JP5694848B2 - 電子装置の製造方法 - Google Patents
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Description
組み合わせた複数の容器部材を封着した気密容器と、前記気密容器の内部に収納された電子デバイスとを有する電子装置の製造方法において、
内部に前記電子デバイスを収納した状態で複数の前記容器部材を隙間をおいて組み合わせ、組み合わせた複数の前記容器部材の内部を、前記隙間を通って前記容器部材の外から内部に空気が流入してくるように吸引する吸塵工程を行なった後に、複数の前記容器部材を封着して前記気密容器を製造する封着工程を行なうことを特徴としている。
前記気密容器の端部となる前記容器部材の一部分には吸引穴が形成されており、組み合わせた複数の前記容器部材を前記吸引穴が下方に位置する姿勢に設定し、前記容器部材に振動を与えながら前記吸塵工程を行なうことを特徴としている。
前記電子デバイスをアースしながら前記吸塵工程を行なうことを特徴としている。
図1に示すように、この蛍光発光装置1は、少なくとも一部が透光性である複数個の容器部材を組み合わせた箱型の気密容器2の内部に、発光素子を含む図示しない電子デバイス (電子素子)を収納した構造の装置である。図1に示す一例では、気密容器2を構成する容器部材3,4は、片面側が開放された箱状の蓋体である一方の容器部材としての容器部3と、この容器部3の開放された側に面付けされる他方の容器部材としての基板4からなり、両者は図示しない封着 (接着)ガラス等を介して封着 (接着)固定されている。気密容器2の内部にある図示しない電子デバイスは、基板4の内面側に作り込まれるか、又は基板4の上に積載して設けられており、この電子デバイスに接続される図示しない外部端子 (金属端子)は、容器部3と基板4の封着部分を気密に貫通して外部に導出される。従って、組み合わされた容器部材3,4の隙間dは、ここを貫通する隙間保持部材としての外部端子の厚さ分に相当する。
図3は、本実施形態の製造方法の対象物である組み立て途中の蛍光発光装置11又は気密容器12を示す図である。なお、蛍光発光装置11又は気密容器12の全体及びその構成部品については、説明の便宜上、組立中と完成後で同一の符号を以て指称するものとする。この蛍光発光装置11は箱型パネル状の気密容器12を有している。気密容器12は、容器部材である2枚の矩形の基板13,14を、所定間隔をおいて互いに平行となるように対面して組み合わせたものであり、一方の基板13には、その長手方向の一端部の略中央部分に、排気工程で内部を排気するために使用される吸引穴15が貫通して形成されている。
図示しない基台の上に設置された基板26には、気密容器12の操作台27が設置されている。操作台27には吸引保持部28が設けられており、操作台27の上に載置された蛍光発光装置11を空気の吸引力で保持できるようになっている。操作台27の上に載置される蛍光発光装置11は、図4では簡略化して図示しているが、実際には図3に示すような背板18とクリップ21で仮固定された状態であり、背板18が下側で操作台27に接触するように操作台27に載置される。
面付工程で仮固定された図3に示す蛍光発光装置11の気密容器12は、図示しない搬送手段によって図4(c)に示すクリーンボックス37の内部に搬入され、図4(a)に示すように水平な受入れ位置にある吸塵装置25の操作台27の上に載置される。吸引保持部28が気密容器12を吸引して操作台27に保持した後、図4(a)中の矢印及び同図(c)に示すように、回転用シリンダ29が操作台27を垂直な吸塵位置に設定し、気密容器12を縦置きの状態にする。これによって気密容器12の吸引穴15には吸塵手段36の吸塵口が気密状態で接続される。ここで、図示しない吸引ポンプを作動させるとともに、第1タッピング部32及び第2タッピング部33を作動させる。第1タッピング部32及び第2タッピング部33が、気密容器12を上面及び下面からたたいて振動を与えるとともに、吸塵手段36は気密容器12の内部を下方の吸引穴15から吸引する。
本実施形態における蛍光発光装置11の気密容器12の内容積は、一実験例においては26280mm2 であり、吸引穴15の内径は4mm、吸塵手段36のOリングの内径は10mm、外径は13mmであった。吸塵工程での吸引ポンプによる空気の吸引速度を30m/secとして繰返し吸塵を実施したところ、吸塵時間7sec以上で問題なくガラス異物を除去できることを確認した。吸引速度を上昇させると、空気との摩擦で電子デバイス16の帯電量が増大して故障が発生するおそれがあるが、少なくとも45m/secの条件までは問題が生じなかった。吸引速度を低下させた場合には、吸塵時間7secで効果的な異物除去を行うためには、少なくとも15m/secを越える速度が必要であることが判明した。
これらの図は、本実施形態の製造方法と、従来の製造方法により、同一構造の蛍光発光装置11をそれぞれ所定個数ずつ製造し、本実施形態の製造方法で製造された蛍光発光装置11の不良率と、従来の製造方法で製造された蛍光発光装置11の不良率を比較したものである。各図の各項目中、グレーで示す左側の棒グラフが、本実施形態に係る製品(吸引穴集塵)の不良率を示し、白で示す右側の棒グラフが、一般品(従来品)の不良率を示す。本実施形態の蛍光発光装置11と、従来製法による蛍光発光装置11とでは、装置自体の形状・構造・寸法・材料等の諸条件は同一であり、製造方法だけが異なっている。従って、これらの図において認められる不良率の差は、製造方法の差に起因するものと考えられる。
2…気密容器
3…容器部材としての容器部
4…容器部材としての基板
5…吸塵手段
7…吸引穴
8…加振手段
11…蛍光発光装置
12…気密容器
13,14…容器部材としての基板
15…吸引穴
16…電子デバイス
17…外部端子
18…背板
25…吸塵装置
31…加振手段としてのタッピング装置
36…吸塵手段
38…除電手段
Claims (4)
- 組み合わせた複数の容器部材を封着した気密容器と、前記気密容器の内部に収納された電子デバイスとを有する電子装置の製造方法において、
内部に前記電子デバイスを収納した状態で複数の前記容器部材を隙間をおいて組み合わせ、組み合わせた複数の前記容器部材の内部を、前記隙間を通って前記容器部材の外から内部に空気が流入してくるように吸引する吸塵工程を行なった後に、複数の前記容器部材を封着して前記気密容器を製造する封着工程を行なうことを特徴とする電子装置の製造方法。 - 前記気密容器の端部となる前記容器部材の一部分には吸引穴が形成されており、組み合わせた複数の前記容器部材を前記吸引穴が下方に位置する姿勢に設定し、前記容器部材に振動を与えながら前記吸塵工程を行なうことを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。
- 前記電子デバイスをアースしながら前記吸塵工程を行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子装置の製造方法。
- 前記容器部材の前記隙間を隙間保持部材で保持することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一つに記載の電子装置の製造方法。
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