JPS61113112A - 薄膜マルチギヤツプ磁気ヘツド - Google Patents
薄膜マルチギヤツプ磁気ヘツドInfo
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- JPS61113112A JPS61113112A JP23232084A JP23232084A JPS61113112A JP S61113112 A JPS61113112 A JP S61113112A JP 23232084 A JP23232084 A JP 23232084A JP 23232084 A JP23232084 A JP 23232084A JP S61113112 A JPS61113112 A JP S61113112A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- gap
- coil conductor
- cores
- magnetic head
- Prior art date
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ビデオテープレコーダや磁気ディスク記録再
生装置などに用いて好適な薄膜マルチギャップ磁気ヘッ
ドに係り、特に同一基板上に複数の磁気ギャップを形成
した薄膜マルチギヤツブ磁気ヘッドＶＣ関する。
生装置などに用いて好適な薄膜マルチギャップ磁気ヘッ
ドに係り、特に同一基板上に複数の磁気ギャップを形成
した薄膜マルチギヤツブ磁気ヘッドＶＣ関する。
近年、例えばビデオテープレコーダにおいては、標準記
録再生モードと長時間記録再生モードの選択、フィール
ドスチル再生などの特殊再生、高品質の音生再生を可能
とするための音声信号の回転ヘッドによる記録再生など
、多くの機能が要求されるようになり、それぞれに所定
のトラック幅とアジマス角とを有する専用の磁気ヘッド
を同一回転シリンダに搭載することにより、これら機能
の実現をはかつている。これらの磁気ヘッドは、回転シ
リンダスペースの節約やアセンブリ作業の容易化をはか
るために、一般に、互いに近接配置して一体的に取り扱
うことができるようにしている。
録再生モードと長時間記録再生モードの選択、フィール
ドスチル再生などの特殊再生、高品質の音生再生を可能
とするための音声信号の回転ヘッドによる記録再生など
、多くの機能が要求されるようになり、それぞれに所定
のトラック幅とアジマス角とを有する専用の磁気ヘッド
を同一回転シリンダに搭載することにより、これら機能
の実現をはかつている。これらの磁気ヘッドは、回転シ
リンダスペースの節約やアセンブリ作業の容易化をはか
るために、一般に、互いに近接配置して一体的に取り扱
うことができるようにしている。
そして、このよ５に一体的に取り扱うことができ、るよ
うｋした複数個の磁気ヘッドからなる１つの磁気ヘッド
を想定し、これをマルチギャップ磁気ヘッドと称してい
る。
うｋした複数個の磁気ヘッドからなる１つの磁気ヘッド
を想定し、これをマルチギャップ磁気ヘッドと称してい
る。
かかるマルチギャップ磁気ヘッドとしては、これまでに
種々の構造のものが提案されているが、その１つとして
、例えは特公昭５４−２９２５０号公報に開示されるよ
うに、１つの共通コアの両側に一対のＣ字状のコアを接
合し、これら接合部で２つの磁気ギャップを形成する構
造のものが提案されている。
種々の構造のものが提案されているが、その１つとして
、例えは特公昭５４−２９２５０号公報に開示されるよ
うに、１つの共通コアの両側に一対のＣ字状のコアを接
合し、これら接合部で２つの磁気ギャップを形成する構
造のものが提案されている。
第７図はかかる従来のマルチギ・ヤップ磁気ヘッドを示
す斜視図であって、３１は共通コア、３２ａ。
す斜視図であって、３１は共通コア、３２ａ。
３２ｂはＣ字状のコア、３３ｇ、３３ｂは磁気ギャップ
、３４ａ、３４ｂは信号コイル、３５は基台である。
、３４ａ、３４ｂは信号コイル、３５は基台である。
同図において、共通コア３１は幅が所定のギャップ間隔
Ｘに高い精度で規制され、この共通コア３１の両側に一
対のコア３２ａ、３２ｂが接着され、これらの接着部に
所定アジマス角で所定トラック幅の磁気ギャップ３３１
１，３３ｂが形成されるとともに、両コア３２ａ、３２
ｂに信号コイル、３４ａ、３４ｂが巻回されている。そ
して、これら共通コア３１．コア３２ａ、３２ｂは基台
３５上に貼付けられている。
Ｘに高い精度で規制され、この共通コア３１の両側に一
対のコア３２ａ、３２ｂが接着され、これらの接着部に
所定アジマス角で所定トラック幅の磁気ギャップ３３１
１，３３ｂが形成されるとともに、両コア３２ａ、３２
ｂに信号コイル、３４ａ、３４ｂが巻回されている。そ
して、これら共通コア３１．コア３２ａ、３２ｂは基台
３５上に貼付けられている。
ところで、かかるマルチギャップ磁気ヘッドにおいては
、磁気ギャップ３３ ａ、 ３３ ｂの間隔Ｘはミク
ロンオーダの高い精度が要求され、実際に作業する上で
このような高い精度を実現することは非常に困難であり
、量産性に劣るという欠点があった。さらに、１つの共
通コア３１を利用して２つの磁気ギャップ３３ ａ、
３３ ｂが形成されるため、各磁気ギャップ３３ａ、
３３ｂの配列に自由度がなく、はとんどは図示の如（，
２つの磁気ギャップ３３ａ、３３ｂを記録トラックの長
手方向に配列するものであった。
、磁気ギャップ３３ ａ、 ３３ ｂの間隔Ｘはミク
ロンオーダの高い精度が要求され、実際に作業する上で
このような高い精度を実現することは非常に困難であり
、量産性に劣るという欠点があった。さらに、１つの共
通コア３１を利用して２つの磁気ギャップ３３ ａ、
３３ ｂが形成されるため、各磁気ギャップ３３ａ、
３３ｂの配列に自由度がなく、はとんどは図示の如（，
２つの磁気ギャップ３３ａ、３３ｂを記録トラックの長
手方向に配列するものであった。
また、かかるマルチギャップ磁気ヘッドに類似した従来
例として、それぞれ磁気ギャップを有する複数のヘッド
チップを基台の所定位＃沈貼り付ける構造のものが提案
されている。この場合は、ヘッドチップを基台の所望位
置に結着できるため、磁気ギャップの自由な配列が可能
であるが、貼付は作業を必要とするた・め、各磁気ギャ
ップを高い精度で所定位置に配列することが困難であり
、しかも、一般に各ヘッドチップは２ｍｍ角度の大きざ
を有しているため、小型化の妨げとなっていた。
例として、それぞれ磁気ギャップを有する複数のヘッド
チップを基台の所定位＃沈貼り付ける構造のものが提案
されている。この場合は、ヘッドチップを基台の所望位
置に結着できるため、磁気ギャップの自由な配列が可能
であるが、貼付は作業を必要とするた・め、各磁気ギャ
ップを高い精度で所定位置に配列することが困難であり
、しかも、一般に各ヘッドチップは２ｍｍ角度の大きざ
を有しているため、小型化の妨げとなっていた。
そこで、小型化が可能で、かつ量産性に優れたマルチギ
ャップ磁気ヘッドとして、例えば特開昭５９−１６１１
５号公報に開示されるように、パー！ロイなどの軟磁性
薄膜をコア材とした薄膜磁気ヘッドを非磁性基板上に複
数個設けたマルチギャップ磁気ヘッドが提案された。
ャップ磁気ヘッドとして、例えば特開昭５９−１６１１
５号公報に開示されるように、パー！ロイなどの軟磁性
薄膜をコア材とした薄膜磁気ヘッドを非磁性基板上に複
数個設けたマルチギャップ磁気ヘッドが提案された。
第８図は薄膜磁気ヘッドを用いた従来のマルチギャップ
磁気ヘッドを示す斜視図であって、３６は非磁性基板、
３７ａ、３７ｂ、３７ｃは信号コイル、３８ ａ、
３８ ｂ、 ３８ Ｃは下部磁性コア、３９ａ、３９
ｂ、３９Ｃは上部磁性コア、４０ａ。
磁気ヘッドを示す斜視図であって、３６は非磁性基板、
３７ａ、３７ｂ、３７ｃは信号コイル、３８ ａ、
３８ ｂ、 ３８ Ｃは下部磁性コア、３９ａ、３９
ｂ、３９Ｃは上部磁性コア、４０ａ。
４０ｂ、４００は非磁性体である。
同図は、非磁性基板３６上に磁性薄膜を被着し【下部磁
性コア３８ａ、３８ｂ、３８ｃを形成し、非磁性体４０
ａ、４０ｂ、４０ｃによって磁気ギャップを形成すると
ともに、薄膜コイルを配線して信号コイル３７ａ、３７
ｂ、３７Ｃとし、その上に磁性薄膜な被着して上部磁性
コア３９ａ。
性コア３８ａ、３８ｂ、３８ｃを形成し、非磁性体４０
ａ、４０ｂ、４０ｃによって磁気ギャップを形成すると
ともに、薄膜コイルを配線して信号コイル３７ａ、３７
ｂ、３７Ｃとし、その上に磁性薄膜な被着して上部磁性
コア３９ａ。
３９ｂ、３９ｃを形成している。
このような構成のマルチギャップ磁気ヘッドによれば、
磁気ギャップのトラック幅やギャップ長を、それぞれ下
部磁性コア３８ａ、３８ｂ、３８ｃ。
磁気ギャップのトラック幅やギャップ長を、それぞれ下
部磁性コア３８ａ、３８ｂ、３８ｃ。
上部磁性コア３９ ａ、 ３９ ｂ、 ３９ ｃの
バター二／グや非磁性体４０ａ、、４０ｂ、４０ｃの膜
ＪＩＬＫよって高い精度で制御できるばかりでなく、磁
気ギャップを必要に応じて多数形成できるという利点が
ある。しかしながら、各磁気ギャップを非磁性基板３６
の端面に溢って直線的にしか配列できないため、複数の
磁気ギャップを任意位置に配列することができす、近年
の多機化に対応できないという欠点がある。
バター二／グや非磁性体４０ａ、、４０ｂ、４０ｃの膜
ＪＩＬＫよって高い精度で制御できるばかりでなく、磁
気ギャップを必要に応じて多数形成できるという利点が
ある。しかしながら、各磁気ギャップを非磁性基板３６
の端面に溢って直線的にしか配列できないため、複数の
磁気ギャップを任意位置に配列することができす、近年
の多機化に対応できないという欠点がある。
なお、薄膜磁気ヘッドに関する先行技術の他の例として
、特開昭５５−１３２５１９号公報に開示されるよ５Ｋ
、軟磁性薄膜の上部磁性コアの表面をチーブ摺動面とし
、この上部磁性コアの表面に磁気ギャップが形成された
構造のものも提案されているが、この技術は磁気ギャッ
プの配列、すなわちマルチギャップ化についての問題を
認識していない。
、特開昭５５−１３２５１９号公報に開示されるよ５Ｋ
、軟磁性薄膜の上部磁性コアの表面をチーブ摺動面とし
、この上部磁性コアの表面に磁気ギャップが形成された
構造のものも提案されているが、この技術は磁気ギャッ
プの配列、すなわちマルチギャップ化についての問題を
認識していない。
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を除き、小型化、
高精度化が可能で、かつトラック密度の高い薄膜マルチ
ギャップ磁気ヘッドを提供するにある。
高精度化が可能で、かつトラック密度の高い薄膜マルチ
ギャップ磁気ヘッドを提供するにある。
この目的を達成するたぬに、本発明は、前記特研昭５５
−１３２５１９号公報等に記載された、いわゆるギャッ
プインプレーン型磁気ヘッドの特長を生かしつつ、これ
を高トラック密ｍ“のマルチギャップ磁気ヘッドとした
もので、そのために前記ギャップインプレーン型磁気ヘ
ッドにおける帯状の上部磁気ヘッドを複数本並設してマ
ルチギヤラフ”化し、これら上部磁気コアを長手方向に
交互にすらしてその長手方向の一部がかみ合い部を形成
するよ５に配設すると共に、コイル導体が上記かみ合い
部を外れた位置でそれぞれの上部磁気コアと交差するよ
うに、これらを各上部磁気コアの両端部近傍に振分けて
配設し、これＫより、各コイル導体が各上部磁気コアの
近接配置の妨げとならないよう圧した点を特徴とする。
−１３２５１９号公報等に記載された、いわゆるギャッ
プインプレーン型磁気ヘッドの特長を生かしつつ、これ
を高トラック密ｍ“のマルチギャップ磁気ヘッドとした
もので、そのために前記ギャップインプレーン型磁気ヘ
ッドにおける帯状の上部磁気ヘッドを複数本並設してマ
ルチギヤラフ”化し、これら上部磁気コアを長手方向に
交互にすらしてその長手方向の一部がかみ合い部を形成
するよ５に配設すると共に、コイル導体が上記かみ合い
部を外れた位置でそれぞれの上部磁気コアと交差するよ
うに、これらを各上部磁気コアの両端部近傍に振分けて
配設し、これＫより、各コイル導体が各上部磁気コアの
近接配置の妨げとならないよう圧した点を特徴とする。
以下、本発明の実施例を図面について説明する。
第１図は本発明による薄りマルチギャップ磁気ヘッドの
一実施例を示す斜視図、第２図は第１図のＡ −Ａ’線
ＶｃＧ ５断面図である。これらの図において、１は下
部磁気コアとなる磁性体基板、２゜３は磁性体基板１上
に電気ＮＱｋ層（図示せず）を介して形成されたコイル
導体、４，６はそれぞれ電気絶縁層４／、 ６／を介
してコイル導体３を横切って覆うように形成された帯状
の上部磁気コア、５゜７は同様に電気絶縁層ダ、７′を
介してコイル導体２を横切って覆うように形成された帯
状の上部磁気コア、８，９，１０．１１はそれぞれ上部
磁気コア４，５，６．７をその幅方向に磁気的に切断し
て形成された磁気キャップ、１２，１３．１４はコイル
導体３から導出された信号端子、１５゜１６．１７はコ
イル導体２から導出された信号端子である。
一実施例を示す斜視図、第２図は第１図のＡ −Ａ’線
ＶｃＧ ５断面図である。これらの図において、１は下
部磁気コアとなる磁性体基板、２゜３は磁性体基板１上
に電気ＮＱｋ層（図示せず）を介して形成されたコイル
導体、４，６はそれぞれ電気絶縁層４／、 ６／を介
してコイル導体３を横切って覆うように形成された帯状
の上部磁気コア、５゜７は同様に電気絶縁層ダ、７′を
介してコイル導体２を横切って覆うように形成された帯
状の上部磁気コア、８，９，１０．１１はそれぞれ上部
磁気コア４，５，６．７をその幅方向に磁気的に切断し
て形成された磁気キャップ、１２，１３．１４はコイル
導体３から導出された信号端子、１５゜１６．１７はコ
イル導体２から導出された信号端子である。
第１図から明らかなよ５に、各上部磁気コア４〜７は、
その長手方向に交互にすれて配設され、その長手方向の
一部がかみ合うようになっており、各磁気ギャップ８′
〜１１はそれぞれの上部磁気；７４〜７のかみ合い部に
インライン配列されている。
その長手方向に交互にすれて配設され、その長手方向の
一部がかみ合うようになっており、各磁気ギャップ８′
〜１１はそれぞれの上部磁気；７４〜７のかみ合い部に
インライン配列されている。
コイル導体２，３は、上部磁気コア４〜７のかみ合い部
を外れた位置でそれぞれ上部磁気コア５゜７および４，
６と交差するように、上部磁気コア４〜７０両端部近傍
に振分けて配設されている。
を外れた位置でそれぞれ上部磁気コア５゜７および４，
６と交差するように、上部磁気コア４〜７０両端部近傍
に振分けて配設されている。
コイル導体２は、上部磁気；７５．７に共通の一体形成
されたものとなっており、信号端子１６を共通端子とし
て、上部磁気コア５． ７１／ｌ：よって構成される各
磁気ヘッドに対して個別の信号チャンネルを形成してい
る。すなわち、磁気ギャップ９を動作させるためにけ信
号端子１５，１６を用い、磁気ギャップ１１を動作させ
るためには信号端子１６．１７を用いる。
されたものとなっており、信号端子１６を共通端子とし
て、上部磁気コア５． ７１／ｌ：よって構成される各
磁気ヘッドに対して個別の信号チャンネルを形成してい
る。すなわち、磁気ギャップ９を動作させるためにけ信
号端子１５，１６を用い、磁気ギャップ１１を動作させ
るためには信号端子１６．１７を用いる。
一方、コイル導体３は、上部磁気コア４，６に共通の一
体形成されたものとなっており、信号端子１３を共通端
子として、上部磁気コア４，６によって構成される各磁
気ヘッドに対して個別の信号チャンネルを形成している
。従って、この場合は、磁気ギャップ８を動作させるた
めＫは信号端子１２．１３を用い、磁気ギャップ１０を
動作させるためｋは信号端子１３．１４を用いる。
体形成されたものとなっており、信号端子１３を共通端
子として、上部磁気コア４，６によって構成される各磁
気ヘッドに対して個別の信号チャンネルを形成している
。従って、この場合は、磁気ギャップ８を動作させるた
めＫは信号端子１２．１３を用い、磁気ギャップ１０を
動作させるためｋは信号端子１３．１４を用いる。
この一実施例によれば、コイル導体２，３を上部磁気コ
ア４〜７のかみ合い部から外れた一部位置に振分けて配
設したことにより、各上部磁気コア４〜７の存在とは関
係なく可及的に近接配置することが可能となり、それだ
けトラック密度を高めることができる。
ア４〜７のかみ合い部から外れた一部位置に振分けて配
設したことにより、各上部磁気コア４〜７の存在とは関
係なく可及的に近接配置することが可能となり、それだ
けトラック密度を高めることができる。
すなわち、第３図は各磁気ヘッドとそれの磁気ギャップ
を動作するコイル導体との関係を概念的に示した説明図
であるが、同図において、隣接する磁気ヘッド１８，１
９のトラック幅Ｔｗを１０μｍ、コイル導体２０の厚さ
を実用的な５μｍとすると、隣接するトラックの間隔ｔ
は両者間に位置するコイル導体２０の断面形状によって
決定され、図示の如くコイル導体２０のテーバ角θが４
５゜の場合、コイル導体２００幅は１５μｍとなり、上
記間隔ｔは少なくとも２０μｍ必要となる（ちなみに、
この時のコイル導体２０の電流密度は２．５ Ｘ １０
’Ａ／Ｌ：ＩＩとなり、Ｍ ｍ 性ヲ考鳳Ｌ ７’、：
許容電流孔度１０“Ａ ／ ｃｉ以下であって実用に
問題はない）。従って、もし、コイル導体を各上部磁気
コアのかみ合い部内に配設すると、トラックピッチＰは
Ｐ＝＝Ｔｗ＋／！、＝３０ Ａｉｍ必要となる。
を動作するコイル導体との関係を概念的に示した説明図
であるが、同図において、隣接する磁気ヘッド１８，１
９のトラック幅Ｔｗを１０μｍ、コイル導体２０の厚さ
を実用的な５μｍとすると、隣接するトラックの間隔ｔ
は両者間に位置するコイル導体２０の断面形状によって
決定され、図示の如くコイル導体２０のテーバ角θが４
５゜の場合、コイル導体２００幅は１５μｍとなり、上
記間隔ｔは少なくとも２０μｍ必要となる（ちなみに、
この時のコイル導体２０の電流密度は２．５ Ｘ １０
’Ａ／Ｌ：ＩＩとなり、Ｍ ｍ 性ヲ考鳳Ｌ ７’、：
許容電流孔度１０“Ａ ／ ｃｉ以下であって実用に
問題はない）。従って、もし、コイル導体を各上部磁気
コアのかみ合い部内に配設すると、トラックピッチＰは
Ｐ＝＝Ｔｗ＋／！、＝３０ Ａｉｍ必要となる。
これに対し、上記−実施例のよ５Ｖｃ、コイル導体２，
３を上部磁気コア４〜７のかみ合い部から外れた端部位
置に振分けて配設すると、第３図に示す両磁気ヘッド１
８，１９０間にもう１つの磁気゛ヘッドを配設すること
が可能となり、この場合のトラックピッチＰはＰ＝Ｔ
、十互ニューＸ ！ １−５μｍとなって、先のゴＯμ
ｍに対し２倍のトラック密度が達成される。
３を上部磁気コア４〜７のかみ合い部から外れた端部位
置に振分けて配設すると、第３図に示す両磁気ヘッド１
８，１９０間にもう１つの磁気゛ヘッドを配設すること
が可能となり、この場合のトラックピッチＰはＰ＝Ｔ
、十互ニューＸ ！ １−５μｍとなって、先のゴＯμ
ｍに対し２倍のトラック密度が達成される。
第４図は、以上説明した本発明のトラック密度効果を示
した説明図であって、横軸にトラック幅ＴＶを、縦軸に
トラック＠ＴＷ／トラックピッチＰの比をとってあり、
図中、■はコイル導体を上部磁気コアのかみ合い部から
外れた端部位置に振分けて配設した木兄明忙よるマルチ
ギャップ磁気ヘッドを、■はコイル導体を上部磁気コア
のかみ合い部内に配設したマルチギャップ磁気ヘッドを
それぞれあられしている。同図から明らかなように、本
発明によるマルチギャップ磁気ヘッドはトラック＠ＴＶ
が狭まる程、高密度トラック化に有利である。
した説明図であって、横軸にトラック幅ＴＶを、縦軸に
トラック＠ＴＷ／トラックピッチＰの比をとってあり、
図中、■はコイル導体を上部磁気コアのかみ合い部から
外れた端部位置に振分けて配設した木兄明忙よるマルチ
ギャップ磁気ヘッドを、■はコイル導体を上部磁気コア
のかみ合い部内に配設したマルチギャップ磁気ヘッドを
それぞれあられしている。同図から明らかなように、本
発明によるマルチギャップ磁気ヘッドはトラック＠ＴＶ
が狭まる程、高密度トラック化に有利である。
次に、第１図に示した本発明の一実施例の製造工程を第
５図について説明する。
５図について説明する。
まず、第５図（Ａ）ＶＣ示すように、基板２１上に下部
磁気コアとなる磁性体基板２２（パーマロイ）をスパッ
タリング法により厚さ１０μｍ形成した後、層間絶縁材
としてＳ ｉ Ｏ，Ｊ［Ｋ ２３を厚さ２μｍスパッタ
リング法により形成する。
磁気コアとなる磁性体基板２２（パーマロイ）をスパッ
タリング法により厚さ１０μｍ形成した後、層間絶縁材
としてＳ ｉ Ｏ，Ｊ［Ｋ ２３を厚さ２μｍスパッタ
リング法により形成する。
次に、第５図（Ｂ）Ｉｃ下すように、上記ＳｉＯ□膜２
３を所望のパターンにテーバエツチングする。
３を所望のパターンにテーバエツチングする。
この時、 Ｓ ｉ Ｏ！１ｊＩ２３のテーバ角は、その
後に形成されるＳｉＯ□膜や磁性膜の特性を劣化させな
いために６０°以下が良く、記録再生効率の点から２５
以上が”良・い。
後に形成されるＳｉＯ□膜や磁性膜の特性を劣化させな
いために６０°以下が良く、記録再生効率の点から２５
以上が”良・い。
゛ この上に、コイル導体となるアルミニウムを厚さ５
μ扉形成した後、これを所望のパターンに形成し、第５
図（Ｃ）Ｋ示すようにコイル導体２４を設ける。
μ扉形成した後、これを所望のパターンに形成し、第５
図（Ｃ）Ｋ示すようにコイル導体２４を設ける。
その後、第５図（Ｄ）に示すようＫ、電気絶縁層となる
Ｓ ｉ Ｏ，膜２ダを厚さ１０μ簿形成し、これを上記
工程（Ｂ）と同様の条件で所望のバターｙｌ形成する。
Ｓ ｉ Ｏ，膜２ダを厚さ１０μ簿形成し、これを上記
工程（Ｂ）と同様の条件で所望のバターｙｌ形成する。
次に、上記工程でコイル導体２４の上方に生じたＳ ｉ
Ｏ，Ｉｋ ２ダの段差２５１を研摩により平坦化し、
第５図（Ｅ）に示す台形形状の電気絶縁層２５を設ける
。
Ｏ，Ｉｋ ２ダの段差２５１を研摩により平坦化し、
第５図（Ｅ）に示す台形形状の電気絶縁層２５を設ける
。
しかる後、第５図（Ｆ）に示すように、上部磁気コアと
なる磁気コア２６ａ、２６ｂと磁気ギャップ２７とが形
成される。これらは１例えば前記特開昭５５−１３２５
１９号公報に示された方法で形成することができる。す
なわち、まず磁気コア２６１部分をエツチング等によっ
て形成した後、その全体を磁気的絶縁層で覆い、しかる
後、磁気コア２６ｂをエツチング等により形成する。従
って、ａ気ギャップ２７ｓ分には上記磁気的絶縁層が介
在することになり、七〇膜厚によって磁気ギャップ２７
のギャップ長が決まる。
なる磁気コア２６ａ、２６ｂと磁気ギャップ２７とが形
成される。これらは１例えば前記特開昭５５−１３２５
１９号公報に示された方法で形成することができる。す
なわち、まず磁気コア２６１部分をエツチング等によっ
て形成した後、その全体を磁気的絶縁層で覆い、しかる
後、磁気コア２６ｂをエツチング等により形成する。従
って、ａ気ギャップ２７ｓ分には上記磁気的絶縁層が介
在することになり、七〇膜厚によって磁気ギャップ２７
のギャップ長が決まる。
なお、以上説明した製造工程では、第５図（Ｅ）に示す
工程において、コイル導体２４により生じる段差２５ａ
を機械的な研摩工程によって除去したもの忙ついて説明
したが、かかる研摩工程に代え、まず段差２５ａがある
状＃（第５図の（Ｄ）工程後）で例えはポリイミド系ｍ
Ｔｈをスピンコードして段差２５ａとポリイミド系樹脂
の平坦面を形成し、しかる後、イオンミリング法により
段部２５ａとポリイミド系樹脂をミリングし、第５図（
Ｅ）ｋ示すと同一形状の電気絶縁層２５を形成するよう
にしても良い。
工程において、コイル導体２４により生じる段差２５ａ
を機械的な研摩工程によって除去したもの忙ついて説明
したが、かかる研摩工程に代え、まず段差２５ａがある
状＃（第５図の（Ｄ）工程後）で例えはポリイミド系ｍ
Ｔｈをスピンコードして段差２５ａとポリイミド系樹脂
の平坦面を形成し、しかる後、イオンミリング法により
段部２５ａとポリイミド系樹脂をミリングし、第５図（
Ｅ）ｋ示すと同一形状の電気絶縁層２５を形成するよう
にしても良い。
かかる製造方法によれば、いわゆるフォトリゾ工程の途
中に機械的な研摩工程を持ち込むことがなくなるため、
基板表面の汚れやキズの発生を抑えることができ、マル
チギャップ磁気ヘッドの歩留りを向上させることが可能
となる。
中に機械的な研摩工程を持ち込むことがなくなるため、
基板表面の汚れやキズの発生を抑えることができ、マル
チギャップ磁気ヘッドの歩留りを向上させることが可能
となる。
次に、上記研摩工程を持ち込ますに、全てフォトリゾ工
程で電気絶縁層２５を形成した他の製造工程を第６図に
ついて説明する。なお、同図（Ａ）までの工程は先に説
明した第５図（Ａ）〜（Ｃ）の工程と同一であるため、
それ以後の工＆についてのみ説明する。
程で電気絶縁層２５を形成した他の製造工程を第６図に
ついて説明する。なお、同図（Ａ）までの工程は先に説
明した第５図（Ａ）〜（Ｃ）の工程と同一であるため、
それ以後の工＆についてのみ説明する。
すなわち、第６図（Ａ）に示すように、厚さ５μｍのコ
イル導体２４の上に電気絶縁層となるＳ ｉ Ｏ，膜２
５′を厚さ５μｍ形成し、これを所望のパターンにテー
パエツチングする。
イル導体２４の上に電気絶縁層となるＳ ｉ Ｏ，膜２
５′を厚さ５μｍ形成し、これを所望のパターンにテー
パエツチングする。
次に、電気絶縁層となるＳｉｎ、［２５′を、その厚さ
が先のコイル導体２４（５μｍ）とＳｉＯ，膜２５’（
５μｒｌＬ）との和と等しくなるよう、すなわち１０μ
ｍスパッタリング法により形成し、その後、第６図（Ｂ
）に示すように、マスク２８を用いて破線部分のＳｉｎ
、膜２５′をエツチングにより除去する。この工程によ
り、先のＳ ｉ Ｏ，膜２５′と今回のＳｉＯ□膜２５
′とを平坦化し、第５図（Ｅ）Ｋ示したものと同一形状
の電気絶縁層２５を得る。
が先のコイル導体２４（５μｍ）とＳｉＯ，膜２５’（
５μｒｌＬ）との和と等しくなるよう、すなわち１０μ
ｍスパッタリング法により形成し、その後、第６図（Ｂ
）に示すように、マスク２８を用いて破線部分のＳｉｎ
、膜２５′をエツチングにより除去する。この工程によ
り、先のＳ ｉ Ｏ，膜２５′と今回のＳｉＯ□膜２５
′とを平坦化し、第５図（Ｅ）Ｋ示したものと同一形状
の電気絶縁層２５を得る。
しかる後、第６図（Ｃ）に示すように、上部磁気コアと
なる磁気コア２６ａ、２６ｂと磁気ギャップ２７とが形
成される。これらは、すでに説明した第５図（Ｆ）と同
様の工程にて形成することができる。
なる磁気コア２６ａ、２６ｂと磁気ギャップ２７とが形
成される。これらは、すでに説明した第５図（Ｆ）と同
様の工程にて形成することができる。
かかる製造方法においても、フォトリゾ工程の途中に機
械的な研摩工程を持ち込むことがなくなるため、マルチ
ギャップ磁気ヘッドの歩留りを向上させることが可能と
なる。
械的な研摩工程を持ち込むことがなくなるため、マルチ
ギャップ磁気ヘッドの歩留りを向上させることが可能と
なる。
以上、本発明を４トラツクのマルチキャップ磁気ヘッド
の場合について説明したが、本発明は、かかる笑施例に
限定されるものではなく、トラック数が異なっても同様
に成立するものであることはいうまでもない。
の場合について説明したが、本発明は、かかる笑施例に
限定されるものではなく、トラック数が異なっても同様
に成立するものであることはいうまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、トラック幅、ギ
ャップ長、ギャップデプスのいずれをも薄膜形成技術に
よって加工することができ、それ故、量産性が良（、か
つ高精度化が可能となり、しかも上部磁気コアのかみ合
い部を外れた左右端部近傍にコイル導体を振分けて配設
したことＫより、コイル導体に妨げられずに上部磁気コ
アを近接配置することができ、それだけトラック密度な
゛ 高めることが可能となり、従って、従来技術の欠点
を除いて優れた薄膜マルチギャップ磁気ヘッドを提供す
ることができる。
ャップ長、ギャップデプスのいずれをも薄膜形成技術に
よって加工することができ、それ故、量産性が良（、か
つ高精度化が可能となり、しかも上部磁気コアのかみ合
い部を外れた左右端部近傍にコイル導体を振分けて配設
したことＫより、コイル導体に妨げられずに上部磁気コ
アを近接配置することができ、それだけトラック密度な
゛ 高めることが可能となり、従って、従来技術の欠点
を除いて優れた薄膜マルチギャップ磁気ヘッドを提供す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例に係る薄膜マルデキ゛ヤツプ
磁気ヘッドの斜視図、筒２図は第１図のＡ−に線に沿う
断面図、第３図は磁気ヘッドとコイル導体との関係を概
念的に示した説明図、第４図は本発明によるトラック密
度効果を示した説明図、第５図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
、（Ｄ）、（Ｅ）。 （Ｆ） は本発明による薄膜マルチギャップ磁気ヘッ
ドの製造方法の各工程を示す説明図、第６図（Ａ）、（
Ｂ）、（Ｃ）は本発明による薄膜マルチギャップ磁気ヘ
ッドの他の製造方法の各工程を示す説明図、第７図およ
び第８図は従来のマルチギャップ磁気ヘッドの斜視図寸
ある。 １・・・・・・磁性体基板、２，３・・・・・・コイル
導体、４．５，６，７−・・・・・上部磁気コア、４′
、ダ、ダ。 τ・・・・・・電気絶縁層、８，９，１０，１１・・・
・・・磁気ギャップ、１２，１３，１４，１５，１６，
１７・・・・・・信号端子。 代 理 人 弁理士 武 順次部（ほか１名）第２
図 第３図 第４図 １０ ２１：） ３０４０５０６０ Ｔｏ ８０トラ
ック幅Ｏ１ｍ）→ 第５図 第５図 第６図 （Ａ） （Ｃ） 第７図 第８図
磁気ヘッドの斜視図、筒２図は第１図のＡ−に線に沿う
断面図、第３図は磁気ヘッドとコイル導体との関係を概
念的に示した説明図、第４図は本発明によるトラック密
度効果を示した説明図、第５図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
、（Ｄ）、（Ｅ）。 （Ｆ） は本発明による薄膜マルチギャップ磁気ヘッ
ドの製造方法の各工程を示す説明図、第６図（Ａ）、（
Ｂ）、（Ｃ）は本発明による薄膜マルチギャップ磁気ヘ
ッドの他の製造方法の各工程を示す説明図、第７図およ
び第８図は従来のマルチギャップ磁気ヘッドの斜視図寸
ある。 １・・・・・・磁性体基板、２，３・・・・・・コイル
導体、４．５，６，７−・・・・・上部磁気コア、４′
、ダ、ダ。 τ・・・・・・電気絶縁層、８，９，１０，１１・・・
・・・磁気ギャップ、１２，１３，１４，１５，１６，
１７・・・・・・信号端子。 代 理 人 弁理士 武 順次部（ほか１名）第２
図 第３図 第４図 １０ ２１：） ３０４０５０６０ Ｔｏ ８０トラ
ック幅Ｏ１ｍ）→ 第５図 第５図 第６図 （Ａ） （Ｃ） 第７図 第８図
Claims (1)
- 下部磁気コアとなる磁性体基板と、該磁性体基板上に設
けられたコイル導体と、該コイル導体を横切つて覆うよ
うに設けられた帯状の上部磁気コアと、該上部磁気コア
を幅方向に磁気的に切断して形成された磁気ギャップと
を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コアを
並設された複数本の磁気コアとなし、これら磁気コアを
長手方向に交互にずらしてその長手方向の一部がかみ合
い部を形成するように配設し、該かみ合い部を外れた位
置で前記コイル導体がそれぞれの前記上部磁気コアと交
差するようにこれらを前記上部磁気コアの両端部近傍に
振分けて配設したことを特徴とする薄膜マルチギャップ
磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23232084A JPS61113112A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 薄膜マルチギヤツプ磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23232084A JPS61113112A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 薄膜マルチギヤツプ磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61113112A true JPS61113112A (ja) | 1986-05-31 |
Family
ID=16937350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23232084A Pending JPS61113112A (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | 薄膜マルチギヤツプ磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61113112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060580A1 (en) * | 1999-04-01 | 2000-10-12 | Storage Technology Corporation | High track density magnetic recording head |
-
1984
- 1984-11-06 JP JP23232084A patent/JPS61113112A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060580A1 (en) * | 1999-04-01 | 2000-10-12 | Storage Technology Corporation | High track density magnetic recording head |
| US7130152B1 (en) | 1999-04-01 | 2006-10-31 | Storage Technology Corporation | High track density magnetic recording head |
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