割合を２０％に抑えることが
でき、記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・を再生するのに
支障のない範囲にすることができる。
【００８３】そして、チャンネル数を増やす場合には、
積層数を増やすのでなく、同一磁気再生ヘッド層４１内
に形成するＭＲヘッド４６、４６、・・・の数を増やす
ことにより、各ＭＲヘッド４６、４６、・・・の位置精
度を高くすることができ、これにより、従来よりも狭幅
化された記録トラックの再生が可能になり、かつ、従来
よりもチャンネル数の多い、多チャンネル化が可能にな
る。
【００８４】尚、上記ＭＲヘッド４６のヘッド幅に対す
るずれの許容範囲を２０％としたが、これはあくまで一
例であって、その許容範囲が大きい場合には、積層数を
更に多くすることが可能であり、逆に、許容範囲が狭い
場合には、積層数を少なくすればよい。
【００８５】そして、このような磁気再生ヘッド装置４
０は、テープ状記録媒体４に対してスキャン（走査）す
る方向が上記積層方向と一致するように回転ドラム１２
に配設される（図９参照）。
【００８６】しかして、上記磁気再生ヘッド装置４０に
よれば、各ＭＲヘッド４６、４６、・・・の幅寸法を小
さく、かつ、各ＭＲヘッド４６、４６、・・・間のアラ
イメント誤差を小さく形成することができ、よって、狭
幅化され高密度化された記録トラックを再生することで
き、従来に比して更にチャンネル数の多い、磁気再生ヘ
ッド装置４０の多チャンネル化を実現することができる
（図１０参照）。
【００８７】即ち、例えば、テープ状記録媒体４に記録
された８つの記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・がそのト
ラック幅＝トラックピッチである場合、すなわち、記録
トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・が隙間なく形成されている
場合でも、８つのＭＲヘッド４６、４６、・・・を各別
に記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・に対応させてスキャ
ン（走査）することができる（図１０参照）。
【００８８】また、上記第３の実施の形態にあっては、
積層した４つのＭＲヘッド４６、４６、・・・は、これ
らのうち積層方向で隣接する２つのＭＲヘッド４６と４
６とがその間の磁気シールド層４５を共有したので、積
層工程を１つ省略することができ、コストダウンを図る
ことができる。
【００８９】尚、図示は省略したが、この第３の実施の
形態にかかる磁気再生ヘッド装置４０によれば、同一磁
気再生ヘッド層に複数のＭＲヘッド４６、４６を形成し
たので、これらＭＲヘッド４６、４６の電気回路を積層
していく工程で同時に作製することができ、また、電気
回路の共通化が可能になり、構造を簡単にすることがで
きる。
【００９０】上記第３の実施の形態において、４つのＭ
Ｒヘッド４６、４６、・・・を積層した磁気再生ヘッド
装置４０について説明したが、その積層数はこれに限ら
ず、２つ、３つでも可能であり、上記積層したＭＲヘッ
ド４６、４６、・・・間におけるアライメント誤差が許
容される範囲での積層が可能である。
【００９１】また、上記した磁気再生ヘッド装置４０
は、磁気再生ヘッド層４１、４１、・・・を上下の非磁
性基板４２、４３により狭持するように形成したものに
ついて説明したが、これは、テープ状記録媒体の磁気再
生ヘッド装置として好適なものであり、ディスク状記録
媒体の磁気再生ヘッド装置として適用する場合には、一
枚の非磁性基板に上述したような磁気シールド層４５、
４５、・・・及び磁気再生ヘッド層４１、４１、・・・
を積層するようにすればよい。
【００９２】さらに、上記第３の実施の形態にあって
は、積層方向で隣接したＭＲヘッド４６と４６の左端部
と右端部とが一致するように形成したが、本発明はこれ
に限らず、端部同士が重なる、いわゆる、オーバーラッ
プするようにしても良い。これは、テープ状記録媒体４
に形成された記録トラックＴｒ、Ｔｒ、・・・が、どの
ように形成されているかにより、これに対応させるよう
にＭＲヘッド４６、４６、・・・を形成すればよい。
尚、磁気再生ヘッド装置４０において、ＭＲヘッド４
６、４６、・・・をオーバーラップするように形成する
と、上記特願２０００−３４８３７７号で提案した磁気
再生ヘッド装置の第３の実施の形態で説明したように、
ノントラッキング再生を実現することができる。
【００９３】図１１は、上記第３の実施の形態にかかる
磁気再生ヘッド装置４０の変形例を示すものであり、こ
の変形例にかかる磁気再生ヘッド装置４０Ａは、磁気再
生ヘッド層４１と４１との間に中間絶縁層５１を形成し
たものである。
【００９４】即ち、磁気再生ヘッド装置４０Ａは、下部
非磁性基板４２−絶縁層４４−磁気再生ヘッド層４１−
中間絶縁層５１−磁気再生ヘッド層４１−中間絶縁層５
１−磁気再生ヘッド層４１−中間絶縁層５１−磁気再生
ヘッド層４１−絶縁層４４−上部非磁性基板４３という
ように、４つの磁気再生ヘッド層４１、４１、・・・と
３つの中間絶縁層５１、５１、・・・とが交互に積層さ
れている（図１１参照）。
【００９５】従って、上記第３の実施の形態にかかる磁
気再生ヘッド装置４０のように、磁気シールド層４５、
４５、・・・を積層方向で隣接する磁気再生ヘッド層４
１、４１で共有することはないが、積層方向で隣接する
２つのＭＲヘッド４６と４６との間に、中間絶縁層５１
が形成されているため、両ＭＲヘッド４６、４６間での
クロストークをなくすることができ、更なる高密度化を
実現することが可能となる。
【００９６】図１２及び図１３は本発明の第４の実施の
形態を示すもので、この第４の実施の形態にかかる磁気
再生ヘッド装置４０Ｂは、上記第１の実施の形態にかか
る磁気再生ヘッド装置４０と比較して、８つのＭＲヘッ
ドを有する点では共通するが、同一膜層に形成される２
つのＭＲヘッドとＭＲヘッドとの間の間隔が相違する。
そこで、その相違する点について主に説明し、他の部分
については、上記第３の実施の形態にかかる磁気再生ヘ
ッド装置４０における同様な部分に付した符号と同様の
符号を付することによりその説明を省略する。
【００９７】尚、この第４の実施の形態にかかる磁気再
生ヘッド装置４０ＢのＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａの配列
は、上記第２の実施の形態にかかる磁気記録ヘッド装置
２０Ａにおける磁気記録ヘッド素子２８Ａ、２８Ａ、・
・・の配列とほぼ同じにされている（図１２参照）。
【００９８】積層された磁気再生ヘッド層４１Ａ、４１
Ａ、・・・における、各ＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ、・
・・の位置関係は、積層方向に見て隣接する側の端部が
ほぼ一致するように形成されており、したがって、積層
されたＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ・・・のヘッド幅方向
に見た形成ピッチＰ4はＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ、・
・・の幅寸法（Ｗ4＝１μｍ）とほぼ同じ（Ｐ4＝Ｗ4）
に形成されている（図１２参照）。
【００９９】また、同一磁気再生ヘッド層４１Ａ内の２
つのＭＲヘッド４６Ａと４６Ａとの間の間隔ｗ4は、ｗ4
＝１１μｍに形成されている（図１２参照）。
【０１００】即ち、図１２で示すように、積層された８
つのＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ、・・・は、左側４つの
ＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ、・・・のグループ（以下、
「左側ＭＲヘッドグループ」という。）４６Ｌと右側４
つのＭＲヘッド４６Ａ、４６Ａ、・・・のグループ（以
下、「右側ＭＲヘッドグループ」という。）４６Ｒとに
分けられ、これらＭＲヘッドグループ４６Ｌと４６Ｒと
の間の間隔ｇ4がｇ4＝８μｍになっており、２つのＭＲ
ヘッドグループ４６Ｌと４６Ｒとの間の間隔ｇ 4には、
２つのＭＲヘッドグループを配設することができるスペ
ースが空けられている（図１２参照）。
【０１０１】これにより、磁気再生ヘッド装置４０Ｂに
は、ＭＲヘッド４６Ａが形成された左端側の部位から右
端側の部位までの幅ｂ4が４つのＭＲヘッドグループを
配設することができるｂ4＝１６μｍに形成されている
（図１２参照）。
【０１０２】このように形成された磁気再生ヘッド装置
４０Ｂは上記第１の実施の形態にかかる磁気再生ヘッド
装置４０と同様に、回転ドラム１２の切欠内に配置され
る。
【０１０３】そして、回転ドラム１２が１回転すると、
各ＭＲヘッドグループ４６Ｌ、４６Ｒは記録トラックＴ
ｒ、Ｔｒ、・・・の幅方向においてＭＲヘッドグループ
４６Ｌ、４６Ｒの２つ分の幅、ずれた位置を走査するよ
うになっている（図１３参照）。
【０１０４】これにより、磁気再生ヘッド装置４０Ａ
は、回転ドラム１２の３回転により記録トラックＴｒの
幅方向において隙間なく形成された記録トラックＴｒ、
Ｔｒ、・・・を再生することができる（図１２、図１３
参照）。
【０１０５】図１４は、本発明の第５の実施の形態を示
すもので、８つのＭＲヘッドと８つの磁気記録ヘッド素
子を有する磁気ヘッド装置に適用したものである。
【０１０６】図１４は磁気ヘッド装置６０の概略を拡大
して示すものであり、テープ状記録媒体４と接する側か
ら見た正面図である。
【０１０７】磁気ヘッド装置６０は、図１４に示すよう
に、４層の磁気記録ヘッド層６１、６１、・・・と４層
の磁気再生ヘッド層６２、６２、・・・とを下部非磁性
基板６３に交互に順次積層し、最上段の磁気再生ヘッド
層６２の上に上部非磁性基板６４を積層して形成されて
いる。
【０１０８】尚、各磁気記録ヘッド層６１は上記第１の
実施の形態で説明したものと、また、各磁気再生ヘッド
層６２は上記第３の実施の形態で説明したものとそれぞ
れ同じ構造をしている。
【０１０９】そして、１つの磁気記録ヘッド層６１の各
磁気記録ヘッド素子２８、２８とその上に積層された磁
気再生ヘッド層６２の各ＭＲヘッド４６、４６とは積層
方向に見た位置関係が同じになるように形成されてい
る。
【０１１０】これにより、ヘッド幅方向において、磁気
記録ヘッド層６１における２つの磁気記録ヘッド素子２
８、２８と該磁気記録ヘッド層６１の上に積層された磁
気再生ヘッド層６２における２つのＭＲヘッド４６、４
６とが各別に対応されて、それぞれが対を為す（図１４
参照）。
【０１１１】しかして、かかる磁気ヘッド装置６０によ
れば、各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・及び各
ＭＲヘッド４６、４６、・・・の幅寸法を小さく、か
つ、各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・及び各Ｍ
Ｒヘッド４６、４６、・・・間のアライメント誤差を小
さく形成することができ、よって、狭幅化され高密度化
された記録トラックを記録及び再生することでき、磁気
ヘッド装置６０の多チャンネル化を実現することができ
る。
【０１１２】また、上記第５の実施の形態にあっては、
対を為す磁気記録ヘッド素子２８とＭＲヘッド４６とが
積層方向に隣接した磁気記録ヘッド層６１と磁気再生ヘ
ッド層６２のものであるため、両者を近接して形成する
ことができ、従って、対を為す磁気記録ヘッド素子２８
とＭＲヘッド４６とのヘッド幅方向におけるアライメン
ト誤差を最も少なくした状態で形成することができる。
【０１１３】図１５は、本発明の第６の実施の形態を示
すもので、８つのＭＲヘッドと８つの磁気記録ヘッド素
子を有する磁気ヘッド装置に適用したものである。
【０１１４】図１５は磁気ヘッド装置７０の概略を拡大
して示すものであり、テープ状記録媒体４と接する側か
ら見た正面図である。
【０１１５】磁気ヘッド装置７０は、図１５に示すよう
に、４層の磁気記録ヘッド層７１、７１、・・・を下部
非磁性基板７２に順次積層して磁気記録ヘッド層群７３
を形成し、該磁気記録ヘッド層群７３に４層の磁気再生
ヘッド層７４、７４、・・・を順次積層して磁気再生ヘ
ッド層群７５を形成し、該磁気再生ヘッド層群７５の上
に上部非磁性基板７６を積層して形成されている。
【０１１６】尚、各磁気記録ヘッド層７１は上記第１の
実施の形態で説明したものと、また、各磁気再生ヘッド
層７４は上記第３の実施の形態で説明したものとそれぞ
れ同じ構造をしている。
【０１１７】また、上記磁気記録ヘッド層群７３におけ
る各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・の位置関係
は、上記第１の実施の形態にかかる磁気記録ヘッド装置
２０における各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・
の位置関係と同じに形成され、また、上記磁気再生ヘッ
ド層群７５における各ＭＲヘッド４６、４６、・・・の
位置関係は、上記第３の実施の形態にかかる磁気再生ヘ
ッド装置４０における各ＭＲヘッド４６、４６、・・・
の位置関係と同じに形成されている。
【０１１８】これにより、積層方向における磁気記録ヘ
ッド層群７３と磁気再生ヘッド層群７５とのそれぞれ対
応する各磁気記録ヘッド層７１の磁気記録ヘッド素子２
８、２８と各磁気再生ヘッド層７４のＭＲヘッド４６、
４６とが積層方向に見た位置関係が同じに形成され、そ
れぞれが対を為す（図１５参照）。
【０１１９】しかして、かかる磁気ヘッド装置７０によ
れば、各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・及び各
ＭＲヘッド４６、４６、・・・の幅寸法を小さく、か
つ、各磁気記録ヘッド素子２８、２８、・・・及び各Ｍ
Ｒヘッド４６、４６、・・・間のアライメント誤差を小
さく形成することができ、よって、狭幅化され高密度化
された記録トラックを記録及び再生することでき、磁気
ヘッド装置７０の多チャンネル化を実現することができ
る。
【０１２０】また、上記第６の実施の形態にあっては、
磁気記録ヘッド層７１、７１、・・・を複数積層した
後、磁気再生ヘッド層７４、７４、・・・を複数積層す
ることができ、製造工程の簡略化を図ることができる。
【０１２１】即ち、磁気記録ヘッド層と磁気再生ヘッド
層とはその製造をするための環境、例えば、温度が相違
するため、磁気記録ヘッド層を製造後、別環境にしてか
ら磁気再生ヘッド層を積層するようにすれば良く、製造
環境の変更が１回のみで済み、その分、製造工程を簡略
化することができる。
【０１２２】図１６は、上述した磁気ヘッド装置６０又
は７０を用いたディスクドライブ装置の概要を示す平面
図である。
【０１２３】ディスクドライブ装置８０は、ディスク状
記録媒体８１を回転させる回転駆動機構８２と、上記磁
気ヘッド装置６０又は７０をディスク状記録媒体８１の
半径方向に移動させるためのヘッド移送機構８３を備
え、ヘッド移送機構８３は、磁気ヘッド装置６０又は７
０を支持するヘッドスライダー８４と、該ヘッドスライ
ダー８４をディスク状記録媒体８１に弾接させるための
サスペンション８５と、該サスペンション８５を支える
と共に上記ヘッド移送機構８３に連結されるサスペンシ
ョンアーム８６を有する（図１６参照）。
【０１２４】そして、上記回転駆動機構８２の駆動によ
り、ディスク状記録媒体８１が回転すると、上記ヘッド
スライダー８４に支持された磁気ヘッド装置６０又は７
０がディスク状記録媒体８１に対して信号の記録又は再
生を行うようになっている。
【０１２５】このようなディスク状記録媒体８１に対す
る信号の記録及び再生を行う際、上記磁気ヘッド装置６
０又は７０を用いることにより、多チャンネル化及び高
密度化を実現することができる。
【０１２６】なお、上記各実施の形態においては、８つ
の磁気ヘッドを有する磁気ヘッド装置について説明した
が、本発明はこれに限られるものでないことは勿論であ
る。
【０１２７】また、上記実施の形態において、テープド
ライブ装置として回転ドラムを用いた、いわゆるヘリカ
ルスキャンテープシステムについて説明したが、本発明
はこれに限らず、リニアスキャンテープシステムについ
ても適用できることは勿論である。
【０１２８】この他、上記各実施の形態において示した
各部の具体的な形状乃至構造は、本発明を実施するに当
たって行う具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、
これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈され
ることがあってはならないものである。
【０１２９】
【発明の効果】以上に記載したとおり、本発明磁気記録
ヘッド装置は、薄膜プロセスにより製造される磁気記録
ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて積層された磁気記
録ヘッド層を非磁性材料からなる基材に複数積層すると
共に、すべての磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向
にずらして形成した磁気記録ヘッド装置であって、上記
磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子が所
定のピッチで形成されたことを特徴とする。
【０１３０】また、本発明テープドライブ装置は、テー
プ状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気記録ヘッド
装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に沿っ
て走行させるテープ走行手段とを備えたテープドライブ
装置において、上記磁気記録ヘッド装置が、薄膜プロセ
スにより製造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層
に挟まれて積層された磁気記録ヘッド層を非磁性材料か
らなる基材に複数積層すると共に、すべての磁気記録ヘ
ッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気記
録ヘッド装置であって、上記磁気記録ヘッド層には、複
数の磁気記録ヘッド素子が所定のピッチで形成されたこ
とを特徴とする。
【０１３１】したがって、本発明にあっては、各磁気記
録ヘッド層に複数の磁気記録ヘッド素子を所定のピッチ
で形成したので、各磁気記録ヘッド素子の幅寸法を小さ
く、かつ、各磁気記録ヘッド素子間のアライメント誤差
を小さく形成することができ、よって、狭幅化され高密
度化された記録トラックを記録することでき、磁気記録
ヘッド装置の多チャンネル化を実現することができる。
【０１３２】請求項２及び請求項１０にかかる発明は、
上記積層方向において絶縁層を介して隣接する２つの磁
気記録ヘッド素子が一層の絶縁層を共有したので、積層
工程を１つ省略することができ、コストダウンを図るこ
とができる。
【０１３３】また、本発明磁気再生ヘッド装置は、薄膜
プロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２つの
磁気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッド層
を非磁性材料からなる基材に複数積層すると共に、すべ
ての磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして
形成した磁気再生ヘッド装置であって、上記磁気再生ヘ
ッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチ
で形成されたことを特徴とする。
【０１３４】また、別の本発明テープドライブ装置は、
テープ状記録媒体に対して信号の再生を行う磁気再生ヘ
ッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に
沿って走行させるテープ走行手段とを備えたテープドラ
イブ装置において、上記磁気再生ヘッド装置が、薄膜プ
ロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２つの磁
気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッド層を
非磁性材料からなる基材に複数積層すると共に、すべて
の磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形
成した磁気再生ヘッド装置であって、上記磁気再生ヘッ
ド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチで
形成されたことを特徴とする。
【０１３５】したがって、本発明にあっては、各磁気再
生ヘッド層に複数の磁気再生ヘッド素子を所定のピッチ
で形成したので、各磁気再生ヘッド素子の幅寸法を小さ
く、かつ、各磁気再生ヘッド素子間のアライメント誤差
を小さく形成することができ、よって、狭幅化され高密
度化された記録トラックを再生することができる。
【０１３６】請求項４及び請求項１２にかかる発明は、
上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
２つの磁気再生ヘッド素子が一層の磁気シールド層を共
有したので、積層工程を１つ省略することができ、コス
トダウンを図ることができる。
【０１３７】請求項５及び請求項１３にかかる発明は、
上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
２つの磁気再生ヘッド素子間に位置する２つの磁気シー
ルド層の間に絶縁層を形成したので、両磁気再生ヘッド
素子間でのクロストークをなくすることができ、更なる
高密度化を実現することが可能となる。
【０１３８】さらに、本発明磁気ヘッド装置は、薄膜プ
ロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２つの磁
気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッド層
と、薄膜プロセスにより製造される磁気記録ヘッド素子
が２つの絶縁層に挟まれて積層された磁気記録ヘッド層
とを、非磁性材料からなる基材に複数積層すると共に、
すべての磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずら
して形成し、また、すべての磁気記録ヘッド素子を上記
ヘッド幅方向にずらして形成した磁気ヘッド装置であっ
て、各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素
子が所定のピッチで形成され、各磁気記録ヘッド層に
は、複数の磁気記録ヘッド素子が上記磁気再生ヘッド層
における磁気再生ヘッド素子の形成ピッチと同じピッチ
で形成され、上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録ヘ
ッド素子とをヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形成
して対を為すようにしたことを特徴とする。
【０１３９】また、さらに別の本発明テープドライブ装
置は、テープ状記録媒体に対して信号の記録及び再生を
行う磁気ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の
走行経路に沿って走行させるテープ走行手段とを備えた
テープドライブ装置において、上記磁気ヘッド装置が、
薄膜プロセスにより製造される磁気再生ヘッド素子が２
つの磁気シールド層に挟まれて積層された磁気再生ヘッ
ド層と、薄膜プロセスにより製造される磁気記録ヘッド
素子が２つの絶縁層に挟まれて積層された磁気記録ヘッ
ド層とを、非磁性材料からなる基材に複数積層すると共
に、すべての磁気再生ヘッド素子を上記ヘッド幅方向に
ずらして形成し、また、すべての磁気記録ヘッド素子を
上記ヘッド幅方向にずらして形成した磁気ヘッド装置で
あって、各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッ
ド素子が所定のピッチで形成され、各磁気記録ヘッド層
には、複数の磁気記録ヘッド素子が上記磁気再生ヘッド
層における磁気再生ヘッド素子の形成ピッチと同じピッ
チで形成され、上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録
ヘッド素子とをヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形
成して対を為すようにしたことを特徴とする。
【０１４０】さらに、本発明ディスクドライブ装置は、
ディスク状記録媒体に対して信号の記録及び再生を行う
磁気ヘッド装置と、上記ディスク状記録媒体を回転させ
る回転駆動機構とを備えたディスクドライブ装置におい
て、上記磁気ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造さ
れる磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟ま
れて積層された磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスによ
り製造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟ま
れて積層された磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料から
なる基材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッ
ド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成し、また、す
べての磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらし
て形成した磁気ヘッド装置であって、各磁気再生ヘッド
層には、複数の磁気再生ヘッド素子が所定のピッチで形
成され、各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッ
ド素子が上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド
素子の形成ピッチと同じピッチで形成され、上記各磁気
再生ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とをヘッド幅方
向においてほぼ同じ位置に形成して対を為すようにした
ことを特徴とする。
【０１４１】したがって、本発明にあっては、各磁気ヘ
ッド層に複数の磁気再生ヘッド素子及び磁気記録ヘッド
素子を所定のピッチで形成したので、各磁気記録ヘッド
素子及び各磁気再生ヘッド素子の幅寸法を小さく、か
つ、各磁気記録ヘッド素子間及び各磁気再生ヘッド素子
間のアライメント誤差を小さく形成することができ、よ
って、狭幅化され高密度化された記録トラックの記録及
び再生することでき、磁気記録ヘッド装置の多チャンネ
ル化を実現することができる。
【０１４２】請求項７、請求項１５及び請求項１８にか
かる発明は、上記磁気再生ヘッド層と磁気記録ヘッド層
とを交互に積層し、対を為す磁気再生ヘッド素子と磁気
記録ヘッド素子とが積層方向において磁気シールド層及
び絶縁層を介して隣接したので、対を為す磁気記録ヘッ
ド素子と磁気再生ヘッド素子とが積層方向に隣接した磁
気記録ヘッド層と磁気再生ヘッド層とのものであるた
め、両者を近接して形成することができ、従って、対を
為す磁気記録ヘッド素子と磁気再生ヘッド素子とのヘッ
ド幅方向におけるアライメント誤差を最も小さな状態で
形成することができる。
【０１４３】請求項８、請求項１６及び請求項１９にか
かる発明は、複数の磁気再生ヘッド層を積層して磁気再
生ヘッド層群を形成すると共に、複数の磁気記録ヘッド
層を積層して磁気記録ヘッド層群を形成し、上記磁気再
生ヘッド層群と磁気記録ヘッド層群とを積層したので、
磁気記録ヘッド層を複数積層した後、磁気再生ヘッド層
を複数積層することができ、製造工程の簡略化を図るこ
とができる。
【０１４４】つまり、磁気記録ヘッド層と磁気再生ヘッ
ド層とはその製造するための環境、例えば、温度が相違
するため、磁気記録ヘッド層を製造後、別環境にしてか
ら磁気再生ヘッド層を積層するようにすれば良く、製造
環境の変更が１回のみで済み、その分、製造工程を簡略
化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】テープドライブ装置の概要を示す平面図であ
る。
【図２】図３乃至図５と共に、本発明の第１の実施の形
態を示すもので、本図は磁気記録ヘッド装置と記録トラ
ックの関係を示す図である。
【図３】磁気記録ヘッド装置の一部を切り欠いて示す概
略斜視図である。
【図４】回転ドラムの概略平面図である。
【図５】記録トラックと磁気記録ヘッド装置との位置関
係を概略的に示す図である。
【図６】図７と共に、本発明の第２の実施の形態を示す
もので、本図は磁気記録ヘッド装置の１回転目と２回転
目と３回転目における位置関係を示す概略図である。
【図７】各回転における磁気記録ヘッド装置と記録トラ
ックとの位置関係を示す概略図である。
【図８】図９及び図１０と共に、本発明の第３の実施の
形態を示すもので、本図は磁気再生ヘッド装置と記録ト
ラックの関係を示す図である。
【図９】回転ドラムの概略平面図である。
【図１０】記録トラックと磁気再生ヘッド装置との位置
関係を概略的に示す図である。
【図１１】第３の実施の形態にかかる磁気再生ヘッドの
変形例を示すもので、磁気再生ヘッド装置と記録トラッ
クとの位置関係を示す図である。
【図１２】図１３と共に、本発明の第４の実施の形態を
示すもので、本図は磁気再生ヘッド装置の１回転目と２
回転目と３回転目における位置関係を示す概略図であ
る。
【図１３】各回転における磁気記録ヘッド装置と記録ト
ラックとの位置関係を示す概略図である。
【図１４】本発明の第５の実施の形態を示し、磁気ヘッ
ド装置と記録トラックの関係を示す図である。
【図１５】本発明の第６の実施の形態を示し、磁気ヘッ
ド装置と記録トラックの関係を示す図である。
【図１６】ディスクドライブ装置の概要を示す平面図で
ある。
【符号の説明】
１…テープドライブ装置、４…テープ状記録媒体、５、
８、９…テープ走行手段、２０…磁気記録ヘッド装置、
２１…磁気記録ヘッド層、２２…下部非磁性基板（非磁
性材料からなる基材）、２４…絶縁層、２８…磁気記録
ヘッド素子、２０Ａ…磁気記録ヘッド装置、２１Ａ…磁
気記録ヘッド層、２４…絶縁層、４０…磁気再生ヘッド
装置、４１…磁気再生ヘッド層、４２…下部非磁性基板
（非磁性材料からなる基材）、４５…磁気シールド層、
４６…ＭＲヘッド（磁気再生ヘッド素子）、４０Ａ…磁
気再生ヘッド装置、５１…中間絶縁層（絶縁層）、４０
Ｂ…磁気再生ヘッド装置、４１Ａ…磁気再生ヘッド層、
４６Ａ…ＭＲヘッド（磁気再生ヘッド素子）、６０…磁
気ヘッド装置、６１…磁気記録ヘッド層、６２…磁気再
生ヘッド層、６３…下部非磁性基板（非磁性材料からな
る基材）、７０…磁気ヘッド装置、７１…磁気記録ヘッ
ド層、７２…下部非磁性基板（非磁性材料からなる基
材）、７３…磁気記録ヘッド層群、７４…磁気再生ヘッ
ド層、７５…磁気再生ヘッド層群、８０…ディスクドラ
イブ装置、８１…ディスク状記録媒体、８２…回転駆動
機構
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D033 BB32 BB43 5D034 BB08 BB11 BB12 5D054 AA02 AA05 AB11 AB13 AB15 BA07 BB36 BB41

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 薄膜プロセスにより製造される磁気記録
    ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて積層された磁気記
    録ヘッド層を非磁性材料からなる基材に複数積層すると
    共に、すべての磁気記録ヘッド素子を上記積層方向に対
    してほぼ直交する方向（以下、「ヘッド幅方向」とい
    う。）にずらして形成した磁気記録ヘッド装置であっ
    て、 上記磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子
    が所定のピッチで形成されたことを特徴とする磁気記録
    ヘッド装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載した磁気記録ヘッド装置
    であって、 上記積層方向において絶縁層を介して隣接する２つの磁
    気記録ヘッド素子が一層の絶縁層を共有したことを特徴
    とする磁気記録ヘッド装置。
  3. 【請求項３】 薄膜プロセスにより製造される磁気再生
    ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて積層され
    た磁気再生ヘッド層を非磁性材料からなる基材に複数積
    層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素子を上記積層
    方向に対してほぼ直交する方向（以下、「ヘッド幅方
    向」という。）にずらして形成した磁気再生ヘッド装置
    であって、 上記磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子
    が所定のピッチで形成されたことを特徴とする磁気再生
    ヘッド装置。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載した磁気再生ヘッド装置
    であって、 上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
    ２つの磁気再生ヘッド素子が一層の磁気シールド層を共
    有したことを特徴とする磁気再生ヘッド装置。
  5. 【請求項５】 請求項３に記載した磁気再生ヘッド装置
    であって、 上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
    ２つの磁気再生ヘッド素子間に位置する２つの磁気シー
    ルド層の間に絶縁層を形成したことを特徴とする磁気再
    生ヘッド装置。
  6. 【請求項６】 薄膜プロセスにより製造される磁気再生
    ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて積層され
    た磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスにより製造される
    磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて積層され
    た磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料からなる基材に複
    数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素子を上記
    積層方向に対してほぼ直交する方向（以下、「ヘッド幅
    方向」という。）にずらして形成し、また、すべての磁
    気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずらして形成し
    た磁気ヘッド装置であって、 各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が
    所定のピッチで形成され、 各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子が
    上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド素子の形
    成ピッチと同じピッチで形成され、 上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とを
    ヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形成して対を為す
    ようにしたことを特徴とする磁気ヘッド装置。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載した磁気ヘッド装置であ
    って、 上記磁気再生ヘッド層と磁気記録ヘッド層とを交互に積
    層し、 対を為す磁気再生ヘッド素子と磁気記録ヘッド素子とが
    積層方向において磁気シールド層及び絶縁層を介して隣
    接したことを特徴とする磁気ヘッド装置。
  8. 【請求項８】 請求項６に記載した磁気ヘッド装置であ
    って、 複数の磁気再生ヘッド層を積層して磁気再生ヘッド層群
    を形成すると共に、 複数の磁気記録ヘッド層を積層して磁気記録ヘッド層群
    を形成し、 上記磁気再生ヘッド層群と磁気記録ヘッド層群とを積層
    したことを特徴とする磁気ヘッド装置。
  9. 【請求項９】 テープ状記録媒体に対して信号の記録を
    行う磁気記録ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を所
    定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段とを備
    えたテープドライブ装置において、 上記磁気記録ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造さ
    れる磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて積層
    された磁気記録ヘッド層を非磁性材料からなる基材に複
    数積層すると共に、すべての磁気記録ヘッド素子を上記
    積層方向に対してほぼ直交する方向（以下、「ヘッド幅
    方向」という。）にずらして形成した磁気記録ヘッド装
    置であって、 上記磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子
    が所定のピッチで形成されたことを特徴とするテープド
    ライブ装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９に記載したテープドライブ装
    置であって、 上記積層方向において絶縁層を介して隣接する２つの磁
    気記録ヘッド素子が一層の絶縁層を共有したことを特徴
    とするテープドライブ装置。
  11. 【請求項１１】 テープ状記録媒体に対して信号の再生
    を行う磁気再生ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を
    所定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段とを
    備えたテープドライブ装置において、 上記磁気再生ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造さ
    れる磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟ま
    れて積層された磁気再生ヘッド層を非磁性材料からなる
    基材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素
    子を上記積層方向に対してほぼ直交する方向（以下、
    「ヘッド幅方向」という。）にずらして形成した磁気再
    生ヘッド装置であって、 上記磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子
    が所定のピッチで形成されたことを特徴とするテープド
    ライブ装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１１に記載したテープドライブ
    装置であって、 上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
    ２つの磁気再生ヘッド素子が一層の磁気シールド層を共
    有したことを特徴とするテープドライブ装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１１に記載したテープドライブ
    装置であって、 上記積層方向において磁気シールド層を介して隣接する
    ２つの磁気再生ヘッド素子間に位置する２つの磁気シー
    ルド層の間に絶縁層を形成したことを特徴とするテープ
    ドライブ装置。
  14. 【請求項１４】 テープ状記録媒体に対して信号の記録
    及び再生を行う磁気ヘッド装置と、上記テープ状記録媒
    体を所定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段
    とを備えたテープドライブ装置において、 上記磁気ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造される
    磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて
    積層された磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスにより製
    造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて
    積層された磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料からなる
    基材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素
    子を上記積層方向に対してほぼ直交する方向（以下、
    「ヘッド幅方向」という。）にずらして形成し、また、
    すべての磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずら
    して形成した磁気ヘッド装置であって、 各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が
    所定のピッチで形成され、 各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子が
    上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド素子の形
    成ピッチと同じピッチで形成され、 上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とを
    ヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形成して対を為す
    ようにしたことを特徴とするテープドライブ装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１４に記載したテープドライブ
    装置であって、 磁気再生ヘッド層と磁気記録ヘッド層とを交互に積層
    し、 対を為す磁気再生ヘッド素子と磁気記録ヘッド素子とが
    積層方向において磁気シールド層及び絶縁層を介して隣
    接したことを特徴とするテープドライブ装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１４に記載したテープドライブ
    装置であって、 複数の磁気再生ヘッド層を積層して磁気再生ヘッド層群
    を形成すると共に、複数の磁気記録ヘッド層を積層して
    磁気記録ヘッド層群を形成し、上記磁気再生ヘッド層群
    と磁気記録ヘッド層群とを積層したことを特徴とするテ
    ープドライブ装置。
  17. 【請求項１７】 ディスク状記録媒体に対して信号の記
    録及び再生を行う磁気ヘッド装置と、上記ディスク状記
    録媒体を回転させる回転駆動機構とを備えたディスクド
    ライブ装置において、 上記磁気ヘッド装置が、薄膜プロセスにより製造される
    磁気再生ヘッド素子が２つの磁気シールド層に挟まれて
    積層された磁気再生ヘッド層と、薄膜プロセスにより製
    造される磁気記録ヘッド素子が２つの絶縁層に挟まれて
    積層された磁気記録ヘッド層とを、非磁性材料からなる
    基材に複数積層すると共に、すべての磁気再生ヘッド素
    子を上記積層方向に対してほぼ直交する方向（以下、
    「ヘッド幅方向」という。）にずらして形成し、また、
    すべての磁気記録ヘッド素子を上記ヘッド幅方向にずら
    して形成した磁気ヘッド装置であって、 各磁気再生ヘッド層には、複数の磁気再生ヘッド素子が
    所定のピッチで形成され、 各磁気記録ヘッド層には、複数の磁気記録ヘッド素子が
    上記磁気再生ヘッド層における磁気再生ヘッド素子の形
    成ピッチと同じピッチで形成され、 上記各磁気再生ヘッド素子と各磁気記録ヘッド素子とを
    ヘッド幅方向においてほぼ同じ位置に形成して対を為す
    ようにしたことを特徴とするディスクドライブ装置。
  18. 【請求項１８】 請求項１７に記載したディスクドライ
    ブ装置であって、 磁気再生ヘッド層と磁気記録ヘッド層とを交互に積層
    し、 対を為す磁気再生ヘッド素子と磁気記録ヘッド素子とが
    積層方向において磁気シールド層及び絶縁層を介して隣
    接したことを特徴とするディスクドライブ装置。
  19. 【請求項１９】 請求項１７に記載したディスクドライ
    ブ装置であって、 複数の磁気再生ヘッド層を積層して磁気再生ヘッド層群
    を形成すると共に、複数の磁気記録ヘッド層を積層して
    磁気記録ヘッド層群を形成し、上記磁気再生ヘッド層群
    と磁気記録ヘッド層群とを積層したことを特徴とするデ
    ィスクドライブ装置。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007280459A (ja) * 2006-04-04 2007-10-25 Sony Corp 磁気記録再生装置及び磁気記録再生方法
JP2009020984A (ja) * 2007-07-13 2009-01-29 Sony Corp データ再生装置、データ再生方法、及びデータ記録再生装置
US7535674B2 (en) 2004-09-09 2009-05-19 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Narrow pitch tape head array using an orthogonal backgap
US7567409B2 (en) * 2004-09-09 2009-07-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Multilayer narrow pitch tape head array
US7636219B2 (en) 2006-04-14 2009-12-22 Sony Corporation Magnetic recording and reproducing apparatus and magnetic recording and reproducing method
US7656610B1 (en) * 2006-03-27 2010-02-02 Storage Technology Corporation Bi-directional magnetic recording head built on a common substrate
US7751148B1 (en) * 2006-03-27 2010-07-06 Oracle America, Inc. Multi-level, multi-track magnetic recording head
US7813066B2 (en) 2006-03-29 2010-10-12 Sony Corporation Magnetic recording and reproduction method, recording apparatus, reproduction apparatus and magnetic recording medium
US7839603B2 (en) 2006-02-27 2010-11-23 Sony Corporation Magnetic head device and magnetic recording/reproducing apparatus
JP2015005319A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 株式会社東芝 磁気ヘッド、磁気記録再生装置、および磁気ヘッドの製造方法

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004246949A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Sony Corp 磁気記録ヘッドと回転ドラム装置並びにこれを用いた磁気記録再生方法及び磁気記録再生装置
JP2005032386A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Sony Corp テープ記録システム及びヘッド装置
US20050152066A1 (en) * 2004-01-08 2005-07-14 Imation Corp. System with matrix array of write heads and array of magnetoresistive (MR) read heads
US7342748B2 (en) * 2004-01-08 2008-03-11 Imation Corp. System with matrix array of write heads and matrix array of magnetoresistive (MR) read heads
JP2005332451A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Sony Corp 磁気ヘッド装置および磁気記録再生装置
US7551393B2 (en) * 2004-08-23 2009-06-23 International Business Machines Corporation Tape recording head with multiple planes of transducer arrays
US8243385B2 (en) * 2008-04-29 2012-08-14 International Business Machines Corporation Magnetic head having first, second and third arrays of writers
US8358486B2 (en) 2009-10-13 2013-01-22 International Business Machines Corporation Magnetically shielded write transducers
US20140177102A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-26 Seagate Technology Llc Multi-reader method and apparatus
US9431039B1 (en) * 2013-05-21 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc Multiple sensor array usable in two-dimensional magnetic recording
US9190082B2 (en) * 2013-08-28 2015-11-17 Seagate Technology, Llc Dual reader structure
US9190078B2 (en) 2013-08-30 2015-11-17 Seagate Technology Llc Dual reader structure
US9418684B2 (en) * 2013-10-04 2016-08-16 Seagate Technology Llc Magnetic read head with separately addressable read transducers
US9135935B1 (en) 2013-10-11 2015-09-15 Western Digital Technologies, Inc. Customized head gimbal assembly bonding skew angle for adjusting two-dimensional magnetic recording reader alignment
US9042058B1 (en) * 2013-10-17 2015-05-26 Western Digital Technologies, Inc. Shield designed for middle shields in a multiple sensor array
US9524737B2 (en) * 2013-12-13 2016-12-20 Seagate Technology Llc Shielding and electrical contact design for devices with two or more read elements
US20150170680A1 (en) * 2013-12-18 2015-06-18 Seagate Technology Llc Devices including magnetic read sensor and shields
US9218823B2 (en) * 2014-02-25 2015-12-22 Seagate Technology Llc Read head with multiple reader stacks
US9245556B2 (en) 2014-03-10 2016-01-26 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive employing multiple read elements to increase radial band for two-dimensional magnetic recording
US9070406B1 (en) 2014-03-10 2015-06-30 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive configuring one-dimensional and two-dimensional recording areas based on read element spacing
US9373355B1 (en) 2015-01-30 2016-06-21 Seagate Technology Llc Compensating for interference via a multi-reader system
US9685177B2 (en) * 2015-07-08 2017-06-20 Seagate Technology Llc Sensor stabilization in a multiple sensor magnetic reproducing device
US10002625B1 (en) * 2017-02-14 2018-06-19 Seagate Technology Llc Recording head with multiple magnetic writers simultaneously writing to adjacent tracks
US10930306B1 (en) * 2019-11-12 2021-02-23 International Business Machines Corporation Magnetic measurement of head span spacing
US10832712B1 (en) * 2020-01-21 2020-11-10 International Business Machines Corporation Magnetic thin film recording head module having electrical shielding between read and write transducer arrays
US11410690B2 (en) * 2020-06-11 2022-08-09 Western Digital Technologies, Inc. Two-dimensional magnetic recording reader with dual free layer magnetic tunnel junction

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0233086B1 (en) * 1986-02-13 1992-01-29 Sony Corporation Thin film magnetic head
JPH01137421A (ja) 1987-11-25 1989-05-30 Victor Co Of Japan Ltd 多トラック薄膜磁気ヘッド
JPH01169714A (ja) 1987-12-25 1989-07-05 Hitachi Ltd 多素子薄膜磁気ヘッド
JPH04370511A (ja) * 1991-06-20 1992-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層型磁気抵抗ヘッド
US5331493A (en) * 1992-08-21 1994-07-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Bidirectional thin-film magnetoresistive tape head assembly
JP2943579B2 (ja) * 1992-10-20 1999-08-30 三菱電機株式会社 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド
DE69531087T2 (de) * 1994-09-16 2004-05-13 Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki Magnetowiderstandeffektkopf und Magnetaufzeichnungs-/Wiedergabekopf daraus
KR0147975B1 (ko) 1995-06-30 1998-10-15 배순훈 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법
JPH09138912A (ja) 1995-11-13 1997-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多チャンネル薄膜磁気ヘッドの製造方法と薄膜磁気ヘッド用基板
US6344951B1 (en) * 1998-12-14 2002-02-05 Alps Electric Co., Ltd. Substrate having magnetoresistive elements and monitor element capable of preventing a short circuit
JP3551099B2 (ja) * 1999-09-28 2004-08-04 日本電気株式会社 磁気テープ装置用薄膜磁気ヘッド
JP2001184610A (ja) 1999-12-22 2001-07-06 Sony Corp 磁気ヘッド及びその製造方法
JP2002269706A (ja) * 2001-03-14 2002-09-20 Sony Corp マルチチャンネル磁気抵抗効果型磁気ヘッド
US6646830B2 (en) * 2001-06-07 2003-11-11 International Business Machines Corporation Monolithic magnetic read-while-write head apparatus and method of manufacture
US6826020B2 (en) * 2001-08-20 2004-11-30 Storage Technology Corporation Merged-pole magnetic head having inverted write elements

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7535674B2 (en) 2004-09-09 2009-05-19 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Narrow pitch tape head array using an orthogonal backgap
US7567409B2 (en) * 2004-09-09 2009-07-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Multilayer narrow pitch tape head array
US7839603B2 (en) 2006-02-27 2010-11-23 Sony Corporation Magnetic head device and magnetic recording/reproducing apparatus
US7656610B1 (en) * 2006-03-27 2010-02-02 Storage Technology Corporation Bi-directional magnetic recording head built on a common substrate
US7751148B1 (en) * 2006-03-27 2010-07-06 Oracle America, Inc. Multi-level, multi-track magnetic recording head
US7813066B2 (en) 2006-03-29 2010-10-12 Sony Corporation Magnetic recording and reproduction method, recording apparatus, reproduction apparatus and magnetic recording medium
JP2007280459A (ja) * 2006-04-04 2007-10-25 Sony Corp 磁気記録再生装置及び磁気記録再生方法
US7586705B2 (en) 2006-04-04 2009-09-08 Sony Corporation Magnetic recording/reproducing apparatus and magnetic recording/reproducing method
JP4697012B2 (ja) * 2006-04-04 2011-06-08 ソニー株式会社 磁気記録再生装置及び磁気記録再生方法
US7636219B2 (en) 2006-04-14 2009-12-22 Sony Corporation Magnetic recording and reproducing apparatus and magnetic recording and reproducing method
JP2009020984A (ja) * 2007-07-13 2009-01-29 Sony Corp データ再生装置、データ再生方法、及びデータ記録再生装置
JP2015005319A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 株式会社東芝 磁気ヘッド、磁気記録再生装置、および磁気ヘッドの製造方法

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