JP2903998B2 - 表示管の製造装置 - Google Patents
表示管の製造装置Info
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- JP2903998B2 JP2903998B2 JP7788094A JP7788094A JP2903998B2 JP 2903998 B2 JP2903998 B2 JP 2903998B2 JP 7788094 A JP7788094 A JP 7788094A JP 7788094 A JP7788094 A JP 7788094A JP 2903998 B2 JP2903998 B2 JP 2903998B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、内部が高真空状態に排
気される表示管の製造装置に関するものであり、特に封
着・排気工程を一貫生産可能とすることができるもので
ある。
気される表示管の製造装置に関するものであり、特に封
着・排気工程を一貫生産可能とすることができるもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】蛍光表示装置等における真空気密容器内
部を高真空に排気する封着・排気工程は、真空気密容器
を構成する外囲器を予備焼成する工程と、不活性ガス雰
囲気中で外囲器を封着する封着工程と、その後排気部か
ら真空気密容器内部を排気し、排気部を封止する排気工
程を有している。上記予備焼成の工程は、焼成温度が２
００℃〜５００℃で行われ、封着材の有機物を分解させ
る工程である。また、封着工程は、焼成温度が３００℃
〜６００℃で行われ、不活性ガス雰囲気中で封着材から
のガスの発生を抑えて、クリップなどで加圧しながら外
囲器を封着している。その後、封着材が再度溶融しない
程度の温度でベーキングしながら内部を排気し、排気部
を封止するものである。
部を高真空に排気する封着・排気工程は、真空気密容器
を構成する外囲器を予備焼成する工程と、不活性ガス雰
囲気中で外囲器を封着する封着工程と、その後排気部か
ら真空気密容器内部を排気し、排気部を封止する排気工
程を有している。上記予備焼成の工程は、焼成温度が２
００℃〜５００℃で行われ、封着材の有機物を分解させ
る工程である。また、封着工程は、焼成温度が３００℃
〜６００℃で行われ、不活性ガス雰囲気中で封着材から
のガスの発生を抑えて、クリップなどで加圧しながら外
囲器を封着している。その後、封着材が再度溶融しない
程度の温度でベーキングしながら内部を排気し、排気部
を封止するものである。
【０００３】次に、本出願人の出願にかかる特公平４−
３９１７４号公報に記載されている封着工程と排気工程
とをインライン方式で行う表示管の製造装置を、図７に
示す。この図において、箱形の容器を背面基板に載置す
ることにより外囲器を構成し、この外囲器内に電子放出
源やアノード等を収納すると共に、この外囲器を構成す
る箱形の容器と背面基板とをクリップ等の治具により加
圧した状態で予備焼成室１２０内に移送する。この予備
焼成室１２０には加熱装置が備えられており、室内は２
００〜３００℃に保持されている。室内の雰囲気は大気
でもよいが効率を上げるために酸化性ガスを導入しても
よい。この予備焼成室１２０において、外囲器の封着部
に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が十分
に酸化されて蒸発される。
３９１７４号公報に記載されている封着工程と排気工程
とをインライン方式で行う表示管の製造装置を、図７に
示す。この図において、箱形の容器を背面基板に載置す
ることにより外囲器を構成し、この外囲器内に電子放出
源やアノード等を収納すると共に、この外囲器を構成す
る箱形の容器と背面基板とをクリップ等の治具により加
圧した状態で予備焼成室１２０内に移送する。この予備
焼成室１２０には加熱装置が備えられており、室内は２
００〜３００℃に保持されている。室内の雰囲気は大気
でもよいが効率を上げるために酸化性ガスを導入しても
よい。この予備焼成室１２０において、外囲器の封着部
に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が十分
に酸化されて蒸発される。
【０００４】予備焼成が終了すると、ゲートバルブ１２
１が開き、外囲器を乗せたトレイは移送装置によりガス
置換室１２２に入る。このガス置換室１２２において、
ロータリーポンプ１２３により室内の気体が排気される
ことに伴い、外囲器内の気体も排気され、次いで不活性
ガス（窒素ガス，アルゴンガス，炭酸ガス等）が不活性
ガス源１２６から供給され、外囲器内の気体が不活性ガ
スに置換される。
１が開き、外囲器を乗せたトレイは移送装置によりガス
置換室１２２に入る。このガス置換室１２２において、
ロータリーポンプ１２３により室内の気体が排気される
ことに伴い、外囲器内の気体も排気され、次いで不活性
ガス（窒素ガス，アルゴンガス，炭酸ガス等）が不活性
ガス源１２６から供給され、外囲器内の気体が不活性ガ
スに置換される。
【０００５】次に、ゲートバルブ１２４を開き、トレイ
を封着炉室１２５に移送する。封着炉室１２５におい
て、不活性ガス雰囲気中で３００〜６００℃に加熱され
て封着面の酸化物ソルダーが溶融される。すると、外囲
器は治具により上下から加圧されているために、前面基
板と背面基板とが封着されるようになる。また、封着炉
室１２５内には不活性ガス源１２６から不活性ガスが供
給されているため、カソードや蛍光体の化学変化は防止
されると共に、外囲器全体を均一に加熱でき酸化物ソル
ダーからの気泡の発生を抑えることができる。
を封着炉室１２５に移送する。封着炉室１２５におい
て、不活性ガス雰囲気中で３００〜６００℃に加熱され
て封着面の酸化物ソルダーが溶融される。すると、外囲
器は治具により上下から加圧されているために、前面基
板と背面基板とが封着されるようになる。また、封着炉
室１２５内には不活性ガス源１２６から不活性ガスが供
給されているため、カソードや蛍光体の化学変化は防止
されると共に、外囲器全体を均一に加熱でき酸化物ソル
ダーからの気泡の発生を抑えることができる。
【０００６】封着された外囲器は、封着炉室１２５と同
じ不活性ガス中の徐冷室１２７に移送され、ここで２０
０〜４００℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶
融状態から固相状態となる。徐冷された外囲器は、移送
装置により荒引き室１２８へゲートバルブ１２９，１３
０を開いて移送される。このゲートバルブ１２９は熱シ
ールド用とされ、ゲートバルブ１３０は真空用とされて
いる。この荒引室１２８は、トレイが移送されるとロー
タリポンプ１３１が作動して、室内が低真空度となるよ
うにされる。室内が排気されて所定の真空度になると、
ゲートバルブ１３２が開きトレイは本引室１３３に移送
される。本引室１３３は予め高真空に排気してあるた
め、ゲートバルブ１３２が開いて真空度が下がっても拡
散ポンプ１３６を作動させることにより、高真空状態に
短時間で排気することができる。この本引室１３３にお
いて、外囲器内を高真空状態に排気して、ゲートバルブ
１３５を開きトレイを封止室１３４に移送する。
じ不活性ガス中の徐冷室１２７に移送され、ここで２０
０〜４００℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶
融状態から固相状態となる。徐冷された外囲器は、移送
装置により荒引き室１２８へゲートバルブ１２９，１３
０を開いて移送される。このゲートバルブ１２９は熱シ
ールド用とされ、ゲートバルブ１３０は真空用とされて
いる。この荒引室１２８は、トレイが移送されるとロー
タリポンプ１３１が作動して、室内が低真空度となるよ
うにされる。室内が排気されて所定の真空度になると、
ゲートバルブ１３２が開きトレイは本引室１３３に移送
される。本引室１３３は予め高真空に排気してあるた
め、ゲートバルブ１３２が開いて真空度が下がっても拡
散ポンプ１３６を作動させることにより、高真空状態に
短時間で排気することができる。この本引室１３３にお
いて、外囲器内を高真空状態に排気して、ゲートバルブ
１３５を開きトレイを封止室１３４に移送する。
【０００７】この封止室１３４において、外囲器を加熱
してガスが出やすい状態としながら拡散ポンプ１３６に
より、封止室１３４内が高真空になるよう排気する。そ
して、排気管を溶融して封止するか、あるいは排気孔を
蓋部材に被着した酸化物ソルダーを溶融して接着封止す
るようにする。このようにして、内部が高真空状態に排
気された外囲器は、ゲートバルブ１３７を開いて冷却室
１３８に移送され、この冷却室１３８において徐冷され
る。徐冷された外囲器は、取り出し室１４０に移送さ
れ、さらに冷却されると共に、真空がリークされて雰囲
気が大気圧とされた後、外部に取り出される。取り出し
室１４０から取り出した外囲器は、ゲッターリング工程
やエージング工程を経て完成される。このようにして、
排気・封着される外囲器内にはカソード及び蛍光体の設
けられたアノードが配設されており、蛍光表示管とされ
る。
してガスが出やすい状態としながら拡散ポンプ１３６に
より、封止室１３４内が高真空になるよう排気する。そ
して、排気管を溶融して封止するか、あるいは排気孔を
蓋部材に被着した酸化物ソルダーを溶融して接着封止す
るようにする。このようにして、内部が高真空状態に排
気された外囲器は、ゲートバルブ１３７を開いて冷却室
１３８に移送され、この冷却室１３８において徐冷され
る。徐冷された外囲器は、取り出し室１４０に移送さ
れ、さらに冷却されると共に、真空がリークされて雰囲
気が大気圧とされた後、外部に取り出される。取り出し
室１４０から取り出した外囲器は、ゲッターリング工程
やエージング工程を経て完成される。このようにして、
排気・封着される外囲器内にはカソード及び蛍光体の設
けられたアノードが配設されており、蛍光表示管とされ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記イ
ンライン方式における排気工程においては、排気を行う
一つの部屋全体を高真空に排気する必要があることか
ら、排気に時間がかかると共に、排気設備を大型化する
必要があり、設備のコスト上昇を招くと共に、排気工程
での効率が悪いという問題点があった。さらに、一つの
部屋全体が高真空にされることから雰囲気中の熱伝導が
悪くなり、外囲器をベーキングする際に均一に加熱する
ことが困難になり、ガスの放出を完全に行えないという
問題点があった。そこで、本発明は一つの部屋全体を高
真空に排気することなく表示管とされる外囲器内を高真
空に排気することができる一貫生産可能な表示管の製造
装置を提供することを目的としている。
ンライン方式における排気工程においては、排気を行う
一つの部屋全体を高真空に排気する必要があることか
ら、排気に時間がかかると共に、排気設備を大型化する
必要があり、設備のコスト上昇を招くと共に、排気工程
での効率が悪いという問題点があった。さらに、一つの
部屋全体が高真空にされることから雰囲気中の熱伝導が
悪くなり、外囲器をベーキングする際に均一に加熱する
ことが困難になり、ガスの放出を完全に行えないという
問題点があった。そこで、本発明は一つの部屋全体を高
真空に排気することなく表示管とされる外囲器内を高真
空に排気することができる一貫生産可能な表示管の製造
装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の表示管の製造装置は、真空中又は不活性ガ
ス中において封着を行うインライン式の封着ラインと、
この封着ラインに続くように配置されているトロリー
式排気ラインと、 前記インライン式の封着ラインと前
記トロリー式排気ラインとの間に設けた移載機室とを備
え、封着された表示管の外周器を前記インライン式の封
着ラインから前記移載機室を介して搬送する際に、前記
外周器内を不活性ガスで充填した状態として、前記トロ
リー式排気ライン中を移動する排気トロリーに移載する
と共に、前記排気トロリーの進行中において、該排気ト
ロリーにセットされた前記外囲器の内部だけを高真空に
排気する排気手段によって排気し、排気後に前記外囲器
の排気部が封止されるようにしたものである。
に、本発明の表示管の製造装置は、真空中又は不活性ガ
ス中において封着を行うインライン式の封着ラインと、
この封着ラインに続くように配置されているトロリー
式排気ラインと、 前記インライン式の封着ラインと前
記トロリー式排気ラインとの間に設けた移載機室とを備
え、封着された表示管の外周器を前記インライン式の封
着ラインから前記移載機室を介して搬送する際に、前記
外周器内を不活性ガスで充填した状態として、前記トロ
リー式排気ライン中を移動する排気トロリーに移載する
と共に、前記排気トロリーの進行中において、該排気ト
ロリーにセットされた前記外囲器の内部だけを高真空に
排気する排気手段によって排気し、排気後に前記外囲器
の排気部が封止されるようにしたものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、一つの部屋全体を高真空に排
気することなく表示管とされる外囲器内を高真空に排気
することができる。また、排気装置を大型化することな
く外囲器内を高真空に排気することができると共に、一
貫生産可能な製造装置とすることができるため、排気効
率を向上することができると共に、大量生産を行えるの
で経済的とすることができる。さらに、封着工程と排気
工程が連続であるため、工程のつながり部における汚染
がなく製品の品質の均一化、安定化が図れる。しかも、
封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短縮化されるた
め、生産性、量産性に優れた製造装置とすることができ
る。
気することなく表示管とされる外囲器内を高真空に排気
することができる。また、排気装置を大型化することな
く外囲器内を高真空に排気することができると共に、一
貫生産可能な製造装置とすることができるため、排気効
率を向上することができると共に、大量生産を行えるの
で経済的とすることができる。さらに、封着工程と排気
工程が連続であるため、工程のつながり部における汚染
がなく製品の品質の均一化、安定化が図れる。しかも、
封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短縮化されるた
め、生産性、量産性に優れた製造装置とすることができ
る。
【００１１】
【実施例】本発明の表示管の製造装置を図１に示す。こ
の図において、セット室１において、箱形の容器を背面
基板に載置することにより外囲器を構成し、この外囲器
内に電子放出源やアノード等を収納すると共に、この外
囲器を構成する箱形の容器と背面基板とをクリップ等の
治具により加圧した状態とする。そして、この外囲器は
トレイに載置されてゲートバルブ１−１を開き、第１排
気室２内に搬送装置によりトレイ毎に移送される。この
第１排気室２には加熱装置が備えられており、室内が２
００〜３００℃に保持されている。室内は拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）２−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）２−３
により、中真空状態に引かれている。この第１排気室２
内においてガス抜きの準備が行われるよう、外囲器の封
着部に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が
十分に酸化されて蒸発される。
の図において、セット室１において、箱形の容器を背面
基板に載置することにより外囲器を構成し、この外囲器
内に電子放出源やアノード等を収納すると共に、この外
囲器を構成する箱形の容器と背面基板とをクリップ等の
治具により加圧した状態とする。そして、この外囲器は
トレイに載置されてゲートバルブ１−１を開き、第１排
気室２内に搬送装置によりトレイ毎に移送される。この
第１排気室２には加熱装置が備えられており、室内が２
００〜３００℃に保持されている。室内は拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）２−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）２−３
により、中真空状態に引かれている。この第１排気室２
内においてガス抜きの準備が行われるよう、外囲器の封
着部に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が
十分に酸化されて蒸発される。
【００１２】ガス抜き準備が終了すると、ゲートバルブ
２−４が開き、外囲器を載置したトレイは搬送装置によ
り封着室３に移送される。また、不活性ガス中で封着の
場合はガス抜き後、不活性ガスが導入されガス置換が行
われる。封着室３において、中真空雰囲気中又は不活性
ガス中で３００〜６００℃に加熱されて、外囲器の封着
面に被着された酸化物ソルダーが溶融される。外囲器は
治具により上下から加圧されているために、前記酸化物
ソルダーの溶融に伴い箱形の容器と背面基板とが封着さ
れるようになる。また、封着室３内は、拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）３−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）３−３
により、中真空状態に引かれているか、または不活性ガ
スで充満されている。
２−４が開き、外囲器を載置したトレイは搬送装置によ
り封着室３に移送される。また、不活性ガス中で封着の
場合はガス抜き後、不活性ガスが導入されガス置換が行
われる。封着室３において、中真空雰囲気中又は不活性
ガス中で３００〜６００℃に加熱されて、外囲器の封着
面に被着された酸化物ソルダーが溶融される。外囲器は
治具により上下から加圧されているために、前記酸化物
ソルダーの溶融に伴い箱形の容器と背面基板とが封着さ
れるようになる。また、封着室３内は、拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）３−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）３−３
により、中真空状態に引かれているか、または不活性ガ
スで充満されている。
【００１３】そして、封着された外囲器は２００〜４０
０℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶融状態か
ら固相状態とされる。徐冷された外囲器は、ゲートバル
ブ３−４を開いて搬送装置により移載機室４に移送され
る。移載機室４において、外囲器はトレイからトロリー
式第２排気室６に備えられた排気トロリー７1 〜排気ト
ロリー７n にそれぞれセットされる。この場合、移載機
室４及び移載機室４から移載される第２排気室６近傍に
は特定ガス源５から不活性ガスが流されており、移載機
室４内において外囲器内は不活性ガスで充満されるよう
になされる。このため、移載工程において、外囲器内に
空気が侵入して外囲器内が汚染されることを防止するこ
とができる。もし、外囲器内を不活性ガスで充満するよ
うにしないと、移載機室４及び移載工程に関連する雰囲
気中をすべて真空に引かなければならず、装置が大掛か
りとなってしまうことになる。
０℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶融状態か
ら固相状態とされる。徐冷された外囲器は、ゲートバル
ブ３−４を開いて搬送装置により移載機室４に移送され
る。移載機室４において、外囲器はトレイからトロリー
式第２排気室６に備えられた排気トロリー７1 〜排気ト
ロリー７n にそれぞれセットされる。この場合、移載機
室４及び移載機室４から移載される第２排気室６近傍に
は特定ガス源５から不活性ガスが流されており、移載機
室４内において外囲器内は不活性ガスで充満されるよう
になされる。このため、移載工程において、外囲器内に
空気が侵入して外囲器内が汚染されることを防止するこ
とができる。もし、外囲器内を不活性ガスで充満するよ
うにしないと、移載機室４及び移載工程に関連する雰囲
気中をすべて真空に引かなければならず、装置が大掛か
りとなってしまうことになる。
【００１４】また、トロリー式第２排気室６は排気ライ
ンを構成しており、サークル上あるいはオーバル状とさ
れた長いラインとされていると共に、排気トロリーが移
動するレールが敷設されている。排気トロリーはこのレ
ール上を移動しながら外囲器内を高真空状態に排気して
いく。このため、排気トロリー７1 ・・・７m ・・・７
n にはそれぞれ拡散ポンプ（Ｄ．Ｐ）１０1 ・・・１０
m ・・・１０n とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）１１1 ・
・・１１m ・・・１１n とが設けられている。排気トロ
リー７1 ・・・７m ・・・７n は、第２排気室６内に複
数台収納されて第２排気室６内を循環している。例え
ば、排気トロリー７1 は移載機室４から移載される外囲
器がセットされる状態の位置とされており、排気トロリ
ー７m はレール上を移動しながら外囲器内を高真空状態
に引いている状態の位置とされており、排気トロリー７
n は高真空状態にされた外囲器が封止された後、ゲート
バルブ８n を開いて徐冷・取り出し室１２に移送される
状態の位置とされている。
ンを構成しており、サークル上あるいはオーバル状とさ
れた長いラインとされていると共に、排気トロリーが移
動するレールが敷設されている。排気トロリーはこのレ
ール上を移動しながら外囲器内を高真空状態に排気して
いく。このため、排気トロリー７1 ・・・７m ・・・７
n にはそれぞれ拡散ポンプ（Ｄ．Ｐ）１０1 ・・・１０
m ・・・１０n とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）１１1 ・
・・１１m ・・・１１n とが設けられている。排気トロ
リー７1 ・・・７m ・・・７n は、第２排気室６内に複
数台収納されて第２排気室６内を循環している。例え
ば、排気トロリー７1 は移載機室４から移載される外囲
器がセットされる状態の位置とされており、排気トロリ
ー７m はレール上を移動しながら外囲器内を高真空状態
に引いている状態の位置とされており、排気トロリー７
n は高真空状態にされた外囲器が封止された後、ゲート
バルブ８n を開いて徐冷・取り出し室１２に移送される
状態の位置とされている。
【００１５】なお、封止は外囲器に設けられている排気
管を溶着により封止するか、排気ヘッドに装着されてい
る蓋部材により外囲器の排気孔を閉塞するように封止す
る。また、第２排気室６内には、加熱装置が室内に沿っ
て設けられており、排気トロリーはこの加熱装置により
所定の温度プロフィールのもとで排気していく。この場
合、排気トロリー７1 〜排気トロリー７n により外囲器
内だけを排気するようにしているため、第２排気室６内
は大気とされていてもよく、熱伝導が良好とされている
ため、効率的な加熱を行うことができる。そして、外囲
器は封止された後、徐冷・取り出し室１２に移送され徐
冷された後、さらに冷却されて外部に取り出される。徐
冷・取り出し室１２から取り出された外囲器は、必要に
応じてゲッターリング工程やエージング工程を経て完成
される。
管を溶着により封止するか、排気ヘッドに装着されてい
る蓋部材により外囲器の排気孔を閉塞するように封止す
る。また、第２排気室６内には、加熱装置が室内に沿っ
て設けられており、排気トロリーはこの加熱装置により
所定の温度プロフィールのもとで排気していく。この場
合、排気トロリー７1 〜排気トロリー７n により外囲器
内だけを排気するようにしているため、第２排気室６内
は大気とされていてもよく、熱伝導が良好とされている
ため、効率的な加熱を行うことができる。そして、外囲
器は封止された後、徐冷・取り出し室１２に移送され徐
冷された後、さらに冷却されて外部に取り出される。徐
冷・取り出し室１２から取り出された外囲器は、必要に
応じてゲッターリング工程やエージング工程を経て完成
される。
【００１６】このようにして、封着・排気される外囲器
内にはカソード及び蛍光体の設けられたアノードが配設
されており、蛍光表示管あるいは電界放出型表示管とさ
れる。なお、セットされていた外囲器が徐冷・取出室１
２に移送された排気トロリー７1 〜排気トロリー７n
は、順次移載機室４の横まで移動されて移載機から次の
外囲器がセットされるようにされ、第２排気室６内にお
いて新たにセットされた外囲器内の排気および封止が行
われるようにされている。本発明の表示管の製造装置に
おいては、以上のように、封着工程と排気工程との排気
系統を別々の系統としたため、封着工程の雰囲気を中真
空又は不活性ガス中とし、排気工程の真空度を高真空と
することができるようになる。このため、封着工程にお
いてはトレイを多段に積んで流すこともできるようにな
る。
内にはカソード及び蛍光体の設けられたアノードが配設
されており、蛍光表示管あるいは電界放出型表示管とさ
れる。なお、セットされていた外囲器が徐冷・取出室１
２に移送された排気トロリー７1 〜排気トロリー７n
は、順次移載機室４の横まで移動されて移載機から次の
外囲器がセットされるようにされ、第２排気室６内にお
いて新たにセットされた外囲器内の排気および封止が行
われるようにされている。本発明の表示管の製造装置に
おいては、以上のように、封着工程と排気工程との排気
系統を別々の系統としたため、封着工程の雰囲気を中真
空又は不活性ガス中とし、排気工程の真空度を高真空と
することができるようになる。このため、封着工程にお
いてはトレイを多段に積んで流すこともできるようにな
る。
【００１７】図１に示す表示管の製造装置の温度プロフ
ィールを図２に示す。この図に示すように、第１排気室
２においては約２００゜Ｃ〜３００゜Ｃで約３０分加熱
され、封着室３においては約５００゜Ｃで約３０分加熱
されて、酸化ソルダーが溶融される。そして、移載機室
４に向かう前に約３０分徐冷されるが、移載機室４にお
いても約３５０゜Ｃ〜４００゜Ｃの温度を依然として保
っており、大気中に置かれた場合は急速に金属部分が酸
化される温度とされている。さらに、第２排気室６内は
約３５０゜Ｃとされているため、封着工程の熱を有効に
使用することができる。また第２排気室６内において、
高真空度の程度に応じて約６０分ないし１２時間真空ポ
ンプにより引かれる。次いで、徐冷・取出室１２におい
て約３０分徐冷されて２００゜Ｃ程度に冷却されて取り
出される。
ィールを図２に示す。この図に示すように、第１排気室
２においては約２００゜Ｃ〜３００゜Ｃで約３０分加熱
され、封着室３においては約５００゜Ｃで約３０分加熱
されて、酸化ソルダーが溶融される。そして、移載機室
４に向かう前に約３０分徐冷されるが、移載機室４にお
いても約３５０゜Ｃ〜４００゜Ｃの温度を依然として保
っており、大気中に置かれた場合は急速に金属部分が酸
化される温度とされている。さらに、第２排気室６内は
約３５０゜Ｃとされているため、封着工程の熱を有効に
使用することができる。また第２排気室６内において、
高真空度の程度に応じて約６０分ないし１２時間真空ポ
ンプにより引かれる。次いで、徐冷・取出室１２におい
て約３０分徐冷されて２００゜Ｃ程度に冷却されて取り
出される。
【００１８】以上の各工程間において、トレイを搬送す
る搬送装置の例を図３および図４に示す。図３にフック
方式を示しているが、外囲気が載置されたトレイ２０は
ベルトコンベア状に循環しているチェーンのフックに係
合されることにより、図示するように移動されて次の工
程に搬送される。また、図４に示す搬送装置はリフトア
ンドキャリー方式であり、ロックされたトレイ２０がア
ームによりロックがはずされると共に上昇させられて、
図示する矢印のように移動され、移動されたところで下
降されることにより搬送されるものである。この場合、
送り棒が循環されるようになされている。また、移載機
室４のように外囲器を直交する方向に移載する搬送装置
は直線導入方式とされており、第１直線導入機により封
着室３から移載機室４にトレイ２０が導入され、第２直
線導入機により排気トロリーに外囲器が移送されセット
される。なお、搬送装置をローラコンベヤ方式あるいは
プッシュロッド方式としてもよい。
る搬送装置の例を図３および図４に示す。図３にフック
方式を示しているが、外囲気が載置されたトレイ２０は
ベルトコンベア状に循環しているチェーンのフックに係
合されることにより、図示するように移動されて次の工
程に搬送される。また、図４に示す搬送装置はリフトア
ンドキャリー方式であり、ロックされたトレイ２０がア
ームによりロックがはずされると共に上昇させられて、
図示する矢印のように移動され、移動されたところで下
降されることにより搬送されるものである。この場合、
送り棒が循環されるようになされている。また、移載機
室４のように外囲器を直交する方向に移載する搬送装置
は直線導入方式とされており、第１直線導入機により封
着室３から移載機室４にトレイ２０が導入され、第２直
線導入機により排気トロリーに外囲器が移送されセット
される。なお、搬送装置をローラコンベヤ方式あるいは
プッシュロッド方式としてもよい。
【００１９】次に、図６に排気トロリーの概略図を示
す。排気トロリーは第２排気室６内に敷設されたレール
３６上を移動するキャスタ３５と、キャスタ３５が設け
られた排気カート３１とから構成されている。さらに、
排気カート３１の上端部には排気用のヘッド３２を備え
ており、この排気ヘッド３２にはＯリング３７を介して
外囲器４０の排気管４１が装着されている。そして、排
気管４１を介して外囲器４０内を高真空に排気するよう
にしている。このため、ヘッド３２に連接して拡散ポン
プ３３およびロータリーポンプ３４が設けられている。
なお。図示していないが排気トロリーはゲートバルブを
有している。
す。排気トロリーは第２排気室６内に敷設されたレール
３６上を移動するキャスタ３５と、キャスタ３５が設け
られた排気カート３１とから構成されている。さらに、
排気カート３１の上端部には排気用のヘッド３２を備え
ており、この排気ヘッド３２にはＯリング３７を介して
外囲器４０の排気管４１が装着されている。そして、排
気管４１を介して外囲器４０内を高真空に排気するよう
にしている。このため、ヘッド３２に連接して拡散ポン
プ３３およびロータリーポンプ３４が設けられている。
なお。図示していないが排気トロリーはゲートバルブを
有している。
【００２０】本発明によれば、封着ラインの封着工程に
おける余熱をそのまま排気ラインの排気工程の加熱に転
換することができ、エネルギーの利用効率が高く、また
外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さらに、封着工
程と排気工程が連続であるため、工程のつながり部にお
ける汚染がないため、製品の品質の均一化、安定化が図
れる。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が
短縮化されるため、生産性、量産性に優れた排気装置と
することができる。以上の説明においては、外囲器は蛍
光表示装置の真空気密容器として説明したが、蛍光表示
装置に限らず他の表示装置の真空気密容器としてもよ
い。
おける余熱をそのまま排気ラインの排気工程の加熱に転
換することができ、エネルギーの利用効率が高く、また
外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さらに、封着工
程と排気工程が連続であるため、工程のつながり部にお
ける汚染がないため、製品の品質の均一化、安定化が図
れる。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が
短縮化されるため、生産性、量産性に優れた排気装置と
することができる。以上の説明においては、外囲器は蛍
光表示装置の真空気密容器として説明したが、蛍光表示
装置に限らず他の表示装置の真空気密容器としてもよ
い。
【００２１】なお、前記排気トロリーに加熱装置を設け
るようにしてもよいが、この場合は第２排気室６内の温
度プロフィールに応じて加熱装置の温度制御を行う必要
が生じる。また量産規模に応じてユニット式の封着炉を
連結すると共に、トロリー式排気室を増設することによ
り、タクトタイムの調節ができ、フレキシビリティに優
れた製造装置とすることができる。
るようにしてもよいが、この場合は第２排気室６内の温
度プロフィールに応じて加熱装置の温度制御を行う必要
が生じる。また量産規模に応じてユニット式の封着炉を
連結すると共に、トロリー式排気室を増設することによ
り、タクトタイムの調節ができ、フレキシビリティに優
れた製造装置とすることができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、一つの部屋全体を高真空に排気することなく表示管
とされる外囲器内を高真空に排気することができる。ま
た、排気装置を大型化することなく外囲器内を高真空に
排気することができるため、排気効率を向上することが
できると共に、一貫生産可能な製造装置とされているた
め、安定化した特性の表示管とすることができる。ま
た、封着時の余熱をそのまま移載機室を介して排気時の
加熱に転換することができ、エネルギーの利用効率が高
く、また外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さら
に、表示容器を封着工程から排気工程に移す際に、移載
機室の箇所で不活性ガスを充填して連続的に移載するよ
うにしているので、工程のつながり部における汚染をな
くすることができ、製品の品質の均一化、安定化が図れ
る。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短
縮化されるため、生産性、量産性に優れた製造装置とす
ることができる。
で、一つの部屋全体を高真空に排気することなく表示管
とされる外囲器内を高真空に排気することができる。ま
た、排気装置を大型化することなく外囲器内を高真空に
排気することができるため、排気効率を向上することが
できると共に、一貫生産可能な製造装置とされているた
め、安定化した特性の表示管とすることができる。ま
た、封着時の余熱をそのまま移載機室を介して排気時の
加熱に転換することができ、エネルギーの利用効率が高
く、また外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さら
に、表示容器を封着工程から排気工程に移す際に、移載
機室の箇所で不活性ガスを充填して連続的に移載するよ
うにしているので、工程のつながり部における汚染をな
くすることができ、製品の品質の均一化、安定化が図れ
る。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短
縮化されるため、生産性、量産性に優れた製造装置とす
ることができる。
【図１】本発明の表示管の製造装置を示す図である。
【図２】本発明の表示管の製造装置の温度プロフィール
を示す図である。
を示す図である。
【図３】フック方式の搬送装置の概略図である。
【図４】リフトアンドキャリー方式の搬送装置の概略図
である。
である。
【図５】直線導入方式を示す図である。
【図６】排気トロリーの概略図である。
【図７】従来のインライン方式の説明図である。
１ セット室 １−１，２−４，３−４，８1 〜８n ，１２１，１２
４，１２９，１３０，１３２，１３５，１３７，１３９
ゲートバルブ ２ 第１排気室 ２−２，３−２，４−２，１０1 〜１０n ，１３６
拡散ポンプ ２−３，３−３，４−３，１１1 〜１１n ，１２３，１
３１ ロータリーポンプ ３ 封着室 ４ 移載機室 ５ 特定ガス源 ６ トロリー式第２排気室 ７1 〜７n 排気カート １２ 徐冷・取出室 １２２ ガス置換室 １２５ 封着炉 １２６ 不活性ガス源 １２７ 徐冷室 １２８ 荒引室 １３３ 本引室 １３４ 封止室 １３８ 冷却室 １４０ 取出室 １４１ 雰囲気ガス源
４，１２９，１３０，１３２，１３５，１３７，１３９
ゲートバルブ ２ 第１排気室 ２−２，３−２，４−２，１０1 〜１０n ，１３６
拡散ポンプ ２−３，３−３，４−３，１１1 〜１１n ，１２３，１
３１ ロータリーポンプ ３ 封着室 ４ 移載機室 ５ 特定ガス源 ６ トロリー式第２排気室 ７1 〜７n 排気カート １２ 徐冷・取出室 １２２ ガス置換室 １２５ 封着炉 １２６ 不活性ガス源 １２７ 徐冷室 １２８ 荒引室 １３３ 本引室 １３４ 封止室 １３８ 冷却室 １４０ 取出室 １４１ 雰囲気ガス源
フロントページの続き (72)発明者 横山 三喜男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−71533（ＪＰ，Ａ) 特公 昭33−5670（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/385 H01J 9/26 H01J 9/40 H01J 9/46
Claims (1)
- 【請求項１】 真空中又は不活性ガス中において封着を
行うインライン式の封着ラインと、この封着ラインに続くように配置されている トロリー式
排気ラインと、 前記インライン式の封着ラインと前記トロリー式排気ラ
インとの間に設けた移載機室とを備え、 封着された表示管の外周器を前記インライン式の封着ラ
インから前記移載機室を介して搬送する際に、前記外周
器内を不活性ガスで充填した状態として、前記トロリー
式排気ライン中を移動する排気トロリーに移載すると共
に、前記排気トロリーの進行中において、該排気トロリ
ーにセットされた前記外囲器の内部だけを高真空に排気
する排気手段によって排気し、排気後に前記外囲器の排
気部が封止されるようにしたことを特徴とする表示管の
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788094A JP2903998B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表示管の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788094A JP2903998B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表示管の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07262929A JPH07262929A (ja) | 1995-10-13 |
| JP2903998B2 true JP2903998B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=13646394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7788094A Expired - Fee Related JP2903998B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表示管の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903998B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3754859B2 (ja) | 2000-02-16 | 2006-03-15 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置の製造法 |
| CN106363349B (zh) * | 2016-08-29 | 2018-12-11 | 武汉一冶建筑安装工程有限责任公司 | 一种机械手环形轨道的加工方法 |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP7788094A patent/JP2903998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07262929A (ja) | 1995-10-13 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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