JPH11339638A - 表示管及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板に開設した排気孔を封止するため
の加熱炉を不要とし、安価な製造設備で製造することが
でき、しかも冷却するための時間を不要とし、量産性を
向上させることができる表示管及びその製造方法を提供
する 【解決手段】 蛍光表示管あるいはプラズマディスプレ
イなどのガラス製気密容器を有する表示管において、前
記ガラス製気密容器１は、前記ガラス製気密容器を構成
するガラス板に開設された排気孔２ａをシリコン５を用
いて陽極接合で封止したガラス製気密容器１であること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、蛍光表示管、プ
ラズマディスプレイ、電解放電ディスプレイ（ＦＥＤ）
等のガラス製気密容器を有する表示管及びその製造方法
に関し、特に排気管を有しない表示管及びその製造方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の表示管は、予め電極等の組立を完
了したガラス基板とガラス表示板との周縁をガラス溶着
で連結封止し、ガラス基板に形成されたガラス製の排気
管を介してその表示管内部を真空状態、あるいは特定の
ガスを封入し、その後、ガラス製の前記排気管を加熱し
溶着封止して、ガラス製気密容器としていた。この場
合、ガラス製の前記排気管を用いて表示管内部を真空状
態、あるいは特定のガスを封入する際、排気抵抗が大き
いため、時間が余計にかかるというという問題があっ
た。また、ガラス基板にガラス製の排気管が取り付けら
れているため、ガラス基板とガラス表示板との周縁をガ
ラス溶着で連結封止されたガラス製気密容器の取扱いを
困難なものにしていた。

【０００３】これら問題を解決する表示管及びその製造
方法として、例えば、特開昭６３−２０７０３３号公報
に記載された表示管及びその製造方法が知られている。
この公報に記載された表示管は、予め電極等の組立を完
了したガラス基板とガラス表示板との周縁をガラス溶着
で連結封止し、ガラス基板に開設された排気孔を介して
その表示管内部を真空状態、あるいは特定のガスを封入
し、その後、ガラス基板に開設された前記排気孔を低融
点ガラスで封止して、ガラス製気密容器としている。こ
のような前記表示管にあっては、前記した排気管を廃止
し、排気孔を低融点ガラスで封止するようになしている
ため、排気が短時間で完了すると共に、ガラス製気密容
器の取扱が容易であるという利点を有する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の排気
孔を有しない表示管は、ガラス基板に開設された排気孔
を低融点ガラスで封止するため、ガラスが溶融する所定
の温度に加熱する必要がある。そのため、従来の表示管
を製造する場合には、ガラスが溶融する所定の温度まで
加熱できる加熱炉が必要であり、そのため、製造設備が
かなり高価になるという技術的課題があった。また、加
熱された表示管を冷却するための時間を必要とし、量産
性を悪いものとしていた。

【０００５】本発明は、この技術的課題を解消するため
になされたもので、ガラス板に開設した排気孔を封止す
るための加熱炉を不要とし、安価な製造設備で製造する
ことができ、しかも冷却するための時間を不要とし、量
産性を向上させることができる表示管及びその製造方法
を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる表示管
は、蛍光表示管あるいはプラズマディスプレイなどのガ
ラス製気密容器を有する表示管において、前記ガラス製
気密容器は、前記ガラス製気密容器を構成するガラス板
に開設された排気孔をシリコンを用いて陽極接合で封止
したガラス製気密容器であることを特徴とする。このよ
うにガラス板に開設された排気孔をシリコンを用いて陽
極接合で封止し、気密容器としたため、ガラスが溶融す
る所定の温度まで加熱する必要がない。その結果、加熱
炉を不要とした安価な製造設備で製造することができ、
また冷却するための時間が不要なため、量産性が向上す
る。

【０００７】前記ガラス製気密容器は、前記ガラス製気
密容器を構成するガラス板に開設された排気孔を、ガラ
ス板上に形成されたシリコン層を有する蓋部材によって
封止したガラス製気密容器であることが望ましく、また
排気孔が開設された前記ガラス板は、ガラス基板もしく
はガラス表示板のいずれかであることが望ましい。

【０００８】上記表示管を製造するには、前記ガラス製
気密容器に形成された排気孔の周囲をＯリングを用いて
真空排気手段に密着させる機構と、前記ガラス製気密容
器内を真空状態あるいは特定のガス雰囲気になす機構
と、前記排気孔を塞ぐシリコンからなるまたはシリコン
を有する蓋部材とガラス製気密容器に対して電圧を印加
する機構と、前記蓋部材を排気孔の位置まで移動されせ
る機構とを備えている製造装置によって行うことができ
る。

【０００９】また、本発明にかかる表示管は、蛍光表示
管あるいはプラズマディスプレイなどのガラス製気密容
器を有する表示管において、前記ガラス製気密容器は、
前記ガラス製気密容器を構成する一対の対向するガラス
基板とガラス表示板との周縁をシリコンを用いて陽極接
合で封止したガラス製気密容器であることを特徴とす
る。このようにガラス基板とガラス表示板との周縁をシ
リコンを用いて陽極接合で封止し、気密容器としたた
め、ガラスが溶融する所定の温度まで加熱する必要がな
い。その結果、加熱炉を不要とした安価な製造設備で製
造することができ、また冷却するための時間が不要なた
め、量産性が向上する。また、排気孔を設ける必要がな
いため、排気孔が設けられるガラス基板あるいはガラス
表示板の強度を向上させることができる。

【００１０】ここで、前記ガラス製気密容器は、前記ガ
ラス製気密容器を構成する一対の対向するガラス基板と
ガラス表示板との周縁を、ガラス板上に形成されたシリ
コン層を有する連結部材によって封止したガラス製気密
容器であることが望ましい。

【００１１】上記表示管を製造するには、蛍光表示管あ
るいはプラズマディスプレイなどのガラス製気密容器を
有する表示管を製造する製造装置において、前記ガラス
製気密容器を収納できるチャンバと、前記チャンバ内を
真空状態あるいは特定のガス雰囲気になす機構と、前記
ガラス製気密容器を構成する一対の対向するガラス基板
とガラス表示板との周縁を連結するシリコンからなるま
たはシリコンを有する連結部材とガラス製気密容器に対
して電圧を印加する機構とを備えている製造装置によっ
て行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図に
基づいて説明する。図１はこの発明の一実施形態である
表示管を製造する製造装置の概略説明図、図２は図１に
示した昇降杆の先端部分の拡大図、図３は蓋部材で排気
孔を封止した状態を示す説明図である。これらの図にお
いて、１は表示管（ガラス製気密容器）を示し、前記表
示管１は、図示を省略した電極等を予め組み付けたガラ
ス基板２と、前記ガラス基板２と対向するガラス表示板
３と、ガラス基板２とガラス表示板３との周縁を連結封
止する連結封止材４と、ガラス基板２に開設された排気
孔２ａを封止する蓋部材５とで構成される。なお、連結
封止材４は、例えば低融点ガラスであり、蓋部材５はシ
リコンで構成されている。

【００１３】また図中、１１は載置テーブルであって、
その中央部分に貫通開口１１ａが開設されている。ま
た、前記載置テーブル１１の下側には、貫通開口１１ａ
に連通させた状態で管路１２が配設されている。この管
路１２の排気口１２ａには開閉バルブ１３Ａが配設さ
れ、真空ポンプ１４に接続されている。また、この管路
１２の排気口１２ａの近傍には特定のガスを導入する導
入口１２ｂが設けられ、この導入口１２ｂには開閉バル
ブ１３Ｂが配設されている。なお、真空ポンプ１４は表
示管１内を真空状態するためのものであり、また特定の
ガスは、表示管１内に特定ガスを封入するものである。

【００１４】また前記管路１２には、昇降杆１５がＯリ
ング１６によって気密を保持しつつ、昇降可能に配設さ
れている。前記載置テーブル１１の上側には、Ｏリング
１７が貫通開口１１ａを囲むように配設され、載置テー
ブル１１と前記載置テーブル１１に載置される表示管１
との間を気密に保持している。このように、載置テーブ
ル１１と表示管１との間が気密に保持されるため、真空
ホンプ１４によって、管路１２、貫通開口１１ａ、排気
孔２ａを介して、表示管１内を真空状態にすることがで
き、また表示管１内に特定のガスを封入することができ
る。

【００１５】また、図中符号１８は固定治具であって、
この固定治具１８は載置テーブル１１の上側に取り付け
られると共に、この固定具の下面に設けられた弾性押圧
体１８ａによって、表示管１を載置テーブル１１側へ所
定の圧力で押圧するようになされている。また、固定治
具１８の下方にはヒータ１９が配設され、ガラス基板２
およびガラス表示板３に熱による悪影響を及ぼすことな
く、陽極接合を効率よく行わせる温度、例えば３５０℃
位に表示管１を温めるものである。なお、この温度は低
融点ガラスの融点４５０℃に比べてかなり低いため、表
示管１の冷却時間は短い。また、前記ヒータ１９は必ず
しも必要とするものではなく、設けなくても陽極接合を
行うことはできる。

【００１６】また陽極接合とは、ガラスとシリコンとに
５００Ｖ〜１ｋＶの電圧を印加することにより、両者を
溶着することである。この陽極接合をシリコンからなる
蓋部材５とガラス基板２に施すために、ガラス基板２と
昇降杆１５とに５００Ｖ〜１ｋＶの電圧を印加されてい
る。図中、２０は電源を示し、２１は、前記電源２０に
直列接続されたスイッチを示している。なお、昇降杆１
５は導電性部材によって構成されている。

【００１７】次に、表示管（ガラス製気密容器）の排気
孔２ａを封止する封止工程について説明する。まず、昇
降杆１５を上昇させて載置テーブル１１の貫通開口１１
ａ内に臨ませ、昇降杆１５の上端に蓋部材５を載せた
後、昇降杆１５を下降させる。そして、図１に示すよう
に、排気孔２を貫通開口１１ａに連通させて載置テーブ
ル１１に表示管１を載置し、載置テーブル１１に固定治
具１８を取り付け、弾性押圧体１８ａの付勢力で表示管
１を載置テーブル１１に固定する。

【００１８】次に、開閉バルブ１３Ａを開放させて真空
ポンプ１４を動作させ、表示管１内を真空引きする。そ
して、表示管１内が真空になったならば、開閉バルブ１
３Ａを閉成した後、開閉バルブ１３Ｂを開放させて特定
ガスを導入口１３ｂから導入して表示管１内へ入れ、開
閉バルブ１３Ｂを閉成する。なお、特定ガスを表示管１
内に封入しない場合は、前記工程は省略される。

【００１９】次に、昇降杆１５を上昇させ、蓋部材５を
排気口２ａの周縁のガラス基板２に所定の押圧で当接さ
せ、スイッチ２１をオンすると、ガラス基板２と昇降杆
１５とに５００Ｖ〜１ｋＶの電圧が電源２０によって印
加されるので、陽極接合によって蓋部材５で排気口２ａ
を封止することができる。

【００２０】上述したように、この発明の一実施形態に
よれば、ガラス基板２に開設された排気孔２ａを、シリ
コン製の蓋部材５を用いて陽極接合で封止することがで
きるため、排気孔２ａを封止するための高温炉が不要と
なり、製造装置を小型化することができる。そして、排
気設備および封止設備が一緒にできるので、製造装置が
コンパクトのなるとともに、クリーンルームの占有面積
も少なくなり、生産コストを低減させることができる。

【００２１】また、表示管１を高温に加熱する必要がな
いため、高温加熱による悪影響が表示管１に発生しなく
なり、品質の良い表示管１を得ることができる。また高
温加熱を行っているため、冷却時間また冷却するための
時間が不要なため、量産性を向上させることができる。
さらに、特別な封止材料、例えばフリット材を使用する
ことなく、シリコンを利用したもので排気孔２ａを封止
することができるため、安価に封止することができる。

【００２２】図４は蓋部材５の変形例を示す説明図、図
５は図４に示した蓋部材で排気孔を封止した状態を示す
説明図であり、図１乃至図３と同一または相当部分に同
一符号を付して説明を省略する。図４および図５におい
て、５Ａは蓋部材であって、前記蓋部材５Ａは、ガラス
板５ａとこのガラス板５ａの上にスパッタリング等手段
によって形成されたシリコン層５ｂとによって構成され
ている。

【００２３】図４に示した蓋部材５Ａは、図１乃至図３
で説明した蓋部材５と同様な操作により、陽極接合によ
ってガラス基板２と蓋部材５のシリコン層５ｂとを接合
することができ、ガラス基板２に開設された排気口２ａ
を蓋部材５によって封止できる。なお、図４に示した蓋
部材５Ａでガラス基板２に開設された排気口２ａを封止
する場合、蓋部材５Ａをシリコンとした場合と同様な効
果を得られる他、蓋部材５Ａはガラス板５ａを備えてい
るので、封止部分の強度を確保することができる。

【００２４】図６はこの発明の他の実施形態である表示
管を製造する製造装置の概略説明図、図７は図６に示し
た表示管の一部を分解した説明図である。これらの図に
おいて、１Ａは表示管（ガラス製気密容器）であって、
表示管１Ａは、図示を省略した電極等を予め組み付けた
ガラス基板２Ａと、このガラス基板２Ａと対向するガラ
ス表示板３Ａと、ガラス基板２Ａとガラス表示板３Ａと
の周縁を連結封止する連結封止材４Ａとで構成される。
なお、ガラス基板２Ａには排気孔が設けられておらず、
連結封止材４Ａは、シリコンで構成されている。

【００２５】また、図中３１はチャンバであって、この
チャンバ３１の下部には、他端部に排気口３２ａと導入
口３２ｂとが形成された管路３２が配設されている。こ
の管路３２の排気口３２ａと導入口３２ｂには、開閉バ
ルブ３３Ａ、３３Ｂが設けられ、前記排気口３２ａは真
空ポンプ１４に接続されている。また導入口３２ｂは特
定ガスを供給する導入口である。更に、符号３５は、チ
ャンバ３１内に配設された載置テーブルであって、この
載置テーブル３５の上部にはヒータプレート３６が形成
されている。この載置テーブル３５の上方には、ヒータ
が内蔵された押圧プレート３９が昇降杆３７によって昇
降可能に配設されている。なお、前記昇降杆３７は、チ
ャンバ３１にＯリング３８を用いて気密状態を保持しつ
つ、昇降可能に配設されている。また、前記押圧プレー
ト３９は昇降杆３７の下端に、昇降杆３７に直交させて
取り付けられている。

【００２６】前記ヒータプレート３６および押圧プレー
ト３９は、ガラス基板２Ａおよびガラス表示板３Ａに、
熱による悪影響を及ぼすことなく、陽極接合を効率よく
行わせる温度、例えば３５０℃位に温めるものである。
また、ヒータプレート３６と押圧プレート３９とに５０
０Ｖ〜１ｋＶの電圧を印加するため、ヒータプレート３
６と押圧プレート３９は電源４０に接続されている。な
お、ヒータプレート３６と押圧プレート３９は導電性部
材により構成され、前記電圧はガラス表示板３Ａ、ガラ
ス基板２Ａに印加される。また図中、４１は電源４０に
直列接続されたスイッチを示している。

【００２７】次に、表示管（ガラス製気密容器）１Ａの
製造（封止）工程について説明する。まず、昇降杆３７
を上昇させてヒータプレート３６の上にガラス基板２Ａ
を載置し、このガラス基板２Ａの周縁に連結封止材４Ａ
を周回させて載置した後、連結封止材４Ａの上にガラス
表示板３Ａを載せる。次に、開閉バルブ３３Ａを開放さ
せて真空ポンプ３４を動作させ、チャンバ３１内を真空
引きする。

【００２８】そして、チャンバ３１内が真空状態になっ
たならば、開閉バルブ３３Ａを閉成した後、開閉バルブ
３３Ｂを開放させて特定ガスを導入口３３ｂから導入し
てチャンバ３１内へ入れ、表示管１Ａ内に特定ガスを充
填して開閉バルブ１３Ｂを閉成する。なお、特定ガスを
表示管１内に封入しない場合は、前記工程は省略され
る。

【００２９】次に、昇降杆３７を下降させて押圧プレー
ト３９でガラス表示板３Ａをガラス基板２Ａ側へ所定の
押圧力で押圧し、スイッチ４１をオンすると、ヒータプ
レート３６と押圧プレート３９とに５００Ｖ〜１ｋＶの
電圧が電源４０によって印加される。このときヒータプ
レート３６と押圧プレート３９は導電性部材で構成され
ているため、ガラス基板２Ａとガラス表示板３Ａには前
記電圧が印加される。その結果、前記ガラス基板２Ａと
ガラス表示板３Ａとの間に配置された連結部材４Ａとガ
ラス基板２Ａ、また連結部材４Ａとガラス表示板３Ａと
が陽極接合される。

【００３０】上述したように、この発明の他の実施形態
によれば、対向するガラス基板２Ａとガラス表示板３Ａ
との周縁をシリコンの連結部材４Ａを用いて陽極接合で
連結封止したので、表示管１を高温に加熱する必要がな
いため、高温炉が要らなくなり、製造装置を小型化する
ことができる。そして、排気設備および封止設備が一緒
にできるので、製造装置がコンパクトのなるとともに、
クリーンルームの占有面積も少なくなり、生産コストを
低減させることができる。

【００３１】また、表示管１を高温に加熱する必要がな
いため、高温加熱による悪影響が表示管１に発生しなく
なり、品質の良い表示管１を得ることができる。また高
温加熱を行っていないため、冷却時間また冷却するため
の時間が不要となり、量産性を向上させることができ
る。さらに、特別な封止材料、例えばフリット材を使用
することなく、シリコンでガラス基板２Ａとガラス表示
板３Ａとの周縁を安価に封止することができる。また、
ガラス基板２Ａに排気孔口を設ける必要がないため、ガ
ラス基板２Ａの強度が向上する。

【００３２】図８はさらに他の表示管の一部を分解した
説明図である。この図７において、１Ｂは表示管（ガラ
ス製気密容器）を示し、この表示管１Ｂは図示を省略し
た電極等を予め組み付けたガラス基板２Ａと、このガラ
ス基板２Ａと対向するガラス表示板３Ａと、ガラス基板
２Ａとガラス表示板３Ａとの周縁を連結封止する連結封
止材４Ｂとで構成される。なお、連結封止材４Ｂは、ガ
ラス４ａと、このガラス４ａの対向する面、すなわち
上、下面にスパッタリング等の手段によって形成された
シリコン層４ｂとによって構成されている。

【００３３】図９はさらに他の表示管の一部を分解した
説明図ある。この図７において、１Ｃは表示管（ガラス
製気密容器）を示し、この表示管１Ｃは、図示を省略し
た電極等を予め組み付けたガラス基板２Ｂと、このガラ
ス基板２Ｂと対向するガラス表示板３Ａと、ガラス基板
２Ｂとガラス表示板３Ａとの周縁を連結封止する連結封
止材４Ｃとで構成されている。なお、ガラス基板２Ａに
は図１に示すような排気孔が設けられていない。そし
て、連結封止材４Ｃは、ガラス基板２Ｂの周縁に周回さ
せて設けられた所定の高さを有する周壁２ｂと、この周
壁２ｂ上にスパッタリングなどによって形成されたシリ
コン層４ｂとによって構成されている。

【００３４】図８および図９に示した表示管１Ｂ，１Ｃ
は図６で説明した製造装置で同様な操作により、陽極接
合によってガラス基板２Ａ，２Ｂとガラス表示板３Ａと
の周縁を連結封止できる。なお、図８および図９に示し
た表示管１Ｂ，１Ｃにおいても、図６および図７の表示
管１Ａの場合と同様な効果を得ることができる。

【００３５】上記した実施形態において、図１の昇降杆
１５内にヒータを設け、ヒータ１９で表示管１を温める
ように、蓋部材５を温めると良い。また、図６に示した
製造装置において、ガラス基板２Ａとガラス表示板３Ａ
とに直接電圧を印加しても、同様な効果を得ることがで
きる。更に、図９に示した実施形態の場合、ガラス表示
板３Ａ側の周縁に周壁を設け、この周壁にシリコン層を
設ける構成にしても良い。

【００３６】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ガラ
ス板に開設された排気孔を、シリコンを用いて陽極接合
で封止したので、高温炉を不要とし、製造装置を小型化
することができる。そして、排気設備および封止設備が
一緒にできるため、製造装置がコンパクトになると共
に、クリーンルームの占有面積も少なくなり、生産コス
トを低減させることができる。また、表示管を高温に加
熱する必要がないため、高温加熱による悪影響が表示管
に発生しなくなり、品質のよい表示管を得ることができ
る。更に、特別な封止材料、例えばフリット材を使用す
ることなく、シリコンで排気孔を封止することができる
ため、安価に封止することができる。

【００３７】また、この発明の他の発明によれば、前記
した効果のみならず、ガラス板に排気孔を設ける必要が
ないため、表示管のガラス板の強度を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態である表示管を製造する
製造装置の概略説明図である。

【図２】図１に示した昇降杆の先端部分の拡大図であ
る。

【図３】蓋部材で排気孔を封止した状態を示す説明図で
ある。

【図４】他の蓋部材の例を示す説明図である。

【図５】図４に示した蓋部材で排気孔を封止した状態を
示す説明図である。

【図６】この発明の他の実施形態である表示管を製造す
る製造装置の概略説明図である。

【図７】図６に示した表示管の一部を分解した説明図で
ある。

【図８】さらに他の表示管の一部を分解した説明図あ
る。

【図９】さらに他の表示管の一部を分解した説明図あ
る。

【符号の説明】

１，１Ａ〜１Ｃ 表示管（ガラス製気密容器） ２，２Ａ，２Ｂ ガラス基板 ２ａ 排気孔 ２ｂ 周壁 ３，３Ａ ガラス表示板 ４，４Ａ〜４Ｃ 連結封止材 ４ａ ガラス板 ４ｂ シリコン層 ５，５Ａ 蓋部材 ５ａ ガラス板 ５ｂ シリコン層

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 蛍光表示管あるいはプラズマディスプレ
   イなどのガラス製気密容器を有する表示管において、 前記ガラス製気密容器は、前記ガラス製気密容器を構成
   するガラス板に開設された排気孔をシリコンを用いて陽
   極接合で封止したガラス製気密容器であることを特徴と
   する表示管。
2. 【請求項２】 前記ガラス製気密容器は、前記ガラス製
   気密容器を構成するガラス板に開設された排気孔を、ガ
   ラス板上に形成されたシリコン層を有する蓋部材によっ
   て封止したガラス製気密容器であることを特徴とする請
   求項１に記載された表示管。
3. 【請求項３】 排気孔が開設された前記ガラス板は、ガ
   ラス基板もしくはガラス表示板のいずれかであることを
   特徴とする請求項１または請求項２に記載された表示
   管。
4. 【請求項４】 蛍光表示管あるいはプラズマディスプレ
   イなどのガラス製気密容器を有する表示管において、 前記ガラス製気密容器は、前記ガラス製気密容器を構成
   する一対の対向するガラス基板とガラス表示板との周縁
   をシリコンを用いて陽極接合で封止したガラス製気密容
   器であることを特徴とする表示管。
5. 【請求項５】 前記ガラス製気密容器は、前記ガラス製
   気密容器を構成する一対の対向するガラス基板とガラス
   表示板との周縁を、ガラス板上に形成されたシリコン層
   を有する連結部材によって封止したガラス製気密容器で
   あることを特徴とする請求項４に記載された表示管。
6. 【請求項６】 蛍光表示管あるいはプラズマディスプレ
   イなどのガラス製気密容器を有する表示管を製造する製
   造装置において、 前記ガラス製気密容器に形成された排気孔の周囲をＯリ
   ングを用いて真空排気手段に密着させる機構と、前記ガ
   ラス製気密容器内を真空状態あるいは特定のガス雰囲気
   になす機構と、前記排気孔を塞ぐシリコンからなるまた
   はシリコンを有する蓋部材とガラス製気密容器に対して
   電圧を印加する機構と、前記蓋部材を排気孔の位置まで
   移動されせる機構とを備えていることを特徴とする表示
   管の製造装置。
7. 【請求項７】 蛍光表示管あるいはプラズマディスプレ
   イなどのガラス製気密容器を有する表示管を製造する製
   造装置において、 前記ガラス製気密容器を収納できるチャンバと、前記チ
   ャンバ内を真空状態あるいは特定のガス雰囲気になす機
   構と、前記ガラス製気密容器を構成する一対の対向する
   ガラス基板とガラス表示板との周縁を連結するシリコン
   からなるまたはシリコンを有する連結部材とガラス製気
   密容器に対して電圧を印加する機構とを備えていること
   を特徴とする表示管の製造装置。