JPH08115672A - 稀ガス放電灯の製造装置 - Google Patents
稀ガス放電灯の製造装置Info
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- JPH08115672A JPH08115672A JP24892794A JP24892794A JPH08115672A JP H08115672 A JPH08115672 A JP H08115672A JP 24892794 A JP24892794 A JP 24892794A JP 24892794 A JP24892794 A JP 24892794A JP H08115672 A JPH08115672 A JP H08115672A
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- vacuum head
- exhaust
- discharge lamp
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高価な稀ガスのロスを可及的に抑制する
【構成】 回転駆動されるターンテーブル１８と、ター
ンテーブル１８の外縁部に配設された複数個の真空ヘッ
ド２２と、ターンテーブル１８上に配設されて真空ヘッ
ド２２に接続される排気系９、ガス充填系１０および大
気開放系１１とを具備し、真空ヘッド２２は筐体壁面
に、それぞれ接続系路を開閉する切換え弁を有する３つ
の接続孔が配設され、これらの接続孔に前記排気系９、
ガス充填系１０および大気開放系１１を接続したもので
ある。
ンテーブル１８の外縁部に配設された複数個の真空ヘッ
ド２２と、ターンテーブル１８上に配設されて真空ヘッ
ド２２に接続される排気系９、ガス充填系１０および大
気開放系１１とを具備し、真空ヘッド２２は筐体壁面
に、それぞれ接続系路を開閉する切換え弁を有する３つ
の接続孔が配設され、これらの接続孔に前記排気系９、
ガス充填系１０および大気開放系１１を接続したもので
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は稀ガス放電灯の製造設
備、特にターンテーブルの外周部に取付けられる真空ヘ
ッドに排気系とガス充填系および大気開放系とを直結
し、高価な稀ガスの充填ロスを少なくするようにした稀
ガス放電灯の製造装置に関する。
備、特にターンテーブルの外周部に取付けられる真空ヘ
ッドに排気系とガス充填系および大気開放系とを直結
し、高価な稀ガスの充填ロスを少なくするようにした稀
ガス放電灯の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種稀ガス放電灯は一般に外径が細
く、バルブ内にＸｅやＸｒなどを封入した希ガス放電で
あるため、明るさや放電電圧が周囲温度に殆ど影響され
ず、寿命が長いなどの特徴があり、ファクシミリ、ＯＣ
ＲなどＯＡ機器の原稿読取用光源や液晶表示装置のバッ
クライト用光源に利用されている。
く、バルブ内にＸｅやＸｒなどを封入した希ガス放電で
あるため、明るさや放電電圧が周囲温度に殆ど影響され
ず、寿命が長いなどの特徴があり、ファクシミリ、ＯＣ
ＲなどＯＡ機器の原稿読取用光源や液晶表示装置のバッ
クライト用光源に利用されている。
【０００３】例えば、図４（ａ）は外径が３〜６ｍｍ、
長さが２００〜３００ｍｍ程度の細長ガラスバルブ１の
内壁に蛍光体膜２を被着し、内部にＸｅガスを主成分と
する希ガスを数１０ｔｏｒｒのガス圧で封入し、ガラス
バルブ１の外壁に一対の帯状電極３ａ，３ｂを被着した
無電極タイプのものである。また、図４（ｂ）は細長ガ
ラスバルブ１の両端部に一対の冷陰極４ａ，４ｂを封着
し、内部にＸｅガスを主成分とする希ガスを封入すると
共に両電極間のガラスバルブ１の外壁に帯状の補助電極
５を密着して添設し、陽光柱を補助電極５側に偏寄させ
て放電の安定化を図った冷陰極タイプのものである。ま
た、図４（ｃ）は細長ガラスバルブ１の両端部に一対の
熱陰極６ａ，６ｂを封着し、内部にＸｅガスを主成分と
する希ガスを封入した熱陰極タイプのものである。
長さが２００〜３００ｍｍ程度の細長ガラスバルブ１の
内壁に蛍光体膜２を被着し、内部にＸｅガスを主成分と
する希ガスを数１０ｔｏｒｒのガス圧で封入し、ガラス
バルブ１の外壁に一対の帯状電極３ａ，３ｂを被着した
無電極タイプのものである。また、図４（ｂ）は細長ガ
ラスバルブ１の両端部に一対の冷陰極４ａ，４ｂを封着
し、内部にＸｅガスを主成分とする希ガスを封入すると
共に両電極間のガラスバルブ１の外壁に帯状の補助電極
５を密着して添設し、陽光柱を補助電極５側に偏寄させ
て放電の安定化を図った冷陰極タイプのものである。ま
た、図４（ｃ）は細長ガラスバルブ１の両端部に一対の
熱陰極６ａ，６ｂを封着し、内部にＸｅガスを主成分と
する希ガスを封入した熱陰極タイプのものである。
【０００４】これらの稀ガス放電灯は電極形態等に若干
の相違はあるものの、基本的には細長形状のガラスバル
ブ１の内壁に蛍光体膜２を被着して、バルブ内にＸｅガ
スを主成分とする希ガスを封入して、ＯＡ機器の光源に
適する放電の立上り特性や寿命特性が得られるようにし
たものである。
の相違はあるものの、基本的には細長形状のガラスバル
ブ１の内壁に蛍光体膜２を被着して、バルブ内にＸｅガ
スを主成分とする希ガスを封入して、ＯＡ機器の光源に
適する放電の立上り特性や寿命特性が得られるようにし
たものである。
【０００５】しかしながら、このように優れた特徴を有
した稀ガス放電灯は製造工程の真空排気時に稀ガスの消
費量が多く、製造コストを高価にする問題があった。
した稀ガス放電灯は製造工程の真空排気時に稀ガスの消
費量が多く、製造コストを高価にする問題があった。
【０００６】例えば、図５は上記稀ガス放電灯の製造に
使用されているトロリー方式の排気装置であり、複数個
の真空ヘッド７を取付けた太径のマニホールド８に排気
系９、ガス充填系１０および大気開放系１１をそれぞれ
真空バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介して接続したものであ
り、真空バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を適宜開閉駆動するこ
とにより、真空ヘッド７に装着した未排気の稀ガス放電
灯１２に所定の排気処理（真空排気、ガス洗浄、ベーキ
ング、電極分解、ガス充填など）がなされる。
使用されているトロリー方式の排気装置であり、複数個
の真空ヘッド７を取付けた太径のマニホールド８に排気
系９、ガス充填系１０および大気開放系１１をそれぞれ
真空バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介して接続したものであ
り、真空バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を適宜開閉駆動するこ
とにより、真空ヘッド７に装着した未排気の稀ガス放電
灯１２に所定の排気処理（真空排気、ガス洗浄、ベーキ
ング、電極分解、ガス充填など）がなされる。
【０００７】また、図６はセンタバルブ方式の排気装置
であり、排気系９、ガス充填系１０および大気開放系１
１を接続した固定台１３上に、周縁に多数の真空ヘッド
７を配設したローター１４を回動可能に積層したもので
ある。この排気装置はロータ１４が固定台１３上を回動
することによって、ロータ１４に形成された真空ヘッド
７の排気通路７ａが固定台１３に形成された排気系９や
ガス充填系１０および大気開放系１１の各マニホールド
８と接続した接続系路９ａ，１０ａ，１１ａ上を摺動
し、真空ヘッド７の排気処理が固定台１３上の各ポジシ
ョンに従って切換えられる。
であり、排気系９、ガス充填系１０および大気開放系１
１を接続した固定台１３上に、周縁に多数の真空ヘッド
７を配設したローター１４を回動可能に積層したもので
ある。この排気装置はロータ１４が固定台１３上を回動
することによって、ロータ１４に形成された真空ヘッド
７の排気通路７ａが固定台１３に形成された排気系９や
ガス充填系１０および大気開放系１１の各マニホールド
８と接続した接続系路９ａ，１０ａ，１１ａ上を摺動
し、真空ヘッド７の排気処理が固定台１３上の各ポジシ
ョンに従って切換えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
製造装置は前者のトロリー方式の排気装置はマニホール
ドに取付けた複数個の真空ヘッドにより一度に多数個の
排気処理がなされるものの、手動式であり、生産性の乏
しいものであった。また、後者のセンタバルブ方式の排
気装置はロータリー式で、自動駆動により生産性が得ら
れるものの、センタバルブを介して油分がランプ内に導
入し、特性劣化を生じる恐れがあった。
製造装置は前者のトロリー方式の排気装置はマニホール
ドに取付けた複数個の真空ヘッドにより一度に多数個の
排気処理がなされるものの、手動式であり、生産性の乏
しいものであった。また、後者のセンタバルブ方式の排
気装置はロータリー式で、自動駆動により生産性が得ら
れるものの、センタバルブを介して油分がランプ内に導
入し、特性劣化を生じる恐れがあった。
【０００９】また、上記従来の製造装置は何れも封入ガ
スの充填はガス充填系より太径のマニホールドや排気経
路、真空ヘッドを介して各ランプに導入される構造であ
り、しかも、これらのマニホールドや排気経路、真空ヘ
ッドに充填されたガスは大気中に放出され、利用できな
いものであった。また、ガス充填に用いられるＸｅやＸ
ｒなどの稀ガスは通常の蛍光ランプに使用するＡｒガス
に比べて極めて高価なものであり、細径の稀ガス放電灯
の資材費が嵩み、コストが割高となっていた。
スの充填はガス充填系より太径のマニホールドや排気経
路、真空ヘッドを介して各ランプに導入される構造であ
り、しかも、これらのマニホールドや排気経路、真空ヘ
ッドに充填されたガスは大気中に放出され、利用できな
いものであった。また、ガス充填に用いられるＸｅやＸ
ｒなどの稀ガスは通常の蛍光ランプに使用するＡｒガス
に比べて極めて高価なものであり、細径の稀ガス放電灯
の資材費が嵩み、コストが割高となっていた。
【００１０】このため、例えば、図７に示すように、稀
ガス放電灯の未封着の組立バルブ１２ａをカーボン治具
１５に装着し、これを封着排気装置１６に装填して、所
定の真空排気とバルブ端部の封着作業を完了した後に、
封着排気装置１６内に残留した稀ガスを稀ガス再生装置
１７に回収する方法も採用されている。
ガス放電灯の未封着の組立バルブ１２ａをカーボン治具
１５に装着し、これを封着排気装置１６に装填して、所
定の真空排気とバルブ端部の封着作業を完了した後に、
封着排気装置１６内に残留した稀ガスを稀ガス再生装置
１７に回収する方法も採用されている。
【００１１】しかしながら、かかる封着排気装置１６は
製造設備が複雑で高価となるばかりでなく、封着排気作
業に時間を要し、非能率であった。また、封着用のカー
ボン治具１５内の温度分布等により封入ガス圧が不均一
となり、製品特性のバラツキの原因となっていた。
製造設備が複雑で高価となるばかりでなく、封着排気作
業に時間を要し、非能率であった。また、封着用のカー
ボン治具１５内の温度分布等により封入ガス圧が不均一
となり、製品特性のバラツキの原因となっていた。
【００１２】従って、本発明は上記稀ガス放電灯の製造
装置の問題点に鑑みなされたものであり、ガス充填時、
高価な稀ガスのロス分が可及的に抑えられ、作業性や生
産性が得られるロータリ式の排気装置を得ることを目的
としている。
装置の問題点に鑑みなされたものであり、ガス充填時、
高価な稀ガスのロス分が可及的に抑えられ、作業性や生
産性が得られるロータリ式の排気装置を得ることを目的
としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は真空ヘッドとこれに接続される排気系、ガ
ス充填系をターンテーブル上に一体に配設するように構
成したものである。即ち、ターンテーブルの外周縁に固
定される複数個の真空ヘッドはそれぞれ筐体壁面に排気
系、ガス充填系と接続するための複数の接続孔を配設す
ると共に、これらの接続孔に前記系との接続系路を開閉
する切換え弁を配設する。そして、排気系やガス充填系
を構成する真空ポンプや稀ガスボンベなどは真空ヘッド
と共にターンテーブル上に配設し、それぞれ切換え弁を
介して真空ヘッドに接続する。更に、ターンテーブルは
真空ヘッドの回転軌跡の周辺所定位置に加熱炉や冷却機
構などを配設し、ターンテーブルのポジション毎に所定
の排気処理がなされるように構成したもので、具体的に
は以下のように構成する。即ち、本発明の稀ガス放電灯
の製造装置は、回転駆動されるターンテーブルと、前記
ターンテーブルの外周縁に固定された複数個の真空ヘッ
ドと、前記ターンテーブル上に配設され前記真空ヘッド
に接続される排気系、ガス充填系とを具備し、前記真空
ヘッドは筐体壁面に前記排気系、ガス充填系が接続され
る複数の接続孔が配設されると共にこの接続孔にそれぞ
れ前記系との接続系路を開閉する切換え弁が配設され、
前記排気系、ガス充填系をこれらの切換え弁を介して真
空ヘッドに接続したことを特徴としている。また、前記
排気系またはガス充填系は真空ヘッド毎に配設されたこ
とを特徴としている。また、前記ターンテーブルは真空
ヘッドの回転軌跡の周辺所定位置に加熱炉や冷却機構が
配設されたことを特徴としている。
め、本発明は真空ヘッドとこれに接続される排気系、ガ
ス充填系をターンテーブル上に一体に配設するように構
成したものである。即ち、ターンテーブルの外周縁に固
定される複数個の真空ヘッドはそれぞれ筐体壁面に排気
系、ガス充填系と接続するための複数の接続孔を配設す
ると共に、これらの接続孔に前記系との接続系路を開閉
する切換え弁を配設する。そして、排気系やガス充填系
を構成する真空ポンプや稀ガスボンベなどは真空ヘッド
と共にターンテーブル上に配設し、それぞれ切換え弁を
介して真空ヘッドに接続する。更に、ターンテーブルは
真空ヘッドの回転軌跡の周辺所定位置に加熱炉や冷却機
構などを配設し、ターンテーブルのポジション毎に所定
の排気処理がなされるように構成したもので、具体的に
は以下のように構成する。即ち、本発明の稀ガス放電灯
の製造装置は、回転駆動されるターンテーブルと、前記
ターンテーブルの外周縁に固定された複数個の真空ヘッ
ドと、前記ターンテーブル上に配設され前記真空ヘッド
に接続される排気系、ガス充填系とを具備し、前記真空
ヘッドは筐体壁面に前記排気系、ガス充填系が接続され
る複数の接続孔が配設されると共にこの接続孔にそれぞ
れ前記系との接続系路を開閉する切換え弁が配設され、
前記排気系、ガス充填系をこれらの切換え弁を介して真
空ヘッドに接続したことを特徴としている。また、前記
排気系またはガス充填系は真空ヘッド毎に配設されたこ
とを特徴としている。また、前記ターンテーブルは真空
ヘッドの回転軌跡の周辺所定位置に加熱炉や冷却機構が
配設されたことを特徴としている。
【００１４】
【作用】真空ヘッドは複数の接続孔が配設され、それぞ
れ切換え弁を介して排気系、ガス充填系が接続されるた
め、切換え弁を作動することにより、真空ヘッドに接続
した各系路が切換えられ、所望の排気処理がなされる。
また、ガス充填時、真空ヘッドは切換え弁により各系路
から切離されるため、ガス充填による稀ガスのロス分は
真空ヘッドの容積分に抑えることができる。また、ター
ンテーブルの各ポジション毎に所定の排気処理がなさ
れ、作業性が得られる。
れ切換え弁を介して排気系、ガス充填系が接続されるた
め、切換え弁を作動することにより、真空ヘッドに接続
した各系路が切換えられ、所望の排気処理がなされる。
また、ガス充填時、真空ヘッドは切換え弁により各系路
から切離されるため、ガス充填による稀ガスのロス分は
真空ヘッドの容積分に抑えることができる。また、ター
ンテーブルの各ポジション毎に所定の排気処理がなさ
れ、作業性が得られる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面と共に詳述す
る。
る。
【００１６】図１は本発明の稀ガス放電灯の製造装置
で、ターンテーブルを使用したロータリ式の排気装置で
ある。
で、ターンテーブルを使用したロータリ式の排気装置で
ある。
【００１７】即ち、図１において、１８は上下２段式の
ターンテーブルであり、フロア１９上に布設したベット
２０に植立された回転軸２１に枢支され、不図示の回転
機構により軸回りを所定インデックスで間歇駆動する。
また、２２は上段のターンテーブル１８ａの外周縁に、
所定ピッチ間隔で配設された複数個の真空ヘッドであ
る。
ターンテーブルであり、フロア１９上に布設したベット
２０に植立された回転軸２１に枢支され、不図示の回転
機構により軸回りを所定インデックスで間歇駆動する。
また、２２は上段のターンテーブル１８ａの外周縁に、
所定ピッチ間隔で配設された複数個の真空ヘッドであ
る。
【００１８】真空ヘッド２２は、図２に示すように、円
筒状筐体の下方壁面に未排気の稀ガス放電灯１２が接続
されるバルブ装着孔２３、側壁面に排気系９、ガス充填
系１０および大気開放系１１が接続される３つの接続孔
２４、２５、２６が配設されている。
筒状筐体の下方壁面に未排気の稀ガス放電灯１２が接続
されるバルブ装着孔２３、側壁面に排気系９、ガス充填
系１０および大気開放系１１が接続される３つの接続孔
２４、２５、２６が配設されている。
【００１９】バルブ装着孔２３の配設された下端側は未
排気の稀ガス放電灯１２が装着されるチャック部２７が
設けられ、真空ゴム２８に通した稀ガス放電灯１２の先
端部を袋ナット２９で締結し、支持する。
排気の稀ガス放電灯１２が装着されるチャック部２７が
設けられ、真空ゴム２８に通した稀ガス放電灯１２の先
端部を袋ナット２９で締結し、支持する。
【００２０】また、３つの接続孔２４、２５、２６は排
気系９、ガス充填系１０および大気開放系１１と接続す
る接続系路９ａ，１０ａ，１１ａを開閉するための電磁
バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３が配設され、これらの電磁バル
ブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介して排気系９、ガス充填系１０
および大気開放系１１が接続される。
気系９、ガス充填系１０および大気開放系１１と接続す
る接続系路９ａ，１０ａ，１１ａを開閉するための電磁
バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３が配設され、これらの電磁バル
ブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介して排気系９、ガス充填系１０
および大気開放系１１が接続される。
【００２１】排気系９は上段のターンテーブル１８ａの
内周部に真空ヘッド２２と対応して配設された真空ポン
プ３０から構成され、それぞれ接続系路９ａにより上記
真空ヘッド２２の電磁バルブＶ１に接続される。
内周部に真空ヘッド２２と対応して配設された真空ポン
プ３０から構成され、それぞれ接続系路９ａにより上記
真空ヘッド２２の電磁バルブＶ１に接続される。
【００２２】また、ガス充填系１０は下段のターンテー
ブル１８ｂ上に真空ヘッド２２と対応して配設された稀
ガスボンベ３１から構成され、それぞれ接続系路１０ａ
により上記真空ヘッド２２の電磁バルブＶ２に接続され
る。
ブル１８ｂ上に真空ヘッド２２と対応して配設された稀
ガスボンベ３１から構成され、それぞれ接続系路１０ａ
により上記真空ヘッド２２の電磁バルブＶ２に接続され
る。
【００２３】また、大気開放系１１は大気中の空気が利
用され、それぞれ上記電磁バルブＶ３の２次側に接続し
た大気吸入用のパイプ（不図示）で吸入される。
用され、それぞれ上記電磁バルブＶ３の２次側に接続し
た大気吸入用のパイプ（不図示）で吸入される。
【００２４】ターンテーブル１８は、図３に示すよう
に、外周縁に配設された真空ヘッド２２の回動軌跡周辺
の所定場所に加熱炉３３および冷却機構３４が配設さ
れ、真空ヘッド２２に装着された稀ガス放電灯１２を適
宜ベーキングおよび冷却させて排気処理する。また、各
電磁バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、図示しないが、カム機
構などにより所定タイミングで開閉駆動され、各真空ヘ
ッド２２をターンテーブル１８のポジションに合わせて
所定の排気処理で駆動する。
に、外周縁に配設された真空ヘッド２２の回動軌跡周辺
の所定場所に加熱炉３３および冷却機構３４が配設さ
れ、真空ヘッド２２に装着された稀ガス放電灯１２を適
宜ベーキングおよび冷却させて排気処理する。また、各
電磁バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、図示しないが、カム機
構などにより所定タイミングで開閉駆動され、各真空ヘ
ッド２２をターンテーブル１８のポジションに合わせて
所定の排気処理で駆動する。
【００２５】このように構成された稀ガス放電灯の製造
装置は、例えば、図示するように、ターンテーブル１８
が回転軸２１の回りを反時計方向に間歇駆動される。そ
して、ターンテーブル１８がポジションＰ１からポジシ
ョンＰ７まで１回転するとき、各真空ヘッド２２はバル
ブ挿入→排気→ベ−キング→冷却→ガス充填→チップ→
バルブ取出しの各排気処理がなされる。
装置は、例えば、図示するように、ターンテーブル１８
が回転軸２１の回りを反時計方向に間歇駆動される。そ
して、ターンテーブル１８がポジションＰ１からポジシ
ョンＰ７まで１回転するとき、各真空ヘッド２２はバル
ブ挿入→排気→ベ−キング→冷却→ガス充填→チップ→
バルブ取出しの各排気処理がなされる。
【００２６】この場合、各真空ヘッド２２は排気系９、
ガス充填系１０および大気開放系１１がそれぞれ切換え
弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を介して直結されているから、ガス
充填時の稀ガスのロス分は真空ヘッド２２に充填される
稀ガス量だけで済ませることができる。従って、真空ヘ
ッド２２の寸法を極力小容量に設定することで、稀ガス
のロス分を低減することができる。
ガス充填系１０および大気開放系１１がそれぞれ切換え
弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を介して直結されているから、ガス
充填時の稀ガスのロス分は真空ヘッド２２に充填される
稀ガス量だけで済ませることができる。従って、真空ヘ
ッド２２の寸法を極力小容量に設定することで、稀ガス
のロス分を低減することができる。
【００２７】また、従来のセンタバルブ方式のように、
真空ヘッド２２とこれに接続する排気系９やガス充填系
１０および大気開放系１１を固定台側とロータ側とに分
離せず、両者をターンテーブル１８上に一体に配設して
直結する構成にしたから、固定台とロータ間の油分がラ
ンプ内に導入される恐れがなくなる。
真空ヘッド２２とこれに接続する排気系９やガス充填系
１０および大気開放系１１を固定台側とロータ側とに分
離せず、両者をターンテーブル１８上に一体に配設して
直結する構成にしたから、固定台とロータ間の油分がラ
ンプ内に導入される恐れがなくなる。
【００２８】また、各真空ヘッド２２はそれぞれ個別に
排気系９、ガス充填系１０および大気開放系１１を接続
するように構成したから、他の真空ヘッド２２の影響を
受けることがなく、製品特性が向上する。
排気系９、ガス充填系１０および大気開放系１１を接続
するように構成したから、他の真空ヘッド２２の影響を
受けることがなく、製品特性が向上する。
【００２９】尚、本発明は上記実施例において、排気系
９やガス充填系１０を各真空ヘッド２２毎にそれぞれ別
個に配設したが、排気系９またはガス充填系１０はこれ
らを１系統で構成し、共通化することも可能である。ま
た、切換え弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３は真空ヘッド２２の筐体
壁面の外側に配設したが、真空ヘッド２２の内側に配設
することも可能である。また、切換え弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ
３は電磁弁を用いたが、３方弁や機構式駆動のものも採
用できる。更に、大気開放系は省略することができる。
９やガス充填系１０を各真空ヘッド２２毎にそれぞれ別
個に配設したが、排気系９またはガス充填系１０はこれ
らを１系統で構成し、共通化することも可能である。ま
た、切換え弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３は真空ヘッド２２の筐体
壁面の外側に配設したが、真空ヘッド２２の内側に配設
することも可能である。また、切換え弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ
３は電磁弁を用いたが、３方弁や機構式駆動のものも採
用できる。更に、大気開放系は省略することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、真空ヘ
ッドに複数の接続孔を設け、これらの接続孔に切換え弁
を介して排気系やガス充填系を接続するように構成した
から、ガス充填時の稀ガスのロス分が抑制でき、稀ガス
放電灯の材料費が抑制出来る。また、ターンテーブルを
使用した回転機構でありながら、油分などが導入され
ず、センタバルブ方式の排気装置と同様に、ターンテー
ブルの各ポジション毎に所定の排気処理がなされ、作業
性が得られる。
ッドに複数の接続孔を設け、これらの接続孔に切換え弁
を介して排気系やガス充填系を接続するように構成した
から、ガス充填時の稀ガスのロス分が抑制でき、稀ガス
放電灯の材料費が抑制出来る。また、ターンテーブルを
使用した回転機構でありながら、油分などが導入され
ず、センタバルブ方式の排気装置と同様に、ターンテー
ブルの各ポジション毎に所定の排気処理がなされ、作業
性が得られる。
【図１】本発明の稀ガス放電灯の製造装置で、ロータリ
式排気装置の概略構成図
式排気装置の概略構成図
【図２】図１の構成部品で、真空ヘッドの断面図
【図３】図１の排気装置のターンテーブルの排気ポジシ
ョンの説明図
ョンの説明図
【図４】稀ガス放電灯の構成例で、（ａ）は無電極タイ
プの一部破断側面図、（ｂ）は冷陰極タイプの側断面
図、（ｃ）は熱陰極タイプの側断面図
プの一部破断側面図、（ｂ）は冷陰極タイプの側断面
図、（ｃ）は熱陰極タイプの側断面図
【図５】従来の稀ガス放電灯の製造装置で、トロリー式
排気装置の概略構成図
排気装置の概略構成図
【図６】従来の稀ガス放電灯の製造装置で、センターバ
ルブ式排気装置の概略構成図
ルブ式排気装置の概略構成図
【図７】従来の稀ガス放電灯の製造装置で、封着排気装
置の概略構成図
置の概略構成図
9 排気系 9a,10a,11a 接続系路 10 ガス充填系 11 大気開放系 18 ターンテーブル 22 真空ヘッド 24,25,26 接続孔 33 加熱炉 34 冷却機構 V1,V2,V3 切換え弁
Claims (3)
- 【請求項１】 回転駆動されるターンテーブルと、前記
ターンテーブルの外周縁に固定された複数個の真空ヘッ
ドと、前記ターンテーブル上に配設され前記真空ヘッド
に接続される排気系、ガス充填系とを具備し、 前記真空ヘッドは筐体壁面に前記排気系、ガス充填系が
接続される複数の接続孔が配設されると共にこの接続孔
にそれぞれ前記系との接続系路を開閉する切換え弁が配
設され、 前記排気系、ガス充填系をこれらの切換え弁を介して真
空ヘッドに接続したことを特徴とする稀ガス放電灯の製
造装置。 - 【請求項２】 前記排気系またはガス充填系は真空ヘッ
ド毎に配設されたことを特徴とする請求項１記載の稀ガ
ス放電灯の製造装置。 - 【請求項３】 前記ターンテーブルは真空ヘッドの回転
軌跡の周辺所定位置に加熱炉や冷却機構が配設されたこ
とを特徴とする稀ガス放電灯の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24892794A JPH08115672A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 稀ガス放電灯の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24892794A JPH08115672A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 稀ガス放電灯の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08115672A true JPH08115672A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17185492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24892794A Withdrawn JPH08115672A (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | 稀ガス放電灯の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08115672A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424371B1 (ko) * | 2002-02-18 | 2004-03-25 | 주식회사 광운디스플레이기술 | 무전극 형광램프 대량 제조 장치 |
| KR100768883B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-10-19 | (주)와이에스썸텍 | Ｆｐｄ용 배기 및 봉착 장치 |
| JP2007299748A (ja) * | 2006-05-04 | 2007-11-15 | Keiho Kagi Yugenkoshi | 排気設備 |
| JP2008047521A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Keiho Kagi Yugenkoshi | 排気設備 |
-
1994
- 1994-10-14 JP JP24892794A patent/JPH08115672A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424371B1 (ko) * | 2002-02-18 | 2004-03-25 | 주식회사 광운디스플레이기술 | 무전극 형광램프 대량 제조 장치 |
| KR100768883B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-10-19 | (주)와이에스썸텍 | Ｆｐｄ용 배기 및 봉착 장치 |
| JP2007299748A (ja) * | 2006-05-04 | 2007-11-15 | Keiho Kagi Yugenkoshi | 排気設備 |
| JP2008047521A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Keiho Kagi Yugenkoshi | 排気設備 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |