JPS60226006A - 多素子薄膜磁気ヘツド - Google Patents

多素子薄膜磁気ヘツド

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Publication number
JPS60226006A
JPS60226006A JP8114284A JP8114284A JPS60226006A JP S60226006 A JPS60226006 A JP S60226006A JP 8114284 A JP8114284 A JP 8114284A JP 8114284 A JP8114284 A JP 8114284A JP S60226006 A JPS60226006 A JP S60226006A
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JP
Japan
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magnetic
thin film
substrate
thin films
soft magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP8114284A
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English (en)
Inventor
Masamichi Yamada
雅通 山田
Masakatsu Saito
斉藤 正勝
Takumi Sasaki
佐々木 卓美
Katsuo Konishi
小西 捷雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS60226006A publication Critical patent/JPS60226006A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明杜フロッピーデスクおよび電子カメラなどに用い
られる多素子薄膜磁気ヘッド、例えば録再兼用ヘッドお
よび消去ヘッドを一体化した多素子薄膜磁気ヘッドに関
するものである。
〔発明の背景〕
上記多素子薄膜磁気ヘッドの従来例、すなわちM1s第
2従来例を、第1図および第2図にそれぞれ示す斜視図
について説明する。
まず、第1従来例を示す第1図において、1mはフェラ
イトバルクコア基板(以下バルクコア基板と称す)2m
、2b間に設けられた磁気ヘッドをなす磁気ギャップ材
、lb、lcは前記基板2aと同様なバルクコア基板3
1L、3b間に設けられた磁気ヘッドをなす消去用の磁
気ギャップ材、4a。
4bは前記バルクコア基板2m、3mにそれぞれ巻回さ
れた巻線コイル、5a、5bは前記バルクコア基板2m
、2bおよび3a、3bの端部上面にそれぞれ設けられ
たフェライトバルク材製のリアコア、5m、6bは前記
バルクコア基板2a。
2b問および3m、3b間に形成された溝に充填された
ガラス、7は前記バルクコア基板2b、3b間に介設さ
れ、録再用磁気ギャップ材と消去用磁気ギャップ材のク
ロストークを押えるための非磁性基板である。
第1従来例は上記のような構成からなり、記録時に録再
兼用磁気ギャップ材1aで記録した記号を、所定のトラ
フ2幅に規制すると共に、隣接する旧トラック信号によ
る影響を防止し、かつガートバンドを設けるために、消
去用磁気ギャップlb。
1cにより余分の記録信号を消去する。
このような第1従来例では、バルクコア基板21゜2b
、3m、3bとしてフェライトバルク材を使用している
が、この材料は飽和磁束密度(Bg)がせいぜい40o
O〜5000 G程度である。そこで、記録密度の向上
をはかるために、メタル粉などの高保磁力記録媒体を用
いた場合には、十分に記録できない不都合がおる。
また、製造工程において、前記バルクコア基板2m、2
b、3m、3bおよび非磁性基板7の5個の基板の接着
工程を必要とするため、前記各磁気ギャップ材1 m 
−1aの位置合せの精度が良好でなく、かつ充填ガラス
6m、6bの体積は大きいので、バルクコア基板2 a
 t 2 b s 3 a e 3 bの熱膨張係数の
差によるり2ツクなどが発生し易い恐れがある。
一方、第2図に示す第2従来例は、上述の第1従来例と
基本的には同様に構成されているが、3個の非磁性基板
7a〜7Cを用い、消去用磁気ギャップ材1b、lcお
よび録再用磁気ギャップ材1&をそれぞれ別個に形成し
た後、ラミネート接着によシ一体化した点が異なる。
このように構成された第2従来例では、バルクコア基板
2 & @ 2 b # 3aI H3m2 、3b1
 g 3b2としてフェライトバルク材を用いているの
で、第1従来例と同様に記録能力は十分でない不都合が
ある。
また、製造工程において、前記バルクコア基板7 a 
13a113b1%同2m、2b、7eおよび同7 b
 、 3m2 、3b2の9個のバルクコア基板の接着
工程を必要とするため、位置合せの精度が良好でなく、
かつ録再用磁気ギャップ材1aおよび消去用磁気ギャッ
プ材1b’、laを一個づつ貼りつける2ミネート構造
であるので、量産性が低下する恐れがある。
〔発明の目的〕
本発明は上記にかんがみ記録能力の向上をはかると共に
、製作時の接着工程における位置合せ精度を高め、かつ
量産性を向上させることを目的とするものである。
〔発明の概要〕
本発明は上記目的を達成するために、両面に軟磁性薄膜
をそれぞれ埋込んだ第1非磁性基板の両側に、片面に軟
磁性薄膜を埋込んだ第2非磁性基板および第3非磁性基
板を、この両基板の各軟磁性薄膜がそれぞれ前記第1非
磁性基板の各軟磁性薄膜と磁気ギャップ材を介して相対
向するようにそれぞれ接着させると共に、前記第2非磁
性基板および第3非磁性基板に巻線コイルを巻回したこ
とを特徴とするものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面について説明する。
第3図は本実施例である多素子薄膜磁気ヘッドの斜視図
でおる。同図において、8bは長手方向の両側面に高飽
和磁束密度(B8)の軟磁性薄膜9b。
10 mをそれぞれ埋込んだ第1非磁性基板で、この基
板8bはガラスまたはフェライトまたはセラミックから
なり、また前記軟磁性薄膜9b、10mはセンダストま
たはアモルファスで作られている。
ga、gcは片面、(図では8&の右面、8Cの左向)
に上記と同様な軟磁性薄膜9a、lObそれぞれを埋込
んだ第2非磁性基板および第3非磁性基板で、その軟磁
性薄膜9a、lobは第1非磁性基板8bの両面に埋込
んだ軟磁性薄膜9tl、10mとそれぞれ磁気ヘッドを
なす録再兼用の磁気ギャップ材l&および消去用の磁気
ギャップ材1b。
lcを介して相対向するように接着されている。
また第2.第3非磁性基板ga、gcには、その巻線窓
131,131をそれぞれ貫通する巻線コイル4m、4
bがそれぞれ巻回されている。
次に上記第1ないし第3非磁性基板gb、gm。
8cを製作する工程について詳述する。
説明の便宜上、まず第2非磁性基板8aを第4図につい
て説明するに、最初に同図囚に示すように前記基板8a
の長手方向に溝14&を機械加工またはエツチングなど
によシ複数個設ける。これらの溝14 aの幅を録再兼
用ヘッドのトラック幅より大きく形成すると共に、91
4mの深さを10〜40μm程度に設定し、かつ溝14
 mの底面を基板8&の表面(ギャップとなる面)と非
平行になるように形成する。
また、前記基板8aに巻線コイル4aを巻回するために
、長手方向に溝傾斜内約45°程度、溝幅200〜50
0μmおよび溝深さ5Q 〜IQQ Rn程度の溝14
 bを設けると共に、リアコア部の接続面積を大きくす
るために、前記溝14&と同じ深さを有する#114C
を長手方向に設ける。
ついで、膜厚的5IRnに形成されたセンダストまたは
アモルファスなどの高Bm軟磁性薄膜と、膜厚的soo
°Aに形成された5102またはht2o5などの層間
材とを、スパッタリングなどの方法により交互に積層し
てなる軟磁性薄1a91の膜厚を溝14 aの深さ以上
に形成する。その後、非磁性基板8aが現われるまで前
軟磁性薄膜9aをラッピングなどの手段によシ平坦化す
れば、第5図CB)に示すように軟磁性薄膜9aが埋込
まれた第2非磁性基板8aをうろことができる。
次に第3非磁性基板8Cの製作工程を第5図について説
明する。この製作工程は同図(A)ψ)に示すように、
長手方向に複数個設けた911mの幅を、第2非磁性基
板8aの溝14 aの幅よシ若干広くした点が、第2非
磁性基板8aと異なるのみで、その他は同一である。こ
のように第2非磁性基板8aと同様な工程によシ、第5
図(B)に示すように軟磁性薄膜10 bが埋込まれた
第3非磁性基板8Cをうることかできる。
さらに、第1非磁性基板8bの製作工程を第6図につい
て説明する。まず、同図囚に示すように第1非磁性基板
8bの上面に、かつ長手方向に録再兼用ヘッドのトラッ
ク幅を規制するための溝12aを、巻線コイルを巻回す
るための溝12Cおよびリアコア接続面積を確保するた
めの溝12・を、また前記基板8bの下面に、かつ長手
方向に、消去ヘッドのトラック幅を規制するための溝1
2b1巻線コイルを巻回するための溝12 bおよびリ
アコア接続面積を確保するための溝12 fをそれぞれ
設け、しかも所定の相対位置を保持するように設ける。
次に上記のように一上・下両面に設けた6溝12 m 
12 bに、第2非磁性基板gm(第4図)の軟磁性薄
膜9aと同様に形成された軟磁性薄膜9b、10aを挿
入し、ラッピングすることにより軟磁性薄膜9b、lo
aが埋込まれた第1非出性基板8bをうることができる
上述したようにして製作した第1非磁性基板8a。
第2非磁性基板8bおよび第3非磁性基板8Cを第7図
に示すように、所定の磁気ギャップ長になるように非磁
性体を介してガラスなどによシ接着して一体に結合して
組立体を構成する。この組立体をX−XおよびY−Y面
でそれぞれ切断することによシ、第3図に示す本実施例
の多素子薄膜磁気ヘッドをうろことができる。
このような本実施例では、コア材として飽和磁束密度が
10,000 G 程度のセンダストあるいはアモルフ
ァス磁性薄膜を用いているので、メタル粉などを用いた
高He記録媒体に十分に記録することができる。
また、軟磁性薄膜9b 、10m 、 9a 、lOb
をそれぞれ埋込んだ第1ないし第3非磁性基板8b。
8a、gcを同時に接着し、かつ第1非磁性基板8bの
上・下両面に設けた@12m、12bにより、録再兼用
磁気ギャップのトラップ幅および消去用磁気ギャップの
トラップ幅を規制するように構成したので、高精度化を
はかると共に、量産性を向上させることができる。
一般に軟磁性多層膜の層間材を、磁気ギャップ面と平行
に設けた場合、眉間材部が擬似磁気ギャップとなるコン
タ−効果、すなわち主信号と擬似信号との干渉を生ずる
ので、再生特性の忠実度を損うことになる。ところが、
本実施例では前記溝10m 、 11 m 、 12m
 、 12bがギャップ面と非平行となっている、すな
わちアジマス角度を有するため、忠実な記録再生を行う
ことができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、軟磁性薄膜を埋
込んだ非磁性基板を有効に利用することによシ、記録能
力の向上、接着工程における位置合せの高精度化および
量産性の向上をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来の各多素子薄膜磁気ヘッドの
斜視図、第3図線本発明の多素子薄膜磁気ヘッドの一実
施例を示す斜視図、第4図に)(B)、第5図(A) 
(B)および第6図(6)(B)は同実施例の第2゜第
3.第1の各非磁性基板の製作工程の説明図、第7図は
第1ないし第3の各非磁性基板の組立体の斜視図である
。 1 & 、 1 b 、 l c−磁気ギャップ材、4
m、4b・・・巻線コイル、8 a 、 8 b 、 
8cm第一2.第1゜第3の各非磁性基板、9 & 、
 9 b 、 10 m 、 10 b ・・−軟磁性
薄膜。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第7図 第2図 第3図 第4図 第5図 (A) (A) (B) (9)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 両面に軟磁性薄膜をそれぞれ埋込んだ第1非磁性
    基板の両側に、片面に軟磁性薄膜を埋込んだ第2非磁性
    基板および第3非磁性基板を、この両差板の各軟磁性薄
    膜がそれぞれ前記第1非磁性基板の各軟磁性薄膜と磁気
    ギャップ材を介して相対向するようにそれぞれ接着させ
    ると共に、前記第2非磁性基板および第3非磁性基板に
    光線コイルを巻回したことを特徴とする多素子薄膜磁気
    ヘッド。 2、上記軟磁性薄膜によシ形成される2組のヘッド磁気
    回路のうちの一方を記録再生に、他方を消去に用いたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の多素子薄膜
    磁気ヘッド。 3、 上記軟磁性薄膜として、センダストまたはアモル
    ファス製の軟磁性薄膜を非磁性層間材を介して多層に形
    成したものを用いることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項または第2項記載の多素子薄膜磁気ヘッド。 4、上記非磁性層間材面を、磁気ギャップ面と非平行に
    形成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし
    第3項のうちの任意の1項記載の多素子薄膜磁気ヘッド
JP8114284A 1984-04-24 1984-04-24 多素子薄膜磁気ヘツド Pending JPS60226006A (ja)

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JP (1) JPS60226006A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0191635A2 (en) * 1985-02-13 1986-08-20 Hitachi, Ltd. Magnetic head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0191635A2 (en) * 1985-02-13 1986-08-20 Hitachi, Ltd. Magnetic head

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