JPH025217A - 薄膜磁気ヘッドチップ - Google Patents
薄膜磁気ヘッドチップInfo
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- JPH025217A JPH025217A JP63157268A JP15726888A JPH025217A JP H025217 A JPH025217 A JP H025217A JP 63157268 A JP63157268 A JP 63157268A JP 15726888 A JP15726888 A JP 15726888A JP H025217 A JPH025217 A JP H025217A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
- G11B5/4893—Disposition of heads relative to moving tape
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
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- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
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- Y10T29/49043—Depositing magnetic layer or coating
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜磁気ヘッドチップに関し、特に、磁気テ
ープを往復走行させることにより双方向で情報の記録再
生を行うようにした磁気記録再生装置において利用され
る。
ープを往復走行させることにより双方向で情報の記録再
生を行うようにした磁気記録再生装置において利用され
る。
一般に、ハードディスクのバックアンプに使用される磁
気テープ記録再生装置（以下、ストリーマ−と称する）
に用いられる磁気ヘッドは、リード・アフター・ライト
が必要なため、記録専用ヘッド部と再生専用ヘッド部と
からなる一組の記録再生ヘッド部を備え、且つ、上記の
記録専用ヘッド部はテープ進行方向に対して先行させて
配設する一方、記録チエツクおよびデータ再生のための
再生専用ヘッド部は、記録専用ヘッド部に後続されて配
置されている。
気テープ記録再生装置（以下、ストリーマ−と称する）
に用いられる磁気ヘッドは、リード・アフター・ライト
が必要なため、記録専用ヘッド部と再生専用ヘッド部と
からなる一組の記録再生ヘッド部を備え、且つ、上記の
記録専用ヘッド部はテープ進行方向に対して先行させて
配設する一方、記録チエツクおよびデータ再生のための
再生専用ヘッド部は、記録専用ヘッド部に後続されて配
置されている。
そして、上記のストリーマ−においては、通常、複数の
トラックに対し途切れ目無しに連続的に記録再生を行う
ため、シリアル・サーペンタイン方式と呼ばれる往復記
録再生方法が採用されている。これは、前記のごとく配
設された一組の記録再生ヘッド部を２ｍ用意し、且つ、
一方の組の記録再生ヘッド部と他方の組の記録再生ヘッ
ド部とを磁気テープの走行方向に対して互いに反転され
た位置関係で配置し、テープ走行の往路と復路とでこれ
ら２組の磁気ヘッドを切り替えて記録再生し、そして、
テープ走行の１往復が終わると、磁気ヘッド全体をテー
プに対してトラックピンチ分だけシフトさせて、次のト
ラックの記録再生を行うようになっている。
トラックに対し途切れ目無しに連続的に記録再生を行う
ため、シリアル・サーペンタイン方式と呼ばれる往復記
録再生方法が採用されている。これは、前記のごとく配
設された一組の記録再生ヘッド部を２ｍ用意し、且つ、
一方の組の記録再生ヘッド部と他方の組の記録再生ヘッ
ド部とを磁気テープの走行方向に対して互いに反転され
た位置関係で配置し、テープ走行の往路と復路とでこれ
ら２組の磁気ヘッドを切り替えて記録再生し、そして、
テープ走行の１往復が終わると、磁気ヘッド全体をテー
プに対してトラックピンチ分だけシフトさせて、次のト
ラックの記録再生を行うようになっている。
ところで、近年の磁気記録再生装置の大容量化に伴い、
上記のストリーマ−についてもデータ転送速度を高める
ために、複数トラックを同時に再生する試みがなされて
おり、このためのヘッドとしては、マルチチャンネル化
の容易な薄膜磁気ヘッドが適していると考えられている
。
上記のストリーマ−についてもデータ転送速度を高める
ために、複数トラックを同時に再生する試みがなされて
おり、このためのヘッドとしては、マルチチャンネル化
の容易な薄膜磁気ヘッドが適していると考えられている
。
このようなシリアル・サーペンタイン方式に対応する薄
膜磁気ヘッドは、第３図に示すように、３つのヘッドチ
ップ１１・１２・１３にて構成されており、中央のヘッ
ドチップ１２には２つの再生専用ヘッド部１４・１５が
トラックピッチの整数倍に相当する間隔をおいて形成さ
れている。−方、両隣りのヘッドチップ１１・１３には
、記録専用ヘッド部１７・１６がそれぞれ形成されてお
り、記録専用ヘッド部１６と再生専用ヘッド部１４とで
一組の記録再生ヘッド部が構成される一方、記録専用ヘ
ッド部１７と再生専用ヘッド部１５とで一組の記録再生
ヘッド部が構成されている。
膜磁気ヘッドは、第３図に示すように、３つのヘッドチ
ップ１１・１２・１３にて構成されており、中央のヘッ
ドチップ１２には２つの再生専用ヘッド部１４・１５が
トラックピッチの整数倍に相当する間隔をおいて形成さ
れている。−方、両隣りのヘッドチップ１１・１３には
、記録専用ヘッド部１７・１６がそれぞれ形成されてお
り、記録専用ヘッド部１６と再生専用ヘッド部１４とで
一組の記録再生ヘッド部が構成される一方、記録専用ヘ
ッド部１７と再生専用ヘッド部１５とで一組の記録再生
ヘッド部が構成されている。
これにより、テープ１８がＡ方向に走行されるときには
、ヘッド部１６・１４にて記録再生が行われ、テープ１
８がＢ方向に走行されるときには、ヘッド部１７・１５
にて記録再生が行われることになる。
、ヘッド部１６・１４にて記録再生が行われ、テープ１
８がＢ方向に走行されるときには、ヘッド部１７・１５
にて記録再生が行われることになる。
なお、このような薄膜磁気ヘッドとしては、第４図に示
すように、中央のヘッドチップ２２において記録専用ヘ
ッド部２４・２５を有し、両隣のヘッドチップ２１・２
３において再生専用ヘッド部２７・２６を有しているも
のがあり、この場合、テープ１８がＢ方向に走行される
ときには、ヘッド部２４・２６にて記録再生が行われ、
テープ１８がＡ方向に走行されるときには、ヘッド部２
５・２７にて記録再生が行われることになる。
すように、中央のヘッドチップ２２において記録専用ヘ
ッド部２４・２５を有し、両隣のヘッドチップ２１・２
３において再生専用ヘッド部２７・２６を有しているも
のがあり、この場合、テープ１８がＢ方向に走行される
ときには、ヘッド部２４・２６にて記録再生が行われ、
テープ１８がＡ方向に走行されるときには、ヘッド部２
５・２７にて記録再生が行われることになる。
このように、従来の薄膜磁気ヘッドチップ、特に、中央
に配設されるヘッドチップ１２（２２）は、同一基板上
に同一種類のヘッド部、すなわち、再生専用ヘッド部で
あれば再生専用ヘッド部のみ、記録専用ヘッド部であれ
ば記録専用ヘッド部のみが形成されているため、かかる
ヘッドチップ１２（２２）によってシリアル・サーペン
タイン方式に対応する１膜磁気ヘツドを構成すると、上
述のように、ヘッドチップ１２（２２）の両隣にヘッド
チップ１１・１３（２１・２３）をそれぞれ並設する必
要がある。
に配設されるヘッドチップ１２（２２）は、同一基板上
に同一種類のヘッド部、すなわち、再生専用ヘッド部で
あれば再生専用ヘッド部のみ、記録専用ヘッド部であれ
ば記録専用ヘッド部のみが形成されているため、かかる
ヘッドチップ１２（２２）によってシリアル・サーペン
タイン方式に対応する１膜磁気ヘツドを構成すると、上
述のように、ヘッドチップ１２（２２）の両隣にヘッド
チップ１１・１３（２１・２３）をそれぞれ並設する必
要がある。
ところが、このように３つのヘフドチ・ノブ１１〜１３
（２１〜２３）を並設して薄膜磁気ヘッドを構成する場
合、これらヘッドチップ１１〜１３（２１〜２３）の互
いの位置関係および各ヘッドチップと磁気テープ１８と
の相対位置関係を好適に保持することは極めて困難であ
り、このため、アジマス損失やトランク位置ずれによる
損失が発生しがちになる。しかも、高密度記録を実現す
るために、トラック幅や記録波長を短くすればするほど
、上記薄膜磁気ヘッドの位置決め精度は厳密さを要求さ
れるから、上記の損失は益々太き（なる虞れがある。さ
らに、上記３つのヘッドチップ１１〜１３の全ての位置
で安定なテープ走行およびテープ接触を得ることは精度
的に困難であるため、各ヘッドチップと磁気テープ１８
との間の空隙形成によるスペース損失が増大するという
問題も招来していた。
（２１〜２３）を並設して薄膜磁気ヘッドを構成する場
合、これらヘッドチップ１１〜１３（２１〜２３）の互
いの位置関係および各ヘッドチップと磁気テープ１８と
の相対位置関係を好適に保持することは極めて困難であ
り、このため、アジマス損失やトランク位置ずれによる
損失が発生しがちになる。しかも、高密度記録を実現す
るために、トラック幅や記録波長を短くすればするほど
、上記薄膜磁気ヘッドの位置決め精度は厳密さを要求さ
れるから、上記の損失は益々太き（なる虞れがある。さ
らに、上記３つのヘッドチップ１１〜１３の全ての位置
で安定なテープ走行およびテープ接触を得ることは精度
的に困難であるため、各ヘッドチップと磁気テープ１８
との間の空隙形成によるスペース損失が増大するという
問題も招来していた。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドチップは、上記の課題を解
決するために、基板上に下部磁性膜、コイル状導体層、
および上部磁性膜がそれぞれ絶縁層を介して形成されて
成る薄膜磁気ヘッドチップにおいて、再生専用ヘッド部
と記録専用ヘッド部とが同一基板上に一定の間隔を隔て
て形成されていることを特徴としている。
決するために、基板上に下部磁性膜、コイル状導体層、
および上部磁性膜がそれぞれ絶縁層を介して形成されて
成る薄膜磁気ヘッドチップにおいて、再生専用ヘッド部
と記録専用ヘッド部とが同一基板上に一定の間隔を隔て
て形成されていることを特徴としている。
上記の構成を有する薄膜磁気ヘッドチップによれば、こ
のヘッドチップを２つでもってシリアル・サーペンタイ
ン方式に対応する薄膜磁気ヘッドを構成することができ
る。すなわち、このヘッドチップを２つ並設し、一方の
ヘッドチップの記録専用ヘッド部と他方のヘッドチップ
の再生専用ヘッド部とで一組の記録再生ヘッド部を形成
するとともに、一方の組の記録再生ヘッド部と他方の組
の記録再生ヘッド部とを磁気テープの走行方向に対して
互いに反転された位置関係で配置すればシリアル・サー
ペンタイン方式に対応する薄膜磁気ヘッドを得ることが
できる。
のヘッドチップを２つでもってシリアル・サーペンタイ
ン方式に対応する薄膜磁気ヘッドを構成することができ
る。すなわち、このヘッドチップを２つ並設し、一方の
ヘッドチップの記録専用ヘッド部と他方のヘッドチップ
の再生専用ヘッド部とで一組の記録再生ヘッド部を形成
するとともに、一方の組の記録再生ヘッド部と他方の組
の記録再生ヘッド部とを磁気テープの走行方向に対して
互いに反転された位置関係で配置すればシリアル・サー
ペンタイン方式に対応する薄膜磁気ヘッドを得ることが
できる。
このように、２つのヘッドチップで薄膜磁気ヘッドを構
成することができると、従来のように３つのヘッドチッ
プで構成する場合に比べ、構造が簡単になり、薄膜磁気
ヘッドの製造工程を簡略化することができる。また、各
ヘッドチップと磁気テープとの相対位置を好適位置に保
つことが容易になるから、アジマス損失やトラック位置
ずれによる損失の発生を回避することが可能になる。さ
らに、各ヘッドチップに対し安定なテープ走行およびテ
ープ接触を得ることも可能になるから、スペース損失の
低減が図れる。
成することができると、従来のように３つのヘッドチッ
プで構成する場合に比べ、構造が簡単になり、薄膜磁気
ヘッドの製造工程を簡略化することができる。また、各
ヘッドチップと磁気テープとの相対位置を好適位置に保
つことが容易になるから、アジマス損失やトラック位置
ずれによる損失の発生を回避することが可能になる。さ
らに、各ヘッドチップに対し安定なテープ走行およびテ
ープ接触を得ることも可能になるから、スペース損失の
低減が図れる。
本発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
すれば、以下の通りである。
シリアル・サーペンタイン方式に対応する薄膜磁気ヘッ
ドは、第１図に示すように、本発明にかかる薄膜磁気ヘ
ッドチップ４を２つ備えて構成される。各ヘントチツブ
４は、同一基板３上に図示しない下部磁性膜、コイル状
導体層、および上部磁性膜をそれぞれ絶縁層を介して形
成されてなる再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド
部２を、磁気テープ７のトランクピッチの整数倍に相当
する距離を隔てて有するとともに、上記再生専用ヘッド
部１と記録専用ヘッド部２とを保護するためにこれらヘ
ッド部１・２を覆うようにして形成されたヘッド保護板
５を備えている。
ドは、第１図に示すように、本発明にかかる薄膜磁気ヘ
ッドチップ４を２つ備えて構成される。各ヘントチツブ
４は、同一基板３上に図示しない下部磁性膜、コイル状
導体層、および上部磁性膜をそれぞれ絶縁層を介して形
成されてなる再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド
部２を、磁気テープ７のトランクピッチの整数倍に相当
する距離を隔てて有するとともに、上記再生専用ヘッド
部１と記録専用ヘッド部２とを保護するためにこれらヘ
ッド部１・２を覆うようにして形成されたヘッド保護板
５を備えている。
上記の薄膜磁気ヘッドにおいては、一方のヘッドチップ
４の記録専用ヘッド部２と他方のヘッドチップ４の再生
専用ヘッド部１とで一組の記録再生ヘッド部６が形成さ
れ、同じ（、一方のヘッドチップ４の再生専用ヘッド部
ｌと他方のヘッドチップ４の記録専用ヘッド部２とで一
組の記録再生ヘッド部６が形成される。そして、一方の
組の記録再生ヘッド部６と他方の組の記録再生ヘッド部
６とは、磁気テープ７の走行方向に対して互いに反転さ
れた位置関係で配置される。すなわち、磁気テープ７が
Ｃ方向に走行されるときには、図中、上側の記録再生ヘ
ッド部６にて記録再生が行われる一方、磁気テープ７が
Ｄ方向に走行されるときには、図中、下側の記録再生ヘ
ッド部６にて記録再生が行われるようになっている。
４の記録専用ヘッド部２と他方のヘッドチップ４の再生
専用ヘッド部１とで一組の記録再生ヘッド部６が形成さ
れ、同じ（、一方のヘッドチップ４の再生専用ヘッド部
ｌと他方のヘッドチップ４の記録専用ヘッド部２とで一
組の記録再生ヘッド部６が形成される。そして、一方の
組の記録再生ヘッド部６と他方の組の記録再生ヘッド部
６とは、磁気テープ７の走行方向に対して互いに反転さ
れた位置関係で配置される。すなわち、磁気テープ７が
Ｃ方向に走行されるときには、図中、上側の記録再生ヘ
ッド部６にて記録再生が行われる一方、磁気テープ７が
Ｄ方向に走行されるときには、図中、下側の記録再生ヘ
ッド部６にて記録再生が行われるようになっている。
このように、本発明の薄膜磁気ヘッドチップ４によれば
、これを２つ並設してシリアル・サーペンタイン方式に
対応する１膜磁気へラドを構成できる。２つのヘッドチ
ップ４・４で薄膜磁気ヘッドを構成することができると
、従来のように３つのヘッドチップで構成する場合に比
べ、構造が簡単になり、薄膜磁気ヘッドの製造工程を簡
略化することができる。また、薄膜磁気ヘッドにおける
各ヘッドチップ４・４とテープ７との相対位置を好適位
置に保つことが容易になり、アジマス損失やトラック位
置ずれによる損失の発生を回避することが可能になる。
、これを２つ並設してシリアル・サーペンタイン方式に
対応する１膜磁気へラドを構成できる。２つのヘッドチ
ップ４・４で薄膜磁気ヘッドを構成することができると
、従来のように３つのヘッドチップで構成する場合に比
べ、構造が簡単になり、薄膜磁気ヘッドの製造工程を簡
略化することができる。また、薄膜磁気ヘッドにおける
各ヘッドチップ４・４とテープ７との相対位置を好適位
置に保つことが容易になり、アジマス損失やトラック位
置ずれによる損失の発生を回避することが可能になる。
さらに、各ヘッドチップ４に対し安定なテープ走行およ
びテープ接触を得ることも可能になるから、スペース損
失の低減も図ることができる。
びテープ接触を得ることも可能になるから、スペース損
失の低減も図ることができる。
ところで、上記の再生専用ヘッド部１および記録専用ヘ
ッド部２は、コイル状導体層による電磁誘導を利用する
ものであるため、各々が記録・再生の機能を発揮し得る
のであるが、記録ヘッドとして要求されるヘッド特性と
、再生ヘッドとして要求されるヘッド特性とは互いに異
なり、それぞれに要求される特性を最適に発揮させるた
めには、下部磁性膜の形状および膜厚、上部磁性膜の形
状および膜厚、ギャップ長、およびトラック幅が互いに
異ならせるのが通例である。ただ、このために、同一の
基板３上において再生専用ヘッド部１と記録専用ヘッド
部２とを別々の工程でそれぞれ形成することは、製造工
程数が２倍になってしまうから好ましくない。そこで、
再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２を同一の
基板３上において同時に形成する。
ッド部２は、コイル状導体層による電磁誘導を利用する
ものであるため、各々が記録・再生の機能を発揮し得る
のであるが、記録ヘッドとして要求されるヘッド特性と
、再生ヘッドとして要求されるヘッド特性とは互いに異
なり、それぞれに要求される特性を最適に発揮させるた
めには、下部磁性膜の形状および膜厚、上部磁性膜の形
状および膜厚、ギャップ長、およびトラック幅が互いに
異ならせるのが通例である。ただ、このために、同一の
基板３上において再生専用ヘッド部１と記録専用ヘッド
部２とを別々の工程でそれぞれ形成することは、製造工
程数が２倍になってしまうから好ましくない。そこで、
再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２を同一の
基板３上において同時に形成する。
例えば、基板３上に下部磁性膜を形成するにあたり、記
録専用ヘッド部２の記録能力および再生専用ヘッド部１
の再生分解能力の観点により、記録専用ヘッド部２にお
ける下部磁性膜の膜厚は、再生専用ヘッド部１における
下部磁性膜の膜厚よりも厚くして形成しなければならな
いが、このように互いの厚みを違えて形成するには、互
いの差の厚み分だけ、記録専用ヘッド部２側にＦｅ−Ａ
１−３ｔやＮｉ−Ｆｅなどの強磁性膜を形成した後、こ
れを所定の形状にバターニングする。その後、続けて上
記の強磁性膜を再生専用ヘッド部１側において必要な厚
みだけ再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２側
において形成した後、再生専用ヘッド部１および記録専
用ヘッド部２において必要な形状に合わせてバターニン
グを行う。これにより、再生専用ヘッド部１および記録
専用ヘッド部２においてそれぞれ所望の形状および厚み
を有する下部磁性膜が得られる。
録専用ヘッド部２の記録能力および再生専用ヘッド部１
の再生分解能力の観点により、記録専用ヘッド部２にお
ける下部磁性膜の膜厚は、再生専用ヘッド部１における
下部磁性膜の膜厚よりも厚くして形成しなければならな
いが、このように互いの厚みを違えて形成するには、互
いの差の厚み分だけ、記録専用ヘッド部２側にＦｅ−Ａ
１−３ｔやＮｉ−Ｆｅなどの強磁性膜を形成した後、こ
れを所定の形状にバターニングする。その後、続けて上
記の強磁性膜を再生専用ヘッド部１側において必要な厚
みだけ再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２側
において形成した後、再生専用ヘッド部１および記録専
用ヘッド部２において必要な形状に合わせてバターニン
グを行う。これにより、再生専用ヘッド部１および記録
専用ヘッド部２においてそれぞれ所望の形状および厚み
を有する下部磁性膜が得られる。
また、通常、記録専用ヘッド部２の記録能力および再生
専用ヘッド部１の再生分解能力の観点により、記録専用
ヘッド部２のギャップは、再生専用ヘッド部１のそれよ
りも長く設定されるが、このギャップの形成についても
上記下部磁性膜の形成と同様の方法で行う０例えば、ギ
ャップ材である５ｉ０２やＡｌ２Ｏ，などの薄膜を、互
いの差の厚み分だけ、再生専用ヘッド部１側および記録
専用ヘッド部２側において形成した後、再生専用ヘッド
部ｌ側におけるギャップ形成部分の上記薄膜をフォトエ
ツチングにより除去する。そして、続けて上記の薄膜を
再生専用ヘッド部１側において必要な厚みだけ再生専用
ヘッド部１および記録専用ヘッド部２側において形成し
た後、再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２に
おいて必要な形状に合わせてバターニングを行う。これ
により、再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２
においてそれぞれ所望の長さを有するギャップが得られ
る。
専用ヘッド部１の再生分解能力の観点により、記録専用
ヘッド部２のギャップは、再生専用ヘッド部１のそれよ
りも長く設定されるが、このギャップの形成についても
上記下部磁性膜の形成と同様の方法で行う０例えば、ギ
ャップ材である５ｉ０２やＡｌ２Ｏ，などの薄膜を、互
いの差の厚み分だけ、再生専用ヘッド部１側および記録
専用ヘッド部２側において形成した後、再生専用ヘッド
部ｌ側におけるギャップ形成部分の上記薄膜をフォトエ
ツチングにより除去する。そして、続けて上記の薄膜を
再生専用ヘッド部１側において必要な厚みだけ再生専用
ヘッド部１および記録専用ヘッド部２側において形成し
た後、再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２に
おいて必要な形状に合わせてバターニングを行う。これ
により、再生専用ヘッド部１および記録専用ヘッド部２
においてそれぞれ所望の長さを有するギャップが得られ
る。
その他、上部磁性膜の形状および膜厚、並びにコイル状
導体層の膜厚などについても、上記と同様な手法により
、それぞれ所望の形成加工をすることができる。また、
平面的な形状の違い、例えば、トランク幅については、
それぞれの形状に応じたスリットを有するフォトマスク
などを用いれば容易に対応できる。
導体層の膜厚などについても、上記と同様な手法により
、それぞれ所望の形成加工をすることができる。また、
平面的な形状の違い、例えば、トランク幅については、
それぞれの形状に応じたスリットを有するフォトマスク
などを用いれば容易に対応できる。
以上のように下部磁性膜やコイル状導体の形成された基
板３にヘッド保護板５を接合した後、媒体摺動面に研削
・研磨処理を施すことによりヘッドチップ４が得られる
。そして、このヘッドチップ４・４を前述のように再生
専用ヘッド部ｌと記録専用ヘッド部２とが一定の位置関
係を満足するように並設することにより、前記の薄膜磁
気ヘッドが得られる。
板３にヘッド保護板５を接合した後、媒体摺動面に研削
・研磨処理を施すことによりヘッドチップ４が得られる
。そして、このヘッドチップ４・４を前述のように再生
専用ヘッド部ｌと記録専用ヘッド部２とが一定の位置関
係を満足するように並設することにより、前記の薄膜磁
気ヘッドが得られる。
なお、かかる薄膜磁気ヘッドにおいて、多数トラック同
時記録再生ができるようにするには、第２図に示すよう
に、基板３上に複数の記録専用ヘッド部２・・・と複数
の再生専用ヘッド部ｌ・・・とを交互に形成してヘッド
チップを得れば良い。
時記録再生ができるようにするには、第２図に示すよう
に、基板３上に複数の記録専用ヘッド部２・・・と複数
の再生専用ヘッド部ｌ・・・とを交互に形成してヘッド
チップを得れば良い。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドチップは、以上のように、
基板上に下部磁性膜、コイル状導体層、および上部磁性
膜がそれぞれ絶縁層を介して形成されて成る薄膜磁気ヘ
ッドチップにおいて、再生専用ヘッド部と記録専用ヘッ
ド部とが同一基板上に一定の間隔を隔てて形成されてい
る構成である。
基板上に下部磁性膜、コイル状導体層、および上部磁性
膜がそれぞれ絶縁層を介して形成されて成る薄膜磁気ヘ
ッドチップにおいて、再生専用ヘッド部と記録専用ヘッ
ド部とが同一基板上に一定の間隔を隔てて形成されてい
る構成である。
これにより、シリアル・サーペンタイン方式に対応可能
な薄膜磁気ヘッドを簡単な構造で得ることができ、かか
る薄膜磁気ヘッドの製造工程を簡略化することができる
。また、各ヘッドチップと磁気テープとの相対位置を好
適位置に保つことが容易になり、アジマス損失やトラッ
ク位置ずれによる損失の発生を回避することが可能にな
る。さらに、各ヘントチツブに対し安定なテープ走行お
よびテープ接触を得ることも可能になってスペース損失
の増大防止が図れるという効果も併せて奏する。
な薄膜磁気ヘッドを簡単な構造で得ることができ、かか
る薄膜磁気ヘッドの製造工程を簡略化することができる
。また、各ヘッドチップと磁気テープとの相対位置を好
適位置に保つことが容易になり、アジマス損失やトラッ
ク位置ずれによる損失の発生を回避することが可能にな
る。さらに、各ヘントチツブに対し安定なテープ走行お
よびテープ接触を得ることも可能になってスペース損失
の増大防止が図れるという効果も併せて奏する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すものであ
って、第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドチップにより構
成されたシリアル・サーペンタイン方式に対応する薄膜
磁気ヘッドの斜視図、第２図は同一基板上に再生専用ヘ
ッド部および記録専用ヘッド部を形成した状態を示す斜
視図、第３図および第４図はそれぞれ従来例を示すもの
であって、従来の薄膜磁気ヘッドチップにより構成され
たシリアル・サーペンタイン方式に対応する薄膜磁気ヘ
ッドを示す斜視図である。 １は再生専用ヘッド部、２は記録専用ヘッド部、３は基
板、４は薄膜磁気ヘッドチップ、５はヘッド保護板、６
は記録再生ヘッド部、７は磁気テープである。 第 図 ４−４Ｂ 第 図
って、第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドチップにより構
成されたシリアル・サーペンタイン方式に対応する薄膜
磁気ヘッドの斜視図、第２図は同一基板上に再生専用ヘ
ッド部および記録専用ヘッド部を形成した状態を示す斜
視図、第３図および第４図はそれぞれ従来例を示すもの
であって、従来の薄膜磁気ヘッドチップにより構成され
たシリアル・サーペンタイン方式に対応する薄膜磁気ヘ
ッドを示す斜視図である。 １は再生専用ヘッド部、２は記録専用ヘッド部、３は基
板、４は薄膜磁気ヘッドチップ、５はヘッド保護板、６
は記録再生ヘッド部、７は磁気テープである。 第 図 ４−４Ｂ 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に下部磁性膜、コイル状導体層、および上部
磁性膜がそれぞれ絶縁層を介して形成されて成る薄膜磁
気ヘッドチップにおいて、 再生専用ヘッド部と記録専用ヘッド部とが同一基板上に
一定の間隔を隔てて形成されていることを特徴とする薄
膜磁気ヘッドチップ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157268A JPH025217A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 薄膜磁気ヘッドチップ |
| US07/368,265 US5068760A (en) | 1988-06-23 | 1989-06-19 | Thin film magnetic head for a bidirectionally moveable recording medium |
| DE68915064T DE68915064T2 (de) | 1988-06-23 | 1989-06-21 | Dünnschicht-Magnetkopf. |
| EP89306258A EP0348169B1 (en) | 1988-06-23 | 1989-06-21 | Thin film magnetic head |
| US07/736,386 US5153980A (en) | 1988-06-23 | 1991-07-26 | Method of forming a magnetic head chip for a thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157268A JPH025217A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 薄膜磁気ヘッドチップ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025217A true JPH025217A (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=15645944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63157268A Pending JPH025217A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 薄膜磁気ヘッドチップ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5068760A (ja) |
| EP (1) | EP0348169B1 (ja) |
| JP (1) | JPH025217A (ja) |
| DE (1) | DE68915064T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04344316A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-11-30 | Sharp Corp | 磁気記録再生装置 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5208714A (en) * | 1990-12-26 | 1993-05-04 | International Business Machines Corporation | Magnetic hybrid interleaved head with closure supporting islands |
| US5436780A (en) * | 1991-06-03 | 1995-07-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head device |
| JP2884824B2 (ja) * | 1991-06-11 | 1999-04-19 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
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| US20090115060A1 (en) | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit device and method |
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Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS539510A (en) * | 1976-07-14 | 1978-01-28 | Nippon Gakki Seizo Kk | Magnetic head |
| DE3273539D1 (en) * | 1981-06-08 | 1986-11-06 | Hitachi Ltd | Azimuthal magnetic recording and reproducing apparatus |
| JPS5814312A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | Canon Inc | 複合型磁気ヘツド |
| JPS58222417A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-24 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド |
| JPS6050710A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-20 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド |
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| JPS61175919A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-07 | Sharp Corp | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS63108511A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-13 | Sharp Corp | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
| US4797767A (en) * | 1986-11-20 | 1989-01-10 | American Magnetics Corporation | Digital magnetic head structure |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP63157268A patent/JPH025217A/ja active Pending
-
1989
- 1989-06-19 US US07/368,265 patent/US5068760A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-21 EP EP89306258A patent/EP0348169B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-21 DE DE68915064T patent/DE68915064T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-07-26 US US07/736,386 patent/US5153980A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPH04344316A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-11-30 | Sharp Corp | 磁気記録再生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68915064T2 (de) | 1994-10-13 |
| EP0348169B1 (en) | 1994-05-04 |
| EP0348169A2 (en) | 1989-12-27 |
| US5068760A (en) | 1991-11-26 |
| US5153980A (en) | 1992-10-13 |
| EP0348169A3 (en) | 1990-05-09 |
| DE68915064D1 (de) | 1994-06-09 |
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