JP2713132B2 - 排気装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内部が高真空状態に排
気される表示装置における排気装置に関するものであ
り、特に封着・排気工程が一貫生産可能な装置に好適な
排気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】蛍光表示装置等における真空気密容器内
部を高真空に排気する封着・排気工程は、真空気密容器
を構成する外囲器を予備焼成する工程と、不活性ガス雰
囲気中で外囲器を封着する封着工程と、その後排気部か
ら真空気密容器内部を排気し、排気部を封止する排気工
程を有している。上記予備焼成の工程は、焼成温度が２
００℃〜５００℃で行われ、封着材の有機物を分解させ
る工程である。また、封着工程は、焼成温度が３００℃
〜６００℃で行われ、不活性ガス雰囲気中で封着材から
のガスの発生を抑えて、クリップなどで加圧しながら外
囲器を封着している。その後、封着材が再度溶融しない
程度の温度でベーキングしながら内部を排気し、排気部
を封止するものである。

【０００３】これらの工程は、ひとつのチャンバー内で
すべての工程が行われるチャンバー方式と、各工程内を
雰囲気や温度によって異なる複数の部屋に分割し、互い
にゲートバルブで区切り、搬送装置で移動させるインラ
イン方式と、封着工程と排気工程を別の装置で行い、排
気工程では、排気部から排気されるがその他の外囲器の
部分は大気中にさらされている方式とがある。また、排
気部の形状としては、排気管を有するものと、貫通孔か
らなる排気孔を有するものとがある。このうち、排気管
を有するものを図５に示す。この図に示すように、外囲
器１００は前面基板１０１と背面基板１０２とサイド基
板１０３とが封着されることにより構成されており、例
えば背面基板１０２から外囲器１００内部に通じている
排気管１０４が引き出されている。この排気管１０４を
通じて外囲器１００内部を排気した後、排気管１０４を
溶着して封止部１０５としている。

【０００４】また、排気孔を有するものを図６に示す。
この図に示す外囲器１００も図５に示す外囲器１００と
同様に、前面基板１０１と背面基板１０２とサイド基板
１０３とが封着されることにより構成されており、例え
ば、背面基板１０２に形成された外囲器１００内部に貫
通されている排気孔を通じて排気した後、この排気孔１
０６を蓋１０７に被着された酸化物ソルダー１０８を溶
着して封止するようにしたものである。

【０００５】次に、本出願人の出願にかかる特公平４−
３９１７４号公報に記載されている封着工程と排気工程
とを行うインライン方式を、図７に示す。この図におい
て、まず前面基板にサイド基板を封着した箱形の容器を
背面基板に載置し、箱形の容器と背面基板とをクリップ
等の治具により加圧した状態で予備焼成室１２０に移送
装置により移送する。この予備焼成室１２０には加熱装
置が備えられており、室内を２００〜３００℃に保持し
ている。室内の雰囲気は大気でもよいが効率を上げるた
めに酸化性ガスを導入してもよい。この予備焼成室１２
０において、外囲器の封着部に被着されている酸化物ソ
ルダー中の残存有機物が十分に酸化されて蒸発されるよ
うになされている。

【０００６】予備焼成が終了すると、ゲートバルブ１２
１が開き、外囲器を乗せたトレイは移送装置によりガス
置換室１２２に入る。このガス置換室１２２において、
ロータリーポンプ１２３により室内の気体が排気される
ことに伴い、外囲器内の気体も排気され、次いで不活性
ガス（窒素ガス，アルゴンガス，炭酸ガス等）が不活性
ガス源１２６から供給され、外囲器内の気体を不活性ガ
スに置換する。次に、ゲートバルブ１２４を開き、トレ
イを封着炉室１２５に移送する。封着炉室１２５におい
て、不活性ガス雰囲気中で３００〜６００℃に加熱され
て封着面の酸化物ソルダーが溶融される。すると、外囲
器は治具により上下から加圧されているために、前面基
板と背面基板とが封着されるようになる。また、封着炉
室１２５内には不活性ガス源１２６から不活性ガスが供
給されているため、カソードや蛍光体の化学変化は防止
される。また、不活性ガスが供給されているので、外囲
器全体を均一に加熱でき酸化物ソルダーからの気泡の発
生を抑えることができる。

【０００７】封着された外囲器は、封着炉室１２５と同
じ不活性ガス中の徐冷室１２７に移送され、ここで２０
０〜４００℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶
融状態から固相状態となる。徐冷された外囲器は、移送
装置により荒引き室１２８へゲートバルブ１２９，１３
０を開いて移送する。このゲートバルブ１２９は熱シー
ルド用とされ、ゲートバルブ１３０は真空用とされてい
る。この荒引室１２８は、トレイが移送されるとロータ
リポンプ１３１が動作して、室内が低真空度となるよう
にされる。室内が排気されて所定の真空度になると、ゲ
ートバルブ１３２が開きトレイは本引室１３３に移送さ
れる。本引室１３３は予め高真空に排気してあるため、
ゲートバルブ１３２が開いて真空度が下がっても拡散ポ
ンプ１３６を作動させることにより、高真空状態に短時
間で排気することができる。この本引室１３３におい
て、外囲器内を高真空状態に排気して、ゲートバルブ１
３５を開きトレイを封止室１３４に移送する。

【０００８】この封止室１３４において、外囲器を加熱
してガスが出やすい状態としながら拡散ポンプ１３６に
より、封止室１３４内が高真空になるよう排気する。そ
して、排気管を溶融して封止するか、あるいは排気孔を
蓋部材に被着した酸化物ソルダーを溶融して接着封止す
るようにする。このようにして、内部が高真空状態に排
気された外囲器は、ゲートバルブ１３７を開いて冷却室
１３８に移送され、この冷却室１３８において徐冷され
る。徐冷された外囲器は、取り出し室１４０に移送さ
れ、さらに冷却されると共に、真空がリークされて雰囲
気が大気圧とされた後、外部に取り出される。取り出し
室１４０から取り出した外囲器は、ゲッターリング工程
やエージング工程を経て完成される。このようにして、
排気・封着される外囲器内にはカソード及び蛍光体の設
けられたアノードが配設されており、蛍光表示装置とさ
れる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記イ
ンライン方式においては一つの部屋全体を高真空に排気
する必要があることから、排気に時間がかかり、また排
気設備を大型化する必要があり、排気工程での効率が悪
いという問題点があった。さらに、一つの部屋全体が高
真空にされることから雰囲気中の熱伝導が悪くなり、外
囲器をベーキングする際に均一に加熱することが困難に
なり、ガスの放出を完全に行えないという問題点があっ
た。また、チャンバー方式においても、排気・封着工程
を行うチャンバー内全体を高真空に排気する必要がある
ことから、前記インライン方式と同様の問題点があっ
た。そこで、本発明は一つの部屋あるいはチャンバー内
全体を高真空に排気することなく表示装置とされる外囲
器内を高真空に排気することができる排気装置を提供す
ることを目的としている。また、封着・排気工程を一貫
生産可能とする装置に適用できる排気装置を提供するこ
とを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、真空気密容器を形成する外囲器を保持す
ると共に、中央部に排気装置と接続された貫通部を有す
る排気ヘッドを室内に設け、前記排気ヘッドを前記外囲
器の排気部に進退させる駆動装置と、前記排気ヘッドの
周辺に形成され、前記排気室内と外部を遮断するシール
部材とを備え、前記排気部から前記排気ヘッドを介して
前記排気装置により、前記外囲器内部を高真空に排気す
るようにしたものである。また、外囲器の排気部が管状
の形状とされている場合には、前記排気ヘッドは先端部
にシール部材を介して前記管状の排気部に取りつけられ
る装着部を有するようにしたものである。

【００１１】

【作用】本発明によれば、一つの部屋あるいはチャンバ
ー内全体を高真空に排気することなく表示装置とされる
外囲器内を高真空に排気することができる。また、排気
装置を大型化することなく外囲器内を高真空に排気する
ことができるため、排気効率を向上することができると
共に、経済的とすることができる。また、本発明をイン
ライン方式に適用すると、封着時の余熱をそのまま排気
時の加熱に転換することができ、エネルギーの利用効率
が高く、また外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さ
らに、封着と排気が連続であるため、工程のつながり部
における汚染がないため、製品の品質の均一化、安定化
が図れる。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時
間が短縮化されるため、生産性、量産性に優れた排気装
置とすることができる。

【００１２】

【実施例】本発明の排気装置の第１実施例を図１に示
す。この排気装置はチャンバー方式に適用されたもので
あり、チャンバー１内において外囲器の予備焼成，封
着，徐冷および封止・排気が順次行われるものである。
また、外囲器は排気管により内部が真空状態に排気され
るものとされている。チャンバー１はチャンバー底板１
−１と、チャンバー底板１−１に対して開閉自在とされ
たカバー１−２とから構成されている。このチャンバー
１内は図示しない真空ポンプにより低真空に排気される
ようになされている。チャンバー底板１−１には下に通
じる開口部が複数設けられており、この開口部内には筒
体５の先端部とされた排気ヘッド２が気密状態で進退自
在に配設されている。さらに、この排気ヘッド２の先端
には外囲器３に設けられている排気管３−１が気密状態
で取付けられており、外囲器３の内部は排気管３−１を
介して筒体５の内部に連通している。そして、この筒体
５の下端が排気室６に固着されることにより、筒体５の
内部は排気室６に連通され、この排気室６は真空ポンプ
７により高真空に排気できるようにされている。

【００１３】また、前記のように排気ヘッド２を進退自
在とするために、排気室６を上下に移動可能としてい
る。すなわち、排気室６の両側にはボールネジ８が螺合
されており、ボールネジ８を回転させる方向により、排
気室６が上あるいは下に移動可能とされている。このボ
ールネジ８はそれぞれウォームギアボックス９−１に連
接されており、ウォームギアボックス９−１のウォーム
ギヤには、モータ９−２の回転軸が結合されて、モータ
９−２の回動力が伝達されている。さらに、ウォームギ
アボックス９−１同士は回転可能な連結棒９−３により
回転結合されており、ボールネジ８が同時に同方向に回
転するようにされている。

【００１４】このような構成において、モータ９−２に
通電してモータ９−２を回動させると、この回動力がウ
ォームギアボックス９−１を介してボールネジ８に伝達
され、ボールネジ８が回動される。すると、ボールネジ
８に螺合されている排気室６が上あるいは下に移動され
る。したがって、この排気室６に固着された筒体５がこ
の移動に応じて上あるいは下に移動されることになり、
筒体５の先端部の排気ヘッドが上昇あるいは下降される
ようになる。また、排気室６には図示していないが複数
の筒体５が固着されており、この筒体５の先端部にはそ
れぞれ排気ヘッド２が設けられている。さらに、筒体５
を覆うようにべローズ４が筒体５の周囲に取り付けられ
ている。なお、底板１−１の下部に設けられている排気
室６，モータ９−２，ウォームギアボックス９−１等は
図示しないカバーにより覆われており、このカバー内は
低真空に排気されている。

【００１５】このように構成された排気装置において
は、カバー１−２を開いて複数の外囲器３をチャンバー
１内に収納すると共に、排気ヘッド２に取付け、従来と
同様に前記した予備焼成およびガス置換を行い、さらに
不活性雰囲気中でヒータにより加熱して酸化物ソルダー
を溶融することにより封着を行う。次に、複数の外囲器
３に設けられている排気管３−１を、それぞれ排気ヘッ
ド２に取り付けるが、この排気ヘッド２の部分を拡大し
て図２に示す。この図においては、外囲器３の使用例と
して蛍光表示装置を示しており、外囲器３は、前記図５
に示すように前面基板３−２と背面基板３−３とがサイ
ド基板３−４を介して対向されるよう封着されている。
この背面基板３−３には排気管３−１が封着されてお
り、この排気管３−１は外囲器３の内部に連通してい
る。この排気管３−１の先端を排気ヘッド２の先端に取
り付けるのであるが、排気ヘッド２の縮径された先端部
分の外周にはネジが切られており、このネジにナット２
−３が螺着されている。このナット内にはＯリング２−
２が配設されており、ナット２−３および排気ヘッド２
に設けられた貫通孔２−４内に前記排気管３−１の下端
を挿入してナット２−３を回動させることにより、排気
管３−１の先端を排気ヘッド２に気密に締着する。

【００１６】また、ベローズ４に接続されている接続管
４−１が取り付けられている取付体１−３は底板１−１
に固着されているが、底板１−１と取付体１−３との間
にシール１−４が設けられて気密状態に固着されてい
る。さらに、上下に移動可能な筒体５はシール２−５を
介して気密状態で取付体１−３に設けられた貫通孔に嵌
合されている。このように排気管３−１の下端を排気ヘ
ッド２に取りつけた状態として、図１に示す真空ポンプ
７を作動させて排気室６を高真空に排気すると、排気室
６に連通している筒体５、そして排気ヘッド２および排
気管３−１を介して外囲器３の内部が高真空に排気され
るようになる。高真空に排気されたら、モータ９−２を
作動させて、ウォームギアボックス９−１を介してボー
ルネジ８を回動させることにより排気室６を上昇させ
る。これにより筒体５が上昇するため、筒体５の先端部
の排気ヘッド２および排気ヘッド２に取りつけられてい
る外囲器３が上昇する。

【００１７】そして、カバー１−２をはずした状態で、
ガスバーナにより排気管３−１の中途を溶融することに
より、排気管３−１を封止する。続いて、封止された排
気管３−１を切り外囲器３を排気ヘッド２から取り外
す。外囲器３から分離された排気管３−１の不要部分を
排気ヘッド２から取りはずし、次の外囲器３を排気ヘッ
ド２に取りつけて前記と同様の工程を繰り返すことによ
り外囲器３を有する表示装置を次々と作製する。なお、
チャンバー１内に外囲器３を保持する保持部を設け、外
囲器３の排気管３−１を排気ヘッド２が自動的に抱持で
きるようにすると共に、排気管３−１から排気ヘッド２
を自動的に離脱できるようにすれば、予備焼成および封
着工程時において、排気ヘッド２をチャンバ１内から退
避することができるようになる。

【００１８】次に、外囲器を封着・排気する工程を一貫
生産ラインであるインライン方式に適用できる本発明の
排気装置の第２実施例を説明する。図３に本発明の排気
装置を適用するインライン方式を示す。この図におい
て、まず前面基板にサイド基板を封着した箱形の容器を
背面基板に載置し、箱形の容器と背面基板とをクリップ
等の治具により加圧した状態で予備焼成室１０に移送装
置により移送する。この予備焼成室１０には加熱装置が
備えられており、室内を２００〜３００℃に保持してい
る。室内の雰囲気は大気でもよいが効率を上げるために
酸化性ガスを導入してもよい。この予備焼成室１０にお
いて、外囲器の封着部に被着されている酸化物ソルダー
中の残存有機物が十分に酸化されて蒸発されるようにさ
れている。

【００１９】予備焼成が終了すると、ゲートバルブ１１
−１が開き、外囲器を載置したトレイは移送装置により
ガス置換室１２に入る。このガス置換室１２において、
ロータリーポンプ１２−３により室内の気体が排気され
ることに伴い、外囲器内の気体も排気され、次いで不活
性ガス（窒素ガス，アルゴンガス，炭酸ガス等）を、不
活性ガス源１９からバルブ１２−１を開いて供給し、外
囲器内の気体を不活性ガスに置換する。次に、ゲートバ
ルブ１１−２を開き、トレイを封着室１３に移送する。
封着室１３において、不活性ガス雰囲気中または真空雰
囲気中で３００〜６００℃に加熱されて、外囲器の封着
面に被着された酸化物ソルダーが溶融される。外囲器は
治具により上下から加圧されているために、前記酸化物
ソルダーの溶融に伴い前面基板と背面基板とが封着され
るようになる。また、封着室１３内には不活性ガス源１
９から不活性ガスが供給されているため、カソードや蛍
光体の化学変化は防止される。

【００２０】封着された外囲器は、封着室１３と同じ不
活性ガス中の徐冷室１４に移送され、ここで２００〜４
００℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーを溶融状態
から固相状態とする。徐冷された外囲器は、移送装置に
より排気・封止室１６へゲートバルブ１５を開いて移送
する。排気・封止室１６は、トレイが移送されるとロー
タリポンプ１６−３が動作して、室内が低真空度となる
ようにされる。所定の真空度になるまで室内が排気され
ると、外囲器に気密状態に取り付けられた排気ヘッドに
連通している拡散ポンプ１６−３およびロータリポンプ
１６−６が作動して、外囲器内部を高真空に排気する。
この場合、外囲器は加熱されガスを放出しやすい状態と
されるが、外囲器は封着時の余熱を残しているため容易
に加熱を行うことができる。このようにして、外囲器内
を高真空状態とした後、排気ヘッドに装着されている蓋
部材により外囲器の排気孔を閉塞するよう封止する。そ
して、徐冷された後、ゲートバルブ１６を開きトレイを
取出室１８に移送し、さらに冷却すると共に、真空がリ
ークされて雰囲気が大気圧とされた後、外部に取り出さ
れる。

【００２１】取り出し室１８から取り出した外囲器は、
ゲッターリング工程やエージング工程を経て完成され
る。このようにして、封着・排気される外囲器内にはカ
ソード及び蛍光体の設けられたアノードが配設されてお
り、蛍光表示装置とされる。前記排気・封止室１６が本
発明の排気装置の第２実施例であり、その詳細を図４を
参照しながら説明するが、外囲器は前記図６に示す貫通
孔からなる排気孔により排気部が構成されたタイプとさ
れており、外囲器に穿孔された排気孔を通じて外囲器内
部を排気するようにされている。この図において、ゲー
トバルブ１５とゲートバルブ１７により遮断されている
排気・封止室１６は真空ポンプ３２により低真空に排気
されるようになされている。排気・封止室１６の底部に
は下に通じる開口部が複数設けられており、この開口部
内には筒体２３の先端部とされた排気ヘッド２０が進退
自在に配設されている。

【００２２】さらに、この排気ヘッド２０の先端は外囲
器２１に穿孔された排気孔に気密状態で密着できる構成
とされており、外囲器２１の内部は排気ヘッド２０を介
して筒体２３の内部に連通している。この筒体２３の下
端が排気室２５に固着されることにより、筒体２３の内
部は排気室２５に連通されている。排気室２５は、真空
ポンプ２６により高真空に排気される。また、前記のよ
うに排気ヘッド２を進退自在とするために、排気室２５
が上下に移動可能とされている。すなわち、排気室２５
の両側にはボールネジ２８が螺合されており、ボールネ
ジ２８を回転させる方向により、排気室２５が上あるい
は下に移動可能とされている。このボールネジ２８はそ
れぞれウォームギアボックス２９に連接されており、ウ
ォームギアボックス２９のウォームギヤには、モータ３
０の回転軸が結合されて、モータ３０の回動力が伝達さ
れている。さらに、ウォームギアボックス２９同士は回
転可能な連結棒３１により回転結合されており、ボール
ネジ２８が同時に同方向に回転するようにされている。

【００２３】 このような構成において、モータ３０に
通電してモータ３０を回動させると、この回動力がウォ
ームギアボックス２９を介してボールネジ２８に伝達さ
れ、ボールネジ２８が回動される。すると、ボールネジ
２８に螺合されている排気室２５が上あるいは下に移動
される。したがって、この排気室２５に固着された筒体
２３がこの移動に応じて上あるいは下に移動されること
になり、筒体２３の先端部の排気ヘッドが上昇あるいは
下降される。また、排気室２５には図示していないが複
数の筒体２３が連接されており、この筒体２３の先端部
にはそれぞれ排気ヘッド２０が設けられている。さら
に、筒体２３を覆うようにべローズ２２が筒体２３の周
囲に取り付けられている。さらに、筒体２３内には棒体
２４が挿通されていると共に、この棒体２４の先端には
ヒータが備えられており、ヒータには蓋部材が嵌着され
ている。また、棒体２４は排気ヘッド２０に対して進退
自在とされており、外囲器２１内部を高真空に排気した
後、棒体２４を上昇させて蓋部材を外囲器２１に穿孔さ
れた排気孔に圧接し、ヒータに通電することにより、蓋
部材に被着した酸化物ソルダーを溶融して封止するよう
にしている。

【００２４】 このように棒体２４を進退自在とするた
めに、排気室２５の下側にシリンダ２７が設けられ、こ
のシリンダ２７内に棒体２４の下端部に設けられたピス
トン部を挿入して、例えば空気圧によりシリンダ２７内
のピストンを上下に移動している。なお、排気・封止室
１６の下側に設けられている排気室２５，モータ３０，
ウォームギアボックス２９等は図示しないカバーにより
覆われており、このカバー内は低真空に排気されてい
る。このように構成された排気装置においては、ゲート
バルブ１５を開いて複数の外囲器２１を排気・封止室１
６内に収納した後、不活性雰囲気中でヒータにより加熱
して酸化物ソルダーを溶融することにより封着を行う。
この場合、排気ヘッド２０は下降されて封着時の熱を避
けるようにされている。封着が完了すると、次に、複数
の外囲器２１に設けられている排気孔に、それぞれ排気
ヘッド２０を上昇させて密着させるのである。

【００２５】このように排気孔を覆うように外囲器２１
を排気ヘッド２０に密着させた状態として、図４に示す
真空ポンプ２６を作動させて排気室２５を高真空に排気
すると、排気室２５に連通している筒体２３、そして排
気ヘッド２０および排気孔を介して外囲器２１の内部が
高真空に排気される。その後、シリンダ２７に空気を圧
入して棒体２４を上昇させ、棒体２４の先端部に設けら
れたヒータに嵌着されている蓋部材が排気孔を閉塞する
よう圧接する。そして、この状態においてヒータに通電
すると、蓋部材に被着されている酸化物ソルダーが溶融
し、排気孔は蓋部材により封止されるようになる。次
に、ヒータの通電を終了すると酸化物ソルダーが溶融状
態から固相状態となり、封止が完了する。

【００２６】封止が完了した後、モータ３０を作動させ
て、ウォームギアボックス２９を介してボールネジ２８
を回動させて排気室２５を下降させる。これにより筒体
２３が下降するため、筒体２３の先端部の排気ヘッド２
０が外囲器２１から離脱され、下降する。次に、ゲート
バルブ１７を開いて封止された外囲器２１を取出室に移
送し、ゲートバルブ１５を開いて次の外囲器２１を排気
・封止室１６に移送する。

【００２７】この第２実施例によれば、封着時の余熱を
そのまま排気時の加熱に転換することができ、エネルギ
ーの利用効率が高く、また外囲器に残存する熱歪みも軽
減される。さらに、封着と排気が連続であるため、工程
のつながり部における汚染がないため、製品の品質の均
一化、安定化が図れる。しかも、封着・排気工程の無駄
がなく工程時間が短縮化されるため、生産性、量産性に
優れた排気装置とすることができる。また、この第２実
施例の排気装置をチャンバー方式に適用することもでき
る。以上の説明においては、外囲器は蛍光表示装置の真
空気密容器として説明したが、蛍光表示装置に限らず他
の表示装置の真空気密容器であってもよい。

【００２８】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、一つの部屋あるいはチャンバー全体を高真空に排気
することなく表示装置とされる外囲器内を高真空に排気
することができる。また、排気装置を大型化することな
く外囲器内を高真空に排気することができるため、排気
効率を向上することができると共に、経済的とすること
ができる。また、本発明の第２実施例によると、さらに
封着時の余熱をそのまま排気時の加熱に転換することが
でき、エネルギーの利用効率が高く、また外囲器に残存
する熱歪みも軽減される。さらに、封着と排気が連続で
あるため、工程のつながり部における汚染がないため、
製品の品質の均一化、安定化が図れる。しかも、封着・
排気工程の無駄がなく工程時間が短縮化されるため、生
産性、量産性に優れた排気装置となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の排気装置の第１実施例を示す図であ
る。

【図２】第１実施例の排気ヘッド部分を示す図である。

【図３】本発明の排気装置を適用するインライン方式の
説明図である。

【図４】本発明の排気装置の第２実施例を示す図であ
る。

【図５】従来の排気管を有する外囲気を示す図である。

【図６】従来の排気孔を有する外囲器を示す図である。

【図７】従来のインライン方式の説明図である。

【符号の説明】

１ チャンバー １−１ 底板 １−２ カバー １−３ 取付体 １−４，２−５ シール ２，２０ 排気ヘッド ２−２ Ｏリング ２−３ ナット ２−４ 貫通孔 ３，２１，１００ 外囲器 ３−１，１０４ 排気管 ３−２，１０１ 前面基板 ３−３，１０２ 背面基板 ３−４，１０３ サイド基板 ４，２２ ベローズ ４−１ 接続管 ５，２３ 筒体 ６，２５ 排気室 ７，２６，３２ 真空ポンプ ８，２８ ボールネジ ９−１，２９ ウォームギアボックス ９−２，３０ モータ ９−３，３１ 連結棒 １０，１２０ 予備焼成室 １１−１，１１−２，１５，１７，１２１，１２４，１
２９，１３０，１３２，１３５，１３７，１３９ ゲー
トバルブ １２，１２２ ガス置換室 １２−１，１２−２，１３−１，１６−１，１６−２，
１６−４ バルブ １２−３，１６−３，１６−６，１２３，１３１ ロー
タリーポンプ １３ 封着室 １４，１２７ 徐冷室 １６ 排気・封止室 １６−５，１３６ 拡散ポンプ １８，１４０ 取出室 １９，１２６ 不活性ガス源 ２４ 棒体 ２７ シリンダ １０５ 封止部 １０６ 排気孔 １０７ 蓋 １０８ 酸化物ソルダー １２５ 封着炉 １２８ 荒引室 １３３ 本引室 １３４ 封止室 １３８ 冷却室 １４１ 雰囲気ガス源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 門脇 晃 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−207033（ＪＰ，Ａ)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 特定の雰囲気または真空の雰囲気が形成
   される室と、この室内に配設された真空気密容器を形成
   する外囲器と、前記室内に配設された中央部に排気装置
   と接続された貫通部を有する排気ヘッドと、前記排気ヘ
   ッドを前記外囲器の排気部に進退させる駆動装置と、前
   記排気ヘッドの周辺に形成され、前記室の内部と外部と
   を遮断するシール部材とを備え、前記排気部に密着され
   た前記排気ヘッドを介して前記排気装置により、前記外
   囲器内部を高真空に排気することを特徴とする排気装
   置。
2. 【請求項２】前記外囲器の排気部が管状の形状とされ、
   前記排気ヘッドは先端部にシール部材を介して前記管状
   の排気部に取りつけられる装着部を有し、該装着部に前
   記管状の排気部を取り付けた状態において、前記排気部
   と前記排気ヘッドの貫通部が連通することを特徴とする
   請求項１記載の排気装置。
3. 【請求項３】前記室は、開閉可能なゲートバルブにより
   仕切られた連続した部屋の一部であり、前記外囲器を保
   持する保持部ごと隣接する部屋へ移動可能に構成された
   ことを特徴とする請求項１ないし２のいずれかに記載の
   排気装置。
4. 【請求項４】前記室は着脱自在なカバーを有し、前記外
   囲器を排気ヘッドに対し取り外し可能な構成としたこと
   を特徴とする請求項１ないし２のいずれかに記載の排気
   装置。