JPS63311615A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPS63311615A JPS63311615A JP14704687A JP14704687A JPS63311615A JP S63311615 A JPS63311615 A JP S63311615A JP 14704687 A JP14704687 A JP 14704687A JP 14704687 A JP14704687 A JP 14704687A JP S63311615 A JPS63311615 A JP S63311615A
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/313—Disposition of layers
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-
- G—PHYSICS
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- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＶＴＲ用のダブルアジマス磁気ヘッドに係り
、特に２ヘッド間のクロストークの低減に好適な薄膜磁
気ヘッドに関する。
、特に２ヘッド間のクロストークの低減に好適な薄膜磁
気ヘッドに関する。
従来のＶＴＲ用のダブルアジマスヘッドハ特開昭６１−
１５０１１３号公報に記載の様に、一対のフェライトあ
るいは磁性合金体のブロックをギャップボンディングし
、ヘッドベースに貼り付け、手巻によりコイルを巻回し
た構成となっている。
１５０１１３号公報に記載の様に、一対のフェライトあ
るいは磁性合金体のブロックをギャップボンディングし
、ヘッドベースに貼り付け、手巻によりコイルを巻回し
た構成となっている。
上記従来例の磁気ヘッドでは、磁気コアの体積が大きい
ことおよび巻回したコイルの断面積が大きくなることか
ら、２個のヘッドのギャップ間隔が空間的に狭められな
いこと、また、２ヘッド間の信号のクロストークが増大
するという問題が発生する。
ことおよび巻回したコイルの断面積が大きくなることか
ら、２個のヘッドのギャップ間隔が空間的に狭められな
いこと、また、２ヘッド間の信号のクロストークが増大
するという問題が発生する。
本発明の目的は、上記クロストークの低減を図ったダブ
ルアジマスヘッドを提供することにある。
ルアジマスヘッドを提供することにある。
上記目的は、磁気コア右よびコイルの微少化を図った薄
膜磁気ヘッドの保護層を多層とし、かつ少なくともその
１層をシールド材として、基板の薄膜形成面を互いに向
い合うように２個のヘッドを１体化することにより達成
される。
膜磁気ヘッドの保護層を多層とし、かつ少なくともその
１層をシールド材として、基板の薄膜形成面を互いに向
い合うように２個のヘッドを１体化することにより達成
される。
ＶＴＲ用のダブルアジマスヘッドを薄膜磁気コア、薄膜
コイルを用いた薄膜磁気ヘッドとすることにより、磁気
コアおよびコイルの微少化を図ることが可能となること
により・＼ノドからの磁束の洩れが少なくなるとともに
、空間的にギャップ間を狭めることができる。更に、株
護膜層を多層とし、かつ少なくともその１層をシールド
材として薄膜形成面を互いに向い合うように一体化構成
することから、ヘッド間にシールド材が位置することに
なり、互いのヘッドからの磁束の洩れがシールドされ、
クロストークが改善される。
コイルを用いた薄膜磁気ヘッドとすることにより、磁気
コアおよびコイルの微少化を図ることが可能となること
により・＼ノドからの磁束の洩れが少なくなるとともに
、空間的にギャップ間を狭めることができる。更に、株
護膜層を多層とし、かつ少なくともその１層をシールド
材として薄膜形成面を互いに向い合うように一体化構成
することから、ヘッド間にシールド材が位置することに
なり、互いのヘッドからの磁束の洩れがシールドされ、
クロストークが改善される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
（ａ）平面図およびＡ−に断面図（ｂ）、第２図は第１
図の薄膜磁気ヘッドを２個用いたダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドの平面図（ａ）および正面図（ｂ）である。
（ａ）平面図およびＡ−に断面図（ｂ）、第２図は第１
図の薄膜磁気ヘッドを２個用いたダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドの平面図（ａ）および正面図（ｂ）である。
第１図、第２図において、１．ｌａ、ｌｂは基板、２は
下部磁気コア、３は上部磁気コア、４゜４ｍ、４ｂはギ
ャップ、５は絶縁層、６は薄膜コイル、？＃７ｌ−７ｂ
は絶縁層による第１の保護層、８＊ ｇ ｍ −８ｈは
シールド材による第２の保護層、 ９ ＊ ９ ｍ 、
９ ｂは絶縁層による第３の保護層、１０は引き出し電
極、１１は１体化のためのへ・ノドベースである。
下部磁気コア、３は上部磁気コア、４゜４ｍ、４ｂはギ
ャップ、５は絶縁層、６は薄膜コイル、？＃７ｌ−７ｂ
は絶縁層による第１の保護層、８＊ ｇ ｍ −８ｈは
シールド材による第２の保護層、 ９ ＊ ９ ｍ 、
９ ｂは絶縁層による第３の保護層、１０は引き出し電
極、１１は１体化のためのへ・ノドベースである。
本実施例の薄膜磁気ヘッドの製造性は以下の通りである
。
。
基板ｌとしては、非磁性のセラミック、ガラスフェライ
ト等が用いられ、この基板１に下部磁気コア埋込用の溝
が形成される。次に、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒアモルファス磁
性膜あるいはセンダスト、パーマロイ等の磁性膜が約２
０μｍスパッタリング等の手法により堆積され、更にラ
ッピング等の手法により平坦化される。次に、ギャップ
４形成のためのギャップ材として、ｓｈｏｗ 、Ａｌｔ
ｏｓ等が所定の膜厚に形成され、次にＣｕあるいはＭに
より薄膜コイル６が形成され、絶縁層５が更に形成され
る。次に、上部磁気コア３として、先の下部磁気コアと
同種材料が形成されて磁気コア回路が完成する。更に、
ヘッド素子の保Ｕのために、第１の保護層７としてＳ
Ｉ Ｏ＠ 、 ＡＬｌｏ、 、フォルステライト等の絶
縁層が１〜５μｍ１次に、第２の保護層８としてのシー
ルド材としてＡｔ 、Ｃｕ 、Ｔｉ 、８ｎ ｔ Ｖ
、Ｚｎ 、Ａｇ 、Ｍｏ 、Ｚｒ 。
ト等が用いられ、この基板１に下部磁気コア埋込用の溝
が形成される。次に、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒアモルファス磁
性膜あるいはセンダスト、パーマロイ等の磁性膜が約２
０μｍスパッタリング等の手法により堆積され、更にラ
ッピング等の手法により平坦化される。次に、ギャップ
４形成のためのギャップ材として、ｓｈｏｗ 、Ａｌｔ
ｏｓ等が所定の膜厚に形成され、次にＣｕあるいはＭに
より薄膜コイル６が形成され、絶縁層５が更に形成され
る。次に、上部磁気コア３として、先の下部磁気コアと
同種材料が形成されて磁気コア回路が完成する。更に、
ヘッド素子の保Ｕのために、第１の保護層７としてＳ
Ｉ Ｏ＠ 、 ＡＬｌｏ、 、フォルステライト等の絶
縁層が１〜５μｍ１次に、第２の保護層８としてのシー
ルド材としてＡｔ 、Ｃｕ 、Ｔｉ 、８ｎ ｔ Ｖ
、Ｚｎ 、Ａｇ 、Ｍｏ 、Ｚｒ 。
Ｎｂ 、Ｔａ 、 Ｗ 、Ａｕの中から少なくとも１種
以上含んだ導電材あるいは、パーマロイ、センダスト、
アモルファス等の軟磁性合金、慣を１〜１０μｍ、更に
、第３の保護層９として５ｉＯ１，鳩０畠、フォルステ
ライト等の絶縁層が５〜５０μｍ′ｊＲ層される。第２
の保護層８としてのシールド層は、磁気テープとのコン
タクトを劣化させることからヘッド摺動面には露出せず
に、おおむね薄膜コイルをカバーするように形成する。
以上含んだ導電材あるいは、パーマロイ、センダスト、
アモルファス等の軟磁性合金、慣を１〜１０μｍ、更に
、第３の保護層９として５ｉＯ１，鳩０畠、フォルステ
ライト等の絶縁層が５〜５０μｍ′ｊＲ層される。第２
の保護層８としてのシールド層は、磁気テープとのコン
タクトを劣化させることからヘッド摺動面には露出せず
に、おおむね薄膜コイルをカバーするように形成する。
更に、上記のようにして得た磁気ヘッドを２個、第２図
に示したようにアジマス角度を持つよう機械加工によっ
てチップ加工し、薄膜形成面が互いに向い合うようにし
てヘッドベース１１に貼り付けることによりダブルアジ
マス薄膜磁気ヘッドが得られる。
に示したようにアジマス角度を持つよう機械加工によっ
てチップ加工し、薄膜形成面が互いに向い合うようにし
てヘッドベース１１に貼り付けることによりダブルアジ
マス薄膜磁気ヘッドが得られる。
この様に構成した第２図のダブルアジマス薄膜磁気ヘッ
ドでは、保護層の全厚が塩ヘッドで６０μｍ以下であり
、薄膜形成面を互いに向い合う様に構成したことにより
、ギャップ間隔を、従来ヘッドでは困難であった０、１
５ｍｍ ８度まで狭められる空間が得られる。また、８
層護層を多層とし少なくも１層（ここでは第２の保護層
３ｍ、８ｂ）をシールド材とすることにより、２ヘッド
間にシールド材が介することになり、クロストーク低減
が可能となる。
ドでは、保護層の全厚が塩ヘッドで６０μｍ以下であり
、薄膜形成面を互いに向い合う様に構成したことにより
、ギャップ間隔を、従来ヘッドでは困難であった０、１
５ｍｍ ８度まで狭められる空間が得られる。また、８
層護層を多層とし少なくも１層（ここでは第２の保護層
３ｍ、８ｂ）をシールド材とすることにより、２ヘッド
間にシールド材が介することになり、クロストーク低減
が可能となる。
第３図は、上記実施例のダブルアジマス薄膜ヘノドト従
来ヘッドのクロストークのギヤツブ間隔Ｌｇ依存の測定
結果を示す図であって、１４は従来−＼ノド、１３は上
記シールド材がない場合、１２はシールド材がある場合
のダブルアジマス薄膜磁気ヘツドの特性を示す。
来ヘッドのクロストークのギヤツブ間隔Ｌｇ依存の測定
結果を示す図であって、１４は従来−＼ノド、１３は上
記シールド材がない場合、１２はシールド材がある場合
のダブルアジマス薄膜磁気ヘツドの特性を示す。
同図から、本発明の実施例では、従来ヘッド比べ１５ｄ
Ｂ程度、シールド材がない１３と比較して５ｄＢ程度ク
ロストークが改善することが分かる。
Ｂ程度、シールド材がない１３と比較して５ｄＢ程度ク
ロストークが改善することが分かる。
このため、クロストークの許容値−４０ｄＢ以下を、ギ
ャップ間隔Ｌｇが０．１５ｍｍ程度まで実現することが
できる。
ャップ間隔Ｌｇが０．１５ｍｍ程度まで実現することが
できる。
また、本発明の実施例では、シールド材８として、ＡＩ
、Ｃｕ等の機械的に軟かい材料を用いることから、第１
および第３のＡｔ！Ｏｓ ＃ Ｓ Ｉ Ｏｘ ＋フォル
ステライト等よりなる硬い偉＠層が、膜厚が大きくなる
ことによって生ずる膜応力の増大を有効に吸収する応力
緩衝材としての効果も果す。このため、保護層の製造工
程において、保護層が膜応力により剥離等の不良発生を
防ぎ、生産性の向上が図れる。
、Ｃｕ等の機械的に軟かい材料を用いることから、第１
および第３のＡｔ！Ｏｓ ＃ Ｓ Ｉ Ｏｘ ＋フォル
ステライト等よりなる硬い偉＠層が、膜厚が大きくなる
ことによって生ずる膜応力の増大を有効に吸収する応力
緩衝材としての効果も果す。このため、保護層の製造工
程において、保護層が膜応力により剥離等の不良発生を
防ぎ、生産性の向上が図れる。
更に、第２図に示す構成において、シールド材の端面を
ヘッドベース１１に電気的に接続すれば、該シールド材
がアース接地できることから、クロストーク低減の効果
が増大する。
ヘッドベース１１に電気的に接続すれば、該シールド材
がアース接地できることから、クロストーク低減の効果
が増大する。
また、本発明の実施例では２ヘツドともにシールド材を
有する構成となっているが、どちらか一方のみがシール
ド材を有する構成としてもクロストーク低減の効果があ
る。
有する構成となっているが、どちらか一方のみがシール
ド材を有する構成としてもクロストーク低減の効果があ
る。
以上説明したように、本発明によれば、ＶＴＲ用のダブ
ルアジマスヘッドを薄膜磁気ヘッドとし、保護膜を多層
とし、かつ少なくともその一層をシールド材として、薄
膜形成面を向い合わせて１体化することにより、２ヘツ
ド間のクロストークが低減でき、ギャップ間隔を狭める
ことが可能となる。
ルアジマスヘッドを薄膜磁気ヘッドとし、保護膜を多層
とし、かつ少なくともその一層をシールド材として、薄
膜形成面を向い合わせて１体化することにより、２ヘツ
ド間のクロストークが低減でき、ギャップ間隔を狭める
ことが可能となる。
また、シールド材は保護層の応力緩衝材としての効果も
あるため、生産工程の安定比が図れるなど、従来技術の
もの番こ比して優れた特性を持つ薄膜磁気ヘッドを提供
することができる。
あるため、生産工程の安定比が図れるなど、従来技術の
もの番こ比して優れた特性を持つ薄膜磁気ヘッドを提供
することができる。
Ｍ１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
平面図（ａｔおよびＡ −Ａ’断面図（ｂ）、第２図は
本発明によるダブルアジマス薄膜磁気ヘッドの正面図（
ａｌおよび平面図（ｂ）、第３医はクロストークのギヤ
ツブ間隔Ｌｇ依存の測定結果を示す図である。 １．１ａ、１ｂ・・・基板 ２・・・下部磁気コア３・
・・上部磁気コア ７．７ａ、７ｂ・第１の保護層 ８．８ａ、８ｂ・・・第２の保護層 ９．９ａ、９ｂ・・・第３の保護層 １１・・ヘッドベース 代理人 弁理士 小 川 勝 男 ７９軒、１のイ１ｉｌ−鐙 （α）（ｂ） １−Ａ′
平面図（ａｔおよびＡ −Ａ’断面図（ｂ）、第２図は
本発明によるダブルアジマス薄膜磁気ヘッドの正面図（
ａｌおよび平面図（ｂ）、第３医はクロストークのギヤ
ツブ間隔Ｌｇ依存の測定結果を示す図である。 １．１ａ、１ｂ・・・基板 ２・・・下部磁気コア３・
・・上部磁気コア ７．７ａ、７ｂ・第１の保護層 ８．８ａ、８ｂ・・・第２の保護層 ９．９ａ、９ｂ・・・第３の保護層 １１・・ヘッドベース 代理人 弁理士 小 川 勝 男 ７９軒、１のイ１ｉｌ−鐙 （α）（ｂ） １−Ａ′
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に磁性層、絶縁層、導電層および保護層を所
定の形状に形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記
保護層を多層構造とし、かつその少なくも一層をシール
ド材により構成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ２、特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記シールド材を軟磁性合金膜あるいは導電膜のい
ずれかとしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ３、特許請求の範囲第１項および第２項のいずれかに記
載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記薄膜磁気ヘッドを２
個互いにそれらの薄膜形成面を向い合わせて一体化して
ダブルアジマス薄膜磁気ヘッドとしたことを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14704687A JPS63311615A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14704687A JPS63311615A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311615A true JPS63311615A (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15421283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14704687A Pending JPS63311615A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63311615A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5067038A (en) * | 1989-07-05 | 1991-11-19 | Hitachi, Ltd. | Rotary magnetic head device having two different kinds of heads |
| EP0509539A2 (en) * | 1991-04-19 | 1992-10-21 | Sony Corporation | Composite magnetic head |
| US6219200B1 (en) * | 1993-06-29 | 2001-04-17 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head with air bearing end face of magnetic film protruding beyond air bearing end face of substrate |
| US7457079B2 (en) * | 2002-07-03 | 2008-11-25 | Sony Corporation | Magnetic head with rectangular-shaped planar spiral coil and leading core width smaller than trailing core width |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP14704687A patent/JPS63311615A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5067038A (en) * | 1989-07-05 | 1991-11-19 | Hitachi, Ltd. | Rotary magnetic head device having two different kinds of heads |
| EP0509539A2 (en) * | 1991-04-19 | 1992-10-21 | Sony Corporation | Composite magnetic head |
| EP0509539A3 (ja) * | 1991-04-19 | 1994-01-05 | Sony Corp | |
| US6014291A (en) * | 1991-04-19 | 2000-01-11 | Sony Corporation | Composite magnetic head having thin conductor film |
| US6219200B1 (en) * | 1993-06-29 | 2001-04-17 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head with air bearing end face of magnetic film protruding beyond air bearing end face of substrate |
| US7457079B2 (en) * | 2002-07-03 | 2008-11-25 | Sony Corporation | Magnetic head with rectangular-shaped planar spiral coil and leading core width smaller than trailing core width |
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