JPS63234406A - 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド - Google Patents
多チヤンネル薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS63234406A JPS63234406A JP6797987A JP6797987A JPS63234406A JP S63234406 A JPS63234406 A JP S63234406A JP 6797987 A JP6797987 A JP 6797987A JP 6797987 A JP6797987 A JP 6797987A JP S63234406 A JPS63234406 A JP S63234406A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高密度記録に対応した多チャンネル薄膜磁気
ヘッドに関する。
ヘッドに関する。
（従来技術）
近年、＾密度記録に対応するため、磁路を薄膜金属磁性
体を用いて構成した薄膜磁気ヘッドが開発されている。
体を用いて構成した薄膜磁気ヘッドが開発されている。
一方、フロッピーディスク等の回転磁気記録媒体におい
て、隣接トラックとの間のガードノ々ンドにもアジマス
記録を適用し、記録密度を高めようとする試みが最適合
われている。具体例として、小径の磁気ディスクの１ト
ラツク例えば６０μｍ幅に１スチル画を記録すると共に
、狭幅なガードノ々ンド例えば４０μｍ＠に画像に対応
した音声等の情報を記録し、これらを同時再生する映像
システムが提案されている。
て、隣接トラックとの間のガードノ々ンドにもアジマス
記録を適用し、記録密度を高めようとする試みが最適合
われている。具体例として、小径の磁気ディスクの１ト
ラツク例えば６０μｍ幅に１スチル画を記録すると共に
、狭幅なガードノ々ンド例えば４０μｍ＠に画像に対応
した音声等の情報を記録し、これらを同時再生する映像
システムが提案されている。
しかし、例えばこのような映像システムに適用されて映
像及び音声をそれぞれトラック及びガードノ々ンドに記
録又は再生できる一体型の多チャンネル薄膜磁気ヘッド
はこれまでなかった。
像及び音声をそれぞれトラック及びガードノ々ンドに記
録又は再生できる一体型の多チャンネル薄膜磁気ヘッド
はこれまでなかった。
即ち、従来の多チャンネル薄膜磁気ヘッドは、主に、磁
気ギャップが基板と略平行に形成された薄膜ヘッドと、
磁気ギャップが基板と非平行なアジマス角を有して形成
されたアジマスヘッドとに分類され、それらは別々に製
作された。
気ギャップが基板と略平行に形成された薄膜ヘッドと、
磁気ギャップが基板と非平行なアジマス角を有して形成
されたアジマスヘッドとに分類され、それらは別々に製
作された。
従つそ、前述のような用途に適用させるためには、これ
らヘッドを一体的に設けて用いる必要がある。
らヘッドを一体的に設けて用いる必要がある。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、基板とギャップが略平行な薄膜ヘッドで
は、媒体は基板と略垂直に走行するのに対し、一枚の基
板上に形成されてアジマス角を有する磁気ヘッドとして
、いままでに技術的開示がなされたものは、媒体は基板
と略平行に走行するため、それぞれ別途に形成された磁
気ヘッドを接着等により一体化させる為には二つの基板
を垂直に貼り合せねばならず、２つのヘッド相互間の位
置合わせが龜しいこと、加えてこのように設けられたヘ
ッドは記録媒体との摺動面が大きく形成され、そのため
媒体の面振れを生じ、スペーシング・ロスによる出力低
下等の欠点があった。
は、媒体は基板と略垂直に走行するのに対し、一枚の基
板上に形成されてアジマス角を有する磁気ヘッドとして
、いままでに技術的開示がなされたものは、媒体は基板
と略平行に走行するため、それぞれ別途に形成された磁
気ヘッドを接着等により一体化させる為には二つの基板
を垂直に貼り合せねばならず、２つのヘッド相互間の位
置合わせが龜しいこと、加えてこのように設けられたヘ
ッドは記録媒体との摺動面が大きく形成され、そのため
媒体の面振れを生じ、スペーシング・ロスによる出力低
下等の欠点があった。
本発明の目的は、上記事情に基づいてなされたもので、
フロッピーディスク等への高密度記録として、通常の磁
気記録に加えて良好なアジマス記録が同時に行える多チ
ャンネル薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
フロッピーディスク等への高密度記録として、通常の磁
気記録に加えて良好なアジマス記録が同時に行える多チ
ャンネル薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明の上記目的は、複数の磁気ギャップを有
して基板上に形成される多チャンネル薄膜磁気ヘッドに
おいて、薄膜コイルによって励磁されかつ基板と略平行
な磁気ギャップを有する少なくとも１つの磁気ヘッドと
、バルク線材を巻装したコイルによって励磁されかつ磁
気ギャップが基板と非平行なアジマス角を有する少なく
とも１つの磁気ヘッドが同一基板上に形成されてなるこ
とを特徴とする多チャンネル薄膜磁気ヘッドにより達成
される。
して基板上に形成される多チャンネル薄膜磁気ヘッドに
おいて、薄膜コイルによって励磁されかつ基板と略平行
な磁気ギャップを有する少なくとも１つの磁気ヘッドと
、バルク線材を巻装したコイルによって励磁されかつ磁
気ギャップが基板と非平行なアジマス角を有する少なく
とも１つの磁気ヘッドが同一基板上に形成されてなるこ
とを特徴とする多チャンネル薄膜磁気ヘッドにより達成
される。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明の多チャンネル磁気ヘッドの１実施例
を示す斜視図であり、第２図はその構成を説明するため
の概略分解斜視図である。
を示す斜視図であり、第２図はその構成を説明するため
の概略分解斜視図である。
なお、実施例ではインラインの２チヤンネルとアジマス
角を有する他の２チヤンネルの計４チャンネルのヘッド
を図示している。
角を有する他の２チヤンネルの計４チャンネルのヘッド
を図示している。
本発明の多チャンネル薄膜磁気ヘッドは、第２図（Ａ）
及び（Ｂ）に図示した２つの薄膜磁気ヘッドが概略、基
板を１つにして重ね合わされた構造からなっている。（
Ａ）は、記録媒体摺動面に基板と非平行なアジマス角を
持った１対の磁気ギャップが形成されたアジマスヘッド
１０であり、（Ｂ）は、磁気ギャップが基板と略平行に
設けられた薄膜ヘッド２０である。
及び（Ｂ）に図示した２つの薄膜磁気ヘッドが概略、基
板を１つにして重ね合わされた構造からなっている。（
Ａ）は、記録媒体摺動面に基板と非平行なアジマス角を
持った１対の磁気ギャップが形成されたアジマスヘッド
１０であり、（Ｂ）は、磁気ギャップが基板と略平行に
設けられた薄膜ヘッド２０である。
アジマスヘッド１０は、概ね以下の製造プロセスによっ
て製作される。すなわち、非磁性基板１１上にセンダス
ト、アモルファス等の第１の磁性層１２をスパッタリン
グ等により形成した後、ダイヤモンドノ々イ）Ｋより第
１の磁性層１２の一部を切削し、トラック幅相当の台形
状の磁性層を形成する。
て製作される。すなわち、非磁性基板１１上にセンダス
ト、アモルファス等の第１の磁性層１２をスパッタリン
グ等により形成した後、ダイヤモンドノ々イ）Ｋより第
１の磁性層１２の一部を切削し、トラック幅相当の台形
状の磁性層を形成する。
これは、フォトリングラフィ及びイオンミリングを組合
せることによって形成してもよい。このとき、台形のチ
ー、６面がそれぞれ十−ア、ジマスの動作ギヤツブ面と
なり、テーノぞ角がアジマス角θ、θ′となる。なお、
アジマス角は５〜６０度、好ましくは１０〜４５度に形
成される。次に、テーパ面上に８１０２等のギャップス
ペーサ１６を所定厚になるようにスノぞツタリング等に
より被層し、ギャップ１及びギャップ２を形成した後、
第２の磁性層１４を蒸着′ス・ぞツタリング等により全
面に積層し、研磨することにより略平坦にする。この平
坦化法としては、研磨以外に基板と略平行な方向る。史
に、ギャップデプスエンド部を規制する凹部１０１を形
成した後非磁性材１０２をス・ξツタ等により形成して
もう一度平坦化する。その後、巻線用穴１５を超音波加
工等によって設ける。そして、前記巻線用穴１５を通し
て・マルク線材に設けられるコイル１６を巻装すること
により、図中矢印で示すような磁路が形成され励磁され
る。
せることによって形成してもよい。このとき、台形のチ
ー、６面がそれぞれ十−ア、ジマスの動作ギヤツブ面と
なり、テーノぞ角がアジマス角θ、θ′となる。なお、
アジマス角は５〜６０度、好ましくは１０〜４５度に形
成される。次に、テーパ面上に８１０２等のギャップス
ペーサ１６を所定厚になるようにスノぞツタリング等に
より被層し、ギャップ１及びギャップ２を形成した後、
第２の磁性層１４を蒸着′ス・ぞツタリング等により全
面に積層し、研磨することにより略平坦にする。この平
坦化法としては、研磨以外に基板と略平行な方向る。史
に、ギャップデプスエンド部を規制する凹部１０１を形
成した後非磁性材１０２をス・ξツタ等により形成して
もう一度平坦化する。その後、巻線用穴１５を超音波加
工等によって設ける。そして、前記巻線用穴１５を通し
て・マルク線材に設けられるコイル１６を巻装すること
により、図中矢印で示すような磁路が形成され励磁され
る。
一方、基板と略平行なギャップを有する薄膜へラド２０
は概ね以下のプロセスにより製作される。
は概ね以下のプロセスにより製作される。
すなわち、非磁性基板２１上にアモルファス、センタス
ト、パーマロイ等をスノぞツタ、Ａ着等により設けて下
部磁性層２２とした後、この下部磁性層２２上に形成し
た図示しない非磁性絶縁層上にパターニングしたコイル
導体層２６を形成する。
ト、パーマロイ等をスノぞツタ、Ａ着等により設けて下
部磁性層２２とした後、この下部磁性層２２上に形成し
た図示しない非磁性絶縁層上にパターニングしたコイル
導体層２６を形成する。
図は１ターンのコイルであるがスノぞイラル状に多巻し
てもよい。更に非磁性絶縁層を積層した後、フロントギ
ャップ部及びリアギャップ部に当る部分の前記非磁性絶
縁層をチーＡ−エツチングにより除去し、所定のギャッ
プ長となるように全面に亘って非磁性膜２４を形成して
ギャップ６．４を設けた後、リアギャップ部上の非磁性
膜２４をエツチングにより除去し、更にアモルファス、
センタスト、パーマロイ等をスノぞツタ、−蒸着等によ
シ設けた上部磁性層２５を形成して、製作される。
てもよい。更に非磁性絶縁層を積層した後、フロントギ
ャップ部及びリアギャップ部に当る部分の前記非磁性絶
縁層をチーＡ−エツチングにより除去し、所定のギャッ
プ長となるように全面に亘って非磁性膜２４を形成して
ギャップ６．４を設けた後、リアギャップ部上の非磁性
膜２４をエツチングにより除去し、更にアモルファス、
センタスト、パーマロイ等をスノぞツタ、−蒸着等によ
シ設けた上部磁性層２５を形成して、製作される。
これによシ、図中矢印で示すような磁路がコイル導体＃
２６により形成される。
２６により形成される。
本発明の多チャンネル薄膜磁気ヘッドは、上述のように
構成されたそれぞれの磁気ヘッドが、前述したとおり、
概略基板を共通にして重ね合わされた構造からなってい
る。
構成されたそれぞれの磁気ヘッドが、前述したとおり、
概略基板を共通にして重ね合わされた構造からなってい
る。
すなわち、第１図に戻って、非磁性基板１上に、第２図
（Ａ）で述べたアジマスヘッド１０を形成する。
（Ａ）で述べたアジマスヘッド１０を形成する。
しかしこの際、巻線用穴は設けない。次にこのアジマス
ヘッド上に、第２図（Ｂ）で述べた薄膜ヘッド２０を形
成する。
ヘッド上に、第２図（Ｂ）で述べた薄膜ヘッド２０を形
成する。
このとき、アジマスヘッドに形成された第１の磁性層１
２及び第２の磁性層１４を、薄膜ヘッドの下部磁性層（
第２図符号２２）に相当させる。
２及び第２の磁性層１４を、薄膜ヘッドの下部磁性層（
第２図符号２２）に相当させる。
従って、アジマスヘッドの第１の磁性層１２上及び第２
の磁性層１４上の全面に、薄膜ヘッドのギャップスペー
サとなる非磁性膜２４を形成した後、前記コイル導”体
層−２３及び上部磁性層２５が順次積層されて設けられ
る。そして最後に、積層された全層に亘って巻線用穴１
５を形成した後１．Ｊルク膀材のコイル１６を巻装して
ヘッドが製作される。なお、アジマスヘッドと薄膜ヘッ
ドにおけるそれぞれギャップの位置関係は、アジマスヘ
ッドのギャップ１．２が磁気記録媒体のガードノ々ンド
に対応し、薄膜ヘッドのギャップ６．４がトラックに対
応するように交互に配置されており、図中矢印の方向に
走行する記録媒体に対応してギャップ幅が例えば４０μ
ｍ、６０μｍにそれぞれ形成されている。従って、これ
らギャップ１〜４が比較的小さな媒体摺動面（高々１冒
２）内に形成でき、記録媒体との闇に好適な関係を作シ
出すことができる。
の磁性層１４上の全面に、薄膜ヘッドのギャップスペー
サとなる非磁性膜２４を形成した後、前記コイル導”体
層−２３及び上部磁性層２５が順次積層されて設けられ
る。そして最後に、積層された全層に亘って巻線用穴１
５を形成した後１．Ｊルク膀材のコイル１６を巻装して
ヘッドが製作される。なお、アジマスヘッドと薄膜ヘッ
ドにおけるそれぞれギャップの位置関係は、アジマスヘ
ッドのギャップ１．２が磁気記録媒体のガードノ々ンド
に対応し、薄膜ヘッドのギャップ６．４がトラックに対
応するように交互に配置されており、図中矢印の方向に
走行する記録媒体に対応してギャップ幅が例えば４０μ
ｍ、６０μｍにそれぞれ形成されている。従って、これ
らギャップ１〜４が比較的小さな媒体摺動面（高々１冒
２）内に形成でき、記録媒体との闇に好適な関係を作シ
出すことができる。
第６図は本発明の変史例である。
すなわち、本変更例では、第２図（Ａ）で示したアジマ
スヘッド１０を形成した後、その上面全域に亘って例え
ば１０μｍ厚程度０非磁性層６１を被着し、その上に、
第２図（Ｂ）で示した薄膜ヘッド２０の基板のみを省略
したものがそのまま積層して設けられる。この場合、ア
ジマスヘッドのコイルは下部磁性層２２の一部を除去す
ることによりその下部磁性層２２を巻装しないようにし
て、第２の磁性／１４のみに巻装されるようにする。な
お、先のｇｇ１図で示した実施例では記述しなかったが
、製作されたヘッド上向にはＳｉｎ、 、 ＡちＯｓ等
の保護用非磁性層３２がスパッタ等により形成されてい
る。このように構成されたヘッドでは、２つのヘッド間
に配置した前記非磁性１−６１により、特にバルク線材
によって設けられたコイルからの誘導磁束が他方の薄膜
ヘッド２０に及ぶことがなく、２ヘッド間のクロストー
クの発生が阻止できる。
スヘッド１０を形成した後、その上面全域に亘って例え
ば１０μｍ厚程度０非磁性層６１を被着し、その上に、
第２図（Ｂ）で示した薄膜ヘッド２０の基板のみを省略
したものがそのまま積層して設けられる。この場合、ア
ジマスヘッドのコイルは下部磁性層２２の一部を除去す
ることによりその下部磁性層２２を巻装しないようにし
て、第２の磁性／１４のみに巻装されるようにする。な
お、先のｇｇ１図で示した実施例では記述しなかったが
、製作されたヘッド上向にはＳｉｎ、 、 ＡちＯｓ等
の保護用非磁性層３２がスパッタ等により形成されてい
る。このように構成されたヘッドでは、２つのヘッド間
に配置した前記非磁性１−６１により、特にバルク線材
によって設けられたコイルからの誘導磁束が他方の薄膜
ヘッド２０に及ぶことがなく、２ヘッド間のクロストー
クの発生が阻止できる。
（発明の効果）
以上記載したとおシ、本発明の多チャンネル薄膜磁気ヘ
ッドによれは、ギャップ形態が異なる２つの磁気ヘッド
が基板を共通にした一体構造に設けられているので、記
録媒体との摺動向を小さく形成できて媒体の面像を少な
くし、良好なヘッドタッチによるアジマス記録が得られ
る。また、２つのヘッドが一連の薄膜製造プロセスによ
って製作できるので、２つのヘッド相互の位置合わせは
比較的容易に行うことが出来る。
ッドによれは、ギャップ形態が異なる２つの磁気ヘッド
が基板を共通にした一体構造に設けられているので、記
録媒体との摺動向を小さく形成できて媒体の面像を少な
くし、良好なヘッドタッチによるアジマス記録が得られ
る。また、２つのヘッドが一連の薄膜製造プロセスによ
って製作できるので、２つのヘッド相互の位置合わせは
比較的容易に行うことが出来る。
第１図は本発明の１実施例に基づいた多チャンネル？ｌ
／膜磁気ヘッドの斜視図、第２図（７！及び（Ｂ）は第
１図の実施例を説明するために分解的に示したアジマス
ヘッド（Ａｌと薄膜ヘッドｆＢｌのそねぞれ斜視図、第
６図は本発明の変更例を示すヘッドの正面図である。 １・・・非愚性基板、１０・・・アジマスヘッド、１２
・・・第１の母性層、１４・・・第２の母性層、１５・
・・巻線用穴、１６・・す々ルク線材によるコイル、２
０・・・薄膜ヘッド、２２・・・下部磁性層、２６・・
・コイル導体層、２４・・・非磁性膜、２５・・・上部
母性層、６１・・・非磁性層、６２・・・保穫用非磁性
層、１０１・・・ギャップデプスエンド部を規制する凹
部、１０２・・・非磁性層。
／膜磁気ヘッドの斜視図、第２図（７！及び（Ｂ）は第
１図の実施例を説明するために分解的に示したアジマス
ヘッド（Ａｌと薄膜ヘッドｆＢｌのそねぞれ斜視図、第
６図は本発明の変更例を示すヘッドの正面図である。 １・・・非愚性基板、１０・・・アジマスヘッド、１２
・・・第１の母性層、１４・・・第２の母性層、１５・
・・巻線用穴、１６・・す々ルク線材によるコイル、２
０・・・薄膜ヘッド、２２・・・下部磁性層、２６・・
・コイル導体層、２４・・・非磁性膜、２５・・・上部
母性層、６１・・・非磁性層、６２・・・保穫用非磁性
層、１０１・・・ギャップデプスエンド部を規制する凹
部、１０２・・・非磁性層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数の磁気ギャップを有して基板上に形成される多
チャンネル薄膜磁気ヘッドにおいて、薄膜コイルによっ
て励磁されかつ基板と略平行な磁気ギャップを有する少
なくとも１つの磁気ヘッドと、バルク線材を巻装したコ
イルによって励磁されかつ磁気ギャップが基板と非平行
なアジマス角を有する少なくとも１つの磁気ヘッドが同
一基板上に形成されてなることを特徴とする多チャンネ
ル薄膜磁気ヘッド。 ２）基板上に形成されるアジマス角を有する磁気ヘッド
と、基板と略平行な磁気ギャップを有する磁気ヘッドと
の間に非磁性層を有したことを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載の多チャンネル薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6797987A JPS63234406A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6797987A JPS63234406A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63234406A true JPS63234406A (ja) | 1988-09-29 |
Family
ID=13360613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6797987A Pending JPS63234406A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63234406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0581265A2 (en) * | 1992-07-29 | 1994-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Composite magnetic head |
-
1987
- 1987-03-24 JP JP6797987A patent/JPS63234406A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0581265A2 (en) * | 1992-07-29 | 1994-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Composite magnetic head |
| EP0581265A3 (en) * | 1992-07-29 | 1995-11-15 | Sharp Kk | Composite magnetic head |
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