KR950016854A - 배기장치 - Google Patents
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- H01J9/385—Exhausting vessels
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Abstract
1 개의 방 또는 챔버전체를 고진공으로 배기하지 않고 표시장치의 외위기내를 고진공으로 배기하는 것, 배기관(3-1)의 선단을 배기헤드(2)에 부착하고 진공펌프(7)를 작동시켜 배기실(6)을 고진공으로 배기함으로써 외위기(3)의 내부를 고진공으로 배기한다.
다음에 모우터(9-2)를 작동시킴으로써, 볼나사(8)를 회전시켜 통체(5)의 선단부의 배기헤드(2)에 부착되어 있는 외위기(3)를 상승시킨다.
가스버너에 의하여 배기관(3-1)의 중도를 용융함으로써 배기관(3-1)을 봉지하고 배기관(3-1)을 잘라 외위기(3)를 배기헤드(2)로부터 제거한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본발명의 배기장치의 제 1 실시예를 도시한 도면.
제2도는 제 1 실시예의 배기헤드부분을 도시한 도면.
제3도는 본발명의 배기장치를 적용하는 인라인 방식의 설명도.
Claims (4)
- 특정의 분위기 또는 진공의 분위기가 형성되는 방과, 이 방내에 진공기밀용기를 형성하는 외위기를 지지함과 동시에 중앙부에 배기장치와 접속된 관통부를 가진 배기헤드와, 상기 배기헤드를 상기 외위기의 배기부에 진퇴시키는 구동장치와, 상기 배기헤드의 주변에 형성되어, 상기 방의 내부와 외부를 차단하는 시일부재를 구비하고, 상기 배기로부터 상기 배기헤드를 통하여 상기 배기장치에 의하여 상기 외위기 내부를 고진공으로 배기하는 것을 특징으로 하는 배기장치.
- 제1항에 있어서, 상기 외위기의 배기부가 관상의 형상으로 되고, 상기 배기헤드는 선단부에 시일부재를 통하여 상기 관상의 배기부에 부착되는 장착부를 가지며, 그 장착부에 상기 관상의 배기부를 부착한 상태에서 상기 배기부와 상기 배기헤드의 관통부가 연통하는 것을 특징으로 하는 배기장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 방은 개폐가능한 게이트밸브에 의하여 구획된 연속적인 방의 일부이고, 상기 외위기를 지지하는 지지부마다 인접하는 방으로 이동가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 배기장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 방은 착탈이 자유로운 커버를 가지며, 상기 외위기를 배기헤드에 대하여 제거가능한 구성으로 한 것을 특징으로 하는 배기장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP93-345608 | 1993-12-22 | ||
| JP5345608A JP2713132B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950016854A true KR950016854A (ko) | 1995-07-20 |
| KR0184293B1 KR0184293B1 (ko) | 1999-03-20 |
Family
ID=18377749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940033268A KR0184293B1 (ko) | 1993-12-22 | 1994-12-08 | 배기장치 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5499939A (ko) |
| JP (1) | JP2713132B2 (ko) |
| KR (1) | KR0184293B1 (ko) |
| FR (1) | FR2714210B1 (ko) |
| TW (1) | TW344085B (ko) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3060928B2 (ja) * | 1995-12-13 | 2000-07-10 | 双葉電子工業株式会社 | 電界放出カソードとその製造方法 |
| JP3189786B2 (ja) | 1998-05-21 | 2001-07-16 | 日本電気株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| KR100356181B1 (ko) * | 1999-10-29 | 2002-10-09 | 주식회사 컴텍스 | 평판 디스플레이의 가스주입밀봉장치 |
| KR100816197B1 (ko) * | 2000-03-22 | 2008-03-21 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 유기 전기발광 표시장치의 제조장치 및 이를 이용한 유기전기발광 표시장치의 제조방법 |
| KR100931135B1 (ko) * | 2007-11-28 | 2009-12-10 | 한국원자력연구원 | 진공 시스템 및 그 운전방법 |
| GB0903017D0 (en) * | 2009-02-23 | 2009-04-08 | Ceravision Ltd | Plasma crucible sealing |
| JP5694848B2 (ja) * | 2011-05-19 | 2015-04-01 | 双葉電子工業株式会社 | 電子装置の製造方法 |
| CN107504252B (zh) * | 2017-10-09 | 2019-08-16 | 四川拜伦科技有限公司 | 一种管道式流体充注控制装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB776336A (en) * | 1954-10-26 | 1957-06-05 | Machlett Lab Inc | Improvements in pumping apparatus for evacuated envelopes |
| US2730280A (en) * | 1954-11-05 | 1956-01-10 | Raytheon Mfg Co | Machines for evacuating electron discharge devices and the like |
| JPS56168321A (en) * | 1980-05-29 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Exhaust device of luminous tube |
| JPH02234326A (ja) * | 1989-03-06 | 1990-09-17 | Hitachi Ltd | ブラウン管の製造装置 |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP5345608A patent/JP2713132B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-12-08 KR KR1019940033268A patent/KR0184293B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-12-12 TW TW083111535A patent/TW344085B/zh active
- 1994-12-21 US US08/360,284 patent/US5499939A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-21 FR FR9415392A patent/FR2714210B1/fr not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2714210A1 (fr) | 1995-06-23 |
| KR0184293B1 (ko) | 1999-03-20 |
| US5499939A (en) | 1996-03-19 |
| JP2713132B2 (ja) | 1998-02-16 |
| FR2714210B1 (fr) | 1997-10-17 |
| TW344085B (en) | 1998-11-01 |
| JPH07182977A (ja) | 1995-07-21 |
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