KR0147975B1 - 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법 - Google Patents
멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법Info
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Abstract
본 발명은 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 하나의 하부폴을 형성하고, 하나의 하부폴 위에 절연층을 형성하고 그 위에 간격을 두고 코일을 복수개 형성한 후 그 위에 절연층을 형성하며, 상기 절연층에 둘러싸인 복수개의 코일 위에 각각 그 일측이 상기 하부폴과 접촉되고 그 타측이 상기 절연층에 의해 상기 하부폴과 소정갭을 유지하도록 복수개의 상부폴을 형성하고, 상기 상·하로 배치된 복수개의 코일 및 상부폴의 사이 사이에 노이즈를 방지하는 실드를 각각 형성한 멀티채널형 박막 자기헤드 및 이를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공하는데 그 특징이 있다. 따라서 제조공정의 공수를 줄일 수 있어 수율이 증대되게 되고, 인접되는 헤드간의 간섭으로 인해 발생되는 노이즈를 감소시킬 수 있어 재생출력이 증가하게 된다.
Description
제1도는 종래의 멀티채널형 박막 자기헤드를 도시한 사시도.
제2도는 종래의 멀티채널형 박막 자기헤드의 일부를 발췌하여 도시한 종단면도.
제3도는 본 발명에 따른 멀티채널형 박막 자기헤드를 도시한 사시도.
제4도 (a) 내지 (g)는 본 발명에 따른 멀티채널형 박막 자기헤드의 제조방법을 단계적으로 도시한 공정도로서 (A) 열은 횡단면도이고, (B)열은 종단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 하부폴 12,12a,12b : 절연층
13 : 코일 14 : 상부폴
15 : 실드(Shield)
본 발명은 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 하나의 하부폴을 복수개의 상부폴에 대해 공통으로 사용하고, 복수개의 상부폴 사이 사이에 실드를 형성함으로써 제조공정의 공수감소 및 수율을 증대시키고, 재생출력의 노이즈를 감소시킬 수 있도록 한 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
종래의 멀티채널형 박막 자기헤드(1)는 제1도 및 제2도에 도시되어 있는 바와 같이, 기판(2)상에 소정간격을 두고 복수개의 하부폴(3)이 증착에 의해 형성되고, 그 위에 절연층(4)이 증착되고, 그 위에 복수개의 코일(5)이 증착에 의해 형성되고, 그 위에 다시 절연층(6) 형성되고, 그 위에 복수개의 상부폴(7)이 증착에 의해 형성되었다.
그러나 이와 같이 구성된 종래의 멀티채널형 박막 자기헤드는, 복수개의 헤드를 일일이 증착 및 에칭작업을 통해 제작하여야 하므로, 즉, 복수개의 하부폴과 코일 및 상부폴을 일일이 증착 및 에칭작업을 통해 제작하여야 하므로 제조공정이 번거롭고, 제조공수가 증가하여 수율이 저하되게 된다. 또한 기판에 상호 인접되도록 형성된 복수개의 헤드들간의 간섭으로 인해 노이즈가 발생하게 되어 재생출력이 감소하게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 하나의 하부폴을 복수개의 상부폴에 대해 공통으로 사용하고, 복수개의 상부폴 사이 사이에 실드를 형성함으로써 제조공정의 공수감소 및 수율을 증대시키고, 재생출력의 노이즈를 감소시킬 수 있는 멀티채널형 박막 자기헤드를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 제조공수를 감소시키고, 수율을 증대시키며, 재생출력의 노이즈를 감소시킬 수 있는 상기 멀티채널형 박막 자기헤드를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다
본 발명의 상기 목적은, 하나의 하부폴과, 상기 하부폴 위에 절연층에 의해 둘러싸인 상태로 간격을 두고 복수개 형성되는 코일과, 상기 복수개의 코일 상부에 각각 그 일측이 상기 하부폴과 접촉되고 그 타측이 상기 절연층에 의해 상기 하부폴과 소정갭을 유지하도록 설치되는 복수개의 상부폴과, 상기 상·하로 배치된 복수개의 코일 및 상부폴의 사이 사이에 각각 설치되며 노이즈를 방지하는 복수개의 실드를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티채널형 박막 자기헤드를 제공함으로써 달성될 수 있다.
그리고 본 발명의 상기 다른 목적은, 하나의 하부폴을 형성하는 단계와, 상기 하나의 하부폴 위에 절연층을 형성하고 그 위에 간격을 두고 코일을 복수개 형성한 후 그 위에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층에 둘러싸인 복수개의 코일 위에 각각 그 일측이 상기 하부폴과 접촉되고 그 타측이 상기 절연층에 의해 상기 하부폴과 소정갭을 유지하도록 복수개의 상부폴을 형성하는 단계와, 상기 상·하로 배치된 복수개의 코일 및 상부폴의 사이 사이에 노이즈를 방지하는 실드를 각각 형성하는 단계를 포함하는 멀티채널형 박막 자기헤드 제조방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 멀티채널형 박막 자기헤드(10)는 제3도 및 제4도에 도시되어 있는 바와 같이, 하나의 하부폴(11)이 공통으로 사용될 수 있도록 길이방향으로 길게 형성되고, 이 길이방향으로 길게 형성된 하나의 하부폴(11)위에 절연층(12)에 의해 둘러싸인 상태로 소정간격을 두고 복수개의 코일(13)이 형성된다. 그리고 복수개의 코일(13) 상부에는 복수개의 상부폴(14)이 일측이 하부폴(11)과 접촉되고 타측이 절연층(12)에 의해 하부폴(11)과 소정갭을 유지하도록 각각 형성된다. 그리고 상·하로 배치된 복수개의 코일(13) 및 상부폴(14)의 사이 사이에는 인접되는 상부폴(14)간의 간섭으로 인한 노이즈를 방지하는 복수개의 실드(Shield;15)가 각각 형성된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 멀티채널형 박막 자기헤드는, 하나의 하부폴(11)을 복수개의 상부폴(14)에 공통으로 사용하도록 되어 있으므로, 종래 하부폴을 상부폴과 대응되도록 복수개 형성하던 방식에 비하여 제조공정의 공수를 줄일 수 있어 수율이 증대되게 된다.
그리고 복수개의 상부폴(14) 사이 사이에 노이즈를 방지하기 위한 실드(15)가 각각 형성되어 있으므로, 인접되는 상부폴간의 간섭으로 인해 발생되는 노이즈를 감소시킬 수 있어 재생출력이 증가하게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 멀티채널형 박막 자기헤드의 제조방법을 제4도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 제4도 (a)에 도시되어 있는 바와 같이, 기판위에 하나의 하부폴(11)을 길이방향으로 길게 증착에 의해 형성하고, 제4도 (b)에 도시된 바와 같이 길이방향으로 길게 형성된 하부폴(11) 위에 절연층(12a)을 형성하고, 그 위에 제4도 (c)에 도시된 바와 같이 소정간격을 두고 코일(13)을 복수개 형성한 후, 그 위에 제4도 (d)에 도시된 바와 같이 절연층(12b)을 형성하는 단계를 수행한다.
그리고 제4도 (e)에 도시된 바와 같이 절연층(12)에 둘러싸인 복수개의 코일(13)위에 각각 그 일측이 하부폴(11)과 접촉되고 그 타측이 절연층(12)에 의해 하부폴(11)과 소정갭을 유지하도록 복수개의 상부폴(14)을 형성하는 단계를 수행한다.
그리고 제4도 (f)와 (g)에 도시된 바와 같이 상·하로 배치된 복수개의 코일(13) 및 상부폴(14) 의 사이 사이에 해당되는 절연층(12)의 상면을 소정깊이로 에칭한 후 에칭 부위에 노이즈를 방지하는 실드(15)를 각각 증착에 의해 형성하는 단계를 수행한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 멀티채널형 박막 자기헤드 및 그 제조방법에 의하면, 하나의 하부폴을 공통으로 사용하고 복수개의 상부폴 사이 사이에 노이즈 방지용 실드가 각각 형성되어 있으므로, 종래 방식에 비하여 제조공정의 공수를 줄일 수 있어 수율이 증대되게 되고, 인접되는 헤드간의 간섭으로 인해 발생되는 노이즈를 감소시킬 수 있어 재생출력이 증가하게 되는 이점이 있다.
Claims (2)
- 하나의 하부폴과, 상기 하부폴 위에 절연층에 의해 둘러싸인 상태로 간격을 두고 복수개 형성되는 코일과, 상기 복수개의 코일 상부에 각각 그 일측이 상기 하부풀과 접촉되고 그 타측이 상기 절연층에 의해 상기 하부폴과 소정갭을 유지하도록 설치되는 복수개의 상부폴과, 상기 상·하로 배치된 복수개의 코일 및 상부폴의 사이 사이에 각각 설치되며 노이즈를 방지하는 복수개의 실드를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티채널형 박막 자기헤드.
- 하나의 하부폴을 형성하는 단계와, 상기 하나의 하부폴 위에 절연층을 형성하고 그 위에 간격을 두고 코일을 복수개 형성한 후 그 위에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층에 둘러싸인 복수개의 코일 위에 각각 그 일측이 상기 하부폴과 접촉되고 그 타측이 상기 절연층에 의해 상기 하부폴과 소정갭을 유지하도록 복수개의 상부폴을 형성하는 단계와, 상기 상·하로 배치된 복수개의 코일 및 상부폴의 사이 사이에 노이즈를 방지하느 실드를 각각 형성하는 단계를 포함하는 멀티채널형 박막 자기헤드 제조방법.
Priority Applications (2)
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Publications (2)
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