JP2005235452A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】短時間、かつ確実に接合できるとともに、前面基板および背面基板の接合後の封着強度信頼性や真空気密特性に優れた表示装置を提供する。
【解決手段】真空外囲器は、対向配置された前面基板および背面基板12を有し、これら基板の周縁部同士は封着層21を介して互いに接合されている。電極は接触端37を含み、この接触端は封着層21に接触されている。
電極の接触端36の端縁37は、凹状の多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びている。
【選択図】 図5
【解決手段】真空外囲器は、対向配置された前面基板および背面基板12を有し、これら基板の周縁部同士は封着層21を介して互いに接合されている。電極は接触端37を含み、この接触端は封着層21に接触されている。
電極の接触端36の端縁37は、凹状の多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びている。
【選択図】 図5
Description
この発明は、対向配置された基板と複数の画素とを有した表示装置に関する。
近年、陰極線管(以下、CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の様々な表示装置が開発されている。このような表示装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などがある。
例えばFEDやSEDでは、一般に、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺部同士を互いに接合することにより真空の外囲器を構成している。前面基板の内面には蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体を励起して発光させる電子放出源として多数の電子放出素子が設けられている。
また、背面基板および前面基板に加わる大気圧荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支持部材が配設されている。背面基板側の電位はほぼアース電位であり、蛍光面にはアノード電圧が印加される。そして、蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の蛍光体に電子放出素子から放出された電子ビームを照射し、蛍光体を発光させることによって画像を表示する。
このようなFEDやSEDでは、表示装置の厚さを数mm程度にまで薄くすることができ、現在のテレビやコンピュータのディスプレイとして使用されているCRTと比較して、軽量化、薄型化を達成することができる。
例えば、前記のようなFEDにおいて、外囲器を構成する前面基板および背面基板を矩形枠状の側壁を介して接合するために様々な製造方法が検討されている。例えば、真空装置内において、前面基板と背面基板を十分に離した状態で両基板をベーキングしながら真空装置全体を高真空になるまで排気し、所定の温度および真空度に到達したときに前面基板と背面基板を、側壁を介して接合する方法が挙げられる。この方法では、通常、ゲッターの吸着能力を低下させないように、シール材として比較的低温で封着が可能なインジウムが用いられる。
しかしながら、インジウムは低融点金属とはいえ、その溶融温度は約160℃であり、この温度でもゲッターの吸着能力は低下することが確かめられている。また、この温度で封着した表示装置を動作させると、ライフ特性が劣化することが実験で確認された。
これらの問題を解決する方法として、基板間にインジウム等の低融点封着材を充填し、この封着材に通電しそのジュール熱により封着材自身を発熱、溶解させ、基板同志を結合する方法(以下、通電加熱と称する)が検討されている(例えば、特許文献1参照)。この方法によれば、ゲッター形成領域を100〜140℃程度に保ちながら、封着材のみを高温にして溶融することができるため、ゲッターの吸着能力低下を防止することができる。また、基板の加熱、冷却に膨大な時間を費やす必要がなく、短時間で基板を接合し外囲器を形成する事が可能となる。
特開2002−319346号
上記した通電加熱において、低融点封着材へ安定した電流を流すため、この封着材に対して電気的に接続される通電電極(以下、電極と称する)が用いられる。また、電極は通常、低融点封着材を均一に溶融させるため、電極間で並列に通電される低融点封着材の各々の通電経路の長さが等しくなるように、基板の対角方向に対向する2つの角部に装着される。これにより、電極間に位置する低融点封着材の長さは、各電極の両側でほぼ等しくなる。
しかしながら、電極を角部に装着した場合、電極先端、および角部の低融点封着材の縁間の幅は不均一となる(電極先端、および角部の低融点封着材の縁は非平行となる)。このため、角部において、封着幅が狭くなる領域が生じる。一般に、側壁の角部は、製造時のハンドリングの際の応力集中や、外囲器となったあとの大気圧荷重による応力集中を避けるため、有限の曲率半径をもつ曲線形状、望ましくは4半円弧形状に形成されている。さらに、低融点封着材も、幅や厚さが均一となるようするため側壁に沿った曲線形状に充填され、形成されている。
このような場合、電極先端と側壁および低融点封着材の縁とは非平行となる。このため、電極が取り付けられていない個所の封着幅に比べて、電極が取り付けられた個所の封着幅が狭くなっている。特に電極先端の中央部での封着幅はより狭くなっている。このように封着幅が狭くなる個所においては、封着強度が落ちるため、表示装置の強度信頼性が従来に比べて劣化してしまう。そればかりでなく、封着幅の狭い個所においては、リークパスが発生する確率が高くなり、真空気密特性が低下してしまう。
この発明はこれらの課題に対処することを目的とし、短時間、かつ確実に接合できるとともに、接合後の封着強度信頼性や真空気密特性に優れ、良好な画像を得ることができる表示装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る表示装置は、隙間をおいて対向配置されているとともに周辺部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板および背面基板の少なくとも一方の内面周縁部に沿って配置されているとともに、導電性を有する材料を含む封着層と、前記封着層に接触した接触端を有した電極と、前記外囲器内に設けられた複数の画素と、を備え、前記電極の接触端の端縁は、凹状の多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、前記封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びていることを特徴としている。
また、本発明の他の態様に係る表示装置は、隙間をおいて対向配置されているとともに周辺部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板および背面基板の少なくとも一方の内面周縁部に沿って配置されているとともに、導電性を有する材料を含む封着層と、前記外囲器内に設けられた複数の画素と、を備え、前記封着層は、それぞれ外囲器の外方に向って開口した複数の凹部を有し、前記凹部の底縁は、多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、前記封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びていることを特徴としている。
この発明によれば、短時間、かつ確実に接合できるとともに、前面基板および背面基板の接合後の封着強度信頼性や真空気密特性に優れた表示装置を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明に係る表示装置をFEDに適用した実施の形態について詳細に説明する。
図1ないし図4に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の隙間を置いて対向配置されている。背面基板12は前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁18を介して周縁部同士が接合され、外囲器として、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
図1ないし図4に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の隙間を置いて対向配置されている。背面基板12は前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁18を介して周縁部同士が接合され、外囲器として、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
真空外囲器10の内部には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材14が設けられている。これらの支持部材14は、真空外囲器10の一辺と平行な方向にそれぞれ延在しているとともに、上記一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。なお、支持部材14は板状に限らず、柱状のものを用いても良い。
前面基板11の内面には、画像表示面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青の蛍光体層R、G、B、およびこれらの蛍光体層間に位置した黒色光吸収層20を並べて構成されている。蛍光体層R、G、Bは、真空外囲器10の上記一辺と平行な方向に延在しているとともに、この一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。なお、蛍光体スクリーン16上には、たとえばアルミニウムからなるメタルバック層17およびバリウムからなるゲッター膜27が順に重ねて形成されている。
図3に示すように、背面基板12の内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の電子放出素子22が設けられている。これらの電子放出素子22は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。詳細に述べると、背面基板12の内面上には、導電性カソード層24が形成され、この導電性カソード層上には多数のキャビティ25を有した二酸化シリコン膜26が形成されている。二酸化シリコン膜26上には、モリブデンやニオブ等からなるゲート電極28が形成されている。そして、背面基板12の内面上において各キャビティ25内にはモリブデンなどからなるコーン状の電子放出素子22が設けられている。
導電性カソード層24とゲート電極28は、それぞれ直交する方向にストライプ状に形成されており、背面基板12の周縁部には、これら導電性カソード層およびゲート電極に電位を供給する多数本の配線23が形成されている。また、背面基板12の対角する角部40には一対の電極30が装着されており、その先端は前面基板11と側壁18の間に挿入されている。
前記のように構成されたFEDにおいて、映像信号は、単純マトリックス方式に形成された電子放出素子22とゲート電極28に入力される。電子放出素子を基準とした場合、最も輝度の高い状態の時、+100Vのゲート電圧が印加される。また、蛍光体スクリーン16には+10kVが印加される。これにより、電子放出素子22から電子ビームが放出される。電子放出素子から放出される電子ビームの大きさは、ゲート電極28の電圧によって変調され、この電子ビームが蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起して発光させることにより画像を表示する。
このように蛍光体スクリーン16には高電圧が印加されるため、前面基板11、背面基板12、側壁18、および支持部材14用の板ガラスには、高歪点ガラスが使用されている。背面基板12と側壁18との間は、低融点ガラス19によって封着されている。また、前面基板11と側壁18との間は、導電性を有する低融点封着材としてインジウム(In)を含んだ封着層21によって封着されている。
次に、上述した側壁18、封着層21、および電極30についてさらに説明する。
図5に示すように、角部40に位置した側壁18等は、製造時のハンドリングの際の応力集中や、真空外囲器となったあとの大気圧荷重による応力集中を避けるために、直角形状ではなく、有限の曲率半径をもつ曲線形状に形成され、例えば4半円弧の形状に形成されている。この実施の形態において、側壁18の幅W1は8mmである。側壁18の4半円弧の半径は、外側で12mm、内側で4mmである。
図5に示すように、角部40に位置した側壁18等は、製造時のハンドリングの際の応力集中や、真空外囲器となったあとの大気圧荷重による応力集中を避けるために、直角形状ではなく、有限の曲率半径をもつ曲線形状に形成され、例えば4半円弧の形状に形成されている。この実施の形態において、側壁18の幅W1は8mmである。側壁18の4半円弧の半径は、外側で12mm、内側で4mmである。
封着層21は帯状に形成され、側壁18に沿って矩形枠状に延びている。封着層21は湾曲部210を有している。この実施の形態において、封着層21の幅W2は4.5mmである。ここで、封着層21の幅を広くするほど封着後の表示装置の封着強度信頼性および真空気密特性が増すことは言うまでもないが、インジウムは比較的高価な材料であり、表示装置の低価格化の観点からは、インジウムの使用量を減らすために封着層の幅をできるだけ狭くすることが望ましい。
図5および図6に示すように、電極30は、前面基板11あるいは背面基板12の周縁部を挟持して取り付け可能な装着部32、装着部に並んで位置し封着層に対する電流の通路となる胴体部34、および胴体部の延出端に位置し封着層に接触可能な接触端36を一体に備えている。この実施の形態において、電極30は、側壁18が接合されている背面基板12に装着されている。電極30の接触端36は、側壁18に形成された封着層21に重なっているとともに接触され、電極を封着層に対して電気的に接続している。より詳しくは、接触端36は湾曲部210と重なった個所に設けられている。
電極30は、基板上で+極と−極の一対を必要とし、一対の電極30間で並列に通電される封着層21の各々の通電経路はその長さを等しくすることが望ましい。そこで、一対の電極30は、背面基板12の対角方向に対向する2つの角部40に装着され、電極間に位置した封着層21の長さは、各電極の両側でほぼ等しく設定されている。
接触端36の端縁37および封着層21の端縁(内側の端縁)間の間隔はほぼ均一である。接触端36の端縁37は、凹状に形成されているとともに、有限の曲率を持つ曲線形に形成されている。接触端36の端縁37は、例えば、封着層21(湾曲部210)の端縁に沿った同心円状の円弧形状に形成され、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びている。この実施の形態において、接触端36の端縁37および封着層21の端縁間の幅W3は4mmである。このため、接触端36および封着層21の重なった重なり幅W4は0.5mmである。
次に、上記構成を有するFEDの製造方法について詳細に説明する。
まず、前面基板11となる板ガラスに蛍光体スクリーン16を形成する。これは、前面基板11と同じ大きさの板ガラスを準備し、この板ガラスにプロッターマシンで蛍光体ストライプパターンを形成する。この蛍光体ストライプパターンを形成した板ガラスと前面基板用の板ガラスとを位置決め治具に載せて露光台にセットする。この状態で、露光、現像することにより、前面基板11となるガラス板上に蛍光体スクリーンを形成する。その後、蛍光体スクリーン16に重ねてメタルバック層17を形成する。
まず、前面基板11となる板ガラスに蛍光体スクリーン16を形成する。これは、前面基板11と同じ大きさの板ガラスを準備し、この板ガラスにプロッターマシンで蛍光体ストライプパターンを形成する。この蛍光体ストライプパターンを形成した板ガラスと前面基板用の板ガラスとを位置決め治具に載せて露光台にセットする。この状態で、露光、現像することにより、前面基板11となるガラス板上に蛍光体スクリーンを形成する。その後、蛍光体スクリーン16に重ねてメタルバック層17を形成する。
続いて、背面基板12用の板ガラスに電子放出素子22を形成する。これはまず、導電性カソード層24を板ガラス上に形成し、このカソード層上に例えば熱酸化法やCVD法あるいはスパッタリング法により2酸化シリコン膜の絶縁膜を形成する。この後、この絶縁膜上に、例えばスパッタリング法や電子ビーム蒸着法によりモリブデンやニオブなどのゲート電極形成用の金属膜を形成する。次に、この金属膜上に、形成すべきゲート電極に対応した形状のレジストパターンをリソグラフィーにより形成する。このレジストパターンをマスクとして金属膜をウェットエッチング法またはドライエッチング法によりエッチングし、ゲート電極28を形成する。
この後、レジストパターン及びゲート電極28をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングまたはドライエッチング法によりエッチングして、キャビティ25を形成する。そして、レジストパターンを除去した後、背面基板表面に対して所定角度傾斜した方向から電子ビーム蒸着を行うことにより、ゲート電極28上に例えばアルミニウムやニッケルからなる剥離層を形成する。その後、背面基板表面に対して垂直な方向からカソード形成用の材料として例えばモリブデンを電子ビーム蒸着法により蒸着する。これによって、キャビティ25の内部に電子放出素子22が形成される。次に、剥離層をその上に形成された金属膜とともにリフトオフ法により除去する。
続いて、大気中で低融点ガラス19により側壁18および支持部材14を背面基板12の内面上に封着する。その後、図2、図7(a)、および図7(b)に示すように、側壁18の封着面の全周に渡ってインジウムを所定の幅および厚さに充填し封着層21aを形成する。同様に、前面基板11の側壁と対向する封着面にインジウムを所定の幅および厚さで矩形枠状に充填し封着層21bを形成する。なお、側壁18および前面基板11の封着面に対する封着層21a、21bの充填は、溶融したインジウムを封着面に塗布する方法、あるいは、固体状態のインジウムを封着面に載置する方法等によって行う。
次いで、図7(a)、(b)に示すように、側壁18が接合されている背面基板12に、通電用の一対の電極30を装着する。この際、各電極30の接触端36を、側壁18に形成されたインジウムに接触させ、電極を封着層21aに対して電気的に接続する。電極30は、封着層21a、21bに通電する際の電極として用いられる。
電極30を装着した後、背面基板12および前面基板11を所定間隔離して対向配置し、この状態で、真空処理装置内に投入する。ここでは、例えば図8に示すような真空処理装置100を用いる。真空処理装置100は、並んで配設されたロード室101、ベーキング、電子線洗浄室102、冷却室103、ゲッター膜の蒸着室104、組立室105、冷却室106、およびアンロード室107を備えている。真空処理装置100の各室は、真空処理が可能な処理室として構成され、FEDの製造時には全室が真空排気されている。これら各処理室間は図示しないゲートバルブ等により接続されている。
所定間隔離して配置された上述の前面基板11および背面基板12は、まず、ロード室101に投入される。そして、ロード室101内の雰囲気を真空雰囲気とした後、ベーキング、電子線洗浄室102へ送られる。ベーキング、電子線洗浄室102では、各種部材を300℃の温度に加熱し、各基板の表面吸着ガスを放出させる。同時にベーキング、電子線洗浄室102に取り付けられた図示しない電子線発生装置から電子線を、前面基板11の蛍光体スクリーン面、および背面基板12の電子放出素子面に照射する。その際、電子線発生装置外部に装着された偏向装置によって電子線を偏向走査することにより、蛍光体スクリーン面および電子放出素子面の全面をそれぞれ電子線洗浄する。
電子線洗浄を行った前面基板11および背面基板12は冷却室103に送られ、約120℃の温度まで冷却された後、ゲッター膜の蒸着室104へと送られる。この蒸着室104では、メタルバック層17の外側にゲッター膜27としてバリウム膜が蒸着形成される。バリウム膜は表面が酸素や炭素などで汚染されることを防止することができ、活性状態を維持することができる。
続いて、前面基板11および背面基板12は組立室105に送られる。図9に示すように、組立室105の内部には、ホットプレート131、132が隙間を置いて水平に対向配置されている。ホットプレート132の下方には昇降自在なステージ134が配設され、このステージ上には複数の支持ピン133が垂直に立設されている。各支持ピン133の延出端にはバネ130が取り付けられている。支持ピン133は、ホットプレート132に形成された透孔に摺動自在に挿通され、その先端部により背面基板12を支持可能となっている。支持ピン133およびステージ134は、組立室105の外側に配設されたモーター135により昇降駆動される。ステージ134、支持ピン133およびモーター135は駆動機構を構成しているとともに、ホットプレート131、132と共に支持機構を構成している。また、組立室105の外側にはステージ148が設けられ、このステージにはエアーシリンダー146が接続されている。ホットプレート132は複数のシャフト147を介してステージ148に連結されている。そして、ホットプレート132は、エアーシリンダー146を駆動することにより、他方のホットプレート131に対して接離する方向へ昇降駆動される。
ホットプレート132の端部には、背面基板12に装着された電極30の舌片部35とそれぞれ接触する一対のコンタクト電極137が設けられている。また、各コンタクト電極137は通電配線136を介して電源120に電気的に接続されている。電源120は、この電源を制御する電源制御部として機能するコンピュータ121と接続されている。
組立室105に送られた前面基板11および背面基板12は、まず、それぞれ対応するホットプレート131、132に対して位置決め固定され、これらのホットプレートにより約120℃で温度保持される。この際、前面基板11は下向きに位置決めされた後、落下しないように公知の静電吸着技術によってホットプレート131に吸着固定される。
前面基板11および背面基板12の相互位置合わせが完了した後、モーター135を駆動してステージ134および支持ピン133を上昇させ、支持ピン133により背面基板を支持するとともに前面基板11方向へ移動させ、前面基板に対して背面基板を所定の圧力で加圧する。この際、基板毎に反りやインジウムの充填量に若干のばらつきがあるが、支持ピン133の先端に設けられたバネ130がこれらのばらつきを吸収することができる。そのため、どのような基板であっても安定して加圧をすることができる。加圧により、前面基板11側および背面基板12側の封着層21b、21a間に電極30の接触端36が挟み込まれ、各電極は、両基板の封着層21a、21bに対して同時に電気的に接触する。この後、エアーシリンダー146を動作させてホットプレート132を上方へ押し上げ、コンタクト電極137をそれぞれ電極30に接触させる。
この状態で、電源120から140Aの直流電流を出力し、通電配線136、コンタクト電極137、電極30を通して封着層21a、21bに定電流モードで通電する。これにより、インジウムが加熱され、溶融する。
インジウムが溶融した後、コンピュータ121から電源120へ通電終了の信号を送り、封着層への通電を停止する。その後、数分間、加圧状態を保持することにより、インジウムが冷却固化され、前面基板11と側壁18とが封着層21によって封着される。これにより、真空外囲器10が形成される。封着後の真空外囲器10は、冷却室106に送られ、常温まで冷却されて、アンロード室107から取り出される。以上の工程により、FEDが完成する。
上記のように構成されたFEDおよびFEDの製造方法によれば、接触端36の端縁37は、凹状に形成されているとともに、有限の曲率を持つ曲線形に形成されている。封着層21の幅W2は4.5mmであり、接触端36の端縁37および封着層内側の端縁間の幅W3は4mmである。
このため、基板全体を低温に維持しながら短時間で確実に接合を行うことができる。ゲッターの吸着能力を維持して安定かつ良好な画像を得ることが可能であるとともに、安価に製造することが可能なFEDを得ることができる。封着層21の幅W2、特に、接触端36の端縁37および封着層内側の端縁間の幅W3が無用に狭くなることを抑制できるため、接合後の封着強度信頼性や真空気密特性に優れたFEDを得ることができる。また、封着層21および接触端36の重なった部分でのリークパスの発生する確率を低減することができる。
ここで、本願発明者等は、封着層21の幅W2等を変えた場合の各種特性を調査した。封着層21の幅W2を3mm未満にすると、真空気密信頼性は低下する。一方、封着層21の幅W2を4mm以上にすると、リークパスの発生はほぼ抑えられる。また、封着層21の幅W2を3mm未満にした場合、表示装置を縦置きしたときに重力によって生ずるせん断応力により封着層は変形する。このため、長期間表示装置を動作させたときに前面基板と背面基板の相対位置がずれることが、クリープ特性試験によって判明している。
このクリープ変形は封着層21の幅W2を広くしてもそれなりに発生するが、封着層の幅を4mm以上にすれば、表示装置として通常考えられる寿命期間(おおむね5〜10万時間)の範囲で問題にはならないことがわかった。この実施の形態では、インジウムの充填ばらつきや、前面基板11と背面基板12それぞれへの充填の位置ばらつきなどを考慮し、封着層21の幅W2を4.5mmとしている。
ところで、封着工程では封着時間短縮ため、上述したような通電加熱が行われる。通電加熱では、通電安定化のため背面基板12に電極30(図1及び図2)が装着されている。短時間でインジウムを溶融するため、電極30には通常100〜140Aの電流が印加されている。通電開始直後の電極30の接触端36で発生するスパークを防止するため、封着層21と接触端の重なり幅W4は0.5mm以上必要である。この実施の形態では、重なり幅W4は0.5mmであり、側壁18への応力集中を防ぐため、この側壁の4半円弧の半径は外側で12mm、内側で4mmである。
このため、従来の電極の端縁および封着層の端縁間の幅が約3.5mmとなり、真空気密信頼性が低下していた。上記したことは、封着層の幅(電極の端縁および封着層内側の端縁間の幅)を3mm未満にした場合ほどは悪化していない。しかしながら、量産をする場合には、真空気密信頼性の低下は無視することはできない。
そこで、この実施の形態では、図5に示したように、接触端36の端縁37は、同心円状の円弧形状に形成され、側壁18および封着層21(湾曲部210)の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて伸びている。これにより、封着層21の幅W2を4.5mm、幅W3を4mmとすることができる。各々4mm以上の幅が得られるため、真空気密信頼性を確保することが可能となる。また、この寸法であれば、封着強度信頼性に問題が発生することはない。このため、接触端36の端縁37および封着層21内側の端縁間の間隔を4mm以上とすることにより、上述した効果を得ることが可能である。
上述した実施の形態では、接触端36の端縁37の形状を円弧として、封着層21(湾曲部210)の端縁に沿った同心円状の円弧形状としたが、楕円のように場所によって曲率半径が異なる形状であっても良い。さらに、図10および図11に示すように、接触端36の端縁37は凹状の多角形に形成されていても良い。この場合、接触端36の端縁37および封着層21内側の端縁間の幅W3を4mm以上、重なり幅W4を0.5mm以上確保すれば良い。図11に示すように、角部40に位置した側壁18および封着層21が直角形状に形成されていても良い。この場合、接触端36の端縁37は、封着層21(湾曲部210)内側の端縁に沿った直角形状に形成されている。
次に、この発明の他の実施の形態に係るFEDについて説明する。
上述した実施の形態では、電極30(図6)が取り付けられた状態のFEDについて説明したが、電極は封着後に取り外しても良い。次に、電極30を真空外囲器10から取り外す製造工程について説明する。
上述した実施の形態では、電極30(図6)が取り付けられた状態のFEDについて説明したが、電極は封着後に取り外しても良い。次に、電極30を真空外囲器10から取り外す製造工程について説明する。
まず、図12(a)に示すように、電極30と封着層21との界面に超音波カッター60の刃を挿入し、電極の接触端36の周囲に位置した封着層21を超音波切断して除去する。超音波カッター60を用いた場合、超音波振動によって刃と封着層21との摩擦力が小さくなり、加圧をほとんどかけずに容易に封着層を切断除去することができる。
このようにして電極30の接触端36周囲の封着材を除去すると、電極と封着層21の接合力が弱くなる。この状態で、図12(b)に示すように、電極30の装着部32を図示しない保持ジグによってチャッキングし、矢印方向に引き抜く。これにより、基板や封着層を損傷することなく、真空外囲器10から機械的に電極30を除去することができる。電極30を除去した後の封着層21には、電極の接触端36が配置されていた跡に対応する凹部41が残る。以上の工程により、電極30が取り外されたFEDの真空外囲器10が完成する。
上述したように、真空外囲器10から電極30を取り外す際、超音波カッター60を用いたが、以下の方法により除去しても良い。
すなわち、図13に示すように、超音波発生源62に接続された超音波振動子64を電極30に接触させ、直接、電極30を超音波振動させる。この場合、電極30自体が超音波カッターの刃として機能し、電極の接触端36と封着層21との界面を超音波振動切断する。これにより、電極30周囲の封着材を除去することができ、電極を容易に取り外すことが可能となる。
すなわち、図13に示すように、超音波発生源62に接続された超音波振動子64を電極30に接触させ、直接、電極30を超音波振動させる。この場合、電極30自体が超音波カッターの刃として機能し、電極の接触端36と封着層21との界面を超音波振動切断する。これにより、電極30周囲の封着材を除去することができ、電極を容易に取り外すことが可能となる。
次に、電極30を取り外すことにより形成された封着層21の凹部41について説明する。
図14に示すように、封着層21は、それぞれ真空外囲器10の外方に向って開口した複数の凹部41を有している。各凹部41の底縁42は有限の曲率を持つ曲線形に形成され、例えば角部40に位置した側壁18の4半円弧に対して同心円状に形成されている。凹部41の底縁42は、側壁18内側の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びている。封着層21の幅W2は4.5mmである。各凹部41の底縁42および封着層内側の端縁間の幅W5は、例えば4mmである。
図14に示すように、封着層21は、それぞれ真空外囲器10の外方に向って開口した複数の凹部41を有している。各凹部41の底縁42は有限の曲率を持つ曲線形に形成され、例えば角部40に位置した側壁18の4半円弧に対して同心円状に形成されている。凹部41の底縁42は、側壁18内側の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びている。封着層21の幅W2は4.5mmである。各凹部41の底縁42および封着層内側の端縁間の幅W5は、例えば4mmである。
上記のように構成されたFEDおよびFEDの製造方法によれば、基板全体を低温に維持しながら短時間で確実に接合を行うことができる。ゲッターの吸着能力を維持して安定かつ良好な画像を得ることが可能であるとともに、安価に製造することが可能なFEDを得ることができる。封着層21の幅W2、特に、凹部41の底縁42および封着層内側の端縁間の幅W5が無用に狭くなることを抑制できるため、接合後の封着強度信頼性や真空気密特性に優れたFEDを得ることができる。上記した効果は封着層21の幅W2、および幅W5が4mm以上のときに得られることはいうまでもない。
上述した実施の形態では、凹部41の底縁42の形状を円弧として、角部40に位置した側壁18の4半円弧に対して同心円状としたが、封着層21(湾曲部210)内側の端縁に沿った同心円状の円弧形状としても良い。また、凹部41の底縁42は、楕円のように場所によって曲率半径が異なる形状であっても良い。さらに、図15に示すように、凹部41の底縁42は多角形に形成されていても良い。ここで、電極30を取り外したときの封着層21の凹部41の底縁42は、接触端36の端縁37の形状に対応した形状をとることができる。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、側壁18または封着層21が角部40以外に有限の曲率半径をもつ表示装置に対して、上記有限の曲率半径を持つ電極30を角部以外に取り付けてもよい。電極30の形状、凹部41の位置や形状は任意に設定することができる。
また、組立室105で封着を行う際、前面基板11と背面基板12の封着層21a、21bにそれぞれ別々に通電し、溶融後両基板を互いに接近する方向へ所望の圧力で加圧して封着することもできる。この場合には、それぞれの基板用に、2対4個の電極30が必要となる。これらの電極30は、背面基板12の4コーナーへそれぞれ装着され、1対の電極は背面基板12側の封着層21aへの通電、もう1対の電極は前面基板11側の封着層21bへの通電に用いられる。
なお、電極30または凹部41の数は、上述した2箇所または4箇所に限られるものではなく、電極に応じた任意の数であれば良い。例えば、2つの接触端36を含む二股(接触端が二つに分かれた)の電極30を4個用いて通電封着を行っても良い。この場合、封着後に電極30を取り外すと凹部41は8個所形成される。
電極30は、前面基板11および背面基板12の複数の角部40に装着され、かつ、各電極の接触端36はその角部に配置された封着層21に接触されていても良い。凹部41は、前面基板11および背面基板12の複数の角部40に設けられていても良い。
その他、導電性を有した低融点封着材としては、インジウムの代わりに、In、Ga、Pb、Sn、およびZnよりなる群から選択される単体金属、もしくはIn、Ga、Pb、Sn、およびZnよりなる群から選択される少なくとも1種類の元素を含有する合金を用いることができる。特に、InおよびGaよりなる群から選択される少なくとも1種類の元素を含む合金、In金属、Ga金属を使用することが望ましい。InもしくはGaを含む低融点封着材は、SiO2を主成分とするガラス製基板との濡れ性に優れるため、低融点封着材の配置される基板がSiO2を主成分とするガラスで形成されている場合に特に適している。最も好ましい低融点封着材は、In金属、Inを含む合金である。Inを含む合金としては、例えば、InとAgを含む合金、InとSnを含む合金、InとZnを含む合金、InとAuを含む合金などを挙げることができる。
また、真空外囲器10の側壁18は、予め背面基板12あるいは前面基板11と共に一体的に成形された構成としてもよい。真空外囲器10の外形状や支持部材14の構成は上記実施の形態に限られるものでないことはいうまでもない。マトリックス型の黒色光吸収層20と蛍光体層R、G、Bを形成し、断面が十字型の柱状の支持部材14を黒色光吸収層に対して位置決めして封着する構成としてもよい。電子放出素子22は、pn型の冷陰極素子あるいは表面伝導型の電子放出素子等を用いてもよい。上記実施の形態では、真空雰囲気中で基板を接合する工程について述べたが、その他の雰囲気環境において本発明を適用することも可能である。
この発明は、FEDに限定されることなく、SEDやPDP等の他の表示装置、あるいは、真空外囲器内部が高真空とならない表示装置にも適用することができる。
この発明は、FEDに限定されることなく、SEDやPDP等の他の表示装置、あるいは、真空外囲器内部が高真空とならない表示装置にも適用することができる。
10…真空外囲器、11…前面基板、12…背面基板、18…側壁、21,21a,21b…封着層、22…電子放出素子、27…ゲッター膜、30…電極、36…接触端、37…端縁、40…角部、41…凹部、42…底縁、210…湾曲部。
Claims (10)
- 隙間をおいて対向配置されているとともに周辺部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、
前記前面基板および背面基板の少なくとも一方の内面周縁部に沿って配置されているとともに、導電性を有する材料を含む封着層と、
前記封着層に接触した接触端を有した電極と、
前記外囲器内に設けられた複数の画素と、を備え、
前記電極の接触端の端縁は、凹状の多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、前記封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びていることを特徴とする表示装置。 - 前記電極の接触端の端縁は、円弧であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記封着層は、前記電極の接触端と重なった個所に設けられた湾曲部を有し、
前記電極の接触端の端縁は、前記湾曲部の端縁に沿った同心円状に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。 - 前記前面基板および背面基板は周縁に複数の角部を有し、
前記電極は、前記前面基板および背面基板の複数の角部に装着され、かつ、前記各電極の接触端は前記角部に配置された封着層に重なっていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記電極の接触端の端縁および封着層内側の端縁間の間隔は4mm以上であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の表示装置。
- 隙間をおいて対向配置されているとともに周辺部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、
前記前面基板および背面基板の少なくとも一方の内面周縁部に沿って配置されているとともに、導電性を有する材料を含む封着層と、
前記外囲器内に設けられた複数の画素と、を備え、
前記封着層は、それぞれ外囲器の外方に向って開口した複数の凹部を有し、
前記凹部の底縁は、多角形または有限の曲率を持つ曲線形に形成され、前記封着層の端縁に沿って、かつ、この端縁とほぼ均一な間隔を置いて延びていることを特徴とする表示装置。 - 前記凹部の底縁は、円弧であることを特徴とする請求項6に記載の表示装置。
- 前記封着層は、湾曲部を有し、
前記凹部の端縁は、前記湾曲部の端縁に沿った同心円状に形成されていることを特徴とする請求項7に記載の表示装置。 - 前記前面基板および背面基板は周縁に複数の角部を有し、
前記凹部は、前記前面基板および背面基板の複数の角部に設けられていることを特徴とする請求項6ないし8のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記凹部の底縁および封着層内側の端縁間の間隔は4mm以上であることを特徴とする請求項6ないし9のいずれか1項に記載の表示装置。
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JP2009181840A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Sony Corp | 平面型表示装置 |
KR101452288B1 (ko) * | 2012-11-19 | 2014-10-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
US20200102214A1 (en) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Butterfly Network, Inc. | Fabrication techniques and structures for gettering materials in ultrasonic transducer cavities |
-
2004
- 2004-02-17 JP JP2004040326A patent/JP2005235452A/ja active Pending
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JP2009181840A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Sony Corp | 平面型表示装置 |
KR101452288B1 (ko) * | 2012-11-19 | 2014-10-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
US10534230B2 (en) | 2012-11-19 | 2020-01-14 | Lg Display Co., Ltd. | Display device having improved design for position and shape of electrical and structural components |
US20200102214A1 (en) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Butterfly Network, Inc. | Fabrication techniques and structures for gettering materials in ultrasonic transducer cavities |
US11655141B2 (en) * | 2018-09-28 | 2023-05-23 | Bfly Operations, Inc. | Fabrication techniques and structures for gettering materials in ultrasonic transducer cavities |
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