JPS60170014A - 多素子薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は電子カメラ等に好適な巻線型の多素子薄膜磁気
ヘッドおよびその製造方法疋関する。

〔発明の背景〕

電子カメラやビデオテープレコーダ用の磁気ヘッドとし
て、製造プロセスの容易な巻線型の採用が考えられる。

しかしながら、この巻線型は以下図面を用いて説明する
ように、クロストークが多くなってしまうという欠点が
あり、この解決が望まれていｂｏ 第１図は従来の巻線凰多素子磁気ヘッドを示す斜視図で
あって、ｌおよび２は磁気へラドコア、３ａおよび３ｂ
は非磁性体、４ａおよび４ｂは巻線、５ａおよび５ｂは
巻線窓である。

同図は、２つの薄膜磁気ヘッド素子からなる多素子磁気
ヘッドを示すものであって、バルク材あるいは薄膜より
成る薄膜磁気ヘッド素子の磁気へラドコア１．２は、そ
れぞれ２枚のコアを接合し、摺動面側に非磁性体３ａ、
３ｂＹ介在してヘッドギャップな形成している。磁気ヘ
ッドコア１．　２を構成する各コアの接合対向部には巻
線窓５ａ。

５ｂが形成され、この巻線窓５ａ。５ｂを利用して巻線
４ａ、４ｂが施されている。

このように構成された磁気ヘッドは、高密度記録をする
ためトラック間隔ｌを小さくするに従って、クロストー
クが増大し記録再生特性の信頼性が低下してしまう。こ
れは、隣接する磁気へラドコア１．２の対向面積が太き
いために、トランク間隔ｊを小さくすると、隣接する磁
気へラドコア１．２の一方から他方へ磁束が漏れ易くな
り、この磁束が巻線をきる量が増えるからである。

このクロストークを低減した従来方法を次に説明する。

第２図はクロストークを低減した従来の多素子薄膜磁気
ヘッドを示す斜視図で、６ぼ非磁性基板、７ａおよび７
ｂは信号コイル、８ａおよび８ｂは下部磁性体層、９ａ
および９ｂは上部磁性体層、１０ａおよび１０ｂは非磁
性体である。

同図は、非磁性基板６上に磁性薄膜な被着して下部磁性
体層８ａ、ｇｂを形成し、非磁性体１０ａ、１０ｂ釦よ
ってヘッドギャップを形成すると共に、薄膜コイルを配
線して信号コイル７ａ、７ｂとし、その上に磁性薄膜な
被着して上部磁性体層９ａ、９ｂを形成している。

このような構成の薄膜磁気ヘッドによれば、各磁性体層
８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂとし薄膜を用いるため、第１図
に示したバルク材を用いたものより、隣接せる磁気ヘッ
ドコア対向面積が十分小さくなり、このためクロストー
クが低減する。

しかしながら、次のような欠点があった。

すなわち、基板６上に磁性体層、ヘッドギャップとなる
非磁性層、信号コイルのための導電層、磁気回路を制限
するための絶縁層等を薄膜形成技術やフォトエツチング
忙より順次積層するため、製造工程が複雑で難しくなり
、製造歩留が低下してしまう。また高周波における渦電
流損失が大きく、これを改善しようとするとコンタ−効
果を示してアナログ記録再生特性の信頼性を損う。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、コンタ−効果を低減すると共にクロス
トークの低減なはかった多素子薄膜磁気ヘッドおよびそ
の製造法を提供するにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本発明は、互いに近接して
並置される各薄膜磁気ヘッド素子の磁性体層が非磁性基
板に積層されていて、該各薄膜磁気ヘッド素子間の該磁
性体層の対向面積を小さくしてクロストークを低減し、
かつ、該各薄膜磁気ヘッド素子におけるテープ摺動面の
該磁性体層の厚さを使用最長記録波長と同程度あるいは
それ以上忙設定し、コンタ−効果を軽減した点に特徴が
ある。

また上述の構成は、ヘッドギャップを境に対称形にする
ことができるので、同一構造基板を接合する製造法によ
って工程数を減少することができる。

〔発明の実施例〕

以下本発明の実施例を図面によって説明する。

第３図は本発明の一実施例による多素子薄膜磁気ヘッド
の斜視図で、１１　ａ、１　ｌ　ｂ、１２　ａ。

１２ｂは非磁性基板、１３ａ、１３ｂ、１４ａ＊１４ｂ
は磁性体層、１５ａ、１５ｂは巻線窓、１６ａ、１６ｂ
は巻線、１７ａ、１７ｂは非磁性体である。

同図は、２つの薄膜磁気ヘッド素子からなる多素子薄膜
磁気ヘッドな例忙示すものであって、ガラス、セラミッ
クスあるいはフェライトから成る１対の非磁性体１１８
，１２８および１　ｌ　ｂ。

１２ｂは、それぞれ対向部の中間に凹部な有していて、
との凹部面に沿ってパーマロイ、センダスト、アモルフ
ァス等で成る磁性体層１３ａ、１４ａおよび１３ｂ、１
４ｂを積層している。このため巻線窓１５ａ、１５ｂが
形成され、この巻線用窓を利用して巻線１６ａ、１６ｂ
を施している。磁性体層１３ａ、１４３間、および磁性
体層１３ｂ。

１４ｂ間には８　ｉＯ２，ｋ１２０ｇ等の非磁性体１７
ｇ、１７ｂによって磁気ギャップが形成されている。ま
た、トラック間隔が１となるよう２つの薄膜磁気ヘッド
素子が並置されている。

このような構成であるため、各薄膜磁気ヘッド素子間の
磁性体部分の対向面積は、薄膜より成る磁性体層１３ａ
、１４ｇもしくは１３ｂ、１４ｂの厚さによって従来よ
り充分小さくすることができ、クロストークの低減をは
かることができる。

第４図は第３図の磁性体層１３ａ、１４ａの詳細を示す
断面図で、１８　ａ、１８　ｂ、１９　ａ。

１９ｂ、２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂは部分磁性体
層、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３．ｂ。

２４ａ、２４ｂは層間材、他の第３図に対応する部材に
は同一符号をつけている。

磁性体層１３ａ、１４ａは、４層の部分磁性体層と、そ
れら部分磁性体層間の眉間材から成っている。部分磁性
体層１８ａ、１８ｂから２０ａ。

２０ｂまでは、高周波におけろ渦電流損失が生じない程
度の膜厚に薄くし、・磁気ギャップ１７ａに最も近接し
た部分磁性体層２１ａ、２１ｂの膜厚Ｐは使用最長記録
波長と同程度あるいはそれ以上としている。

第５図は本発明による多素子薄膜磁気ヘッドの他の実施
例における磁性体層の詳細を示す断面図で、第４図に対
応する部分には同一符号をつけている。

巻線１６ａが施される巻線窓１５ａを覆う部分の磁性体
層１３　ａ、ｌ　４　Ｂは１層間材２２ａ。

２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂによって、高
周波における渦電流損失が生じない程度の薄膜とした部
分磁性体層１８ａ、１８ｂ、１９ａ。

１９ｂ、２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂからなってい
る。一方、テープ摺動面近傍では眉間材を設けず、１層
の磁性体層とし、この磁性体層の膜厚Ｐｔ−使用最長記
録波長と同程度以上としている。

上述した第４図および第５図の構成によれば、巻線窓を
包囲する部分の磁性体層を眉間材によって多層にしたた
め、高周波における渦電流損失による高周波帯の出力劣
化を防止すると共Ｋ、テープ摺動面に最も近い磁性体層
の膜厚を規定することによってコンタ−効果を小さくシ
、アナログ記録再生゛特性の信頼性を向上することがで
きる。

次に第４図忙示した実施例による多素子薄膜磁気ヘッド
の製造方法について説明す・る。

第６図（ａ）〜（ｆｌは製造工程を示す斜視図で、２５
ａ、２５ｂ、２６．２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２Ｂは切
溝、２９ａ、２９ｂ、３０ａ、３０ｂは巻線である。

先ず、第６図（ａ）に示すように非磁性基板１１に、ダ
イシングソー等の機械加工あるいはエツチングにより巻
線窓となる溝１５を形成する。この溝１５の幅Ｗは約３
００μｍ、深さｈは約７０μｍ。

溝１５のテーパ角θは約４５度である。荷１５のテーパ
角が９０度近傍の急峻な傾きになると、上に形成する磁
性体層のステップカバーが不充分釦なって特性が劣下す
るので、テーパ角としては３０度から６０度の間が適当
である。

次に、第６図（ｂ）に示す様に部分磁性体層１８を５μ
ｍ程度、層間材２２として５１０２あるいはＡｎ、０３
等を０．０２　ｐ　ｍから０．１μｍの膜厚で順次積層
する。最後の部分磁性体層１９については、本実施例で
は最長記録波長が１０μｍなので１０数μｍの膜厚を形
成する。一方、第５図に示した他の実施例は、この工程
において、層間材２２を形成した後、シツピング忙より
、ヘッドギャップ部および後部磁気コア接続部の層間材
を取り去り、部分磁性層１９を順次積層するか、または
、層間材２２を積層する場合に該磁気ギャップ部と後部
磁気コア接続部をマスクすることにより得られる。次い
で、Ｓ　ｉＯ，、Ａｌ２Ｏ３等を所望の磁気ギャップ長
となるように非磁性体１７を積層しく第６図（Ｃ）　）
　、機械加工により、トラック間隔ｌをとるための切溝
２５ａ、２５ｂと、トランク幅Ｔｗを決め磁気コアのし
ぼりを実現するたＷ）Ｉ）切溝２７ａ、２７ｂ、２７Ｃ
と、巻線用の切溝２６を形成する（第６図（ｄ））。各
薄膜磁気ヘッド素子の磁気コアを分割するための切溝２
８を入れた後１巻線２９ａ、２９ｂを各１個おきの薄膜
磁気ヘッド素子に巻回しく第６図（ｅ））、第６図（ｆ
ｌに示す様に、上記１対の基板を突き合わせ、ガラスボ
ンド等の手法により接着し、Ａ−Ｎ面で切断することに
より本実施例の多素子薄膜磁気ヘッドが得られる。

このような構成の多素子薄膜磁気ヘッドでは、磁性体層
が簿膜よりなるので、隣接トラック間の磁気コア対向面
積が第１図に示したバルク材を用いた従来例より充分小
さくでき、クロストークの低減ができろ。また、第２図
に示した薄膜磁気ヘッドの従来例釦比較して薄膜積層数
が少なく、フォトエツチング等のプロセスが殆んどない
ため、製造プロセスが容易で、製造歩留の向上が計られ
る。更に、磁性体は多層化になっており高周波における
渦電流損失がないとともに、磁気ギャップに最も近い磁
性体層の膜厚が使用最長記録波長と同程度以上に大きい
構造なので、従来例に見られた再生波形の位相干渉（コ
ンタ−効果）を充分小さくすることができ、アナログ記
録再生特性の信頼性を高めろことができる。

第７図は本発明の他の実施例による多素子薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図で、３１ａ、３１ｂ、３１．Ｃは耐摩耗性非
磁性部材であり、他の第６図に対応する部材には同一符
号をつけている。

先の実施例では各トラック間に切溝２７ａ。

２７ｂ、２７Ｃが形成されていたのに対し、第７図の実
施例では各切溝に耐摩耗性非磁性部材３１ａ、３１ｂ、
３１Ｃｖ接着している。このため、テープ摺動面は耐摩
耗性非磁性部材３．ｌａ、３１ｂ、３１Ｃによって保饅
される。

上記各実施例は２トラツクの場合について説明したが、
更にトラック数の多い多素子薄膜磁気ヘッドについても
同様に適用でき、同等の効果を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明圧よれば、各薄膜磁気ヘッ
ド素子の磁性体部分の対向面積を小さくしてクキストー
クを低減し、テープ摺動面での磁性体層の膜厚を使用最
長記録波長以上とし多層化することによって高周波にお
ける渦電流損失を少なくすると共にコンタ−効果を低減
でき、従来技術の欠点を除いて優れた機能をもつ多素子
薄膜磁気ヘッドを提供することができる。

また本発明は、ヘッドギャップを中心にして対称形の構
造としたため、巻線を施すための巻線窓を容易に得るこ
とができ、また同一工程によって得たブロックを接着す
ることによって、製造工程を従来のほぼ半分とした多素
子薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は夫々多素子磁気ヘッドおよび多素
子薄膜磁気ヘッドの従来例を示す斜視図、第３図は本発
明による多素子薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図
、第４図は第３図の磁性体層部分を示す要部縦断面図、
第５図は本発明による多素子薄膜磁気ヘッドの他の実施
例における磁性層部分を示す要部縦断面図、第６図（ａ
）〜（ｆ）は本発明による多素子薄膜磁気ヘッドの製造
方法の一実施例を示す工程図、第７図は本発明による多
素子薄膜磁気ヘッドのさらに他の実施例を示す斜視図で
ある。 １１　ａ、１　ｌ　ｂ、１２　ａ、１２　ｂ−”・非磁
性基板−１１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ・・・・・
・磁性体、１５ａ、１５ｂ・・・・・・巻線窓、１６ａ
、１６ｂ・・・・・・巻線、１７ａ、１７ｂ・・・・・
・磁気ギャップ。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 ｎ 薦２７ 第６ｒ！Ｊ （ｆ） 。　第７図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　一対の非磁性基板の凹部な有する夫々の対向面
   に夫々磁性体層が形成され、該磁性体層はヘッドギャッ
   プを形成する非磁性体を介して結合されてなる薄膜磁気
   ヘッド素子が複数個近接して並置されてなり、該薄膜磁
   気ヘッド素子のテープ摺動面における前記磁性体層の厚
   さを使用最長記録波長と同程度あるいはそれ以上に設定
   したことを特徴とする多素子薄膜磁気ヘッド。
2. （２）　非磁性基板の表面に四部を形成する工程と、該
   凹部を有する該表面釦磁性体層を形成する工程と、該磁
   性体層が形成された非磁性基板に該凹部忙垂直に複数の
   切り溝を設けかつ該切り溝によって区分される該磁性体
   層間を分離して複数のコアブロックの集合体を形成する
   工程と、該集合体の所定の該コアブロックの前記凹部部
   分に巻線を施とす工程と、該集合体の一対な夫々の前記
   磁性体層が対向しヘッドギャップを形成する非磁性体を
   介して一体化する工程とからなり、該一対の集合体の対
   向せる２つのコアブロックでもって薄膜磁気ヘッド素子
   をなし、該薄膜磁気ヘッド素子のテープ摺動面釦おける
   前記磁性体層の厚さを、使用最長記録波長と同程度ある
   いはそれ以上に設定したことを特徴とする多素子薄膜磁
   気ヘッドの製造方法。