JPH0664709B2 - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0664709B2 JPH0664709B2 JP59012490A JP1249084A JPH0664709B2 JP H0664709 B2 JPH0664709 B2 JP H0664709B2 JP 59012490 A JP59012490 A JP 59012490A JP 1249084 A JP1249084 A JP 1249084A JP H0664709 B2 JPH0664709 B2 JP H0664709B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film magnetic
- magnetic
- magnetic layer
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は薄膜形成法を利用した薄膜磁気ヘッドの改良に
関する。
関する。
＜従来技術の説明＞ 近年、磁気記録の分野に於いては高密度記録化、磁気記
録再生装置の小型化が推進されてきている。これに伴い
磁性体薄膜を積層してコアを形成する薄膜磁気ヘッドが
小型化，省スペース化等に適するために、これを用いる
機会が増加している。特に、２つのヘッドギャップがそ
れらの記録方向に交差する方向に近接して設けられ同時
に２つのトラックをトレースする様に配された複合磁気
ヘッド（以下単に複合ヘッドと称す）を薄膜磁気ヘッド
で構成すれば２つの磁気ヘッドコアの対向面積を極めて
小さくすることができるため、両ヘッドコア間のクロス
トークを極めて少なくすることができる。
録再生装置の小型化が推進されてきている。これに伴い
磁性体薄膜を積層してコアを形成する薄膜磁気ヘッドが
小型化，省スペース化等に適するために、これを用いる
機会が増加している。特に、２つのヘッドギャップがそ
れらの記録方向に交差する方向に近接して設けられ同時
に２つのトラックをトレースする様に配された複合磁気
ヘッド（以下単に複合ヘッドと称す）を薄膜磁気ヘッド
で構成すれば２つの磁気ヘッドコアの対向面積を極めて
小さくすることができるため、両ヘッドコア間のクロス
トークを極めて少なくすることができる。
以下本明細書ではこの種の複合ヘッドを例にとって説明
する。第１図は薄膜磁性層を用いて構成された従来の複
合ヘッドを示す斜視図である。第１図に於いて、２は軟
磁性材よりなる下部磁性層、4a,4bは夫々非磁性体より
なる非磁性ギャップ材、6a,6b,6c,6dは夫々絶縁層、8a,
8bは夫々軟磁性材薄膜を積層してなる上部磁性層、10は
下部磁性層２及び上部磁性層8bより構成される薄膜磁気
ヘッド内に設けられたコイルパターン、10a,10bは夫々
コイルパターン10の端部である。
する。第１図は薄膜磁性層を用いて構成された従来の複
合ヘッドを示す斜視図である。第１図に於いて、２は軟
磁性材よりなる下部磁性層、4a,4bは夫々非磁性体より
なる非磁性ギャップ材、6a,6b,6c,6dは夫々絶縁層、8a,
8bは夫々軟磁性材薄膜を積層してなる上部磁性層、10は
下部磁性層２及び上部磁性層8bより構成される薄膜磁気
ヘッド内に設けられたコイルパターン、10a,10bは夫々
コイルパターン10の端部である。
第１図に示す複合ヘッドは２つのヘッド間のクロストー
クが小さい上に、図示の如く薄形化が可能であった。し
かし第２図に断面を示す様に、コイルパターン10上に絶
縁層6cを積層し、更に上部磁性層8a,8bを形成する。従
って上部磁性層8a,8bは凹凸面上に形成することになる
ため、磁気特性が悪くなり、磁気ヘッドとしての効率を
大幅に低下させてしまう。これは磁性薄膜を被着する
際、被着面に対する軟質磁性材のスパッタ入射角が極め
て小さくなるため各凹凸部に於いて磁性材の保持力は数
10ｅにも達してしまい、これに伴って当然透磁率も大
幅に低下してしまうからである。
クが小さい上に、図示の如く薄形化が可能であった。し
かし第２図に断面を示す様に、コイルパターン10上に絶
縁層6cを積層し、更に上部磁性層8a,8bを形成する。従
って上部磁性層8a,8bは凹凸面上に形成することになる
ため、磁気特性が悪くなり、磁気ヘッドとしての効率を
大幅に低下させてしまう。これは磁性薄膜を被着する
際、被着面に対する軟質磁性材のスパッタ入射角が極め
て小さくなるため各凹凸部に於いて磁性材の保持力は数
10ｅにも達してしまい、これに伴って当然透磁率も大
幅に低下してしまうからである。
更に磁気ヘッドを考慮に入れたとき、ヘッド幅を60μ程
度とすればコイルパターン10の入る磁路の幅（第１図ｌ
にて示す）は、150μ程度となってしまい、コイルパタ
ーンのターン数が数ターンになってしまう。記録再生ヘ
ッドに必要なターン数は20ターン程度であるので、トラ
ンス等を用いてやらねばならない。この場合にはトラン
スにより効率が低下する上に、トランスにより必要なス
ペースが大きく商品化する上で大きな問題となる。
度とすればコイルパターン10の入る磁路の幅（第１図ｌ
にて示す）は、150μ程度となってしまい、コイルパタ
ーンのターン数が数ターンになってしまう。記録再生ヘ
ッドに必要なターン数は20ターン程度であるので、トラ
ンス等を用いてやらねばならない。この場合にはトラン
スにより効率が低下する上に、トランスにより必要なス
ペースが大きく商品化する上で大きな問題となる。
＜発明の目的＞ 本願発明は上述の如き欠点を鑑みなされたもので、磁気
特性が良く、トランス等を設けることのない、装置の省
スペース化，小型化に適した薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。
特性が良く、トランス等を設けることのない、装置の省
スペース化，小型化に適した薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。
＜実施例による説明＞ 以下本願発明を複合ヘッドに適用した場合の実施例を用
いて説明する。
いて説明する。
第３図は本願発明の一実施例としての薄膜複合磁気ヘッ
ドを示す図である。第３図に於いて12は非磁性基板であ
り、予め巻線用孔12a,12bが一対設けられている。この
基板12は後述する各磁性層の磁性材と熱膨張係数差を20
×10− ７／℃以内に合わせた結晶化ガラス等で構成され
る。14a,14bは夫々下部（第１の）薄膜磁性層であり、
基板12上に近接して配されている。この下部薄膜磁性層
14a,14bは例えばアモルファス金属，センダスト，パー
マロイ等の軟磁性材をスパッター等の付着技術で基板12
に付着させ、その後イオンミーリング等のエッチング技
術を用いて適宜除去することによって形成したものであ
る。
ドを示す図である。第３図に於いて12は非磁性基板であ
り、予め巻線用孔12a,12bが一対設けられている。この
基板12は後述する各磁性層の磁性材と熱膨張係数差を20
×10− ７／℃以内に合わせた結晶化ガラス等で構成され
る。14a,14bは夫々下部（第１の）薄膜磁性層であり、
基板12上に近接して配されている。この下部薄膜磁性層
14a,14bは例えばアモルファス金属，センダスト，パー
マロイ等の軟磁性材をスパッター等の付着技術で基板12
に付着させ、その後イオンミーリング等のエッチング技
術を用いて適宜除去することによって形成したものであ
る。
16a,16bは夫々磁気ギャップ材層であって、下部磁性層1
4a,14b上の磁気ギャップ部を含む少なくとも一部に対し
てSiO２等の非磁性材をスパッター等により付着させ、
その後イオンミーリング等のエッチング技術で必要に応
じて除去して形成したものである。18a,18bは夫々絶縁
層であって下部磁性層14a,14bと後述する上部磁性層20
a,20bとを遠ざける役目をしている。材料としては例え
ばSiO２等の非磁性材を用いる。尚この絶縁層18a,18bは
厚くする事によりヘッドの効率は上がるが、その場合材
料がSiO２では各磁性層の磁性材との熱膨張係数が大き
く異なってしまうため好ましくなく、基板12と同様に磁
性材との熱膨張係数差が20×16− ７／℃以下の非磁性材
料を用いなければならない。また絶縁層18a,18bについ
ても非磁性材料を下部磁性層14a,14b上にスパッター等
により付着，積層し、その後イオンミーリング等で一部
除去して形成する。
4a,14b上の磁気ギャップ部を含む少なくとも一部に対し
てSiO２等の非磁性材をスパッター等により付着させ、
その後イオンミーリング等のエッチング技術で必要に応
じて除去して形成したものである。18a,18bは夫々絶縁
層であって下部磁性層14a,14bと後述する上部磁性層20
a,20bとを遠ざける役目をしている。材料としては例え
ばSiO２等の非磁性材を用いる。尚この絶縁層18a,18bは
厚くする事によりヘッドの効率は上がるが、その場合材
料がSiO２では各磁性層の磁性材との熱膨張係数が大き
く異なってしまうため好ましくなく、基板12と同様に磁
性材との熱膨張係数差が20×16− ７／℃以下の非磁性材
料を用いなければならない。また絶縁層18a,18bについ
ても非磁性材料を下部磁性層14a,14b上にスパッター等
により付着，積層し、その後イオンミーリング等で一部
除去して形成する。
20a,20bは夫々上部（第２の）薄膜磁性層であって、夫
々下部磁性層14a,14bと磁気ギャップ部を含む積層部分
（第１の積層部）21a,21bと、この部分から離れた積層
部分（第２の積層部）22a,22bとで積層される。これに
よってこの上部磁性層20a,20bは図示の如く下部磁性層1
4a,14bと共に夫々孔12a,12bを囲む磁気回路を形成す
る。この上部磁性層20a,20bについてもアモルファス金
属，センダスト，パーマロイ等の軟磁性材をスパッター
等で付着して積層した後、イオンミーリング等のエッチ
ング技術を用いて適宜除去することによって形成され
る。尚24a,24bは夫々孔12a,12bを介してて磁気回路に巻
廻される巻線コイルである。
々下部磁性層14a,14bと磁気ギャップ部を含む積層部分
（第１の積層部）21a,21bと、この部分から離れた積層
部分（第２の積層部）22a,22bとで積層される。これに
よってこの上部磁性層20a,20bは図示の如く下部磁性層1
4a,14bと共に夫々孔12a,12bを囲む磁気回路を形成す
る。この上部磁性層20a,20bについてもアモルファス金
属，センダスト，パーマロイ等の軟磁性材をスパッター
等で付着して積層した後、イオンミーリング等のエッチ
ング技術を用いて適宜除去することによって形成され
る。尚24a,24bは夫々孔12a,12bを介してて磁気回路に巻
廻される巻線コイルである。
上述した如き薄膜磁気ヘッドによれば、下部磁性層14a,
14bと上部磁性層20a,20bを積層する際、それらによって
構成される磁気回路の内側に、積層方向について磁性層
の存在しない空間部を設けているので、この磁気回路に
よって構成される磁気ヘッドに対して容易に巻線を施す
ことができる。そのためコイルパターン等を形成するこ
とがなく、磁気特性は良好なものとなる。また巻線ター
ン数も増やすことができるのでトランス等を用いる必要
もなく装置の省スペース化及び小型化に対しても極めて
有利である。
14bと上部磁性層20a,20bを積層する際、それらによって
構成される磁気回路の内側に、積層方向について磁性層
の存在しない空間部を設けているので、この磁気回路に
よって構成される磁気ヘッドに対して容易に巻線を施す
ことができる。そのためコイルパターン等を形成するこ
とがなく、磁気特性は良好なものとなる。また巻線ター
ン数も増やすことができるのでトランス等を用いる必要
もなく装置の省スペース化及び小型化に対しても極めて
有利である。
また複合ヘッドとして見た場合にも両磁気ヘッドコアの
対向面積は極めて小さい為、両コア間のクロストークを
極めて少なくすることができる。
対向面積は極めて小さい為、両コア間のクロストークを
極めて少なくすることができる。
尚、上述の実施例に於いては２ケ所の積層部分21,22を
設けて、２つの薄膜磁性層14,20にて磁気回路を構成し
ているが、３層以上で磁気回路を構成することも可能で
ある。即ち、例えば下部薄膜磁性層と上部薄膜磁性層が
ギャップ材層の少なくとも一部を介する積層部のみにお
いて積層され、夫々の他端を予め基板上に設けられた磁
性材または更に積層した薄膜磁性層を介して磁気的に接
続する様に構成することも可能である。
設けて、２つの薄膜磁性層14,20にて磁気回路を構成し
ているが、３層以上で磁気回路を構成することも可能で
ある。即ち、例えば下部薄膜磁性層と上部薄膜磁性層が
ギャップ材層の少なくとも一部を介する積層部のみにお
いて積層され、夫々の他端を予め基板上に設けられた磁
性材または更に積層した薄膜磁性層を介して磁気的に接
続する様に構成することも可能である。
＜効果の説明＞ 以上実施例を用いて説明した様に、本願発明によれば薄
膜磁気ヘッドに於いても容易に巻線を施すことができる
様になったため、トランス等が不要となり、装置の省ス
ペース化，小型化に対して有効なばかりでなく、磁気ヘ
ッド自体の磁気特性をも向上させることができる。
膜磁気ヘッドに於いても容易に巻線を施すことができる
様になったため、トランス等が不要となり、装置の省ス
ペース化，小型化に対して有効なばかりでなく、磁気ヘ
ッド自体の磁気特性をも向上させることができる。
第１図は従来の薄膜ヘッドによる複合ヘッドを示す図、 第２図は従来技術の問題点を説明するための図、 第３図は本願発明の一実施例としての複合薄膜磁気ヘッ
ドを示す図である。 12は非磁性基板、12a,12bは夫々巻線用孔、14a,14bは夫
々下部薄膜磁性層、16a,16bは夫々ギャップ材層、18a,1
8bは夫々絶縁層、20a,20bは夫々上部薄膜磁性層、21a,2
1bは夫々積層部分、22a,22bは夫々積層部分、24a,24bは
夫々巻線コイルである。
ドを示す図である。 12は非磁性基板、12a,12bは夫々巻線用孔、14a,14bは夫
々下部薄膜磁性層、16a,16bは夫々ギャップ材層、18a,1
8bは夫々絶縁層、20a,20bは夫々上部薄膜磁性層、21a,2
1bは夫々積層部分、22a,22bは夫々積層部分、24a,24bは
夫々巻線コイルである。
Claims (2)
- 【請求項１】Ｉ字状に形成された第１の薄膜磁性層と、 該第１の薄膜磁性層の一方の端部に積層されたギャップ
材層と、 該ギャップ材層を介して前記第１の薄膜磁性層に積層さ
れた第１の積層部と、前記第１の薄膜磁性層の他方の端
部に積層された第２の積層部と、前記第１の積層部と第
２の積層部とを連結するとともに前記第１の薄膜磁性層
から離間するごとく配置された中間部とを有する第２の
薄膜磁性層と、 該第２の薄膜磁性層における前記第１の積層部と前記中
間部との連結部と、前記第１の薄膜磁性層との間に設け
られた第１の空間部と、 前記第２の薄膜磁性層の中間部と、前記第１の薄膜磁性
層との間に設けられた第２の空間部と、を有し、 前記第１の空間部には絶縁層が配されるとともに、前記
第２の空間部を介して前記第２の薄膜磁性層の中間部に
はコイルが巻回されていることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。 - 【請求項２】特許請求の範囲第（１）項記載の薄膜磁気
ヘッドにおいて、 前記第２の空間部に対応する位置に孔を有する非磁性基
板を有し、 前記コイルは、前記孔を介して前記第２の薄膜磁性層の
中間部に巻回されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59012490A JPH0664709B2 (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 薄膜磁気ヘツド |
| US07/330,925 US4884156A (en) | 1984-01-26 | 1989-03-27 | Magnetic head having a thin-film and a coil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59012490A JPH0664709B2 (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157711A JPS60157711A (ja) | 1985-08-19 |
| JPH0664709B2 true JPH0664709B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=11806835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59012490A Expired - Fee Related JPH0664709B2 (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4884156A (ja) |
| JP (1) | JPH0664709B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9433884B2 (en) | 2007-06-26 | 2016-09-06 | Donaldson Company, Inc. | Filtration media pack, filter element, and methods |
| US9517430B2 (en) | 2007-02-02 | 2016-12-13 | Donaldson Company, Inc. | Air filtration media pack, filter element, air filtration media, and methods |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04362505A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-12-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド及び磁気記録システム |
| JPH10501091A (ja) * | 1995-03-24 | 1998-01-27 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 磁気ヘッドと磁気ヘッドの位置を制御するシステム |
| EP0824751A1 (en) * | 1996-03-08 | 1998-02-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Multichannel magnetic head |
| US6891461B2 (en) * | 1999-11-23 | 2005-05-10 | Intel Corporation | Integrated transformer |
| US6856228B2 (en) * | 1999-11-23 | 2005-02-15 | Intel Corporation | Integrated inductor |
| US7852185B2 (en) * | 2003-05-05 | 2010-12-14 | Intel Corporation | On-die micro-transformer structures with magnetic materials |
| US20050231752A1 (en) * | 2004-04-16 | 2005-10-20 | Nokia Corporation | Image data transfer system and method |
| US8134548B2 (en) | 2005-06-30 | 2012-03-13 | Micron Technology, Inc. | DC-DC converter switching transistor current measurement technique |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3651278A (en) * | 1970-05-06 | 1972-03-21 | Ampex | Magnetic transducer assembly with windings positioned so as to pick up leakage flux |
| US3716677A (en) * | 1970-06-05 | 1973-02-13 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Multi-channel magnetic head |
| US3662119A (en) * | 1970-06-30 | 1972-05-09 | Ibm | Thin film magnetic transducer head |
| US4085430A (en) * | 1974-01-24 | 1978-04-18 | U.S. Philips Corporation | Thin film magnetic head with a gap formed between a loop shaped core part and a bridging core part |
| SU606163A1 (ru) * | 1976-07-15 | 1978-05-05 | Предприятие П/Я А-3103 | Двухдорожечный блок магнитных головок |
| DE2721452A1 (de) * | 1977-05-12 | 1978-11-16 | Siemens Ag | Integrierte magnetkopfstruktur und verfahren zu ihrer herstellung |
| US4353102A (en) * | 1979-07-04 | 1982-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin-film magnetic head |
| SU836667A1 (ru) * | 1979-07-11 | 1981-06-07 | Предприятие П/Я А-3593 | Сдвоенный блок комбинированныхМАгНиТНыХ гОлОВОК |
| US4383284A (en) * | 1979-12-14 | 1983-05-10 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Perpendicular magnetic head and method of manufacturing the same |
| US4357640A (en) * | 1980-10-24 | 1982-11-02 | Nortronics Company, Inc. | Thin film magnetic transducer |
| US4439793A (en) * | 1981-10-22 | 1984-03-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thin film head array |
| SU1012337A1 (ru) * | 1981-12-10 | 1983-04-15 | Предприятие П/Я А-3593 | Комбинированный блок магнитных головок |
| JPS5996527A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-04 | Olympus Optical Co Ltd | 磁気ヘツドの製造方法 |
| CA1249658A (en) * | 1984-10-31 | 1989-01-31 | Yorinobu Yoshisato | Magnetic head and process for producing same |
| JP3037139B2 (ja) * | 1996-06-12 | 2000-04-24 | 恵和株式会社 | ビーズ転写用工程フィルム |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP59012490A patent/JPH0664709B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-03-27 US US07/330,925 patent/US4884156A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9517430B2 (en) | 2007-02-02 | 2016-12-13 | Donaldson Company, Inc. | Air filtration media pack, filter element, air filtration media, and methods |
| US9433884B2 (en) | 2007-06-26 | 2016-09-06 | Donaldson Company, Inc. | Filtration media pack, filter element, and methods |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60157711A (ja) | 1985-08-19 |
| US4884156A (en) | 1989-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5436781A (en) | Thin film magnetic head having upper magnetic core layer with layers separated by discontinuous non-magnetic stripes | |
| JP3394266B2 (ja) | 磁気書込／読取ヘッドの製造方法 | |
| JPH0664709B2 (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS60175208A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6142716A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS58108017A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JP2891817B2 (ja) | 磁気ヘッド製造方法 | |
| KR100200809B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| JPS60226008A (ja) | 薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JP2813036B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0524563B2 (ja) | ||
| JP2801678B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62110612A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH01133211A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS62107418A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS60170014A (ja) | 多素子薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0438606A (ja) | 積層型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0468683B2 (ja) | ||
| JPS6029916A (ja) | 磁気ヘツドコア及びその製造方法 | |
| JPH04105807U (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH01137419A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0719340B2 (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0449163B2 (ja) | ||
| JPS62277612A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63234406A (ja) | 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |