KR0184293B1 - 배기장치 - Google Patents

Abstract

1 개의 방 또는 챔버전체를 고진공으로 배기하지 않고 표시장치의 외위기내를 고진공으로 배기하는 것, 배기관(3-1)의 선단을 배기헤드(2)에 부착하고 진공펌프(7)를 작동시켜 배기실(6)을 고진공으로 배기함으로써 외위기(3)의 내부를 고진공으로 배기한다.

다음에 모우터(9-2)를 작동시킴으로써, 볼나사(8)를 회전시켜 통체(5)의 선단부의 배기헤드(2)에 부착되어 있는 외위기(3)를 상승시킨다.

가스버너에 의하여 배기관(3-1)의 중도를 용융함으로써 배기관(3-1)을 봉지하고 배기관(3-1)을 잘라 외위기(3)를 배기헤드(2)로부터 제거한다.

Description

배기장치

제1도는 본발명의 배기장치의 제 1 실시예를 도시한 도면.

제2도는 제 1 실시예의 배기헤드부분을 도시한 도면.

제3도는 본발명의 배기장치를 적용하는 인라인 방식의 설명도.

제4도는 본발명의 배기장치의 제 2 실시예를 도시한 도면.

제5도는 종래의 배기관을 가진 외위기를 도시한 도면.

제6도는 종래의 배기구멍을 가진 외위기를 도시한 도면.

제7도는 종래의 인라인 방식의 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 챔버 1-1 : 바닥판

1-2 : 커버 1-3 : 부착체

1-4, 2-5 : 시일 2, 20 : 배기헤드

2-2 :0 링 2-3 : 너트

2-4 : 관통구멍 3, 21, 100 : 외위기

3-1, 104 : 배기관 3-2, 101 : 앞면기판

3-3, 102 : 배면기판 3-4, 103: 측면기판

4, 22 : 벨로우즈 4-1 : 접속관

5, 23 : 통체 6, 25 : 배기실

7, 26, 32 : 진공펌프 8, 28 : 볼나사

9-1, 29 : 워웜기어박스 9-2, 30 : 모우터

9-3, 31 : 연결봉 10, 120 : 예비소성실

11-1, 11-2, 15, 17, 121, 124, 129, 130, 132, 135, 137, 139 : 게이트밸브

12, 122 : 가스치환실

12-1, 12-2, 13-1, 16-1, 16-2, 16-4 : 밸브

12-3, 16-3, 16-6, 123, 131 : 로우터리 펌프

13 : 봉착실 14, 127 : 서냉실

16 : 배기·봉지실 16-5, 136 : 확산펌프

18, 140 : 인출실 19, 126 : 불활성가스원

24 : 봉체 27 :실린더

105 : 봉지부 106 : 배기구멍

107 : 덮개 108 : 산화물솔더

125 : 봉착로 128 : 황인실

133 : 본인실 134 : 봉지실

138 : 냉각실 141 : 분위기가스원

[산업상의 이용분야]

본발명은 내부가 고진공상태로 배기되는 표시장치에 있어서의 배기장치에 관한 것이며, 특히 봉착, 배기공정이 일관생산가능한 장치에 적합한 배기장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

형광표시장치등에 있어서의 진공기밀용기내부를 고진공으로 배기하는 봉착, 배기 공정은 진공기밀용기를 구성하는 외위기를 예비소성하는 공정과, 불활성가스 분위기중에서 외위기를 봉착하는 봉착공정과, 그후 배기부로부터 진공기밀용기내부를 배기하고 배기부를 봉지하는 배기공정을 가지고 있다.

상기 예비소성의 공정은 소성온도가 200℃∼500℃로 행하여지며, 봉착재의 유기물을 분해시키는 공정이다. 또, 봉착공정은 소성온도가 300℃∼600℃로 행하여지며, 불활성 가스 분위기중에서 봉착재로부터 가스의 발생을 억제하여 클립등으로 가압하면서 외위기를 봉착하고 있다. 그후, 봉착재가 다시 용융하지 않을 정도의 온도로 베이킹하면서 내부를 배기하고 배기부를 봉지하는 것이다.

이들 공정은 하나의 챔버내에서 모든 공정이 행하여지는 침버방식과, 각 공정내를 분위기나 온도에 의하여 다른 복수의 방으로 분할하여 서로 게이트밸브로 구획하여 반송장치로 이동시키는 인라인방식과 봉착공정과 배기공정을 다른 장치로 행하고, 배기공정에서는 배기로부터 배기되나, 기타의 외위기의 부분은 대기중에 노출되어 있는 방식이 있다.

또, 배기부의 형상으로서는 배기관을 가진 것과, 관통구멍으로 된 배기구멍을 가진 것이 있다. 이중, 배기관을 가진 것을 제5도에 도시하였다.

이 도면에 도시한 바와같이 외위기(100)는 앞면기판(101)과 배면기판(102)과 측면 기판(103)이 봉착됨으로써 구성되어 있고, 예컨대 배면기판(102)으로 부터 외위기(100)내부에 통해 있는 배기관(104)이 당겨내어져 있다. 이 배기관(104)을 통화여 외위기(100) 내부를 배기한후, 배기관(104)을 용착하여 봉지부(105)로 하고 있다.

또, 배기구멍을 가진 것을 제6도에 도시하였다.

이 도면에 도시한 외위기(100)도 제5도에 도시한 외위기(100)와 똑같이 앞면기판(101)과 배면기판(102)과 측면기판(103)이 봉착됨으로써 구성되어 있고 예컨대 배면기판(102)에 형성된 외위기(100) 내부에 관통되어 있는 배기구멍을 통하여 배기한후 이 배기구멍(106)을 덮개(107)에 피착된 산화물솔더(108)를 용착하여 봉지하도록한 것이다.

다음에 본 출원인이 출원한 일본국 특공평 4-39174호 공보에 기재되어 있는 봉착공정과 배기공정을 행하는 인라인 방식을 제7도에 도시하였다.

이 도면에 있어서, 먼저 앞면기판에 측면기판을 봉착한 상자형의 용기를 배면기판에 얹어 놓고, 상자형의 용기와 배면기판을 클립등의 치구에 의하여 가압한 상태로 예비소성실(120)이 이송장치에 의하여 이송한다. 이 예비소성실(120)에는 가열장치가 구비되어 있고, 실내를 200℃∼300℃로 유지하고 있다. 실내의 분위기라도 좋으나, 효율을 높이기 위하여 산화성 가스를 도입하여도 좋다.

이 예비소성실(120)에 있어서, 외위기의 봉착부에 피착되어 있는 산화물솔더중의 잔존 유기물이 충분히 산화되어 증발되도록 되어 있다.

예비소성이 종료하면, 게이트밸브(121)가 열리고 외위기를 실은 트레이는 이송장치에 의하여 가스치환실(122)에 들어간다. 이 가스치환실(122)에 있어서, 로우터리펌프(123)에 의하여 실내의 기체가 배기됨에 따라 외위기내의 기체도 배기되고 이어서 불활성가스(질소가스, 아르곤가스, 탄산가스등)가 불활성가스원(126)으로부터 공급되어 외위기내의 기체를 불활성가스로 치환한다.

다음에 게이트밸브(124)를 열고 트레이를 봉착로실(125)로 이송된다.

봉착로실(125)에 있어서, 불활성가스 분위기중에서 300℃∼600℃로 가열되어 봉착면의 산화물솔더가 용융된다. 그런데 외위기는 치구에 의하여 상하로부터 가압되어 있으므로 앞면기판과 배면기판이 봉착되도록 된다. 또, 봉착로실(125) 내에는 불활성가스원(126)으로부터 불활성가스가 공급되어 있으므로 음극이나 형광체의 화학변화는 방지된다. 또, 불활성가스가 공급되어 있으므로 외위기 전체를 균일하게 가열할 수 있어서 산화물솔더로부터의 기포의 발생을 억제할 수 있다.

봉착된 외위기는 봉착로실(125)과 같은 불활성가스중의 서냉실(127)로 이송되고 여기서 200℃∼400℃로 될때까지 서냉되고, 산화물솔더가 용융상태에서 고상상태로 된다. 서냉된 외위기는 이송장치에 의하여 황인실(128)로 게이트밸브(129,130)를 열어 이송한다. 이 게이트밸브는 열시일드용으로 되고, 게이트밸브(130)는 진공용으로 되어 있다. 이 황인실(128)은 트레이가 이송되면 로우터리펌프(131)가 동작하여 실내가 저진공도가 되도록 된다. 실내가 배기되어 소정의 진공도가 되면 게이트밸브(132)가 열려 트레이는 본인실(133)에 이송된다.

본인실(133)은 미리 고진공으로 배기하고 있으므로 게이트밸브(132)가 열려 진공도가 내려가도 확산펌프(136)를 작동시킴으로써 고진공상태로 단시간에 배기할 수 있다. 이 본인실(133)에 있어서, 외위기내를 고진공상태로 배기하여 게이트밸브(135)를 열어 트레이를 봉지실(134)로 이송한다.

이 봉지실(134)에 있어서, 외위기를 가열하여 가스가 나오기 쉬운 상태로하면서 확산펌프(136)에 의하여 봉지실(134) 내가 고진공이 되도록 배기한다.

그리고 배기관을 용융하여 봉지하거나, 혹은 배기구멍을 덮개부재에 피착한 산화물솔더를 용융하여 접착 봉지하도록 한다.

이렇게 하여 내부가 고진공상태로 배기된 외위기는 게이트밸브(137)를 열어 냉각실 (138)로 이송되어 이 냉각실(138)에서 서냉된다. 서냉된 외위기는 인출실(140)로 이송되어 다시 냉각됨과 동시에 진공이 누출되어 분위기가 대기압이 된후, 외부로 꺼내진다.

인출실(140)로부터 꺼낸 외위기는 게터링공정이나 에이징공정을 거쳐 완성된다.

이렇게 하여 배기, 봉착되는 외위기내에는 음극 및 형광체가 설치된 양극이 설치되어 있어서, 형광표시장치가 된다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

그러나 상기 인라인 방식에 있어서는 1개의 방전체를 고진공으로 배기할 필요가 있으므로 배기에 시간이 걸리고 또 배기설비를 대형화할 필요가 있고, 배기공정에서의 효율이 나쁘다는 문제점이 있었다. 또한, 1개의 방전체가 고진공으로 되므로 분위기중의 열전도가 나빠져서 외위기를 베이킹할때에 균일하게 가열하는 것이 곤란해져서 가스의 방출을 완전히 행할 수 없다는 문제점이 있었다.

또, 챔버방식에 있어서도, 배기, 봉착공정을 행하는 챔버에 전체를 고진공으로 배기할 수 필요가 있으므로 상기 인라인 방식과 똑같은 문제점이 있었다. 그래서 본 발명은 1개의 방 또는 챔버내 전체를 고진공으로 배기하지 않고 표시장치가 되는 외위기내를 고진공으로 배기할 수 있는 배기장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

또, 봉착, 배기공정을 일관생산가능하게 하는 장치에 적용할 수 있는 배기장치를 제공하는 것을목적으로 하고 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 진공기밀용기를 형성하는 외위기를 유지함과 동시에 중앙부에 배기장치와 접속된 관통부를 가진 배기헤드를 실내에 설치하고 상기 배기헤드를 상기 외위기의 배기부에 진퇴시키는 구동장치와 상기 배기헤드의 주변에 형성되어 상기 배기실내와 외부를 차단하는 시일부재를 구비하고, 상기 배기부로부터 상기 배기헤드를 통하여 상기 배기장치에 의하여 상기 외위기 내부를 고진공으로 배기하도록 한 것이다.

또, 외위기의 배기부가 관상의 형상으로 되어 있는 경우에는 상기 배기헤드는 선단부에 시일부재를 통하여 상기 관상의 배기부에 부착되는 장착부를 가지도록 한 것이다.

[작용]

본발명에 의하면, 1 개의 방 또는 챔버내 전체를 고진공으로 배기하지 않고 표시장치로 되는 외위기내를 고진공으로 배기할 수 있다.

또, 배기장치를 대형화하지 않고 외위기내를 고진공으로 배기할 수 있으므로 배기효율을 향상시킬 수 있음과 동시에 경제적으로 할 수 있다.

또, 본발명에 인라인 방식으로 적용하면 봉착시의 여열을 그대로 배기시의 가열로 전환할 수 있어서, 에너지의 이용효율이 높고, 또 외위기에 남아 있는 열변형도 경감된다. 또한 봉착과 배기가 연속적이기 때문에 공정의 연결부에 있어서의 오염이 없으므로 제품의 품질의 균일화, 안정화를 꾀할 수 있다.

더욱이 봉착, 배기공정의 낭비가 없어서 공정시간이 단축되므로 생산성, 양산성이 뛰어난 배기장치로 할 수 있다.

[실시예]

본발명의 배기장치의 제1실시예를 제1도에 도시하였다.

이 배기장치는 챔버방식에 적용된 것이고 챔버(1)내에서 외위기의 예비소성, 봉착, 서냉 및 봉지, 배기가 차례로 행하여지는 것이다. 또, 외위기는 배기관에 의하여 내부가 진공상태로 배기되도록 되어 있다.

챔버(1)는 챔버바닥판(1-1)과, 챔버바닥판(1-1)에 대하여 개폐가 자유롭게된 커버(1-2)로 구성되어 있다. 이 챔버(1)내는 도시하지 않은 지농펌프에 의하며 저진공으로 배기되도록 되어 챔버바닥판(1-1)에는 아래로 통하는 개구부가 복수 설치되어 있고 이 개구부에는 통체 (5)의 선단부로된 배기헤드(2)가 기밀상태로 진퇴가 자유롭게 배설되어 있다. 또한, 이 배기헤드(2)의 선단에는 외위기(3)에 설치되어 있는 배기관(3-1)이 기밀상태로 부착되어 있고, 외위기(3)의 내부는 배기관(3-1)을 통하여 통체(5)의 내부에 연이어 통하고 있다.

그리고 이 통체(5)의 하단이 배기실(6)에 고착됨으로써 통체(5)의 내부는 배기실(6)에 연이어 통하고, 이 배기실(6)은 진공펌프(7)에 의하여 고진공으로 배기할 수 있도록 되어 있다.

또, 상기와 같이 배기헤드(2)를 진퇴가 자유롭게 하기 위하여, 배기실(6)을 상하로 이동가능하게 하고 있다. 즉, 배기실(6)의 양쪽에는 볼나사(8)가 나사 결합되어 있고 볼나사(8)를 회전시키는 방향에 따라 배기실(6)이 상 또는 하로 이동가능하게 되어 있다. 이 볼나사(8)는 각각 워웜기어박스(9-1)에 연접되어 있고 워웜기어박스(9-1)의 워엄기어에는 모우터(9-2)의 회전축이 결합되어 모우터(9-2)의 회전력이 전달되고 있다. 또한 워엄기어박스(9-1)끼리는 회전가능한 연결봉(9-3)에 의하여 회전결합되어 있고 볼나사(8)가 동시에 같은 방향으로 회전하도록 되어 있다.

이러한 구성에 있어서, 모우터(9-2)에 통전하여 모우터(9-2)를 회전시키면 이 회전력이 워엄기어박스(9-1)를 통하여 볼나사(8)에 전달되어 볼나사(8)가 회전된다. 그러면 볼나사(8)에 나사결합되어 있는 배기실(6)이 상 또는 하로 이동된다. 따라서 이 배기실(6)에 고착된 통체(5)가 이 이동에 따라 상 또는 하로 이동되게 되어 통체(5)의 선단부의 배기헤드가 상승 또는 하강되게 된다.

또, 배기실(6)에는 도시하지 않았으나, 복수의 통체(5)가 고착되어 있고 이 통체(5)의 선단부에는 각각 배기헤드(2)가 설치되어 있다.

또한, 통체(5)를 덮도록 벨로우즈(4)가 통체(5)의 주위에 부착되어 있다.

그리고 바닥판(1-1)의 하부에 설치되어 있는 배기실(6), 모우터(9-2), 워웜기어박스(9-1) 등은 도시하지 않은 커버에 의하여 덮여 있고, 이 커버내는 저진공으로 배기되어 있다.

이렇게 구성된 배기장치에 있어서는 커버(1-2)를 열어 복수의 외위기(3)를 챔버(1)내에 수납함과 동시에 배기헤드(2)에 부착하고 종래와 똑같이 상기한 예비소성 및 가스치환을 행하고 또한 불활성 분위기중에서 히이터에 의하여 가열하여 산화물솔더를 용융함으로써 봉착을 행한다. 다음에 복수의 외위기(3)에 설치되어 있는 배기관(3-1)을 각각 배기헤드(2)에 부착하나, 이 배기헤드(2)의 부분을 확대하여 제2도에 도시하였다.

이 도면에 있어서는 외위기(3)의 사용예로서 형광표시장치를 도시하고 있으며, 외위기(3)는 상기 제5도에 도시한 바와 같이 앞면기판(3-2)과 배면기판(3-3)이 측면기판(3-4)을 통하여 대향되도록 봉착되어 있다. 이 배면기판(3-3)에는 배기관(3-1)이 봉착되어 있고, 이 배기관(3-1)은 외위기(3)의 내부에 연이어 통하고 있다.

이 배기관(3-1)의 선단을 배기헤드(2)의 선단에 부착하는 것이나, 배기헤드(2)의 축경된선단부분의 외주에는 나사가 잘라져 있고 이 나사에 너트(2-3)가 나사부착 되어 있다. 이 너트내에는 0링(2-2)이 배설 되어 있고, 너트(2-3) 및 배기헤드(2)에 설치된 관통구멍(2-4)내에 상기 배기관(3-1)의 하단을 삽입하여 너트(2-3)를 회전시킴으로써 배기관(3-1)의 선단을 배기헤드(2)에 기밀하게 적어 부착한다.

또, 벨로우즈(4)에 접속되어 있는 접속관(4-1)이 부착되어 있는 부착체(1-3)는 바닥판(1-1)에 고착되어 있으나, 바닥판(1-1)과 부착체 (1-3)와의 사이에 시일(1-4)이 설치되어 기밀상태로 고착되어 있다. 또한, 상하로 이동가능한 통체(5)는 시일(2-5)을 통하여 기밀상태로 부착체(1-3)에 설치된 관통구멍에 끼워 맞추어져 있다.

이와 같이 배기관(3-1)의 하단을 배기헤드(2)에 부착한 상태로 하여 제1도에 도시한 진공펌프(7)를 작동시켜 배기실(6)를 고진공으로 배기하면 배기실(6)에 연이어 통하고 있는 통체(5), 그리고 배기헤드(2)및 배기관(3-1)을 통하여 외위기(3)의 내부가 고진공으로 배기되게 된다. 고진공으로 배기되면 모우터(9-2)를 작동시켜, 워엄기어박스(9-1)를 통하여 볼나사(8)를 회전시킴으로써 배기실(6)을 상승시킨다.

이에 의하여 통체(5)가 상승하므로 통체(5)의 선단부의 배기헤드(2) 및 배기헤드(2)에 부착되어 있는 외위기(3)가 상승한다.

그리고, 커버(1-2)를 벗긴 상태로 가스버너에 의하여 배기관(3-1)의 중도를 용융함으로써, 배기관(3-1)을 봉지한다. 이어서, 봉지된 배기관(3-1)을 잘라 외위기(3)를 배기헤드(2)로부터 제거한다. 외위기(3)로부터 분리된 배기관(3-1)의 불필요한 부분을 배기헤드(2)로부터 제거하고, 다음의 외위기(3)를 배기헤드(2)에 부착하여 상기와 똑같은 공정을 반복함으로써 외위기(3)를 가진 표시장치를 차례차례로 제작한다.

그리고, 챔버(1)내에 외위기(3)를 지지하는 지지부를 설치하고, 외위기(3)의 배기관(3-1)을 배기헤드(2)가 자동적으로 포지될 수 있도록 함과 동시에 배기관(3-1)으로부터 배기헤드(2)를 자동적으로 이탈할 수 있게 하면, 예비소성 및 봉착공정시에 있어서 배기헤드(2)를 챔버(1)내에서 퇴피할 수 있게 된다.

다음에 외위기를 봉착, 배기하는 공정을 일관생산라인인 인라인 방식에 적용할 수 있는 본발명의 배기장치의 제 2 실시예를 설명한다.

제3도에 본발명의 배기장치를 적용하는 인라인 방식을 도시하였다.

이 도면에 있어서, 먼저 앞면 기판에 측면기판을 봉착한 상자형의 용기를 배면기판에 얹어 놓고, 상자형의 용기와 배면기판을 클립등의 치구에 의하여 가압한 상태로 예비소성실(10)에 이송장치에 의하여 이송한다. 이 예비소성실(10)에는 가열장치가 구비되어 있고, 실내를 200℃∼300℃로 유지하고 있다.

실내의 분위기는 대기라도 좋으나, 효율을 높이기 위하여 산화성가스를 도입하여도 좋다. 이 예비소성실(10)에 있어서, 외위기의 봉착부에 피착되어 있는 산화물솔더중의 잔존유기물이 충분히 산화되어 증발되도록 되어 있다.

예비소성이 종료하면 게이트밸브(11-1)가 열리고, 외위기를 얹어놓은 트레이는 이송장치에 의하여 가스치환실(12)로 들어간다. 이 가스치환실(12)에 있어서, 로우터리 펌프(12-3)에 의하여 실내의 기체가 배기됨에 따라 외위기내의 기체도 배기되고, 이어서 불활성가스(질소가스, 아르곤가스, 탄산가스등)를 불활성가스원(19)으로부터 밸브(12-1)를 열어 공급하여 외위기내의 기체를 불활성가스로 치환한다.

다음에 게이트밸브(11-2)를 열어 트레이를 봉착실(13)로 이송한다. 봉착실(13)에 있어서, 불활성가스 분위기중 또는 진공분위기중에서 300℃∼600℃로 가열되어 외위기의 봉착면에 피착된 산화물솔더가 융용된다. 외위기는 치구에 의하여 상하로부터 가압되어 있으므로 상기 산화물솔더의 용융에 따라 앞면기판과 배면기판이 봉착되게 된다. 또, 봉착실(13)내에는 불활성가스원(19)으로부터 불활성가스와 공급되어 있으므로 음극이나 형광체의 화학변화는 방지된다.

봉착된 외위기는 봉착실(13)과 같은 불활성가스중의 서냉실(14)에 이송되어 여기서 200℃∼400℃가 될때까지 서냉되어 산화물솔더를 용융상태에서 고상상태로 한다. 서냉된 외위기는 이송장치에 의하여 배기, 봉지실(16)로 게이트밸브(15)를 열어 이송한다.

배기, 봉지실(16)은 트레이가 이송되면 로우터리펌프(16-3)가 작동하여 실내가 저진공도가 되도록 된다. 소정의 진공도가 될때까지 실내가 배기되면 외위기에 기밀상태로 부착된 배기헤드에 연이어 통하고 확산펌프(16-3)및 로우터리펌프(16-6)가 작동하여 외위기 내부를 고진공으로 배기한다. 이 경우 외위기는 가열되어 가스를 방출하기 쉬운 상태로 되나 외위기는 봉착시의 여열을 남기고 있으므로 용이하게 가열할 수 있다. 이렇게 하여 외위기내를 고진공상태로 한후, 배기헤드에 장착되어 있는 덮개부재에 의하여 외위기의 배기구멍을 폐색하도록 봉지한다.

그리고 서냉된후, 게이트밸브(16)를 열어 트레이를 인출실(18)로 이송하고, 또한 냉각시킴과 동시에 진공이 누출되어 분위기가 대기압으로 된 후, 외부로 꺼내진다. 인출실(18)로부터 꺼내진 외위기는 게터링 공정이나 에이징 공정을 거쳐 완성된다. 이렇게 하여 봉착 배기하는 외위기내에서는 음극 및 형광체가 설치된 양극이 배설되어 있고 형광표시장치로 된다.

상기 배기, 봉지실(16)이 본발명의 배기장치의 제 2 실시예이고 그 상세를 제4도를 참조하면서 설명하나, 외위기는 상기 제6도에 도시한 관통구멍으로된 배기구명에 의하여 배기부가 구성된 타입으로 되어 있고, 외위기에 뚫린 배기구멍을 통하여 외위기내부를 배기하도록 되어 있다. 이 도면에 있어서, 게이트밸브(15)와 게이트밸브(17)에 의하여 차단되어 있는 배기, 봉지실(16)은 진공펌프(32)에 의하여 저진공으로 배기되도록 되어 있다. 배기, 봉지실(16)의 바닥부에는 아래로 통하는 개구부가 복수설치되어 있고 이 개구부내에는 통체(23)의 선단부로된 배기헤드(20)가 진퇴가 자유롭게 배설되어 있다.

또한, 이 배기헤드(20)의 선단은 외위기(21)에 뚫린 배기구멍에 기밀상태로 밀착될 수 있는 구성으로 되어 있고 외위기(21)의 내부는 배기헤드(20)를 통하여 통체(23)의 내부에 연통되어 있다. 이 통체(23)의 하단이 배기실(25)에 고착됨으로써 통체(23)의 내부는 배기실(25)에 연통되어 있다. 배기실(25)은 진공펌프(26)에 의하여 고진공으로 배기된다.

또, 상기와 같이 배기헤드(2)를 진퇴가 자유롭게하기 위하여 배기실(25)이 상하로 이동가능하게 되어있다. 즉, 배기실(25)의 양쪽에는 볼나사(28)가 나사결합되어 있고 볼나사(28)를 회전시키도록 방향에 따라 배기실(25)이 상 또는 하로 이동가능하게 되어있다. 이 볼나사(28)는 각각 워웜기어박스(29)에 연접되어 있고, 워엄기어박스(29)의 워엄기어에는 모우터(30)의 회전축이 결합되어 모우터(30)의 회전력이 전달된다. 또한, 워웜기어박스(29)끼리는 회전가능한 연결봉(31)에 의하여 회전결합되어 있고, 볼나사(28)가 동시에 같은 방향으로 회전하도록 되어 있다.

이러한 구성에 있어서, 모우터(30)에 통전하여 모우터(30)를 회전시키면 이 회전력이 워엄기어박스(29)를 통하여 볼나사(28)에 전달되어 볼나사(28)가 회전된다. 그러면 볼나사(28)에 나사결합되어 있는 배기실(25)이 상 또는 하로 이동된다. 따라서 이 배기실(25)에 고착된 통체(23)가 이 이동에 따라 상 또는 하로 이동되게 되어 통체 (23)의 선단부의 배기헤드가 상승 또는 하강된다.

또, 배기실(25)에는 도시하지 않았으나, 복수의 통체(23)가 연접되어 있고, 이 통체(23)의 선단부에는 각각 배기헤드(20)가 설치되어 있다. 또한 통체(23)를 덮듯이 벨로우즈(22)가 통체(23)의 주위에 부착되어 있다.

또한, 통체(23)내에는 봉체(27)가 삽통되어 있음과 동시에 이 봉체(27)의 선단에는 히이터가 구비되어 있고, 히이터에는 덮개부재가 끼워 부착되어 있다. 또, 봉체(27)는 배기헤드(20)에 대하여 진퇴가 자유롭게 되어 있고, 외위기(21) 내부를 고진공으로 배기한후, 봉체(27)를 상승시켜 덮개부재를 외위기(21)에 뚫린 배기구멍에 압접하여 히이터에 통전함으로써, 덮개부재에 피착한 산화물솔더를 용융하여 봉지하도록 하고 있다.

이와같이 봉체(24)를 진퇴가 자유롭게 하기 위하여 배기실(25)의 아래쪽에 실린더(27)가 설치되고 이 실린더(27)내에 봉체(24)의 하단부에 설치된 피스톤부를 삽입하여 예컨대 공압에 의하여 실린더(27)내의 피스톤을 상하로 이동시키고 있다.

그리고 배기, 봉지실(16)의 아래쪽에 설치되어 있는 배기실(25), 모우터(30), 워웜기어박스(29)등은 도시하지 않은 커버에 의하여 덮여있고, 이 커버내는 저진공으로 배기되어 있다.

이렇게 구성된 배기장치에 있어서는 게이트밸브(15)를 열어 복수의 외위기(21)를 배기, 봉지실(16)내에 수납한 후, 불활성 분위기중에서 히이터에 의하여 가열하여 산화물솔더를 융용함으로써 봉착을 행한다.

이 경우 배기헤드(20)는 하강되어 봉착시의 열을 피하도록 되어 있다. 봉착이 완료하면 다음에 복수의 외위기(21)에 설치되어 있는 배기구멍에 각각 배기헤드(20)를 상승시켜 밀착시키는 것이다.

이와 같이 배기구멍을 덮듯이 외위기(21)를 배기헤드(20)에 밀착시킨 상태로하여 제4도에 도시한 진공펌프(26)를 작동시켜 배기실(25)을 고진공으로 배기하면 배기실(25)에 연통하고 있는 통체(23), 그리고 배기헤드(20)및 배기구멍을 통하여 외위기(21)의 내부가 고진공으로 배기된다. 그후, 실린더(27)에 공기를 압입하여 봉체(24)를 상승시켜, 봉체(24)의 선단부에 설치된 히이터에 끼워부착된 덮개부재가 배기구멍을 폐색하도록 압접한다. 그리고 이 상태에서 히이터에 통전하면 덮개부재에 피착되어 있는 산화물솔더가 융용되어 배기구멍은 덮개부재에 봉지되게 된다.

다음에 히이터의 통전을 종료하면 산화물솔더가 용융상태로부터 고상상태가 되어 봉지가 완료한다.

봉지가 완료한 후, 모우터(30)를 작동시켜, 워엄기어박스(29)를 통하여 볼나사(28)를 회전시켜 배기실(25)를 하강시킨다. 이에 의하여 통체(23)가 하강하므로 통체(23)의 선단부의 배기헤드(20)가 외위기(21)로부터 이탈되어 하강한다. 다음에 게이트밸브(17)를 열어 봉지된 외위기(21)를 인출실로 이송하고, 게이트밸브(15)를 열어 다음의 외위기(21)를 배기, 봉지실(16)로 이송한다.

본 제 2 실시예에 의하면 봉착시의 여열을 그대로 배기시의 가열로 전환할 수 있어서 에너지의 이용효율이 높고, 또 외위기에 남아있는 열변형도 경감된다.

또한, 봉착과 배기가 연속적이기 때문에 공정의 연결부에 있어서의 오염이 없으므로 제품의 품질의 균일화, 안정화를 꾀할 수 있다. 더욱이, 봉착 배기공정의 낭비가 없어 공정시간이 단축화되므로 생산성, 양산성이 뛰어난 배기장치를 할 수 있다.

또, 이 제 2 실시예의 배기장치를 챔버방식에 적용할 수도 있다.

이상의 설명에 있어서는 외위기는 형광표시장치의 진공기밀용기로하여 설명하였으나, 형광표시장치에 한하지 않고 다른 표시장치의 진공기밀용기라도 좋다.

[발명의 효과]

본발명은 이상과 같이 구성되어 있으므로 1개의 방 또는 챔버전체를 고진공으로 배기하지 않고 표시장치로 되는 외위기내를 고진공으로 배기할 수 있다.

또, 배기장치를 대형화하지 않고 외위기내를 고진공으로 배기할 수 있으므로 배기 효율을 향상시킬 수 있음과 동시에 경제적으로 할 수 있다.

또, 본발명의 제 2 실시예에 의하면 또한 봉착시의 여열을 그대로 배기시의 가열로 전환할 수 있어서, 에너지의 이용효율이 높고, 또 외위기에 잔존하는 열변형도 경감된다.

또한, 봉착과 배기가 연속적이므로 공정의 연결부에 있어서의 오염이 없기 때문에 제품 품질의 균일화, 안정화를 꾀할 수 있다. 더욱이 봉착, 배기공정의 낭비가 없어서 공정시간이 단축되므로 생산성, 양산성이 뛰어난 배기장치가 된다.

Claims (4)

1. 특정의 분위기 또는 진공의 분위기가 형성되는 방과, 이 방내에 진공기밀용기를 형성하는 외위기를 지지함과 동시에 중앙부에 배기장치와 접속된 관통부를 가진 배기헤드와, 상기 배기헤드를 상기 외위기의 배기부에 진퇴시키는 구동장치와, 상기 배기헤드의 주변에 형성되어, 상기 방의 내부와 외부를 차단하는 시일부재를 구비하고, 상기 배기로부터 상기 배기헤드를 통하여 상기 배기장치에 의하여 상기 외위기 내부를 고진공으로 배기하는 것을 특징으로 하는 배기장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 외위기의 배기부가 관상의 형상으로 되고, 상기 배기헤드는 선단부에 시일부재를 통하여 상기 관상의 배기부에 부착되는 장착부를 가지며, 그 장착부에 상기 관상의 배기부를 부착한 상태에서 상기 배기부와 상기 배기헤드의 관통부가 연통하는 것을 특징으로 하는 배기장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 방은 개폐가능한 게이트밸브에 의하여 구획된 연속적인 방의 일부이고, 상기 외위기를 지지하는 지지부마다 인접하는 방으로 이동가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 배기장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 방은 착탈이 자유로운 커버를 가지며, 상기 외위기를 배기헤드에 대하여 제거가능한 구성으로 한 것을 특징으로 하는 배기장치.